KR101362455B1 - 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비한 평판표시소자 제조장치 - Google Patents

리프트 핀 구동장치 및 이를 구비한 평판표시소자 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비한 평판표시소자 제조장치는, 챔버 하부의 주변 영역에 설치된 다수개의 핀 플레이트를 이용하여 리프트 핀을 승강시킬 수 있도록 구성하고, 각 리프트 핀의 승강도 보다 안정적으로 이루어지도록 수직 가이드를 구비함과 아울러, 하나의 모터를 이용하여 전체 리프트 핀을 승강시킬 수 있도록 구성함으로써, 챔버 하부 공간의 레이아웃(Layout) 구성을 다양하게 변형하여 실시할 수 있고, 모터의 구동 제어를 간단히 함과 아울러, 모든 리프트 핀의 승강 작동도 보다 정확하게 이루어질 수 있도록 하는 효과를 갖게 된다.
핀 플레이트, 볼 스크류, 레이아웃, 랙, 피니언, 리니어 가이드

Description

리프트 핀 구동장치 및 이를 구비한 평판표시소자 제조장치{Apparatus driving lift pins and device having it for manufacturing FPD}
도 1은 종래 리프트 핀 구동장치가 구비된 공정 챔버를 보여주는 단면 구성도,
도 2는 종래 리프트 핀 구동장치가 도시된 개략적인 사시도,
도 3은 종래 리프트 핀 구동장치의 문제점을 설명하기 위한 단면 구성도,
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 리프트 핀 구동장치가 구비된 공정 챔버를 보여주는 단면 구성도,
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 리프트 핀 구동장치의 평면도,
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 리프트 핀 구동장치의 주요부 사시도,
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 리프트 핀 구동장치의 주요부 사시도,
도 8은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 리프트 핀 구동장치의 주요부 사시도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
50 : 챔버 52 : 상부 전극 조립체
54 : 하부 전극 조립체 56 : 핀 홀
58 : 핀 홀 60 : 리프트 핀
65 : 벨로우즈 70 : 리프트 핀 구동장치
71 : 구동 모터 72 : 볼 스크류
75 : 구동 플레이트 77 : 링크 부재
80 : 핀 플레이트 80a, 80b : 가이드 홀
85, 85A : 수직 가이드 86 : 피니언
86A：이동 블록 86a : 가이드 돌출부
87 : 랙 87A : 고정 블록
87a : 가이드 홈 88, 88B : 가이드 봉
본 발명은 기판 또는 반도체 웨이퍼 등을 로딩/언로딩할 때 이를 지지하기 위해 사용되는 리프트 핀 모듈(Lift Pin Module)에 관한 것으로서, 특히 하나의 모터를 이용하여 리프트 핀을 안정적으로 승강시킬 수 있는 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비한 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조장비나 평판표시소자 제조장치 등에는 반도체 웨이퍼, 유리 기판 등을 탑재대(또는 스테이지)에 로딩/언로딩하기 위해 리프트 핀들이 사용되고 있다.
이러한 리프트 핀들이 사용되는 구성은 반도체 제조장비나 평판표시소자 제 조장치 등에 유사하게 적용될 수 있으므로, 이하 설명할 리프트 핀 및 이를 구동하는 장치는 평판표시소자 제조장치에 구성되는 구조를 중심으로 설명한다.
최근 널리 보급되고 있는 평판표시소자(Flat Panel Display)는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.
이러한 평판표시소자를 제조하기 위한 평판표시소자 제조장치는 기판의 표면 처리 등을 위해 진공 처리용 장치를 이용하게 되는데, 일반적으로 로드락(Load lock) 챔버, 반송 챔버, 공정 챔버 등이 이용되고 있다.
상기 로드락 챔버는 대기압 상태와 진공 상태를 번갈아 가면서 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 상기 반송 챔버는 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 운송 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버에서 공정 챔버로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정 챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 상기 공정 챔버는 진공 분위기 하에서 플라즈마를 이용하거나 열 에너지를 이용하여 기판 상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다.
