CN103093715B - 阵列测试装置 - Google Patents

Abstract

本文公开一种阵列测试装置，其可防止调制器摇晃或倾斜。

Description

阵列测试装置

技术领域

本发明涉及一种用于测试玻璃面板的阵列测试装置。

背景技术

一般来说，液晶显示器(LCD)、等离子显示面板(PDP)、场致发射显示器(FED)以及有机发光二极管(OLED)等是已研制出并使用的平板显示器(FPD)的代表性实例。

这种FPD的LCD是以向排列为矩阵形状的液晶单元单独地提供基于图像信息的数据信号、并因此控制液晶单元的透光性的方式来显示预期图像的图像显示设备。由于LCD薄且轻并具有耗能低和操作电压低等其它很多优点，因此得到广泛使用。下面将描述制造用在这种LCD中的液晶面板的典型方法。

首先，在上玻璃面板上形成彩色滤光片和共用电极。其后，在与上玻璃面板相对的下玻璃面板上形成薄膜晶体管(TFT)和像素电极。之后，将配向层分别施加到上玻璃面板和下玻璃面板。其后，摩擦配向层以便为以后要在这些配向层之间形成的液晶层中的液晶分子提供预倾角和配向方位。

其后，通过将密封胶以预定图案施加到至少上玻璃面板或至少下玻璃面板来形成密封胶图案，以保持玻璃面板彼此分隔开，阻止液晶泄漏，以及密封玻璃面板之间的空间。之后，在玻璃面板之间形成液晶层，因此完成液晶面板。

在上述过程中，测试具有TFT和像素电极的下玻璃面板(下文称作“玻璃面板”)是否有缺陷的操作，是通过例如检测栅极线或数据线是否中断或者检查像素单元是否颜色不佳而实施的。阵列测试装置用于实施这种针对玻璃面板的测试。阵列测试装置典型地包括测试玻璃面板的测试单元、将玻璃面板加载到测试单元上的加载单元、以及将已经过测试的玻璃面板从测试单元卸载的卸载单元。

测试单元包括光源、设置有电光材料层的调制器、以及拍摄调制器的图像的摄像单元。测试玻璃面板的方法包括将玻璃面板加载到支撑板上、将预定电压施加到调制器和玻璃面板、并将调制器设置于邻近玻璃面板处。如果玻璃面板无缺陷，则在调制器和玻璃面板之间形成电场。然而，如果玻璃面板有缺陷，则在调制器和玻璃面板之间不形成电场、或电场幅度较小。阵列测试装置测试调制器和玻璃面板之间的电场幅度，并利用测得的电场幅度来确定玻璃面板是否有缺陷。

对于准确测试玻璃面板较为重要的一个因素是玻璃面板与调制器之间的距离。为了准确测试玻璃面板，必需维持玻璃面板与调制器之间的距离恒定以及维持在预定的最佳距离处。因此，在根据新近提出的技术的阵列测试装置中，将气体吹送到玻璃面板上，吹送的气体的压力使调制器悬浮于玻璃面板上方，因此维持玻璃面板与调制器之间的距离恒定。

同时，玻璃面板在其上具有多个待测试区域。调制器连续地移至这些待测试区域，直到完成对玻璃面板上的所有区域的测试为止。为此，首先，调制器远离玻璃面板向上竖直移动，使得玻璃面板与调制器之间的距离达到容许调制器水平移动的距离(下文称作“第一距离”)。其后，调制器相对于玻璃面板的上表面水平地(平行地)移动，直到它被置于对应的待测试区域之一上方为止。之后，调制器朝玻璃面板竖直地(向下)移动并接近玻璃面板，使得玻璃面板与调制器之间的距离达到能够使调制器测试玻璃面板的距离(下文称作“第二距离”)。

第一距离大于第二距离。所排出的用于将玻璃面板与调制器之间的距离调整为第一距离的气体的压力大于用于将玻璃面板与调制器之间的距离调整为第二距离的气体压力。

优选地，第二距离设定为可能的最小距离，使得可准确地测量在玻璃面板与调制器之间所产生的电场幅度。换言之，优选第二距离为尽可能地小，除调制器接触玻璃面板以外。

第一距离设定为可在调制器水平移动时防止调制器接触玻璃面板的距离。同时，当调制器水平移动时，加速力施加到调制器，因此使调制器倾斜。因而，调制器在其水平移动时可能以预定角度倾斜。此外，当水平移动的调制器停止时，减速力施加到调制器，因此使调制器倾斜预定角度。在传统阵列测试装置中，第二距离设定得相对较大，使得即使在调制器倾斜时也能防止调制器接触玻璃面板。因此，在传统阵列测试装置中，第一距离和第二距离之间存在相对较大的差异。

这样，因为第一距离和第二距离之间的差相对较大，因此传统阵列测试装置的问题在于，将玻璃面板与调制器之间的距离从第一距离改变到第二距离或从第二距离改变到第一距离耗时相对较长。

此外，由于当调制器在水平移动时加速或者当水平移动的调制器停止时调制器以预定角度倾斜，因此调制器水平移动的速度不应太快，以防止调制器接触玻璃面板。也就是说，调制器的水平移动速度仅可增加至有限的速度。

发明内容

因此，本发明针对现有技术中存在的上述问题，且本发明的目的是提供一种阵列测试装置，其可在调制器水平移动时防止调制器倾斜。

本发明的另一目的是提供一种阵列测试装置，其可减少将调制器与玻璃面板之间的距离从容许调制器水平移动的距离改变到能够使调制器测试玻璃面板的距离所花费的时间。

为了实现上述目的，本发明提供一种阵列测试装置，包括：调制器，其面对玻璃面板设置；固定块，其绕所述调制器设置；移动块，其联接到所述调制器，所述移动块由所述固定块支撑以能被抬升；吹气单元，其朝所述玻璃面板吹气，使得所述调制器沿远离所述玻璃面板的第一方向移动；以及外力提供单元，其设置在所述固定块与所述移动块之间，所述外力提供单元沿与所述第一方向相反的第二方向将外力施加到所述移动块。

