CN101713894A - 阵列测试装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种阵列测试装置。固定块沿至少一个方向平行移动。可提升地接合于固定块下部的调制块与形成在基板上的电极形成电场并根据电场强度检测基板的任何缺陷。空气轴承插在固定块与调制块之间并且防止调制块在移动时振动。由于在将调制块接合于固定块时空气轴承的喷射流中心位于调制块的重心高度处，因此减小了调制块在移动时的振动。此外，由于缩短了稳定时间，因此可以高速进行阵列测试。

Description

阵列测试装置

相关申请交叉参考

本申请要求于2008年10月6日提交的第10-2008-0097723号韩国专利申请的优先权，其公开内容整体结合于此作为参考。

技术领域

本发明涉及一种用于检测形成在基板上的电极的电缺陷的阵列测试装置。

背景技术

用于接收电能并发射光的电光装置包括平板显示器，诸如液晶显示器(LCD)、等离子显示面板(PDP)等等。

通常，电光装置包括上面形成有多个电极的基板。例如，薄膜晶体管(TFT)LCD基板包括：TFT基板；彩色基板，其上形成有滤色片和共用电极并且该彩色基板与TFT基板相对；液晶，注射于TFT基板与彩色基板之间；以及背光。

通过阵列测试装置来检测形成在基板上的电极的缺陷。这种阵列测试装置包括调制块。调制块包括用于与基板的电极形成电场的调制电极以及根据电场强度改变物理特性的物理特性改变单元。

当调制块在基板上方从基板的一部分移动至另一部分时，其对基板上电极的任何缺陷进行检测。

在阵列测试期间，调制块应当被设置为最大程度地邻近基板以便与基板的电极形成电场，此外调制块在移动时应当与基板间隔开以防止调制块划伤基板。因此，调制块可提升地接合于固定块。

然而，当调制块在移动时，由于来自于与固定块接合的接合部的转矩而左右振动。

因此，从调制块到达待测试基板上方至调制块完全停止的稳定时间太长，导致测试时间延长。

此外，当对大尺寸基板进行测试时，调制块移动的次数必然比在小尺寸基板中移动的次数多，在这种情况下，由于这种稳定时间的增加而导致的测试时间的延长变得更为严重。

发明内容

下面的描述涉及一种阵列测试装置，其中，调制块在移动时的振动降低，从而缩短了稳定时间。

根据示例性方面，提供一种阵列测试装置，包括：固定块，沿至少一个方向水平移动；调制块，可提升地接合于固定块的下部，与形成于基板上的电极形成电场且根据电场强度检测基板的任何电缺陷；以及至少一个空气轴承，插在固定块与调制块之间，并防止调制块在移动时振动，其中，在将调制块接合于固定块之后，至少一个空气轴承的喷射流中心的高度等于调制块的重心的高度。

本发明的其他方面将在下面的描述中进行阐述并且通过该描述而部分地显而易见，或者可以通过对本发明的实践而获知。

应当理解，在前的一般性描述和下面的详细描述都是示例性和说明性的，且旨在对所要求保护的本发明提供进一步说明。

附图说明

附图示出了本发明的示例性实施例且与描述内容一起用于说明本发明的各方面，将这些附图包括进来以提供对本发明的进一步理解，并且这些附图被结合进来并构成本说明书的一部分。

图1是根据实施例的阵列测试装置的透视图；

图2是根据实施例在图1中所示测试模块的透视图；

图3A和图3B是用于说明其中图2所示调制块被提升到固定块上的结构的截面图；

图4是图2中所示调制器的分解透视图；以及

图5是沿图2中的线V-V截取的截面图。

具体实施方式

下面参照示出本发明示例性实施例的附图更全面地描述本发明。然而，本发明可以以多种不同形式实施且不应被认为局限于在此所阐述的示例性实施例。相反，提供这些示例性实施例是为了使本公开充分并将本发明的范围全面传达给本领域技术人员。在附图中，为清楚起见，可能放大了层和区域的尺寸及相对尺寸。附图中的相同参考标号表示相同元件。

图1是根据实施例的阵列测试装置100的透视图，其中，阵列测试装置100用于检测形成在基板10上的电极的电缺陷。

基板10可以是包含在平板显示面板中的面板。例如，基板10是薄膜晶体管液晶显示器(TFT LCD)基板的TFT面板。

阵列测试器100包括装载单元110、测试单元120、卸载单元130以及至少一个测试模块140。

装载单元110可包括至少两个装载板111。装载板111以预定间隔并排布置，从而使得待测试基板由装载板111支撑并被移动至测试单元120。

测试单元120放置在装载单元110的一侧，并检测通过装载板111传输的面板的电缺陷。

卸载单元130放置在测试单元120的一侧，并接收检测后的基板且将该基板卸载到外部。卸载单元130可包括卸载板131，检测后的基板放置在卸载板上，并且基板从该卸载板上浮起一预定间隔并被移至外部。