도 1은 상기한 챔버들 중 공정 챔버를 개략적으로 보여주는 도면으로서, 이를 참조하여 종래 기술의 리프트 핀 승강 구동 구조에 대하여 설명하면 다음과 같다.
도 1에 도시된 바와 같은 공정 챔버는 일측에 게이트가 구비되어 진공 상태로의 전환이 가능하도록 이루어져 내부에서 공정 처리가 수행되는 챔버(10)와, 이 챔버(10) 내부의 상부 영역에 위치되는 상부전극 조립체(12)와, 이 상부전극 조립체(12)의 하부에 위치되어 그 상부에 기판(S)이 탑재되는 하부전극 조립체(14)로 구성된다.
여기서 상기 상부전극 조립체(12)는 상기 기판(S)에 공정 가스를 분사하는 샤워 헤드(Shower head)가 구비된다.
특히 상기 하부전극 조립체(14)에는 상기 기판(S)을 로딩/언로딩할 때 기판을 상승 및 하강시킬 수 있도록 다수 개의 리프트 핀(20)들이 구비된다. 이를 위해 상기 하부전극 조립체(14)에는 리프트 핀(20)이 통과하도록 다수개의 핀 홀(16)이 형성된다. 따라서 상기 리프트 핀(20)이 핀 홀(16)을 따라 상승 및 하강하면서 기판(S)을 들어 올리거나 챔버(10)의 내부로 투입된 기판(S)을 하부전극 조립체(14)의 상부에 탑재시키는 역할을 하게 된다.
즉, 상기 리프트 핀(20)은 챔버(10) 외부에서 운송 장비에 의하여 반입된 기판(S)을 소정 높이만큼 들어 올린 후, 운송 장비가 챔버(10) 밖으로 이동하면 기판(S)을 하강시켜 하부전극 조립체(14)의 상부에 탑재하는 역할을 하고, 처리된 기판(S)을 배출할 때는 상기와 반대로 기판을 다시 들어 올린 후에 챔버(10) 밖으로 이송할 수 있도록 하는 역할을 하게 되는 것이다.
상기와 같은 역할을 하는 리프트 핀(20)들은 리프트 핀 구동장치(30)에 의해 승강하게 되는데, 이 리프트 핀 구동장치(30)는 다수개의 리프트 핀(20)들을 동시에 승강시킬 수 있도록 구성된다.
이를 위해 리프트 핀 구동장치(30)는 상기 챔버(10)의 하부에 다수개의 리프 트 핀(20)들이 고정되어 있는 핀 플레이트(35)가 구비되고, 이 핀 플레이트(35)를 볼 스크류 구동 방식에 의해 승강시킬 수 있도록 구동 모터(32) 및 볼 스크류(33)로 구성된다.
상기 리프트 핀 구동장치(30)는 상기 핀 플레이트(35)를 포함한 다수개의 리프트 핀(20)을 균일하고 안정되게 승강시키도록 도 1과 도 2에 도시된 바와 같이 2개 이상의 구동 모터(32)를 이용하고 있다.
즉, 표면 처리할 평판표시소자의 기판(S)이 대형화됨에 따라 리프트 핀 구동장치(30)도 대형화되고 있고, 이에 따라 하나의 구동 모터로는 핀 플레이트(35) 및 리프트 핀(20)을 전체적으로 동일하게 승강시키기 어렵기 때문에 도면에 도시된 바와 같이 핀 플레이트(35)의 양쪽 중간 부분에 두 개의 구동 모터(32)와 볼 스크류(33)를 설치하여 상기 핀 플레이트(35)를 승강시킬 수 있도록 구성되는 것이다.
한편, 도면에서 참조번호 32는 상기 챔버(10)의 저면과 핀 플레이트(30)의 사이에 노출되는 리프트 핀(20)을 봉입하여 챔버(10) 내부의 진공 상태를 유지하게 하는 벨로우즈이다.