附图说明

从结合附图的以下详述中将更清楚理解本发明的上述以及其它目的、特征以及优点，其中：

图1是图示根据本发明第一实施方式的阵列测试装置的立体图；

图2是图示图1的阵列测试装置的测试模块的示意图；

图3是图示图1的阵列测试装置的测试模块的另一示例的示意图；

图4是示意性地图示图1的阵列测试装置的测试模块的剖视图；

图5是示意性地图示图1的阵列测试装置的测试模块的另一示例的剖视图；

图6是根据本发明第二实施方式的阵列测试装置的测试模块的示意性仰视图；

图7是示意性地图示根据本发明第三实施方式的阵列测试装置的测试模块的剖视图；

图8是示意性地图示根据本发明第三实施方式的阵列测试装置的测试模块的另一示例的剖视图；

图9是示意性地图示根据本发明第三实施方式的阵列测试装置的测试模块的又一示例的剖视图；

图10是示意性地图示根据本发明第四实施方式的阵列测试装置的测试模块的剖视图；

图11是示意性地示出图10的测试模块的一部分的放大剖视图；

图12是示意性地示出图10的测试模块的另一实施例的一部分的放大剖视图；

图13是示意性地图示根据本发明第五实施方式的阵列测试装置的测试模块的剖视图；

图14是示意性地示出图13的测试模块的一部分的放大剖视图；

图15是示意性地图示根据本发明第六实施方式的阵列测试装置的测试模块的剖视图；

图16是示意性地示出图15的测试模块的一部分的放大剖视图；以及

图17至20是示意性地示出根据本发明第七实施方式的阵列测试装置的测试模块的一部分的放大剖视图。

具体实施方式

下文，将参照附图详述根据本发明的阵列测试装置的实施方式。

如图1至5所示，根据本发明第一实施方式的阵列测试装置10包括：加载单元20，其将玻璃面板P加载到阵列测试装置上；测试单元30，其测试由加载单元20加载的玻璃面板P；卸载单元40，其从阵列测试装置卸载已经过测试单元30测试的玻璃面板P；以及控制单元50，其控制测试玻璃面板P的操作。

加载单元20包括多个第一支撑板22，上述多个第一支撑板22设置于以预定间距彼此间隔的位置。第一支撑板22支撑待测试的玻璃面板P。卸载单元40包括多个第二支撑板42，上述多个第二支撑板42设置于以预定间距彼此间隔的位置。第二支撑板42支撑已经过测试单元30测试的玻璃面板P。吹气孔24和44分别穿透加载单元20的第一支撑板22和卸载单元40的第二支撑板42而形成。空气通过吹气孔24或44朝玻璃面板P的下表面排出以悬置玻璃面板P。此外，加载单元20和卸载单元40中的每一个具有玻璃面板输送单元70，玻璃面板输送单元70利用吸力保持玻璃面板P的下表面，并水平移动以输送玻璃面板P。

测试单元30测试玻璃面板P是否有电缺陷。测试单元30包括透光支撑件31、测试模块32以及探针组件33。将由加载单元20加载的玻璃面板P放置到透光支撑件31上。测试模块32测试放置在透光支撑件31上的玻璃面板P是否有电缺陷。探针组件33向放置在透光支撑件31上的玻璃面板P的电极E施加电信号。测试模块32设置在测试模块输送单元60上，测试模块输送单元60设置在透光支撑件31上方并沿X轴方向延伸预定长度。测试模块32能够在X轴方向上沿着测试模块输送单元60移动。测试模块32可包括沿测试模块输送单元60延伸的方向(X轴方向)设置的多个测试模块32。

如图2所示，测试模块32包括：光源321；半棱镜322，其控制从光源321发射出的光的方向；调制器120，其位于玻璃面板P上方并面对玻璃面板P；以及摄像单元90，其拍摄调制器120的图像。

调制器120包括反射层121、电光材料层122、调制器电极层123以及透光块124。反射层121邻近玻璃面板P定位。电光材料层122根据在玻璃面板P和调制器120之间所产生的电场幅度而改变光的透射性。调制器电极层123连接到电源(未示出)。透光块124设置在调制器电极层123上方。反射层121可包括薄型反射膜，或者替代地它可包括反射玻璃层，例如涂覆有反射膜的玻璃制镜。如果反射玻璃层用作反射层121，则其硬度比反射膜的硬度大。因此，可防止反射层121损坏，例如由于与玻璃面板P接触而被刮擦。

电光材料层122由如下材料形成：当电信号施加到形成在玻璃面板P上的电极和调制器120的调制器电极层123时，所述材料的特定物理性质由于在玻璃面板P与调制器120之间所产生的电场而改变。例如，电光材料层122可由根据电场幅度而改变透光性的LC(液晶)制成。替代地，电光材料层122可由根据电场幅度而沿预定方向定向并因此将入射光偏振到对应角度的PDLC(聚合物分散液晶)制成。

在上述构造中，当电信号施加到玻璃面板P的电极和调制器120的调制器电极层123时，在玻璃面板P与调制器120之间形成电场。构成电光材料层122的电光材料的特性由于电场而改变。由此，在光从光源321发射出并经由半棱镜322进入调制器120之后由调制器120的反射层121反射的光量改变。此时，摄像单元90拍摄调制器120的图像。之后，可通过利用由摄像单元90拍摄的调制器120的图像而分析所述光量，来确定在玻璃面板P与调制器120之间所产生的电场幅度。如果玻璃面板P有缺陷，则在玻璃面板P与调制器120之间不形成电场、或该电场幅度小于正常情况下的电场幅度。这样，可通过测量电场幅度而确定玻璃面板P是否有缺陷。

