KR20050091673A - 기판 지지 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 기판을 지지하기 위한 장치로서,지지 표면을 가진 지지대 어셈블리;상기 기판의 둘레부의 밑에서 상기 지지대 어셈블리를 관통하여 이동 가능하게 배치된 제 1 리프트 핀 세트; 및상기 기판의 중심부 밑에서 상기 지지대 어셈블리를 관통하여 이동 가능하게 배치된 제 2 리프트 핀 세트를 포함하고,상기 제 2 리프트 핀 세트가 상기 제 1 리프트 핀 세트 밑에서 고정된 거리로 돌출되는, 기판 지지 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 제 2 리프트 핀 세트가 적어도 하나의 리프트 핀을 포함하는, 기판 지지 장치.
- 제 2항에 있어서, 상기 제 2 리프트 핀 세트가 상기 지지대 어셈블리의 중심에 대하여 마주하여 위치하는 두 개의 리프트 핀을 포함하는, 기판 지지 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 제 1 리프트 핀 세트가 적어도 세 개의 리프트 핀을 포함하는, 기판 지지 장치.
- 제 4항에 있어서, 상기 제 1 리프트 핀 세트가 여덟 개의 리프트 핀을 포함하는, 기판 지지 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 제 1 리프트 핀 세트가 상기 제 2 리프트 핀 세트의 제 2 길이보다 긴 제 1 길이를 가지는, 기판 지지 장치.
- 제 6항에 있어서, 상기 제 1 길이가 상기 제 2 길이보다 적어도 2 ㎜ 더 긴, 기판 지지 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 기판의 중심부가 상기 지지 표면으로부터 이격된 후에 상기 제 2 리프트 핀 세트가 상기 기판과 접촉하지 않는 상태에서 상기 제 1 리프트 핀 세트가 상기 기판을 상기 지지 표면과 공간적으로 떨어져서 지지하도록 조절되는, 기판 지지 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 제 1 리프트 핀 세트가 상기 지지 표면과 공간적으로 떨어져서 상기 기판의 적어도 일부를 상승시키고 상기 기판의 중심부에서 기판이 휘어지도록 하는, 기판 지지 장치.
- 기판을 지지하기 위한 장치로서,지지 표면을 가진 지지대 어셈블리;상기 기판의 둘레부의 밑에서 상기 지지대 어셈블리를 관통하여 이동 가능하게 배치된 제 1 리프트 핀 세트;상기 기판의 중심부 밑에 위치하고 상기 제 1 리프트 핀 세트 밑에서 고정된 거리로 상기 지지대 어셈블리를 관통하여 이동 가능하게 배치된 제 2 리프트 핀 세트 - 상기 제 2 리프트 핀 세트는 작동된 상태에 있는 경우 상기 지지 표면으로부터 돌출되며, 상기 제 1 리프트 핀 세트는 상기 제 2 리프트 핀 세트가 상기 기판의 중심부를 상승시키기 전에 상기 기판의 둘레부를 상승시킴 - ; 및상기 제 2 리프트 핀 세트와 접촉하기 전에 상기 제 1 리프트 핀과 접촉하는 림(rim)을 갖는 표면을 포함하는, 기판 지지 장치.
- 기판을 지지하기 위한 장치로서,지지 표면을 가진 지지대 어셈블리;상기 기판의 둘레부의 밑에서 상기 지지대 어셈블리를 관통하여 이동 가능하게 배치된 제 1 리프트 핀 세트;상기 기판의 중심부 밑에서 상기 제 1 리프트 핀 세트 밑으로 고정된 거리로 위치하고 상기 지지대 어셈블리를 관통하여 이동 가능하게 배치된 제 2 리프트 핀 세트 - 상기 제 2 리프트 핀 세트는 상기 제 1 리프트 핀 세트 밑에서 고정된 거리로 상기 지지 표면으로부터 돌출되며 상기 제 1 리프트 핀 세트는 상기 제 2 리프트 핀 세트가 상기 기판의 중심부를 상승시키기 전에 상기 기판의 둘레부를 상승시킴 - ; 및상기 제 1 리프트 핀 세트와 접촉하는 림과 상기 제 2 리프트 핀 세트와 접촉하는 중앙부를 갖는 표면을 포함하는, 기판 지지 장치.
