KR100553102B1

KR100553102B1 - 리프트 핀 모듈 및 그것을 구비하는 평판표시소자 제조장치

Info

Publication number: KR100553102B1
Application number: KR1020050067318A
Authority: KR
Inventors: 이영종; 최준영; 손형규
Original assignee: 주식회사 에이디피엔지니어링
Priority date: 2005-07-25
Filing date: 2005-07-25
Publication date: 2006-02-22

Abstract

본 발명은 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 넓은 부분을 지지하면서도 핀 통과홀과 리프트 핀 사이에 공간이 발생하지 않는 리프트 핀 모듈에 관한 것이다.

본 발명은, 평판표시소자 제조장치에 설치되어 기판을 승강시키는 리프트 핀 모듈에 있어서, 그 상단의 단면이 지선(脂腺) 형상으로 형성되는 리프트 핀; 하부 전극을 수직으로 관통하여 형성되는 핀 통과홀의 상부에 삽입 고정되어 마련되고, 상기 리프트 핀의 상단이 통과할 수 있는 형상의 미세홀이 형성되는 고정 블럭; 상기 리프트 핀의 하부와 결합되어 마련되며, 상기 리프트 핀을 상하 방향으로 구동시키는 핀 구동부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 모듈을 제공한다.

리프트 핀, 평판표시소자, 평판표시소자 제조장치, 기판

Description

리프트 핀 모듈 및 그것을 구비하는 평판표시소자 제조장치{LIFT PIN MODULE AND APPARATUS FOR MANUFACTURING FPD THAT USE THEREOF}

도 1은 종래의 평판표시소자 제조장치의 구조를 나타내는 도면이다.

도 2는 종래의 리프트 핀의 구조 및 문제점을 도시하는 도면이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 구조를 나타내는 도면이다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀 모듈의 구조를 나타내는 도면이다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀 모듈이 핀 통과홀에 삽입된 모습을 나타내는 도면이다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀 상단부의 다양한 형상을 보여주는 도면이다.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 리프트 핀 모듈의 구조를 나타내는 도면이다.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀 배치도이다.

일반적으로, 평판표시소자 제조장치는 내부에 평판표시소자 기판을 반입시키고, 플라즈마 등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하는데 사용된다. 이때, 평판표시소자(Flat Panel Display)는 액정 표시소자(Liquid Crysta Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등을 말하며, 이러한 평판표시소자 제조장치 중 진공처리용 장치는 일반적으로 로드락(Load lock) 챔버, 반송 챔버 및 공정 챔버의 3개의 진공 챔버로 구성된다.

여기서, 상술한 로드락 챔버는 대기압 상태와 진공 상태를 번갈아 가면서 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 상술한 반송 챔버는 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 운송 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버에서 공정 챔버로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정 챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 상술한 공정 챔버는 진공 중에서 플라즈마를 이용하거나 열 에너지를 이용하여 기판상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다.

종래의 평판표시소자 제조장치는 도 1에 도시된 바와 같이 그 내부는 진공 상태와 대기압 상태를 반복적으로 유지하면서 외부와 접촉되며, 내부에서 공정 처 리가 수행되는 챔버(10)와, 상술한 챔버(10)내 상부 영역에 마련되는 상부전극(12)과, 상술한 상부전극(12)과 이격된 하부 영역에 마련되어 기판(S)이 적재되는 하부전극(14)으로 구성된다.

상술한 상부전극(12)은 최하단에 공정 가스가 기판(S)에 분사되는 샤워 헤드(Shower head)가 구비된다.

상술한 하부전극(14)은 외벽과 상부 영역 가장자리부에 플라즈마로부터 이 하부전극(14)을 보호하는 절연판(도면에 미도시)이 전극의 둘레를 감싸도록 한 다음 다수개의 볼트에 의해 상면 가장자리부와 측면 및 저면에서 각각 체결된다.

그리고 상술한 챔버(10)의 소정 부분에는 기판(S) 처리에 이미 사용된 처리 가스와 그 부산물 등을 제거하는 배기수단(도면에 미도시)이 더 구비된다. 물론 이 배기수단은 챔버(10) 내부를 진공분위기로 형성시키기 위하여 챔버(10) 내부의 기체를 배기하는 경우에도 사용된다.