同时，如上所述，测试单元30可根据光反射方法构造，在所述光反射方法中光源321设置在测试模块32中且反射层121设置在调制器120中。替代地，如图3所示，测试单元30可根据如下的光透射方法构造，在所述光透射方法中，将光源321设置在透光支撑件31下方，换言之，将光源321设置在透光支撑件31的与调制器120面对透光支撑件31的一侧相对的一侧，使得通过测量光从光源321发射出之后透过调制器120的光量来确定玻璃面板P是否有缺陷。在利用这种光透射方法的测试单元30中，放置有玻璃面板P的透光支撑件31由可透光的材料制成。另外，保护层125可设置在调制器120的面对玻璃面板P的一侧上。这样，本发明的阵列测试装置的测试单元30可根据光反射方法或透射方法构造。

图4和5图示可移离玻璃面板P的调制器120的构造。如图4和5所示，测试模块32包括固定块110、移动块130、吹气单元140以及外力提供单元200。固定块110绕调制器120设置。移动块130连接到调制器120，并由固定块110支撑以能够相对于玻璃面板P被抬升。吹气单元140连接到移动块130，并朝玻璃面板P吹气以相对于玻璃面板P悬置调制器120。外力提供单元200设置在固定块110和移动块130之间，并向移动块130提供外力。

移动块130由固定块110的下端支撑以能够抬升。由此，调制器120可由移动块130支撑在固定块110内以能够抬升。摄像单元90位于固定块110的上端处。

吹气单元140包括：排出端口141，其设置在移动块130下并朝玻璃面板P开口；通道142，其与排出端口141连通；以及供气单元143，其与通道142连通，并通过通道142将气体供应到排出端口141。排出端口141可包括沿移动块130的周缘方向绕调制器120设置的多个排出端口141。在这种情况下，期望这些排出端口141以规则间距彼此间隔开，以在调制器120抬升时维持调制器120水平。通道142设计成使得通道142的至少一部分嵌入移动块130中。通道142的至少一部分由例如柔性管的软性材料制成，以防止通道142妨碍调制器120和移动块130的运动。供气单元143由控制单元50控制。可供应空气或惰性气体的吹风机或压缩机可用作供气单元143。在具有上述构造的吹气单元140中，供气单元143将气体供应进通道142，使得气体从排出端口141朝玻璃面板P的上表面排出。然后，排出到玻璃面板P上表面的气体的压力使调制器120和移动块130远离玻璃面板P向上移动。控制单元50调整从供气单元143供应到排出端口141的气体的压力，使得可控制调制器120和移动块130抬升到的高度。由此，可将玻璃面板P与调制器120之间的距离控制在容许调制器120水平移动的第一距离与能够使调制器120测试玻璃面板P的第二距离之间。

外力提供单元200包括第一磁性构件211和第二磁性构件212，第一磁性构件211设置在固定块110的竖直面对移动块130的表面内，第二磁性构件212设置在移动块130的竖直面对固定块110的表面内。第一磁性构件211和第二磁性构件212在竖直方向上彼此面对。

第一磁性构件211和第二磁性构件212可为电磁体。替代地，至少第一磁性构件211或第二磁性构件212可为电磁体，而另一个由诸如金属等的可被磁体吸引的材料制成。图4和5示出外力提供单元200的构造，其中第一磁性构件211是电磁体，且电源213连接到第一磁性构件211。电源213可具有控制电路，上述控制电路可调整施加到第一磁性构件211的电流强度。控制单元50控制上述控制电路使得可调整从电源213施加到第一磁性构件211的电流强度。

例如，如图4和5所示，为了提供安装第一磁性构件211或第二磁性构件212的部分，延伸部131绕移动块130的周缘向外延伸。容纳部111设置在固定块110的下端部。移动块130的延伸部131设置在容纳部111的内周缘内以能竖直移动。

在一实施方式中，如图4所示，第一磁性构件211可安装在固定块110的容纳部111的内表面的顶部内，且第二磁性构件212可安装在移动块130的延伸部131的上表面内。

在这种构造中，当在第一磁性构件211与第二磁性构件212之间产生排斥力时，调制器120和移动块130向下偏移。

在此，当玻璃面板P与调制器120之间的距离变成容许调制器120水平移动的第一距离时，第一磁性构件211与第二磁性构件212之间的排斥力可施加到第一磁性构件211和第二磁性构件212。由吹气单元140朝玻璃面板P排出的气体的压力沿调制器120移离玻璃面板P的方向A(下文称作“第一方向”)向调制器120施加力。第一磁性构件211与第二磁性构件212之间的排斥力沿调制器120接近玻璃面板P的方向B(下文称作“第二方向”)向调制器120施加力。

沿第一方向A施加到调制器120的力与沿第二方向B施加到调制器120的力和调制器120和移动块130的重力之和平衡。这通过以下公式来表达：

F11＝F12+FL (1)

其中，F11表示当调制器120位于第一距离时由朝玻璃面板P排出的气体的压力沿第一方向A施加到调制器120的力，F12是当调制器120位于第一距离时由第一磁性构件211与第二磁性构件212之间的排斥力沿第二方向B施加到调制器120的力，以及FL表示当调制器120位于第一距离时沿第二方向B施加到调制器120的调制器120和移动块130的重力。

当调制器120位于第一距离时，通过沿第一方向A施加到调制器120的力F11与沿第二方向B施加到调制器120的力F12+FL的平衡，换言之，通过在公式1中示出的力的平衡，将移动块130的位置保持在相对于固定块110的预定位置。因此，即使在调制器120水平移动和加速时、或即使在水平移动的调制器120减速至停止时，也可防止位于第一距离的调制器120倾斜。