在这种情况下，装载单元110的装载板111和卸载单元130的卸载板131都具有穿过这些板的多个气孔112和132，用于朝向基板提供压力以移动基板。此外，装载单元110和卸载单元130中的每一个均可包括用于将基板吸附在其上的至少一个吸附板101。

测试模块140设置在测试单元120上方和/或下方，且检测放置在测试板上的基板的电极的电缺陷。

此外，测试模块140可沿X轴轨道102在X轴方向上移动。而且，基板可经由装载单元110、测试单元120、以及卸载单元130在Y轴方向上传输。因此，测试模块140可在相对于基板移动的同时测试基板的电极。然而，也可以将基板固定地放置在固定支撑板上，并且测试模块140沿X轴和Y轴方向在基板上方移动，以检测形成在基板上的电极的缺陷。

下面参照图2详细描述测试模块140。如图2中所示，测试模块140包括固定块141和调制块146。固定块141可呈空心管状，以使得可以将调制块146暴露于外部成像装置，成像装置149可设置在固定块141上。

可提升地接合于固定块141的调制块146与基板的电极形成电场，并且根据电场强度检测电极的任何缺陷。

即，如果在调制块146被设置为邻近基板时对调制块146的调制电极和基板的电极施加预定电压，则在调制块146的调制电极与基板的电极之间产生电场。基板的电极中存在缺陷时所产生电场的强度低于基板的电极中不存在缺陷时所产生电场的强度。因此，根据所检测到的电场强度来确定基板的电极中是否存在缺陷。

为了在检测基板的电极的任何缺陷时在调制电极与基板的电极之间形成足够的电场并且为了防止调制块146划伤基板，调制块146必须最大程度地邻近基板而设置，与基板之间的间隙为几μm或几十μm。

此外，当基板相对于调制块146移动以测试基板的另一部分上的电极时，基板与调制块146之间的间隙必须增大。

为了调节基板与调制块146之间的间隙，调制块146包括用于朝向基板喷射具有预定压力的气体的喷射单元(未示出)。喷射单元可以这样的方式设置，即，喷射相对低压气体的低压喷射单元与喷射相对高压气体的高压喷射单元交替布置。

在这种情况下，当基板和调制块146相对移动时，所有的低压喷射单元和高压喷射单元都操作以增大基板与调制块146之间的间隙，并且当对基板的电极的任何缺陷进行检测时，只有低压喷射单元操作以使基板与调制块146之间的间隙最小。操作喷射单元的方法并不局限于上述实例。

调制块146可以各种方式可提升地接合于固定块141。作为实例，如图3A和图3B所示，调制块146上固定有导向件151，并且导向件151的一部分插在形成于固定块141中的导向槽142内。即，导向件151的下部通过螺钉固定于调制块146，而导向件151的上部插在导向槽142内以使导向件151的上部能在导向槽142内自由提升。

在导向槽142上形成有锁定爪143，以使调制块146不会偏离固定块141。导向件151的上部弯曲以被锁定爪143钩住。因此，由于调整块146不与固定块141偏离，因此导向件151的上部沿导向槽142在预定区域内自由提升，从而使得可以调节固定块141与调制块146之间的间隙K1或K2。

在固定块141的至少三侧中形成有至少三个导向槽142，从而使得可以将调制块146稳固地接合于固定块141，并且可以分别对应于三个导向槽142安装三个导向件151。

在固定块141与调制块146之间插入有多个空气轴承156。下面参照图4和图5描述空气轴承156。空气轴承156用于防止调制块146在移动时振动。

即，当调制块146在对基板的一部分进行测试后移动至另一测试位置时，调制块146可能会由于来自于与固定块141接合的接合部的沿Z轴方向的转矩而左右振动。空气轴承156用于使这种振动最小化并缩短稳定时间。

为了增强该效果，在调制块146中安装四个空气轴承156，以将外部提供的气体向外朝向调制块146的四个横向侧部喷射。

具体地，用于向空气轴承156提供气体的多根管157固定于固定块141且支撑空气轴承156，并且空气轴承156可分别容纳在形成于调制块146中的容纳孔147中。此处，容纳孔147可分别形成在调制块146的上侧拐角附近。此外，当空气轴承156分别容纳在容纳孔147中时，空气轴承156的喷射方向面对调制块146的四个横向侧部。