여기서, 상술한 하부전극(14)의 가장자리 영역에는 도 2에 도시된 바와 같이 이 하부전극(14)에 탑재된 기판(S)의 가장자리를 지지하도록 하부전극(14)을 두께 방향으로 관통하여 형성된 다수개의 핀 통과홀(16)을 통과할 수 있도록 소정 간격을 갖는 다수개의 리프트 핀(Lift pin : 20)을 구비시켜 이 리프트 핀(20)이 그 핀 통과홀(16)을 따라 상승 및 하강하면서 기판(S)을 들어올리거나 챔버(10)의 내부로 반입된 기판(S)을 하부전극(14) 상에 위치시키는 역할을 하게 된다.

즉, 상술한 리프트 핀(20)은 챔버(10) 외부에서 운송 수단에 의하여 반입된 기판(S)을 소정 높이 만큼 들어올린 후, 운송 수단이 챔버(10) 밖으로 퇴피하면 그 기판(S)을 하강시켜 하부전극(14) 상에 적재하는 역할을 한다.

이때, 상술한 리프트 핀(20)은 하나의 하부전극(14)에 다수개가 구비되지만, 다수개의 리프트 핀(20)이 동시에 상승하거나 하강하여야 한다. 따라서, 상술한 하부전극(14) 외부 하측에 다수개의 리프트 핀(20) 전체와 결합하는 리프트 핀 플레이트(30)가 마련되고, 이 리프트 핀 플레이트(30)를 별도의 구동수단(도면에 미도시)에 의해 상승시킴으로써 이 구동수단에 의해 다수개의 리프트 핀(20)이 동시에 상승하게 된다.

한편, 상술한 리프트 핀(20)은 다수개가 챔버(10)의 하벽을 관통하여 이 챔버(10)의 하측까지 연장되도록 위치되며, 각각의 리프트 핀(20)의 하부 영역에 고정되도록 구비되는 리프트 핀 플레이트(30)는 챔버(10) 하측 외부에 구비되는 것이다.

이러한 리프트 핀(20)은 리프트 핀 플레이트(30)에 구동수단의 상승력을 부가하여 이 리프트 핀 플레이트(30)에 고정된 리프트 핀(20)을 상승하게 하지만 하강할 경우에는 구동수단의 구동력에 의해 하강하는 것이 아니고 자중에 의해 리프트 핀(20)이 원위치로 복귀하는 것이다.

여기서, 상술한 리프트 핀(20)에서 챔버(10)의 하측으로 노출되는 부분 즉, 상술한 챔버(10)의 저면과 리프트 핀 플레이트(30)의 사이에 노출되는 리프트 핀(20)을 감싸도록 벨로우즈(Bellows : 32)가 마련된다.

이러한 벨로우즈(32)는 다수개의 리프트 핀(20) 상승시 수축하게 되고, 이 리프트 핀(20)의 하강시 이완하게 되며, 챔버(10) 내부의 진공 상태를 유지하게 하 는 기능을 하게 된다.

그러나 상술한 리프트 핀(20)이 하부전극(14)에 형성되는 핀 통과홀(16)의 내부에 수용되어 승강할 경우 이 핀 통과홀(16)의 직경에 따라 여러 문제점이 수반된다. 즉, 상술한 핀 통과홀(16)의 직경을 크게 할 경우 상술한 리프트 핀(20)이 위치한 부분의 온도와 하부전극(14) 주변의 온도차 및 전위차가 발생하여 상술한 핀 통과홀(16)에 상응한 기판(S) 저면에 휘도 불균일의 일종인 얼룩(Mura)이 발생하게 되며, 반대로 상술한 핀 통과홀(16)의 직경을 작게 할 경우 핀 통과홀(16)을 따라 승강하는 리프트 핀(20)이 그 핀 통과홀(16)과 마찰이 발생하게 되어 그에 따라 파티클(Particle) 발생의 원인이 되고, 상술한 리프트 핀 플레이트(30)에 위치 고정된 리프트 핀(20)은 대면적 기판(S)에 적용시 다수개가 마련되어 각각의 핀 통과홀(16)에 각각의 리프트 핀(20)의 중심 위치를 맞춰야 하므로 조립이 매우 어려운 문제점이 있었다. 한편 기판과 리프트 핀의 접촉 면적을 작게 하여 무라의 크기를 줄이기 위해서 리프트 핀 상단의 형상을 둥글게 하는 방안이 제시되고 있다. 그러나 이렇게 리프트 핀 상단을 둥글게 하는 것은 기판과 리프트 핀의 접촉을 점접촉으로 만들어서 기판과의 접촉 면적을 줄이기는 하나, 기판에 손상이 발생하는 문제점이 있다.

