JP2008134238A - アレイテスト装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のアレイテスト装置は、パネルの前面に形成されたパネル電極の電気的欠陷をテストする装置であって、パネルをローディングするローディング部と、ローディング部から移送されたパネルが定着される透明材質のテストプレートを有するテスト部と、テスト完了したパネルがテスト部から移送されて外部に搬出されるアンローディング部と、パネル電極の電気的欠陥有無を検出するテストモジュールと、テストプレートとパネルとの間に静電気発生を抑制するか発生した静電気を除去する除電部と、を備え、テストモジュールは、テスト部に位置したパネルの前面側及び背面側のうちの一つの方向に配された光源と、パネルを基準に光源と反対方向に順に配されたモジュレーター及び欠陥検出部とを備える。
【選択図】図2
Description
本発明の他の目的は、パネルのテスト前後にパネルとの間に静電気が発生しないようにする構造を有したアレイテスト装置を提供することにある。
また、光源からの光が順次にパネル及びモジュレーターを通過して欠陥検出部に受光されることによって、実際肉眼で画像を見るような条件でパネル電極の欠陥有無を検査できる。
また、モジュレーターと欠陥検出部との間の光路に別途の部材が挿入されずより正確にパネル電極の欠陥有無を検査できる。
2a パネルの背面
5 パネル電極
10、100 アレイテスト装置
11、110 ローディング部
12、120 テスト部
13、130 アンローディング部
15 把持チャック
40、140 テストモジュール
41、141 光源
42 光方向調節装置
43、142 モジュレーター
43a 反射層
43b 電光物質層
43c 透明基板層
44 カメラ
112 ローディングプレート
114、134 空気噴射ホール
122 テストプレート
124 パネル定着部
126 パネルクランプ
132 アンローディングプレート
142a モジュレーターの入射面
142b モジュレーターの出射面
143 透明保護層
144 電光物質層
145 モジュレーター電極部
146 透光基板
147 欠陥検出部
148 ビジョン(vision)装置
148a モニター
149 シーリング壁
150 除電部
151 イオナイザ用ホール
153 配管型イオナイザ
251 ブラケット部
253 光照射式イオナイザ
Claims (15)
- パネルの前面に形成されたパネル電極の電気的欠陷をテストする装置であって、
テストされる前記パネルを定着させるかまたは所定の間隔に離隔してテストプレートに移送させるローディングプレートを有するローディング部と、
前記ローディング部のローディングプレートの一側に配され、前記ローディング部から移送されたパネルを定着させるかまたは所定の間隔に離隔して電気的欠陷をテストする透明材質のテストプレートを有するテスト部と、
前記テスト部のテストプレートの一側に配され、テスト完了した前記パネルを定着させるかまたは所定の間隔に離隔して前記テストプレートから移送させるアンローディングプレートを有するアンローディング部と、
前記テスト部に位置したパネルの前面側及び背面側のうちの一つの方向に配された光源と、前記パネルを基準に前記光源と反対方向に順次に配されたモジュレーター及び欠陥検出部とを有し、前記光源から発生した光の中から前記モジュレーターの出射面を通過した量によって前記パネル電極の電気的欠陥の有無を検出するテストモジュールと、
前記テストプレートと前記パネルとの間に静電気が発生するのを抑制するか、または発生した静電気を除去するように前記テストプレートと前記パネルとの間に陽イオンまたは陰イオンを供給する除電部と、を備えることを特徴とするアレイテスト装置。 - 前記ローディング部は、テストされる前記パネルを定着させるかまたは所定の間隔を有して浮き上がらせて前記テストプレートに移動させ、
前記テストプレートと隣接した出口側の端部にはイオナイザ用ホールが形成されたローディングプレートを有し、
前記除電部は、前記イオナイザ用ホールを通じて陽イオンまたは陰イオンを前記テストプレート方向に放出させる配管型イオナイザであることを特徴とする請求項1に記載のアレイテスト装置。 - 前記アンローディングプレートは、前記テストプレートと隣接した入口側の端部にイオナイザ用ホールが形成され、
前記除電部は、前記イオナイザ用ホールを通じて陽イオンまたは陰イオンを前記テストプレート方向に放出する配管型イオナイザであることを特徴とする請求項1に記載のアレイテスト装置。 - 前記除電部は、
前記アンローディングプレートの前記テスト部と隣接した入口側の端部から突設されたブラケット部と、
前記ブラケット部に結合されて前記テスト部方向にX−rayを発生させる光照射式イオナイザを備えることを特徴とする請求項1に記載のアレイテスト装置。 - 前記テストモジュールは、
光源と、
前記パネルの前面側に配され前記光源から前記パネルの背面側に入射して前面側に出射される光が入射する入射面と、前記パネル電極と平行に配されて前記パネル電極と電場を形成するモジュレーター電極部と、該モジュレーター電極部と前記パネル電極との間に配され前記モジュレーター電極部と前記パネル電極との間に形成される電場の大きさによって前記入射面を通じて入射する光の通過量が変更される電光物質層と、該電光物質層を通過した光を外部に出射する出射面と、を有するモジュレーターと、
前記モジュレーターの出射面を通じて出射される光量によって前記パネル電極の電気的欠陥有無を検出する欠陥検出部と、を備えることを特徴とする請求項1に記載のアレイテスト装置。 - 前記欠陥検出部は、ビジョン装置を備えることを特徴とする請求項5に記載のアレイテスト装置。
- 前記光源と、前記パネルのテスト電極と、前記モジュレーターと、前記ビジョン装置とは、一列に配されることを特徴とする請求項6に記載のアレイテスト装置。
- 前記電光物質層は、入射する光を電場の強さによって偏光させる素材を備えることを特徴とする請求項5に記載のアレイテスト装置。
- 前記モジュレーターは、前記パネルより遠い方から近い方に順次に、透光基板と、該透光基板の前面に配されたモジュレーター電極層と、前記透光基板の前面縁部を取り囲むように前記モジュレーター電極層の上側に配されたシーリング壁と、前記モジュレーター電極層の前面の前記シーリング壁に取り囲まれた空間に所定の高さで分散配置された電光物質層と、を備えることを特徴とする請求項5に記載のアレイテスト装置。