调制器120在竖直方向上(第一方向A或第二方向B)的高度不仅可通过控制朝玻璃面板P排出的气体的压力来调整，而且也可通过控制第一磁性构件211与第二磁性构件212之间的磁力强度、例如通过控制施加到第一磁性构件211的电流强度来调整。

同时，即使在调制器120沿第二方向B移动而使得玻璃面板P与调制器120之间的距离从第一距离改变到第二距离时，第一磁性构件211与第二磁性构件212之间的排斥力也可起作用。将玻璃面板P与调制器120之间的距离从第一距离改变到第二距离包括将朝玻璃面板P排出的气体的压力减小为小于在第一距离的状态时朝玻璃面板P排出的气体的压力，使得调制器120和移动块130的重力沿第二方向B向下移动调制器120。

换言之，在从第一距离的状态改变到第二距离的状态时朝玻璃面板P排出的气体的压力沿第一方向A施加到调制器120的力，比为了维持第一距离而朝玻璃面板P排出的气体的压力沿第一方向A施加到调制器120的力F11小。这由以下公式来表达：

F21＜F11 (2)

其中，F21表示在从第一距离的状态改变到第二距离的状态时朝玻璃面板P排出的气体的压力沿第一方向A施加到调制器120的力。

在从第一距离的状态改变到第二距离的状态时，因为调制器120由于调制器120和移动块130的重力而沿第二方向B移动，因此施加到调制器120的力的关系可由如下公式来表达：

F21＜FL (3)

在此，如果加上由第一磁性构件211与第二磁性构件212之间的排斥力沿第二方向B施加到调制器120的力F12，则施加到调制器120的力的关系可通过如下公式来表达：

F21＜＜F12+FL (4)

这样，如果在从第一距离的状态改变到第二距离的状态时第一磁性构件211与第二磁性构件212之间的排斥力存在，则沿第二方向B施加到调制器120的力F12+FL变得比沿第一方向A施加到调制器120的力F21大得多。因此，调制器120向下移动的速度增加。因此，将调制器120从对应于第一距离的位置移至对应于第二距离的位置耗时少。

同时，如图5所示，第一磁性构件211可安装在固定块110的容纳部111的内表面的底部内，而第二磁性构件212可安装在移动块130的延伸部131的下表面内。

在图5的构造中，在第一磁性构件211与第二磁性构件212之间产生吸引力，以提供与图4的构造相同的操作和效果，换言之，以实现由公式1至4表达的施加到调制器120的力的关系。

将图5的构造与图4的构造进行比较，虽然在第一磁性构件211与第二磁性构件212的安装位置、以及第一磁性构件211与第二磁性构件212之间所产生的磁力形式(排斥力或吸引力)方面存在不同，但图4的构造和图5的构造之间的操作和效果相同。

同时，本发明并不局限于图4或5的构造。例如，本发明可构造为，使得延伸部从固定块110的内周缘向内延伸，且容纳固定块110的延伸部的容纳部绕移动块130设置。这样，固定块110和移动块130的形状以及第一磁性构件211与第二磁性构件212的安装位置可以多种方式改变，只要第一磁性构件211与第二磁性构件212分别安装在固定块110和移动块130内并竖直地彼此面对以使外力可施加在移动块130与固定块110之间而因此可靠地维持移动块130相对于固定块110位于预定位置即可。

如上所述，在根据第一实施方式的阵列测试装置中，提供外力提供单元200，外力提供单元200沿与第一方向A相反的第二方向B向移动块130施加外力，其中第一方向A是朝玻璃面板P排出的气体的压力将调制器120移离玻璃面板P所沿的方向。当玻璃面板P与调制器120之间的距离为第一距离时，外力施加至移动块130。因此，可以可靠地维持移动块130相对于固定块110的位置，也就是调制器120的位置。因此，可防止当调制器120水平移动时调制器120摇晃，由此防止调制器120的摇晃引起调制器120的一部分与玻璃面板P碰撞。与考虑到调制器120的摇晃而将调制器120水平移动的速度设定得相对较低的传统技术相比而言，调制器120的水平移动速度可显著地增大。此外，与考虑调制器120的摇晃而将第一距离设定得相对较大的传统技术不同，在本发明中第一距离可设定得适当地短。

而且，在玻璃面板P与调制器120之间的距离从第一距离改变到第二距离时，因为可沿调制器120接近玻璃面板P的第二方向B向调制器120施加外力，因此可减少将玻璃面板P与调制器120之间的距离从第一距离改变到第二距离所需的时间。

下文，将参照图6详述根据本发明第二实施方式的阵列测试装置。在第二实施方式的描述中，相同参考标号将用于标示与第一实施方式相同的部件，将略去对这些相同部件的进一步解释。

在第二实施方式中，外力提供单元200可包括沿固定块110和移动块130的周缘方向绕调制器120设置的多个外力提供单元200。控制单元50根据各个外力提供单元200的位置而不同地控制从外力提供单元200产生的外力强度。

例如，如图6所示，外力提供单元200的多个第一磁性构件211和多个第二磁性构件212可沿固定块110和移动块130的周缘方向绕调制器120设置。优选地，第一磁性构件211和第二磁性构件212以规则间距设置。第一磁性构件211通过控制电路214连接到电源213。

控制单元50可单独地控制这些控制电路214。在控制单元50的控制下，各个控制电路214可单独地控制从电源213供应的电流，并将电流施加到对应的第一磁性构件211。因此，根据外力提供单元200的位置，第一磁性构件211与第二磁性构件212可在它们之间产生不同强度的排斥力(图4的构造中)或吸引力(图5的构造中)。

