KR100916130B1 - 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈 - Google Patents

평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 반입 또는 반출시 이 기판의 반입 또는 반출 높이까지 승강하도록 구비되는 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈에 관한 것이다.
즉, 본 발명은 평판표시소자 제조장치의 챔버 내부에 설치되어 기판이 승강되게 하는 리프트 핀 모듈에 있어서, 상기 리프트 핀 모듈은, 다수개가 일정 간격으로 스테이지에 배열되는 리프트 핀; 상기 리프트 핀 중 이웃한 복수개씩 묶어 연동되면서 승강될 수 있도록 각각의 리프트 핀 하단이 상면에 고정되고 저면에 연장축이 형성되는 고정 플레이트; 상기 고정 플레이트의 연장축이 챔버 바닥을 통해 외부까지 연장되며 연장되어 노출된 부분을 밀폐시키되 하나에 의해 그룹을 지은 리프트 핀들에 공동으로 사용되는 벨로우즈; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈에 관한 것이다.
평판표시소자 제조장치, 리프트 핀 모듈, 리프트 핀, 고정 플레이트, 연장축, 벨로우즈, 그룹

Description

평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈{LIFT PIN MODULE OF FPD MANUFACTURING MACHINE}
도 1은 종래에 따른 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈을 도시한 측단면도이다.
도 2는 상기 리프트 핀 모듈이 하부전극에 장착된 상태를 도시한 횡단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈을 도시한 측단면도이다.
도 4는 상기 리프트 핀 모듈이 하부전극에 장착된 상태를 도시한 횡단면도이다.
도 5a 및 도 5b는 상기 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈을 도시한 사시도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
114, 116 : 상, 하부 챔버 124a : 리프트 핀
124b : 고정 플레이트 124c : 연장축
126 : 리프트 핀 고정 플레이트 B : 벨로우즈(Bellows)
본 발명은 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 반입 또는 반출시 이 기판의 반입 또는 반출 높이까지 승강하도록 구비되는 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Device), PDP(Plasma Display Panal) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시 장치로 활용되고 있다.
상기의 표시 장치 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송 신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.
이와 같이 액정표시소자는 여러 분야에서 화면 표시장치로서 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 특징 및 장점과 배치되는 면이 많이 있다. 따라서, 액정표시소자가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저소비전력의 특징을 유지하면서도 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.
여기서, 상기 액정표시소자는 전극이 형성되어 있는 TFT(Thin Film Transistor) 기판과 형광체가 도포된 CF(Color Filter) 기판 사이에 주입되어 있는 액정 물질을 포함하며, 두 기판 가장자리에 액정 물질을 가두는 봉인재로 결합하여 있으며 두 기판 사이에 산포되어 있는 간격재에 의해 지지가 되고 있다.
그리고 두 기판 사이에 주입되어 있는 이방성 유전율을 갖는 액정 물질에 전극을 이용하여 전원을 인가하고, 이 전원의 세기를 조절하여 기판에 투과되는 빛의 양을 조절함으로써 화상을 표시한다.
상기와 같은 액정표시장치를 제조하기 위해서는 많은 장비들이 필요로 하고, 이 중에서 두 개의 기판을 합착하는 합착기도 중요한 장비에 해당한다.
종래의 평판표시소자 제조장치는 기판 합착기를 예를 들며 도 1에 도시된 바와 같이, 크게는 하부 베이스(10)와, 상기 하부 베이스(10)와 이격된 상태로 마련되는 상부 베이스(12)와, 상기 상부 베이스(12)의 상부 영역에 마련되는 상, 하부 챔버(14, 16)와, 상기 상, 하부 챔버(14, 16)내 상부 영역과 하부 영역에 마련되는 상, 하부 스테이지(18, 20)로 이루어지며, 상기 상, 하부 챔버(14, 16) 내에 반입되는 두 개의 기판(TFT 어레이 기판과 컬러필터 기판 : S)을 상부 스테이지(18)와 하부 스테이지(20)에 수평으로 배치한 후 상하로 합착하는 구조로 되어있다.