그러나 상기한 바와 같은 종래 기술의 리프트 핀 구동장치는, 모든 리프트 핀(20)들을 정확한 높이로 동시에 승강하기 위해서는 구동 모터(32)를 정밀하게 제어해야 하나, 두 개의 구동 모터(32)를 이용하고 있기 때문에 모든 리프트 핀(20)을 동일한 높이로 승강시키기 위한 두 모터의 동시 제어가 쉽지 않은 문제점이 있다.
여기서, 두 모터(32)의 제어가 정확하지 않아 핀 플레이트(35)가 기울어진 상태로 승강하게 되면, 리프트 핀(20)들 사이에 위상차가 발생하게 되고, 이러한 상태로 기판(S)을 로딩/언로딩시키게 되면 리프트 핀(20) 등에 의해 기판이 손상되거나 보다 양호한 기판 처리 공정을 수행하는데 한계가 발생되는 문제가 있다.
물론, 상기와 같은 리프트 핀(20)들의 위상차를 보상하기 위한 보상 제어 시스템을 구비하여 모터의 제어를 보상할 수 있으나, 이는 전체적으로 제어 구조가 더욱 복잡해지고, 장비의 비용도 상승하게 되는 문제점을 가져온다.
또한 상기한 바와 같은 공정 챔버는 플라즈마 형성 방법에 따라 크게 PE(Plasma Enhanced) 방식과 RIE(Reactive Ion Etching) 방식이 있는데, RIE 방식은 통상 챔버의 하부 공간에 RF 전력 등을 인가하기 위한 전장 모듈이 설치된다. 따라서 상기와 같이 챔버(10)의 하부 공간에 두 개의 구동 모터(32)가 설치되는 구성으로는 RIE 방식을 적용하기가 쉽지 않을 뿐만 아니라, 적용한다고 하더라도 도 3에서와 같이 매칭 박스(R)와 같은 전장 모듈을 설치하기 위해, 공간을 확보하기 위해서는 리프트 핀 구동장치(30)를 더 아래쪽에 설치하여야 한다. 이때에는 리프트 핀(20)은 물론 벨로우즈(22)의 길이가 크게 길어지므로 리프트 핀 구동 시스템이 현저하게 불안하게 됨은 물론 고가인 벨로우즈가 많이 사용됨으로 인하여 비용도 상승하게 되는 문제점이 있다.
결국, 상기한 바와 같은 종래 리프트 핀 구동장치는 복수개의 구동 모터(32)를 이용하여 리프트 핀(20)들을 승강시키게 되므로, 두 모터(32)의 제어 방식이 쉽지 않을 뿐만 아니라, 챔버(10)의 하부 구조도 복잡하여 부품들의 배치 설계가 불리하고, 보다 다양한 방식으로 공정 설비를 구성하는데도 한계가 있으며, 또한 장 비의 비용도 상승하여 원가 절감에도 불리한 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 핀 플레이트가 복수개로 나누어지고, 챔버의 하부 중앙 공간을 회피하여, 주변 영역에서 리프트 핀을 승강시킬 수 있도록 구성함으로써 챔버 하부 공간의 레이아웃 구성을 다양하게 실시할 수 있으며, 전체적인 장비의 제조비용을 줄여 원가 절감에 기여할 수 있는 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비한 평판표시소자 제조장치를 제공하는 데 목적이 있다.
또한 본 발명은 하나의 모터를 이용하여 전체 리프트 핀을 동시에 정확하게 승강시킬 수 있도록 구성함으로써 모터의 구동 제어가 용이해지고, 리프트 핀의 승강 작동도 보다 정확하게 이루어질 수 있도록 하는 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비한 평판표시소자 제조장치를 제공하는 데 다른 목적이 있다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 리프트 핀 구동장치는, 기판 탑재 수단을 관통한 상태로 배치되어 기판을 승강시키는 복수의 리프트 핀과; 상기 각 리프트 핀의 하단부가 각각 고정되어 있는 복수의 핀 플레이트와; 상기 복수의 핀 플레이트에 링크 부재로 각각 연결되어 상기 복수의 핀 플레이트를 동시에 상하 이동시키는 구동 수단과; 상기 핀 플레이트의 상하 이동을 안내하는 수직 가이드를 포함한 것을 특징으로 한다.