- 前記電光物質層は、PDLC(Polymer Dispersed Liquid Crystal)素材からなることを特徴とする請求項9に記載のアレイテスト装置。
- 前記シーリング壁の高さは、15ないし25μmであることを特徴とする請求項9に記載のアレイテスト装置。
- 前記モジュレーターは、前記パネルより遠い方から近い方に順次に、透光基板と、該透光基板の前面に形成されたモジュレーター電極層と、該モジュレーター電極層の前面に形成された透明な多孔性物質層と、該多孔性物質層の気孔内に形成されたPDLCと、を備えることを特徴とする請求項5に記載のアレイテスト装置。
- 前記電光物質層の後面には、前記パネルの電極と接するか隣接するように配された透明保護層をさらに備えることを特徴とする請求項5に記載のアレイテスト装置。
- 前記透明保護層は、パリレンコーティング層からなることを特徴とする請求項13に記載のアレイテスト装置。
- 前記電光物質層は、駆動電圧30V以下、コントラスト40対1、ライジングタイム(Rising time)1.7ms、フォーリングタイム(Falling time)3ms、最小保有時間(minimum retention time)30msの特性を有することを特徴とする請求項5に記載のアレイテスト装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103293718A (zh) * | 2012-02-22 | 2013-09-11 | 尼克斯特业有限公司 | Lcd 面板检测装置 |
US10020234B2 (en) | 2015-11-10 | 2018-07-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of inspecting device using first measurement and second measurement lights |
CN110715942A (zh) * | 2018-07-11 | 2020-01-21 | 皓琪科技股份有限公司 | 电路板自动检测方法及系统 |
CN117630020A (zh) * | 2024-01-25 | 2024-03-01 | 上海波创电气有限公司 | 一种用于对材料表面缺陷的检测装置 |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101604075B (zh) * | 2008-06-13 | 2013-04-10 | 统宝光电股份有限公司 | 液晶显示面板的点灯测试静电防护装置与方法 |
KR101470591B1 (ko) * | 2008-08-04 | 2014-12-11 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장치 |
KR101519618B1 (ko) * | 2008-08-06 | 2015-05-13 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스터용 옵틱척 및 이를 구비한 어레이 테스터 |
KR101002429B1 (ko) * | 2008-10-06 | 2010-12-21 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장치 |
KR100911331B1 (ko) * | 2008-12-30 | 2009-08-07 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장치 및 상기 어레이 테스트 장치의 기판 일지점 위치 측정 방법 |
KR100911330B1 (ko) * | 2008-12-30 | 2009-08-07 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장치와, 상기 어레이 테스트 장치의 기판 일지점 위치 측정 방법과, 카메라 어셈블리에 촬상된 특정 위치좌표 측정 방법 |
CN101833179B (zh) * | 2009-03-13 | 2012-02-15 | 华映视讯(吴江)有限公司 | 检测治具与检测方法 |
KR101089059B1 (ko) * | 2009-08-03 | 2011-12-05 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 옵틱척 클리너를 구비한 어레이 테스트 장치 |
KR101115879B1 (ko) * | 2009-12-11 | 2012-02-22 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장치 |
KR101052490B1 (ko) * | 2009-12-31 | 2011-07-29 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장치 |
TWI467162B (zh) * | 2011-04-18 | 2015-01-01 | Ind Tech Res Inst | 電光調變裝置、電光檢測器及其檢測方法 |
KR20130005128A (ko) * | 2011-07-05 | 2013-01-15 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 글라스패널 이송장치 |
CN107741658A (zh) * | 2017-10-25 | 2018-02-27 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种面板烘烤装置 |
CN108563047B (zh) * | 2018-03-15 | 2021-10-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 线路检测装置及线路检测方法 |