- 반도체 프로세스 챔버로서,지지 표면을 가지는 지지대 어셈블리;기판의 둘레부의 밑에서 상기 지지대 어셈블리를 관통하여 이동 가능하게 배치되며, 작동된 위치에 있는 경우 상기 지지대 어셈블리로부터 상기 기판의 둘레부를 상승시키기 위하여 상기 지지 표면으로부터 돌출하는 제 1 리프트 핀 세트;상기 기판의 중심부 밑에서 상기 제 1 리프트 핀 세트의 방사상 내측에 위치하며 상기 지지대 어셈블리를 관통하여 이동 가능하게 배치되고, 작동된 위치에 있는 경우 상기 지지 표면으로부터 돌출하는 제 2 리프트 핀 세트 - 상기 제 2 리프트 핀 세트는 상기 기판의 중심부가 상기 지지 표면에 부착되어 있는 경우에만 상기 기판의 중심부와 접촉함 - ;상기 지지대 어셈블리의 지지 표면 반대측에 배치되는 리프트 플레이트를 포함하며,상기 리프트 플레이트는 중앙부; 및상기 중앙부로부터 돌출하는 림을 더 포함하는, 반도체 프로세스 챔버.
- 제 12항에 있어서, 상기 제 2 리프트 핀 세트가 적어도 하나의 리프트 핀을 포함하는, 반도체 프로세스 챔버.
- 제 13항에 있어서, 상기 제 2 리프트 핀 세트가 상기 지지대 어셈블리의 중심에 대하여 마주하여 위치하는 두 개의 리프트 핀을 포함하는, 반도체 프로세스 챔버.
- 제 12항에 있어서, 상기 제 1 리프트 핀 세트가 적어도 세 개의 리프트 핀을 포함하는, 반도체 프로세스 챔버.
- 제 15항에 있어서, 상기 제 1 리프트 핀 세트가 여덟 개의 리프트 핀을 포함하는, 반도체 프로세스 챔버.
- 제 12항에 있어서, 상기 제 1 리프트 핀 세트가 상기 지지 표면과 공간적으로 떨어져서 상기 기판의 적어도 일부를 상승시키고 상기 기판의 중심부에서 기판이 휘어지도록 하는, 반도체 프로세스 챔버.
- 제 12항에 있어서, 상기 기판의 중심부가 지지 표면으로부터 이격된 후에 상기 제 2 리프트 핀 세트가 상기 기판과 접촉하지 않는 상태에서 상기 제 1 리프트 핀 세트가 상기 기판을 상기 지지 표면과 공간적으로 떨어져서 지지하도록 조절되는, 반도체 프로세스 챔버.
- 반도체 프로세스 챔버로서,지지 표면을 가진 지지대 어셈블리;기판의 둘레부의 밑에서 상기 지지대 어셈블리를 관통하여 이동 가능하게 배치된 제 1 리프트 핀 세트;상기 기판의 중심부 밑에서 상기 제 1 리프트 핀 세트의 방사상 내측에 위치하고 상기 지지대 어셈블리를 관통하여 이동 가능하게 배치된 제 2 리프트 핀 세트 - 상기 제 2 리프트 핀 세트는 상기 제 1 리프트 핀 세트로부터 고정된 거리로 돌출되며 상기 제 2 리프트 핀 세트는 상기 기판의 중심부가 상기 지지대 표면에 부착되어 있는 경우에만 상기 기판의 중심부와 접촉함 - ; 및상기 제 2 리프트 핀 세트와 접촉하기 전에 상기 제 1 리프트 핀 세트와 접촉하는 림을 갖는 표면을 포함하는, 반도체 프로세스 챔버.
- 반도체 프로세스 챔버로서,지지 표면을 가지는 지지대 어셈블리;기판의 둘레부의 밑에서 상기 지지대 어셈블리를 관통하여 이동 가능하게 배치된 제 1 리프트 핀 세트;상기 기판의 중심부 밑에서 상기 제 1 리프트 핀 세트의 방사상 내측에 위치하며 상기 지지대 어셈블리를 관통하여 이동 가능하게 배치되는 제 2 리프트 핀 세트 - 상기 제 2 리프트 핀 세트는 상기 제 1 리프트 핀 세트로부터 고정된 거리로 상기 지지 표면으로부터 돌출되고, 상기 제 2 리프트 핀 세트는 상기 기판의 중심부가 상기 지지 표면에 부착되어 있는 경우에만 상기 기판의 중심부와 접촉함 - ; 및상기 제 1 리프트 핀 세트와 접촉하는 림과 제 2 리프트 핀 세트와 접촉하는 중앙부를 갖는 표면을 포함하는, 반도체 프로세스 챔버.
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