当测试模块输送单元60沿X轴方向移动固定块110、移动块130以及调制器120时，也即当调制器120水平移动以使其设置在与待测试玻璃面板P的目标部分相对应的位置时，加速力施加到调制器120和移动块130。当水平移动的调制器120停止时，减速力施加到调制器120和移动块130。由于施加到调制器120和移动块130的加速力，向下的力施加到调制器120的相对于调制器120移动方向的前部，且向上的力施加到调制器120的后部。此外，当调制器120和移动块130减速时，向上的力施加到调制器120的相对于调制器120移动方向的前部，且向下的力施加到调制器120的后部。因此，这种在加速或减速时施加到调制器120的力可使调制器120倾斜。

在根据第二实施方式的构造中，可响应于施加到调制器120的加速力或减速力而控制由外力提供单元200提供的外力的强度，使得即使当调制器120在水平移动时加速或移动的调制器120停止也可防止调制器120倾斜。

例如，当调制器120在水平移动时加速时，控制单元50减小设置在调制器120的相对于调制器120移动方向的前部的第一磁性构件211与第二磁性构件212之间的磁力强度，并增加设置在调制器120后部的第一磁性构件211与第二磁性构件212之间的磁力强度。这样，可响应于由加速力施加到调制器120的前部和后部的力之间的差异，而将不同强度的磁力施加到前部和后部。因此，可防止调制器120倾斜。

另一方面，当水平移动的调制器120停止时，控制单元50增加设置在调制器120的相对于调制器120移动方向的前部的第一磁性构件211与第二磁性构件212之间的磁力强度，并减小设置在调制器120的后部的第一磁性构件211与第二磁性构件212之间的磁力强度。因为也可响应于由减速力施加到前部和后部的力之间的差异而将不同强度的磁力施加到调制器120的前部和后部，故可防止调制器120倾斜。

如上所述，在根据第二实施方式的阵列测试装置中，外力提供单元200绕调制器120设置。根据外力提供单元200在水平移动时加速或停止移动，控制单元50控制外力提供单元200，使得由外力提供单元200施加到调制器120的外力强度不同。因此，在调制器120水平移动时加速或停止移动时可防止调制器120由于施加到调制器120的加速力或减速力而倾斜。

当然，在根据第二实施方式的阵列测试装置中，如果调制器120在即使没有加速力或减速力施加到调制器120时倾斜，则控制单元50单独地控制施加到各个外力提供单元200的外力强度，使得可控制调制器120的定向以使调制器120的面对玻璃面板P的表面与玻璃面板P的上表面平行。

下文，将参照图7至9详述根据本发明第三实施方式的阵列测试装置。在第三实施方式的描述中，相同参考标号将用于标示与第一和第二实施方式相同的部件，以及将略去对这些相同部件的进一步解释。

如图7和8所示，在根据第三实施方式的外力提供单元200中，第一磁性构件211与第二磁性构件212可包括永磁体。替代地，第一磁性构件211或第二磁性构件212可包括永磁体，而另一个可由能被磁体吸引的材料制成。

在这种构造中，在第一磁性构件211与第二磁性构件212之间产生预定强度的磁力。这种磁力作用为当玻璃面板P与调制器120之间的距离为第一距离时用于将调制器120保持在预定位置的力。此外，当玻璃面板P与调制器120之间的距离从第一距离调整为第二距离时，磁力变为调制器120借助于其而沿接近玻璃面板P的第二方向移动的力。

图7的构造与图4的构造相似。在第一磁性构件211与第二磁性构件212之间产生排斥力。类似地，图8的构造与图5的构造相似，其中在第一磁性构件211与第二磁性构件212之间产生吸引力。

控制第一磁性构件211与第二磁性构件212之间所产生的磁力强度实现当调制器120位于第一距离时对调制器120的竖直位置的调整，或者当玻璃面板P与调制器120之间的距离从第一距离调整到第二距离时对施加到调制器120的力的调整。

为此，可借助于固定螺钉、小型垫片环等手动地控制第一磁性构件211在固定块110中的位置或第二磁性构件212位于移动块130中的位置。

替代地，磁性构件移动装置可用于自动控制第一磁性构件211或第二磁性构件212的位置。在这种情况下，磁性构件移动装置连接到第一磁性构件211或第二磁性构件212，并沿第一磁性构件211与第二磁性构件212彼此接近或彼此移离的方向移动第一磁性构件211或第二磁性构件212。

如图9所示，举例而言，磁性构件移动装置215包括：致动器215a，其安装在固定块110中并产生线性驱动力；连接杆215b，其将线性驱动力从致动器215a传递到第一磁性构件211。详细而言，在固定块110的容纳部111的上端部中形成通孔216。第一磁性构件211以可滑动的方式设置在通孔216中。致动器215a可包括通过气压或液压操作的缸。而且，本发明并不局限于这种构造。例如，磁性构件移动装置215的致动器215a可包括转动马达，而连接杆215b可包括丝杠。转动马达转动连接杆215b，因此线性地移动第一磁性构件211，使得第一磁性构件211的位置可改变。这样，多种线性移动装置可用作磁性构件移动装置215。

磁性构件移动装置215由控制单元50控制。因此，在控制单元50的控制下调整第一磁性构件211的位置，使得可控制第一磁性构件211与第二磁性构件212之间的磁力强度。

同时，如图9所示，虽然磁性构件移动装置215图示为仅连接到第一磁性构件211，但本发明并不局限于这种构造。磁性构件移动装置215可仅连接到第二磁性构件212、或连接到第一磁性构件211和第二磁性构件212两者。