因此，通过空气轴承156喷射的空气将调制块146的由于沿Z轴方向的转矩所造成的振动最小化，且因此缩短了稳定时间。

此外，其中空气轴承156分别容纳在调制块146的容纳孔147中并且将空气向外朝向调制块146的横向侧部喷射的结构有助于减小固定块141的尺寸和重量。

作为比较实例，如果固定块具有围绕调制块且其中空气轴承固定在固定块的横向侧部上以向内朝向调制块喷射气体的结构的话，将需要重且大的固定块。因此，与该比较实例相比，根据本实施例的固定块141在尺寸和重量方面很有利。

此外，由于空气轴承156的气体喷射方向是向外的，因而与气体喷射方向向内的情况相比，在基板与调制块146之间进入杂质的可能性较小。因此，可以更加稳定地对基板的电极进行缺陷检测。

同时，容纳孔147可成对地形成于调制块146的两个对角附近。此外，可在空气轴承156与容纳孔157的内壁之间插入用于稳定地支撑空气轴承156的支撑件158。

当调制块146接合于固定块141时，空气轴承156被放置在对应于调制块146的重心C1的高度处。此处，每个空气轴承156的喷射流的中心C2被设置在对应于调制块146的重心C1的高度处。因此，可以减小调制块146由于沿X轴方向和/或沿Y轴方向的转矩所引起的振动，且因此可以缩短稳定时间。

当将该实施例与其中空气轴承156的喷射流中心C2低于或高于调制块146的重心C1的高度的情况相比时，将很容易理解这些效果。在比较实例中，调制块146可能受由空气轴承156喷射的气压而导致的沿X轴和/或沿Y轴方向的转矩的影响。这种转矩被累加至调制块146移动时所产生的转矩，从而加大了调制块146的振动，这使得稳定时间延长。

同时，根据该实施例，由于空气轴承156的喷射流中心C2被设置在对应于调制块146的重心C1的高度处，因此可以使由空气轴承156所喷射气体的压力造成的转矩的影响最小化。因此，可以使调制块146的振动最小化并缩短稳定时间。

同时，可以进一步设置有用于改变调制块146的重心C1高度的重心调节单元160。在组装空气轴承156之后，当空气轴承156的喷射流中心C2低于或高于调制块146的重心C1时，重心调节单元160改变调制块146的重心C1的高度并使调制块146的重心C1与空气轴承156的喷射流中心C2一样高。

如图4中所示，重心调节单元160可包括杆接合件161和用于调节重心的杆162。杆接合件161可形成在调制块146上。杆162具有能与杆接合件161可拆卸地接合的结构。下面详细描述利用重心调节单元160改变调制块146的重心C1高度的过程。

首先，在将杆162接合于杆接合件161时确定调制块146的重心C1的高度，并且将空气轴承156装配成与重心C1的设定高度对应。在装配了空气轴承156之后，如果空气轴承156的喷射流中心C2高于或低于调制块146的重心C1，则将杆162与杆接合件161分离。

接着，通过将比杆162轻或重的另一杆接合于杆接合件161以使调制块146的重心C1能与空气轴承156的喷射流中心C1匹配，可以改变调制块146的重心C1的高度。在此，重心调节单元160并不局限于上述实例。此外，可以将两个重心调节装置160分别设置在调制块146的两侧上，以使调制块146平衡。

根据该实施例，通过在调制块的重心高度处设置空气轴承，当调制块移动时，可以减小调制块的振动。此外，由于稳定时间缩短，因而可高速进行阵列测试。

显然，对于本领域技术人员来说，在不背离本发明精神或范围的情况下，可以对本发明做出各种修改和改动。因此，如果对该发明的修改和改动落入所附权利要求及其等同物的范围之内，则本发明就覆盖这些修改和改动。

Claims (5)

1.一种阵列测试装置，包括：

固定块，沿至少一个方向水平移动；

调制块，可提升地接合于所述固定块的下部，与形成在基板上的电极形成电场并根据所述电场的强度检测所述基板的任何电缺陷；以及

至少一个空气轴承，插在所述固定块与所述调制块之间，并且防止所述调制块在移动时振动，

其中，在将所述调制块接合于所述固定块之后，所述至少一个空气轴承的喷射流中心的高度等于所述调制块的重心的高度。

2.根据权利要求1所述的阵列测试装置，进一步包括调节所述调制块的重心高度的重心调节单元。

3.根据权利要求2所述的阵列测试装置，其中，所述重心调节单元包括：

杆接合件，形成在所述调制块上；以及

杆，用于调节所述重心，可拆卸地接合于所述杆接合件。

4.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，设置有四个空气轴承，以将从外部提供的气体向外朝向所述调制块的四个横向侧部喷射。

5.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，在所述固定块上形成有具有锁定爪的导向槽，所述阵列测试装置进一步包括导向件，所述导向件的下部固定于所述调制块，且所述导向件的上部插入所述导向槽内以在所述导向槽内自由提升且被弯曲以由所述锁定爪钩住，从而使得所述调制块可提升地接合于所述固定块。

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