또한, 상술한 하부전극(14) 상에 정전기력에 의해 기판(S)을 흡착하는 정전척(ESC : 도면에 미도시)을 구비할 경우, 정전척과 기판 사이에 기판의 냉각을 위하여 헬륨 가스를 공급하게 된다. 그런데 핀 통과홀(16)과 리프트 핀(20) 사이에 이격 공간이 크게 형성되는 경우에는, 이러한 공간으로 헬륨 가스 및 공정 처리 도 중 공정 가스가 침투하게 되어 이 핀 통과홀(16)로 침투하는 가스에 의해 기판(S)의 공정 처리시 이상 방전 현상이 발생하는 문제점이 있었다.

전술한 여러가지 문제점들을 해결하기 위하여 리프트 핀과 핀 통과홀이 밀착되도록 핀 통과홀을 가공하는 것은 매우 어려운 공정이므로 전술한 문제점들이 해결되지 못하고 있다.

본 발명의 목적은 리프트 핀이 기판과 넓은 접촉 면적으로 접촉되면서도, 가공이 용이한 고정 블럭에 의하여 핀 통과홀이 메워져서 공정 기체가 침투하지 않는 리프트 핀 모듈을 제공함에 있다.

전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 평판표시소자 제조장치에 설치되어 기판을 승강시키는 리프트 핀 모듈에 있어서, 그 상단의 단면이 지선(脂腺) 형상으로 형성되는 리프트 핀; 하부 전극을 수직으로 관통하여 형성되는 핀 통과홀의 상부에 삽입 고정되어 마련되고, 상기 리프트 핀의 상단이 통과할 수 있는 형상의 미세홀이 형성되는 고정 블럭; 상기 리프트 핀의 하부와 결합되어 마련되며, 상기 리프트 핀을 상하 방향으로 구동시키는 핀 구동부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 모듈을 제공한다.

본 발명에서는, 상기 리프트 핀을, 그 상단의 형상이, 2지선, 3지선, 4지선 으로 형성시켜, 기판의 넓은 부분을 지지하면서도, 기판과의 접촉 면적은 최소화하 는 것이 바람직하다.

그리고 고정 블럭은, 상기 하부 전극의 재질과 동일한 재질로 이루어지는 것이, 공정 처리 중에 하부전극과 전위차 및 온도차가 발생하지 않으므로 바람직하다.

또한 본 발명에서는, 평판표시소자 제조장치에 설치되어 기판을 승강시키는 리프트 핀 모듈에 있어서, 그 상단의 단면이 지선(脂腺) 형상으로 형성되는 상단부; 상기 상단부의 하부와 결합되어 마련되며, 원기둥 형상으로 마련되는 하단부; 하부 전극을 수직으로 관통하여 형성되는 핀 통과홀의 상부에 삽입 고정되어 마련되고, 상기 상단부가 통과할 수 있는 형상의 미세홀이 형성되는 고정 블럭; 상기 하단부의 하부와 결합되어 마련되며, 상기 상단부 및 하단부를 상하 방향으로 구동시키는 핀 구동부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 모듈를 제공한다.

또한 본 발명에서는, 전술한 리프트 핀 모듈이 구비되는 평판표시소자 제조장치를 제공한다.

본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치에서는, 상기 하부 전극의 전면에 걸쳐서 상기 핀 통과홀 및 리프트 핀이 배치되는 것이, 대면적 기판을 처짐 없이 지 지할 수 있으므로 바람직하다.

이때 상기 하부 전극의 중앙 영역에는, 그 상단의 단면 형상이 4지선 또는 3지선 형상인 리프트 핀이 배치되고, 상기 하부 전극의 가장자리 영역에는, 그 상단의 단면 형상이 2지선 형상인 리프트 핀이 배치되는 것이, 리프트 핀 배치 갯수를 최소화 하면서도 기판을 처짐없이 지지할 수 있으므로 바람직하다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예들을 상세하게 설명한다.

본 실시예에 따른 리프트 핀 모듈(120)은, 리프트 핀(122); 고정 블럭(124); 핀 구동부(126);를 포함하여 구성된다.