CN108572470B (zh) * | 2018-04-24 | 2021-03-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种电测治具及其控制方法 |
JP7143134B2 (ja) * | 2018-07-26 | 2022-09-28 | 株式会社アドバンテスト | ロードボード及び電子部品試験装置 |
CN110596147A (zh) * | 2019-08-23 | 2019-12-20 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 降低阵列电性测试机静电产生的方法 |
CN112201186A (zh) * | 2020-10-10 | 2021-01-08 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 测试元件组 |
CN116386488B (zh) * | 2023-03-31 | 2024-05-28 | 惠科股份有限公司 | 电子纸阵列基板的检测方法以及检测设备 |
CN116609604B (zh) * | 2023-05-31 | 2024-05-10 | 武汉云岭光电股份有限公司 | 静电放电测试系统及方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08304852A (ja) * | 1995-04-28 | 1996-11-22 | Nec Corp | 液晶ディスプレイ基板の検査方法および装置 |
JPH08316284A (ja) * | 1995-05-15 | 1996-11-29 | Sony Corp | フォトマスクの搬送装置 |
JPH1152551A (ja) * | 1997-07-29 | 1999-02-26 | Toshiba Corp | 露光用マスクとそのパターン評価方法及び評価装置 |
JPH11281526A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-15 | Sharp Corp | 表示装置の検査装置および検査方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4104728B2 (ja) | 1998-03-25 | 2008-06-18 | フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド | 液晶駆動基板の検査装置及びその検査方法 |
JP3580550B1 (ja) * | 2003-08-20 | 2004-10-27 | レーザーテック株式会社 | パターン基板の欠陥修正方法及び欠陥修正装置並びにパターン基板製造方法 |
-
2006
- 2006-10-26 KR KR1020060104640A patent/KR100756229B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2007
- 2007-10-26 TW TW096140411A patent/TWI347447B/zh not_active IP Right Cessation
- 2007-10-26 CN CN2007101655250A patent/CN101136156B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2007-10-26 JP JP2007278828A patent/JP2008134238A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08304852A (ja) * | 1995-04-28 | 1996-11-22 | Nec Corp | 液晶ディスプレイ基板の検査方法および装置 |
JPH08316284A (ja) * | 1995-05-15 | 1996-11-29 | Sony Corp | フォトマスクの搬送装置 |
JPH1152551A (ja) * | 1997-07-29 | 1999-02-26 | Toshiba Corp | 露光用マスクとそのパターン評価方法及び評価装置 |
JPH11281526A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-15 | Sharp Corp | 表示装置の検査装置および検査方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103293718A (zh) * | 2012-02-22 | 2013-09-11 | 尼克斯特业有限公司 | Lcd 面板检测装置 |
US10020234B2 (en) | 2015-11-10 | 2018-07-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of inspecting device using first measurement and second measurement lights |
CN110715942A (zh) * | 2018-07-11 | 2020-01-21 | 皓琪科技股份有限公司 | 电路板自动检测方法及系统 |
CN117630020A (zh) * | 2024-01-25 | 2024-03-01 | 上海波创电气有限公司 | 一种用于对材料表面缺陷的检测装置 |
CN117630020B (zh) * | 2024-01-25 | 2024-05-10 | 上海波创电气有限公司 | 一种用于对材料表面缺陷的检测装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101136156A (zh) | 2008-03-05 |
TW200827750A (en) | 2008-07-01 |
CN101136156B (zh) | 2011-02-02 |
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KR100756229B1 (ko) | 2007-09-07 |
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