第三实施方式的操作和效果与第一实施方式相同。

同时，根据第三实施方式的外力提供单元200可包括以与第二实施方式相同的方式绕调制器120设置的多个外力提供单元200。当调制器120在水平移动时加速或水平移动的调制器120停止时，控制单元50可单独地控制外力提供单元200的第一磁性构件211与第二磁性构件212之间的距离，使得可单独地控制它们之间的磁力强度。由此，可防止调制器120由于施加到调制器120的加速力或减速力而倾斜。另外，可控制调制器120的定向以使调制器120的面对玻璃面板P的表面与玻璃面板P的上表面平行。

下文，将参照图10至12详述根据本发明第四实施方式的阵列测试装置。在第四实施方式的描述中，相同参考标号将用于标示与第一至第三实施方式相同的部件，且将略去对这些相同部件的进一步解释。

如图10至12所示，根据第四实施方式的外力提供单元200包括弹性构件220，当玻璃面板P与调制器120之间的距离在第一距离时，弹性构件220对移动块130提供弹力。

弹性构件220的材料是具有弹性的合成树脂。而且，本发明并不局限于此，诸如盘簧、板簧等不同种类的构件均可用作弹性构件220。

如图10和11所示，弹性构件220可安装在固定块110的容纳部111的上内表面中，上述上内表面面对移动块130的延伸部131的上表面。当玻璃面板P与调制器120之间的距离是第一距离时，弹性构件220接触移动块130，因此沿第二方向B向移动块130提供弹力。

替代地，如图12所示，弹性构件220可安装在移动块130的延伸部131的上表面中，上述上表面面对固定块110的容纳部111的上内表面。当玻璃面板P与调制器120之间的距离是第一距离时，弹性构件220接触固定块110，因此沿第二方向B向移动块130提供弹力。

这样，可以多种方式改变安装在固定块110与移动块130之间的弹性构件220的种类、形状或安装位置，只要弹性构件220可将弹力施加到移动块130即可。

在第四实施方式中，弹性构件220沿与第一方向A相反的第二方向B向移动块130提供外力(弹力)，其中第一方向A为调制器120由朝玻璃面板P排出的气体的压力而移离玻璃面板P所沿的方向。因此，当玻璃面板P与调制器120之间的距离位于第一距离时，由吹气单元140朝玻璃面板P排出的气体的压力沿第一方向A所产生的力，与由外力提供单元200的弹力沿第二方向B所产生的力，均施加到调制器120。由此，移动块130相对于固定块110的位置，换言之，调制器120相对于固定块110的位置，能够可靠地保持恒定。

此外，当玻璃面板P与调制器120之间的距离从第一距离改变到第二距离时，弹性构件220的弹力(例如盘簧的膨胀力)可沿第二方向B施加到移动块130，因此减少将玻璃面板P与调制器120之间的距离从第一距离改变到第二距离所花费的时间。

第四实施方式的操作和效果与上述实施方式相同。

下文，将参照图13和14详述本发明第五实施方式的阵列测试装置，相同参考标号将用于标示与第一至第四实施方式相同的部件，且将略去对这些相同部件的进一步解释。

如图13和14所示，根据第五实施方式的外力提供单元200包括第一吹气装置230，第一吹气装置230连接到固定块110并朝移动块130吹气。

第一吹气装置230包括；排气端口231，其形成在固定块110的容纳部111的上内表面内，并朝移动块130的延伸部131开口；通道232，其与排气端口231连通；以及供气单元233，其与通道232连通，并通过通道232将气体供应到排气端口231。通道232的至少一部分由例如柔性管的软性材料制成，以防止通道232妨碍移动块130的运动。供气单元233由控制单元50控制。可供应空气或惰性气体的吹风机或压缩机可用作供气单元233。

优选地，如图14所示，在延伸部131的面对排气端口231的上表面的一位置处形成凹部234，在所述位置处从排气端口231排出的气体碰撞延伸部131的上表面。凹部234使得可以更加准确地将从排气端口231排出的气体的力施加到移动块130。

在具有上述构造的第五实施方式中，当玻璃面板P与调制器120之间的距离是第一距离时，第一吹气装置230的排气端口231朝移动块130吹气，使得力沿第二方向B施加到调制器120。在第一距离保持恒定的状态下，由吹气单元140朝玻璃面板P排出的气体的压力沿第一方向A所产生的力，与由第一吹气装置230朝移动块130排出的气体的压力沿第二方向B所产生的力，均施加到调制器120。由此，当玻璃面板P与调制器120之间的距离是第一距离时，移动块130相对于固定块110的位置，换言之，调制器120相对于固定块110的位置，能够可靠地保持恒定。

此外，当玻璃面板P与调制器120之间的距离从第一距离改变到第二距离时，由第一吹气装置230朝移动块130排出的气体的压力用作沿调制器120接近玻璃面板P的第二方向B移动调制器120的力。因此，可减少将玻璃面板P与调制器120之间的距离从第一距离改变到第二距离所花费的时间。

根据第五实施方式的外力提供单元200可包括以与第二实施方式相同的方式绕调制器120设置的多个外力提供单元200。在这种情况下，当调制器120在水平移动时加速或水平移动的调制器120停止时，控制单元50单独地控制由外力提供单元200的第一吹气装置230排出的气体的压力。由此，可防止调制器120由于施加到调制器120的加速力或减速力而倾斜。另外，可控制调制器120的定向以使调制器120的面对玻璃面板P的表面与玻璃面板P的上表面平行。

第五实施方式的操作和效果与上述实施方式相同。

下文，将参照图15和16详述根据本发明第六实施方式的阵列测试装置。在第六实施方式的描述中，相同参考标号将用于标示与第一至第五实施方式相同的部件，且将略去对这些相同部件的进一步解释。