먼저 리프트 핀(122)은 도 3에 도시된 바와 같이, 하부 전극(114)에 마련되어 기판(S)의 승강을 담당하는 구성요소이다. 본 실시예에서는 이 리프트 핀(122)을, 그 상단(122b)의 단면이 지선(脂腺) 형상이 되도록 형성시킨다. 여기서 지선이라 함은, 손가락 처럼 여러가지 가지를 가지는 형상을 말한다. 이러한 지선 형상은 도 6에 도시된 바와 같이, 2지선, 3지선, 4지선 등 다양한 형태가 가능하다. 2지선이라 함은 도 6a에 도시된 바와 같이, 2개의 가지를 가지는 형상을 말하며, 이 경우에는 각 가지가 서로 마주보는 일직선 형태를 취하는 것이 바람직하다. 그리고 3지선이라 함은 도 6b에 도시된 바와 같이, 3개의 가지를 가지는 형상을 말하며, 이 경우에는 각 가지가 서로 120°의 사이각을 갖도록 배치되어 지판의 넓은 부분을 지지하는 것이 바람직하다. 마지막으로 4지선이라 함은 도 6c에 도시된 바와 같이, 4개의 가지를 가지는 형상을 말하며, 이 경우에는 각 가지가 서로 90°의 사이각을 갖도록 십(十)자 형으로 배치되어 기판의 넓은 부분을 균일하게 지지하는 것이 바람직하다.

한편 본 실시예에 따른 리프트 핀(122)의 중간 부분 및 하부(122a)는 원기둥 형상을 취하여 충분한 하중 부담 능력을 가지는 것이 바람직하다.

다음으로 고정 블럭(124)은 도 3에 도시된 바와 같이, 핀 통과홀(116)의 상부에 삽입 고정되어 마련되고, 상기 리프트 핀의 상단(122b)을 통과시키면서도 핀 통과홀(116)과 밀착되어 핀 통과홀로 공정가스가 세어들어오지 못하도록 하는 구성요소이다. 따라서 본 실시예에 따른 고정 블럭(122b)은, 상기 리프트 핀(124)의 상단 형상과 대응되는 형상의 미세홀(124a)이 형성된다. 따라서 상기 리프트 핀의 상단(122b)이 이 고정 블럭(124)을 통과하여 기판을 지지하게 되는 것이다. 이때 이 고정 블럭의 두께는 얇게 형성되어 그 가공이 용이한 것이 바람직하다. 그리고 이 고정 블럭에 형성되는 미세홀(124a)은 상기 리프트 핀 상단(122b)의 형상과 대응되는 형상으로 형성되되, 상기 리프트 핀 상단(122b)이 이 미세홀(124a)을 통과할 때, 리프트 핀 상단이 이 고정블럭과 밀착될 수 있도록 리프트 핀 상단과 거의 동일한 단면적을 가지도록 형성되는 것이 바람직하다.

한편 본 실시예에 따른 고정 블럭(124)은 상기 하부 전극(114)의 재질과 동일한 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 일반적으로 리프트 핀(122)이 배치된 위 치에 무라가 발생하는 이유는 하부 전극과 리프트 핀 상이에 존재하는 온도차 및 전위차에 의한 것으로 파악된다. 따라서 고정 블럭을 하부 전극과 동일한 재질의 물질로 형성시키고, 하부 전극과 접촉시켜 놓으면 하부전극과의 사이에서 전위차 및 온도차가 발생하지 않아서 기판 상에 무라가 발생하지 않는 장점이 있다.

그리고 본 실시예에 따른 하부 전극(114)에 형성되는 핀 통과홀(116)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 그 단면의 형상이 단차가 지도록 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 고정 블럭(124)이 삽입될 부분과 그렇지 않은 부분 사이에 그 내경이 달라지도록 하여 고정 블럭의 위치가 자연스럽게 고정되도록 하는 것이다. 따라서 고정 블럭(124)이 삽입되는 부분까지는 내경이 넓게 형성시키고, 그 하부는 리프트 핀의 직경과 동일한 정도의 내경으로 형성시키는 것이다. 그리고 고정 블럭이 핀 통과홀의 하부 직경보다 크게 형성되며, 리프트 핀의 상부에 삽입된 고정 블럭이 하측으로 내려가지 않게 되는 것이다.

또한 이 핀 통과홀의 상부가 아래쪽으로 갈수록 직경이 조금씩 작아지는 경사형으로 형성시키고, 상기 고정 블럭을 억지끼움 방식으로 이 핀 통과홀에 삽입하는 것도 가능하다. 이런 경우에는 고정 블럭을 별도의 고정 수단 없이 핀 통과홀에 고정시킬 수 있는 장점이 있다.