그리고 상기 상, 하부 챔버(14, 16)의 내부에 기판(S) 반입 또는 반출시 상기 상부 챔버(14)를 승강시키는 승강수단(30)이 상부 챔버(14)의 저면 모서리 영역에 각각 마련된다.
그리고 상기 상부 스테이지(18)의 하부 영역과 하부 스테이지(20) 상부 영역 에는 로딩된 기판(S)이 안착되고 일차적으로 가흡착시키는 리프트 핀(22, 24)이 다수개 마련되며, 이러한 리프트 핀(22, 24)은 상, 하부 챔버(14, 16)의 외부로 노출되는 상, 하부 끝단에서 하나의 리프트 핀 고정 플레이트(26, 28)에 의해 일률적으로 고정되고 이동된다.
즉, 상기 상, 하부 스테이지(18, 20)를 두께 방향으로 관통하여 형성된 다수개의 리프트 핀 홀을 통과할 수 있도록 소정 간격을 갖는 다수개의 리프트 핀(Lift pin : 22, 24)을 구비시켜 이 리프트 핀(22, 24)이 그 리프트 핀 홀을 따라 상승 및 하강하면서 기판(S)을 들어올리거나 상, 하부 챔버(14, 16)의 내부로 반입된 기판(S)을 상, 하부 스테이지(18, 20) 상에 안착시키는 역할을 하게 된다.
더욱이, 상기 리프트 핀(22, 24)은 상, 하부 챔버(14, 16) 외부에서 운송 수단(도면에 미도시)에 의하여 반입된 기판(S)을 소정 높이 만큼 들어올린 후, 운송 수단이 상, 하부 챔버(14, 16) 밖으로 퇴피하면 그 기판(S)을 하강시켜 상, 하부 스테이지(18, 20) 상에 적재하는 역할을 한다.
이때, 상기 리프트 핀(22, 24)은 하나의 상, 하부 스테이지(18, 20)에 다수개가 구비되지만, 다수개의 리프트 핀(22, 24)이 동시에 상승하거나 하강하여야 한다.
따라서, 상기 상, 하부 스테이지(18, 20) 외부 상, 하측에 다수개의 리프트 핀(22, 24) 전체와 결합하는 리프트 핀 고정 플레이트(26, 28)가 마련되고, 이 리프트 핀 고정 플레이트(26, 28)를 별도의 구동수단(도면에 미도시)에 의해 상승시킴으로써 이 구동수단에 의해 다수개의 리프트 핀(22, 24)이 동시에 상승하게 된 다.
한편, 상기 리프트 핀(22, 24)은 다수개가 상, 하부 챔버(14, 16)의 상, 하벽을 관통하여 이 상, 하부 챔버(14, 16)의 하측까지 연장되도록 위치되며, 각각의 리프트 핀(22, 24)의 하부 영역에 고정되도록 구비되는 리프트 핀 고정 플레이트(26, 28)는 상, 하부 챔버(14, 16)의 상, 하측 외부에 구비되는 것이다.
여기서, 상기 리프트 핀(22, 24)에서 상, 하부 챔버(14, 16)의 상, 하측으로 노출되는 부분 즉, 상기 상, 하부 챔버(14, 16)의 상, 하면과 리프트 핀 고정 플레이트(26, 28)의 사이에 노출되는 리프트 핀(22, 24)을 감싸도록 벨로우즈(Bellows : B)가 마련된다.
이러한 벨로우즈(B)는 다수개의 리프트 핀(22, 24)이 상승, 하강시 수축하게 되고, 이 리프트 핀(22, 24)의 하강시 이완하게 되며, 상, 하부 챔버(14, 16) 내부의 진공 상태를 유지하게 하는 기능을 하게 된다.