상기 기판 탑재 수단은 본 발명의 실시예에서 하부 전극 조립체로 예시하여 설명한다.
상기 복수의 핀 플레이트는 상기 기판 탑재 수단의 하부 중 중앙 영역의 주변인 가장 자리 영역에 배치되게 설치되는 것이 바람직하다.
상기 구동 수단은 볼 스크류 방식에 의해 상하 이동하는 구동 플레이트와, 상기 구동 플레이트와 상기 각 핀 플레이트 사이에 연결되는 복수의 링크 부재를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
상기 수직 가이드는 상기 탑재 수단과 상기 핀 플레이트에 각각 설치되어 상호 치합된 상태에서 상기 핀 플레이트의 상하 이동을 안내하는 랙과 피니언으로 구성될 수 있다. 이에 대하여 도 4 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 제 1 실시예에서 자세히 설명한다.
또한 상기 수직 가이드는 상기 탑재 수단과 상기 핀 플레이트에 각각 설치되어 상호 암수 방식으로 결합된 리니어 가이드로 구성될 수 있다. 이에 대하여 도 7을 참조하여 본 발명의 제 2 실시예에서 구체적으로 설명한다.
상기 두 방식의 수직 가이드는 상기 탑재 수단의 하부에서 길게 연결되어 상기 핀 플레이트를 통과하는 가이드 봉을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
또한 상기 수직 가이드는 상기 탑재 수단의 하부에서 길게 연결되어 상기 핀 플레이트를 통과하는 복수 개의 가이드 봉만으로 구성될 수 있다. 이에 대하여 도 8을 참조하여 본 발명의 제 3 실시예에서 구체적으로 설명한다.
다음, 상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 리프트 핀 구동장치가 구비된 평판표시소자 제조장치는, 하부에 핀 통과부를 갖는 챔버와; 상기 챔버의 내부에서 기판이 탑재될 수 있도록 이루어지고, 복수의 핀 통과부가 형성되어 있는 탑재 수단과; 상기 챔버의 하부 공간에 위치되어 상기 기판을 승강시킬 수 있도록 상기 챔버와 탑재 수단의 핀 통과부에 구비된 복수의 리프트 핀을 구동하는 수단으로서, 상기한 리프트 핀 구동장치를 포함한 것을 특징으로 한다.
여기서 상기 챔버 내에는, 공정 가스를 분사하면서 플라즈마를 발생시켜 기판의 표면을 처리할 수 있도록 상부 전극 조립체가 구비되고, 상기 상부 전극 조립체의 하부에 하부 전극 조립체가 배치되되, 이 하부 전극 조립체가 상기 탑재 수단을 구성하는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다. 참고로 본 발명의 여러 실시예는 평판표시소자를 제조하는 장비 중 하나인 공정 챔버를 중심으로 설명한다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 리프트 핀 구동장치가 구비된 공정 챔버를 보여주는 단면 구성도이고, 도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 리프트 핀 구동장치의 평면도이며, 도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 리프트 핀 구동장치의 주요부 사시도이다.
도시된 바와 같이 평판표시소자를 제조하는 공정 챔버는 진공 분위기 하에서 기판의 표면을 처리할 수 있도록 이루어진 챔버(50)가 구비되고, 이 챔버(50)의 내부에는 상부 전극 조립체(52)와 하부 전극 조립체(54)가 상하로 배치되어 구성된다.
여기서 상기 챔버(50)는 기판을 투입하거나 배출할 수 있도록 게이트(51)가 구비된다.
상기 상부 전극 조립체(52)는 기판(S)의 표면 처리를 위한 공정 가스가 제공되는 샤워 헤드가 구비된다.
상기 하부 전극 조립체(54)는 기판 탑재 수단으로서, 표면 처리할 기판(S)이 상부에 탑재되어 위치될 수 있도록 구성된다.