如图15和16所示，根据第六实施方式的外力提供单元200包括第二吹气装置240，第二吹气装置240连接到移动块130，并朝固定块110吹气。

第二吹气装置240包括：排气端口241，其形成在移动块130的延伸部131的上表面内，并朝固定块110的容纳部111的上内表面开口；通道242，其与排气端口241连通；以及供气单元243，其与通道242连通，并通过通道242将气体供应到排气端口241。通道242的至少一部分由例如柔性管的软性材料制成，以防止通道242妨碍移动块130的运动。供气单元243由控制单元50控制。可供应空气或惰性气体的吹风机或压缩机可用作供气单元243。

优选地，如图16所示，在容纳部111的面对排气端口241的上内表面的一位置处形成凹部244，在所述位置处从排气端口241排出的气体碰撞容纳部111的上内表面。凹部244使得可以更加准确地将从排气端口241排出的气体的力施加到固定块110，使得气体碰撞固定块110时的排斥力可更可靠地施加到移动块130。

在具有上述构造的第六实施方式中，当玻璃面板P与调制器120之间的距离是第一距离时，第二吹气装置240的排气端口241朝固定块110吹气，使得通过吹气而产生的排斥力沿第二方向B施加到调制器120。在第一距离保持恒定的状态下，由吹气单元140朝玻璃面板P排出的气体的压力沿第一方向A所产生的力，与由第二吹气装置240朝固定块110排出的气体的压力沿第二方向B所产生的力，均施加到调制器120。由此，当玻璃面板P与调制器120之间的距离是第一距离时，移动块130相对于固定块110的位置，换言之，调制器120相对于固定块110的位置，能够可靠地保持恒定。

此外，当玻璃面板P与调制器120之间的距离从第一距离改变到第二距离时，由第二吹气装置240朝固定块110排出的气体的压力成为沿调制器120接近玻璃面板P的第二方向B移动调制器120的力。因此，可减少将玻璃面板P与调制器120之间的距离从第一距离改变到第二距离所花费的时间。

根据第六实施方式的外力提供单元200可包括以与第二实施方式相同的方式绕调制器120设置的多个外力提供单元200。在这种情况下，当调制器120在水平移动时加速或水平移动的调制器120停止时，控制单元50单独地控制由外力提供单元200的第二吹气装置240排出的气体的压力，使得可防止调制器120由于施加到调制器120的加速力或减速力而倾斜。另外，可控制调制器120的定向以使调制器120的面对玻璃面板P的表面与玻璃面板P的上表面平行。

第六实施方式的操作和效果与上述实施方式相同。

下文，将参照图17至20详述根据本发明第七实施方式的阵列测试装置。在第七实施方式的描述中，相同参考标号将用于标示与第一至第六实施方式相同的部件，且将略去对这些相同部件的进一步解释。

如图17和18所示，根据第七实施方式的外力提供单元200包括设置在固定块110与移动块130之间的膨胀构件235。气体可从第一吹气装置230供应进膨胀构件235内。

详细而言，膨胀构件235内的空间连接到排气端口231，使得从排气端口231供应的气体的压力使膨胀构件235膨胀，如图18所示。膨胀构件235由能膨胀的合成树脂材料制成。

优选地，在延伸部131的面对排气端口231的上表面内形成容纳凹部236，使得膨胀的膨胀构件235的一部分可容纳进容纳凹部236内，因此能够可靠地将膨胀构件235的膨胀力传递到移动块130。

同时，与上述构造不同，外力提供单元200可构造为，使得膨胀构件245设置在固定块110与移动块130之间，如图19和20所示。气体可从第二吹气装置240供应进膨胀构件245内。

膨胀构件245内的空间连接到排气端口241，使得从排气端口241供应的气体的压力使膨胀构件245膨胀，如图20所示。膨胀构件245由能膨胀的合成树脂材料制成。

优选地，在容纳部111的面对排气端口241的上内表面内形成容纳凹部236，使得膨胀的膨胀构件245的一部分可容纳进容纳凹部246内，因此能够可靠地将膨胀构件245的膨胀力传递到移动块130。

在具有上述构造的第七实施方式中，如图18和20所示，当玻璃面板P与调制器120之间的距离是第一距离时，第一吹气装置230或第二吹气装置240的排气端口231、241排出气体，使得膨胀构件235、245膨胀。膨胀构件235、245的膨胀力施加到移动块130，使得调制器120沿第二方向B偏移。因此，在第一距离的状态下，由吹气单元140朝玻璃面板P排出的气体的压力沿第一方向A所产生的力、与由膨胀构件235、245的膨胀力沿第二方向B所产生的力，均施加到调制器120。由此，当玻璃面板P与调制器120之间的距离是第一距离时，移动块130相对于固定块110的位置，换言之，调制器120相对于固定块110的位置，能够可靠地保持恒定。

此外，当玻璃面板P与调制器120之间的距离从第一距离改变到第二距离时，膨胀构件235、245的膨胀力作用为沿调制器120接近玻璃面板P的第二方向B移动调制器120的力。因此，可减少将玻璃面板P与调制器120之间的距离从第一距离改变到第二距离所花费的时间。

根据第七实施方式的外力提供单元200可包括以与第二实施方式相同的方式绕调制器120设置的多个外力提供单元200。在这种情况下，当调制器120在水平移动时加速或水平移动的调制器120停止时，控制单元50单独地控制膨胀构件235、245膨胀的力，使得可防止调制器120由于施加到调制器120的加速力或减速力而倾斜。另外，可控制调制器120的定向以使调制器120的面对玻璃面板P的表面与玻璃面板P的上表面平行。