여기서, 상기 기판(S)의 합착 수행 전 하부 스테이지(20)에 배치된 기판(S)을 정확한 위치로 정렬하는 스테이지 어라인(Align) 과정이 포함되며, 이러한 기판(S)의 정렬은 하부 챔버(16)의 이웃된 측벽 세 지점에 접한 상태로 마련되는 정렬수단에 의해 실시된다.
상기 정렬수단은 적층된 상, 하부 챔버(14, 16) 중 하부 챔버(16)에 직접적으로 접한 상태로 상부 베이스(12)의 상부 영역에 고정되며, 편심되게 마련되는 캠(Cam)과, 상기 캠에 회전력을 부여하는 구동부로 이루어진다.
그러나 도 2에 도시된 바와 같이 상기 리프트 핀(22, 24)에는 이 리프트 핀 (22, 24)의 수량만큼 벨로우즈(B)가 필요함에 따라 상기 벨로우즈(B) 증가에 따른 원가 상승과 외부 손상에 의한 누출 발생률이 상승하고 장비의 구조가 복잡해지며 유지 보수가 어려운 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 다수개 중 이웃한 복수 개의 리프트 핀을 하나의 벨로우즈를 공동으로 이용하여 원가 절감과 누출 발생률이 감소하고 장비 구조의 단순화 및 유지 보수가 용이할 수 있게 한 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈을 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 평판표시소자 제조장치의 챔버 내부에 설치되어 기판이 승강되게 하는 리프트 핀 모듈에 있어서, 상기 리프트 핀 모듈은, 다수개가 일정 간격으로 스테이지에 배열되는 리프트 핀; 상기 리프트 핀 중 이웃한 복수개씩 묶어 연동되면서 승강될 수 있도록 각각의 리프트 핀 하단이 상면에 고정되고 저면에 연장축이 형성되는 고정 플레이트; 상기 고정 플레이트의 연장축이 챔버 바닥을 통해 외부까지 연장되며 연장되어 노출된 부분을 밀폐시키되 하나에 의해 그룹을 지은 리프트 핀들에 공동으로 사용되는 벨로우즈; 를 포함하여 이루어짐으로써, 다수개의 리프트 핀을 적정 개수씩 분할하여 그룹을 형성하고 이 그룹을 일률적으로 승강시킬 수 있도록 상기 리프트 핀의 저면에 고정 플레이트를 부착하되 상기 고정 플레이트의 연장축에 하나의 벨로우즈를 공동으로 사용하여 상기 벨로우즈의 개수를 현저히 줄일 수 있으므로 바람직하다.
이하, 본 발명의 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈을 첨부도면을 참조하여 일 실시 예를 들어 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치는 도 3에 도시된 바와 같이 하부 베이스(110)와 상부 베이스(112)와 상, 하부 챔버(114, 116)와 상, 하부 스테이지(118, 120) 리프트 핀 고정 플레이트(126, 128)와 승강수단(130) 및 리프트 핀 모듈로 구성되며, 리프트 핀 모듈을 제외한 나머지 구성요소는 종래의 그것과 동일한 구조와 기능을 하므로 상세한 설명은 생략한다.
한편, 도 3에 도시된 리프트 핀(124a)은 도 4에 도시된 리프트 핀(124a) 중일부만 도시한다.
상기 리프트 핀 모듈은 도 4와 도 5a, b에 도시된 바와 같이 리프트 핀(124a)과 고정 플레이트(124b) 및 연장축(124c)으로 구성되며 상기 리프트 핀(124a)은 직립된 핀 형상으로 상, 하부 스테이지(118, 120)의 두께 방향으로 이 리프트 핀(124a)이 삽입될 리프트 핀 구멍이 일정 간격으로 형성되어 이 리프트 핀 구멍에 각각이 삽입된 상태로 구비된다.
여기서, 상기 리프트 핀(124a)은 2개 내지 5개씩 그룹을 지어 고정 플레이트(124b)에 고정되며, 종방향 또는 횡방향 또는 종방향과 횡방향이 서로 교차하는 교차형상 중 선택되는 어느 한가지 형상으로 그룹을 만든다.