다음으로 핀 구동부(126)는, 상기 리프트 핀의 하부(122a)와 결합되어 마련되며, 상기 리프트 핀을 상하 방향으로 구동시키는 구성요소이다. 하나의 평판표시소자 제조장치에는 다수개의 리프트 핀이 마련되어 동일한 속도와 시기에 상하로 이동한다. 따라서 다수개의 리프트 핀을 하나의 플레이트(126)에 고정시킨 후, 이 플레이트를 상하 방향으로 구동시켜, 다수개의 리프트 핀이 동일한 속도 및 작동시기를 가지도록 하는 것이 바람직하다. 따라서 이 핀 구동부는 핀 플레이트와 구동 모터로 구성되는 것이 바람직하다.

< 실시예 2 >

본 실시예에 따른 리프트 핀 모듈(220)은, 리프트 핀(222); 고정 블럭(224); 핀 구동부(도면에 미도시);를 포함하여 구성되되, 상기 리프트 핀(222)은, 상단부(222a)와 하단부(222b)로 구성된다. 따라서 본 실시예에 따른 리프트 핀 모듈(220)은, 리프트 핀(222)을 제외하고는 전술한 실시예 1에 따른 리프트 핀 모듈(120)과 유사한 구조를 가진다. 따라서 여기에서는 리프트 핀을 위주로 설명하며, 다른 구성요소에 대한 설명은 반복하지 않는다.

본 실시예에 따른 리프트 핀(222)은 도 7에 도시된 바와 같이, 상단부(222a)와 하단부(222b)로 구성된다. 여기에서 상단부(222a)는, 리프트 핀의 상부를 이루는 구성요소로서, 그 단면이 지선(脂腺) 형상으로 형성된다. 그리고 이 상단부(222a)의 상면이 기판과 접촉되어 기판을 지지하게 된다. 이때 상단부(222a)는 그 단면의 형상이 2지선, 3지선, 4지선 형상으로 다양하게 변화될 수 있다.

다음으로 하단부(222b)는, 상기 상단부(222a)의 하부와 결합되어 상기 상단부(222a)를 상하 방향으로 구동시키며, 상기 핀 구동부와 연결하는 중개 역할을 한다. 이 하단부(222b)는 원기둥 형상으로 마련되는 것이 바람직하다.

이하에서는 전술한 실시예 1, 2에 따른 리프트 핀 모듈이 배치되는 평판표시소자 제조장치를 설명한다. 본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 하부 전극에 그 전면에 걸쳐서 고르게 핀 통과홀이 형성되고, 각 리프트 핀 통과홀을 관통하여 리프트 핀이 배치된다. 최근에 평판표시소자 제조장치에 의하여 처리되는 기판의 크기가 가로 세로 각각 2m 이상에 이르면서 기판의 가장자리만 지지하면서 기판을 승강시키는 것이 어려워지고 있다. 따라서 본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치에서는 도 8에 도시된 바와 같이, 기판의 가장자리 뿐만아니라 기판의 중앙 영역도 지지할 수 있도록 하부 전극(114)의 중앙 영역을 포함한 전영역에 걸쳐서 리프트 핀 통과홀이 형성되는 것이다. 그리고 이 리프트 핀 통과홀에는 전술한 실시예 1이나 실시예 2에 따른 리프트 핀 및 고정블럭이 배치되는 것이다.

이때 하부 전극의 중앙 부분에는 그 상단부의 단면 형상이 4지선 또는 3지선 형상인 리프트 핀이 배치되고, 상기 하부 전극의 가장자리 영역에는, 그 상단부의 단면 형상이 2지선 형상인 리프트 핀이 배치되는 것이 바람직하다. 하부 전극의 중앙 부분에는 4지선 또는 3지선 형상의 리프트 핀으로 기판의 넓은 부분을 지지하도록 하고, 기판의 가장자리 부분에서는 하나의 리프트 핀이 지지할 기판의 면적이 좁으므로 2지선 형상의 리프트 핀을 배치하여 그 가공 작업이 용이하게 하는 것이다. 그리고 이 2지선 형상의 리프트 핀은, 그 2지선이 하부 전극의 모서리와 평행이 되도록 배치하는 것이 기판을 손상시키지 않으면서 안정적으로 지지할 수 있어서 바람직하다.