第七实施方式的操作和效果与上述实施方式相同。

本发明的实施方式中所述的技术主旨可独立地实施，或者可结合地实施。

如上所述，根据本发明的阵列测试装置包括外力提供单元，上述外力提供单元沿与第一方向相反的第二方向施加外力到移动块，其中第一方向是调制器由朝玻璃面板排出的气体的压力而移离玻璃面板所沿的方向。当玻璃面板与调制器之间的距离是容许调制器水平移动的距离时，外力提供单元施加外力到移动块，使得移动块相对于固定块的位置，换言之，调制器的位置，能够可靠地保持恒定。因此，当调制器水平移动时，可防止调制器摇晃，因此防止由于调制器的摇晃而引起调制器的一部分与玻璃面板碰撞的情况。与考虑调制器的摇晃而将调制器水平移动的速度设定得相对较低的传统技术相比，可显著地增大调制器的水平移动速度。再者，与考虑调制器的摇晃而将第一距离设定得相对较大的传统技术不同，在本发明中第一距离可设定得适当地短。

此外，假定当调制器已移离玻璃面板以容许调制器水平移动时玻璃面板与调制器之间的距离称作第一距离，且当调制器已接近玻璃面板以容许测试玻璃面板时玻璃面板与调制器之间的距离称作第二距离，则当玻璃面板与调制器之间的距离从第一距离改变到第二距离时，外力提供单元可沿调制器接近玻璃面板的方向施加外力到调制器。因此，可显著地减少玻璃面板与调制器之间的距离从第一距离改变到第二距离所花费的时间。

虽然为了例示目的已公开了本发明的优选实施方式，但本领域技术人员将了解，在不脱离所附权利要求公开的本发明的范围和主旨的情况下可以进行各种修改、添加和替代。

Claims (13)

1.一种阵列测试装置，包括：

调制器，所述调制器面对玻璃面板设置；

固定块，所述固定块绕所述调制器设置；

移动块，所述移动块联接到所述调制器，所述移动块由所述固定块支撑以能被抬升；

吹气单元，所述吹气单元朝所述玻璃面板吹气，使得所述调制器沿远离所述玻璃面板的第一方向移动；

外力提供单元，所述外力提供单元设置在所述固定块与所述移动块之间，所述外力提供单元将外力施加到所述移动块，使得移动块沿与所述第一方向相反的第二方向移动；以及

控制单元，所述控制单元控制所述外力的强度；

其中，所述外力提供单元包括沿所述固定块和所述移动块的周缘方向绕所述调制器设置的多个外力提供单元，并且

从所述外力提供单元产生的外力的强度被单独地控制。

2.如权利要求1所述的阵列测试装置，其中，所述外力提供单元包括：

第一磁性构件和第二磁性构件，所述第一磁性构件和所述第二磁性构件设置在所述固定块和所述移动块内使得所述第一磁性构件面对所述第二磁性构件，所述第一磁性构件和所述第二磁性构件在所述固定块与所述移动块之间产生磁力。

3.如权利要求2所述的阵列测试装置，其中，所述第一磁性构件和/或所述第二磁性构件包括电磁体。

4.如权利要求2所述的阵列测试装置，其中，所述第一磁性构件和/或所述第二磁性构件包括永磁体，并且

所述外力提供单元包括连接到所述第一磁性构件和/或所述第二磁性构件的磁性构件移动装置，所述磁性构件移动装置沿所述第一磁性构件和所述第二磁性构件彼此接近或彼此远离的方向移动所述第一磁性构件和/或所述第二磁性构件。

5.如权利要求1所述的阵列测试装置，其中，假定当所述调制器已移离所述玻璃面板以容许所述调制器水平移动时所述玻璃面板与所述调制器之间的距离称作第一距离，且当所述调制器已接近所述玻璃面板以容许测试所述玻璃面板时所述玻璃面板与所述调制器之间的距离称作第二距离，

所述外力提供单元包括弹性构件，当所述玻璃面板与所述调制器之间的距离是所述第一距离时，所述弹性构件将弹力提供到所述移动块。

6.如权利要求1所述的阵列测试装置，其中，所述外力提供单元包括：

连接到所述固定块的第一吹气装置，所述第一吹气装置朝所述移动块吹气。

7.如权利要求6所述的阵列测试装置，其中，所述移动块的由所述第一吹气装置吹出的气体碰撞所述移动块的部分形成有凹部。

8.如权利要求6所述的阵列测试装置，其中，所述固定块和所述移动块之间设置有膨胀构件，且从所述第一吹气装置吹出的气体供应进所述膨胀构件内。

9.如权利要求1所述的阵列测试装置，其中，所述外力提供单元包括：

连接到所述移动块的第二吹气装置，所述第二吹气装置朝所述固定块吹气。

10.如权利要求9所述的阵列测试装置，其中，所述固定块的由所述第二吹气装置吹出的气体碰撞所述固定块的部分形成有凹部。

11.如权利要求9所述的阵列测试装置，其中，所述固定块和所述移动块之间设置有膨胀构件，且从所述第二吹气装置吹出的气体供应进所述膨胀构件内。

12.如权利要求1所述的阵列测试装置，假定当所述调制器已移离所述玻璃面板以容许所述调制器水平移动时所述玻璃面板与所述调制器之间的距离称作第一距离，且当所述调制器已接近所述玻璃面板以容许测试所述玻璃面板时所述玻璃面板与所述调制器之间的距离称作第二距离，

其中，所述控制单元控制所述外力提供单元的操作，使得当所述调制器沿所述第二方向移动以使所述玻璃面板与所述调制器之间的距离从所述第一距离改变到所述第二距离时外力施加到所述移动块。

13.如权利要求1所述的阵列测试装置，假定当所述调制器已移离所述玻璃面板以容许所述调制器水平移动时所述玻璃面板与所述调制器之间的距离称作第一距离，且当所述调制器已接近所述玻璃面板以容许测试所述玻璃面板时所述玻璃面板与所述调制器之间的距离称作第二距离，

其中，所述控制单元控制所述外力提供单元的操作，使得当所述玻璃面板与所述调制器之间的距离是所述第一距离时外力施加到所述移动块。