상기 고정 플레이트(124b)는 다수개 중 이웃한 복수 개씩 묶어 연동되면서 승강될 수 있도록 각각의 리프트 핀(124a) 하단이 상면에 고정되고 저면에 연장축(124c)이 각각 형성된다.
역으로, 상, 하부 챔버(114, 116)내 상측에 구비되는 리프트 핀 모듈의 고정 플레이트(124b)도 다수개 중 이웃한 복수 개씩 묶어 연동되면서 승강될 수 있도록 각각의 리프트 핀(124a) 상단이 저면에 고정되고 상면에 연장축(124c)이 각각 형성된다.
또한, 상기 고정 플레이트(124b)는 상기 리프트 핀(124a)의 그룹 배치에 상응하는 형상으로 종방향 또는 횡방향 또는 종방향과 횡방향이 서로 교차하는 ＋ 형상 또는 × 형상으로 형성된다.
그리고 상기 고정 플레이트(124b)는 상부 챔버(114)와 상부 스테이지(118)와의 사이와, 하부 챔버(116)와 하부 스테이지(120)의 사이 공간인 상, 하부 챔버(114, 116) 내부에 위치된다.
한편, 상기 상, 하부 스테이지(118, 120)를 여러 구역으로 분할하고 그 분할된 구역마다 구비되는 리프트 핀(124a)들을 일률적으로 승강시킬 수 있도록 고정 플레이트(124b)에 고정하며 상기 고정 플레이트(124b)의 저면 중심부에 연장축(124c)이 형성되어 결국 상, 하부 챔버(114, 116)의 외부로 상기 연장축(124c)이 노출된다.
이때, 상기 상, 하부 챔버(114, 116)의 외부 상하을 향해 돌출된 각각의 연장축(124c)의 끝단마다 상측과 하측의 리프트 핀 고정 플레이트(126, 128)에 고정하게 되며 상부 베이스(112)의 저면과 하측의 리프트 핀 고정 플레이트(126) 상면 사이에 벨로우즈(B)가 연장축(124c)을 감싸도록 구비하고 상기 상부 챔버(114)의 리드 상면과 상측의 리프트 핀 고정 플레이트(128) 저면 사이에 벨로우즈(B)가 연장축(124c)을 감싸도록 구비하게 된다.
결국, 그룹을 이룬 적정 개수의 상기 리프트 핀(124a)이 상, 하부 챔버(114, 116)의 외부로 노출되는 것이 아니라 상기 리프트 핀(124a)이 다수개로 이루어진 그룹별 고정 플레이트(124b)의 연장축(124c)이 외부로 노출됨에 따라 각각의 연장축(124c)에 공동으로 사용될 수 있는 벨로 우즈(B)를 구비하여 상기 벨로우즈(B)의 사용 개수가 현저히 감소된다.
다만, 다수개의 리프트 핀(124a)이 고정된 고정 플레이트(124b)의 연장축(124c)들이 리프트 핀 고정 플레이트(126, 128)에 각각 고정되어 상기 리프트 핀 고정 플레이트(126, 128)에 의해 일률적으로 승강되는 것이다.
본 발명에서는 상기 리프트 핀(124a)의 개수를 36개로 예를 들어 설명하였으나 그 개수의 증감이 가능하며 상기 리프트 핀(124a)의 그룹별 개수도 상, 하부 스테이지(118, 120)의 양단은 5개씩 분할하고 중간단은 3개씩 분할하였으나 변경 실시가 가능하다.
한편, 상기 리프트 핀 모듈의 적용은 기판(S)의 반입 또는 반출하는 장비에 적용이 가능하며, 일 예로 기판 합착기 또는 에쳐(Etcher) 장비에 적용이 가능하다.