본 발명에 따르면 리프트 핀의 상단 형상을 작은 접촉 면적을 가지면서도 기판의 넓은 부분을 지지할 수 있도록 하여 기판의 승강 과정에서 기판에 손상이 발생하지 않는 장점이 있다. 또한 가공이 용이한 고정 블럭을 이용하여 리프트 핀과 핀 통과홀 사이의 공간을 막음으로써, 공정 가스나 냉각 가스가 핀 통과홀로 새어 들어오지 않는 장점이 있다.

또한 본 발명에 따르면 리프트 핀이 공정 처리중에 하부 전극과 온도차 및 전위차가 발생하지 않으므로 무라가 발생하지 않아서 기판의 중앙 부분도 지지할 수 있는 장점이 있다.

Claims

평판표시소자 제조장치에 설치되어 기판을 승강시키는 리프트 핀 모듈에 있어서,

그 상단의 단면이 지선(脂腺) 형상으로 형성되는 리프트 핀;

하부 전극을 수직으로 관통하여 형성되는 핀 통과홀의 상부에 삽입 고정되어 마련되고, 상기 리프트 핀의 상단이 통과할 수 있는 형상의 미세홀이 형성되는 고정 블럭;

상기 리프트 핀의 하부와 결합되어 마련되며, 상기 리프트 핀을 상하 방향으로 구동시키는 핀 구동부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 모듈.
제1항에 있어서, 상기 리프트 핀은,

그 상단의 형상이, 2지선, 3지선, 4지선 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 리프트 핀 모듈.
제2항에 있어서, 상기 고정 블럭은,

상기 하부 전극의 재질과 동일한 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 모듈.
제1항에 있어서, 상기 고정 블럭은,

상기 핀 통과홀에 억지끼움 방식으로 삽입되고 고정되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 모듈.
평판표시소자 제조장치에 설치되어 기판을 승강시키는 리프트 핀 모듈에 있어서,

그 상단의 단면이 지선(脂腺) 형상으로 형성되는 상단부;

상기 상단부의 하부와 결합되어 마련되며, 원기둥 형상으로 마련되는 하단부;

하부 전극을 수직으로 관통하여 형성되는 핀 통과홀의 상부에 삽입 고정되어 마련되고, 상기 상단부가 통과할 수 있는 형상의 미세홀이 형성되는 고정 블럭;

상기 하단부의 하부와 결합되어 마련되며, 상기 상단부 및 하단부를 상하 방향으로 구동시키는 핀 구동부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 모듈.
제5항에 있어서, 상기 상단부는,

그 단면의 형상이, 2지선, 3지선, 4지선 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 리프트 핀 모듈.
제6항에 있어서, 상기 고정 블럭은,

상기 하부 전극의 재질과 동일한 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 모듈.
제7항에 있어서, 상기 고정 블럭은,

상기 핀 통과홀에 억지끼움 방식을 삽입되고 고정되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 모듈.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 리프트 핀 모듈이 구비되는 평판표시소자 제조장치.
제9항에 있어서,

상기 하부 전극의 전면에 걸쳐서 상기 핀 통과홀 및 리프트 핀이 배치되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
제10항에 있어서, 상기 핀 통과홀은,

그 상부는 직경이 상기 고정 블럭과 대응되도록 대직경으로 형성되고, 그 하부는 직경이 상기 리프트 핀과 대응되도록 소직경으로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
제10항에 있어서,

상기 하부 전극의 중앙 영역에는, 그 상단의 단면 형상이 4지선 또는 3지선 형상인 리프트 핀이 배치되고,

상기 하부 전극의 가장자리 영역에는, 그 상단의 단면 형상이 2지선 형상인 리프트 핀이 배치되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 리프트 핀 모듈이 구비되는 평판표시소자 제조장치.
제13항에 있어서,

상기 하부 전극의 전면에 걸쳐서 균일하게 핀 통과홀이 형성되고, 각 핀 통과홀에는 상기 리프트 핀 모듈이 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
제14항에 있어서, 상기 핀 통과홀은,

그 상부는 직경이 상기 고정 블럭과 대응되도록 대직경으로 형성되고, 그 하부는 직경이 상기 리프트 핀과 대응되도록 소직경으로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
제14항에 있어서,

상기 하부 전극의 중앙 영역에는, 그 상단부의 단면 형상이 4지선 또는 3지선 형상인 리프트 핀이 배치되고,

상기 하부 전극의 가장자리 영역에는, 그 상단부의 단면 형상이 2지선 형상인 리프트 핀이 배치되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.