그러므로 본 발명의 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈은 도 3 내지 도 5a, b에 도시된 바와 같이 기판(S)의 반입 또는 반출시 상기 기판(S)의 반입 또는 반출 높이까지 승강하게 되며 다수개의 리프트 핀(124a) 중 이웃한 복수 개씩 분할하고 그 분할된 리프트 핀(124a)의 끝단에 고정 플레이트(124b)를 각각 고정하며 상기 고정 플레이트(124b)의 연장축(124c)이 상, 하부 챔버(114, 116)의 외부로 노출되고 상기 연장축(124c)의 끝단이 리프트 핀 고정 플레이트(126, 128)에 각각 고정된다.
이때, 상기 상부 베이스(112)와 하측 리프트 핀 고정 플레이트(126)와의 사이 공간과, 상기 상부 챔버(114)의 리드와 상측 리프트 핀 고정 플레이트(126)와의 사이 공간에 노출되는 연장축(124c)이 밀폐되도록 외부에서 감싸는 벨로우즈(B)가 각각 구비된다.
여기서, 그룹별 리프트 핀(124a)은 분할된 구역마다 일률적으로 승강시키는 고정 플레이트(124b)에 고정되고 상기 고정 플레이트(124b)의 연장축(124c)이 상, 하부 챔버(114, 116)의 외부로 노출되며 리프트 핀 고정 플레이트(126, 128) 사이에 노출되는 연장축(124c)을 벨로우즈(B)로 밀폐시키므로 리프트 핀(124a)의 개수만큼 벨로우즈(B)를 사용하지 않고 상기 리프트 핀(124a)을 다수개씩 묶어 고정 플레이트(124b)에 고정하고 상기 고정 플레이트(124b)의 연장축(124c)에 벨로우즈(B)로 밀폐시킴에 따라 상기 벨로우즈(B)의 사용 개수를 줄일 수 있다.
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기 재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.
이와 같은 본 발명의 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈은 다수개의 리프트 핀을 복수 개씩 분할하여 그룹을 형성시키고 그 분할 구역의 리프트 핀을 연동되도록 승강시키는 고정 플레이트의 연장축마다 벨로우즈로 밀폐시키므로 상기 벨로우즈의 사용 개수가 현저히 감소함에 따라 비용 절감과 누출 발생률이 감소되고 장비의 구조가 단순해지며 유지 보수가 용이한 효과가 있다.

Claims (5)

  1. 평판표시소자 제조장치의 챔버 내부에 설치되어 기판이 승강되게 하는 리프트 핀 모듈에 있어서,
    상기 리프트 핀 모듈은,
    다수개가 일정 간격으로 스테이지(118, 120)에 배열되되 종방향 또는 횡방향 또는 종방향과 횡방향이 서로 교차하는 것 중 선택되는 어느 한가지로 2개 내지 5개씩 그룹을 지는 리프트 핀(124a);
    상기 리프트 핀(124a) 중 이웃한 복수개씩 묶어 연동되면서 승강될 수 있도록 복수개의 리프트 핀(124a) 하단이 상면에 고정되고 저면에 연장축(124c)이 형성되되 상기 리프트 핀(124a)의 그룹 배치에 상응하는 형상으로 종방향 또는 횡방향 또는 종방향과 횡방향이 서로 교차하는 ＋ 형상 또는 × 형상으로 형성되는 고정 플레이트(124b);
    상기 복수개의 리프트 핀(124a)들이 고정된 고정 플레이트(124b)의 연장축(124c)들이 상면에 각각 고정되어 일률적으로 승강시키도록 상기 챔버(114, 116) 외부에 위치되는 리프트 핀 고정 플레이트(126, 128);
    상기 고정 플레이트(124b)의 연장축(124c)이 챔버(114, 116) 바닥을 통해 외부까지 연장되며 연장되어 노출된 부분을 밀폐시키되 하나에 의해 그룹을 지은 리프트 핀(124a)들에 공동으로 사용되는 벨로우즈(B); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서, 상기 리프트 핀 모듈은,
    기판 합착기에 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 리프트 핀 모듈은,
    에쳐(Etcher) 장비에 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈.
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