특히, 상기 하부 전극 조립체(54)는 기판 투입 및 배출 과정에서 기판(S)을 승강시키는 리프트 핀(60)들이 상하 방향으로 관통되게 설치된다. 이 하부 전극 조립체(54)에는 리프트 핀(60)이 통과하도록 핀 통과부가 구성되는데, 이 핀 통과부는 도면에서 핀 홀(56)들로 구성된다.
상기 챔버(50)의 하부 공간에는 상기 리프트 핀(60)들을 승강시키는 리프트 핀 구동장치(70)가 구비된다. 여기서 상기 챔버(50)에는 상기 리프트 핀(60)이 챔버(50)의 하부로 연장되어 상기 리프트 핀 구동장치(70)에 의해 작동될 수 있도록 역시 핀 통과부를 구성하는 핀 홀(58)들이 형성된다.
상기 리프트 핀 구동장치(70)는 기본적으로 하나의 구동 모터(71)에 의해 다수의 핀 플레이트(80) 상하 이동되면서 각각의 리프트 핀(60)들을 승강시킬 수 있도록 구성되는 바, 이와 같은 구조를 도면을 참조하여 자세히 설명한다.
도 4와 도 5에 도시된 바와 같이 상기 리프트 핀 구동장치(70)는 상기 챔버(50)의 하부에 위치되어 상기 각 리프트 핀(60)의 하단부가 각각 고정되어 있는 복수의 핀 플레이트(80)와, 이 복수의 핀 플레이트(80)를 동시에 상하 이동시키는 구동 수단과, 상기 핀 플레이트(80)의 상하 이동을 안내하는 수직 가이드(85)를 포함하여 구성된다.
이와 같은 본 발명의 주요 구성 부분을 자세히 설명한다.
상기 복수 개의 핀 플레이트(80)는 상기 챔버(50)의 하부 중앙 공간에 필요 부품들을 설치할 수 있도록 도 5에서와 같이 상기 챔버(50)의 하부 영역 중 중앙 영역의 주변인 가장 자리 영역에 배치되게 설치되는 것이 바람직하다.
이때, 상기 챔버(50) 하부의 중앙 공간에 설치될 수 있는 부품은 상기 공정 챔버(50)를 RIE(Reactive Ion Etching) 모드 방식으로 구성하거나 또는 PE 모드에서 변경할 때, 상기 하부 전극 조립체(54)에 RF 전력 등을 인가하기 위한 전장 모듈인 매칭 박스(Matching Box)를 위치시킬 수 있다.
상기와 같이 배치되는 상기 각 핀 플레이트(80)는 하나의 리프트 핀(60)이 고정되게 설치되는 것이 바람직하고, 필요에 따라 두 개 또는 세 개의 리프트 핀(60)이 함께 설치되는 것도 가능하다. 이러한 핀 플레이트(80)는 종래 하나만 구성된 것과는 달리 여러 개로 분할되게 구성되어 각각의 리프트 핀(60)을 승강시킬 수 있도록 구성되는 것이다. 물론 상기 핀 플레이트(80)는 종래와 같이 사각테 구조의 플레이트로 구성하여 모든 리프트 핀(60)이 함께 설치할 수 있는 구성도 가능하다.
이와 같은 상기 복수의 핀 플레이트(80)들은 링크 부재(77)로 각각 연결되어 이하 설명될 구동 수단에 의해 상하로 이동하면서 상기 리프트 핀(60)을 승강시키게 된다.
한편, 상기 챔버(50)의 핀 홀(58)을 밀봉하는 벨로우즈(65)는 챔버(50)의 저면과 상기 핀 플레이트(80)의 상부 또는 리프트 핀(60)의 하부에 연결되어 구성되는 것이 바람직하다.
다음, 상기 구동 수단은 기본적으로 볼 스크류 방식에 의해 상하 이동되는 구동 플레이트(75)와 이 구동 플레이트(75)에서 상기 각 핀 플레이트(80)로 방사형 구조로 연결되는 복수의 링크 부재(77)로 구성된다.
상기 구동 플레이트(75)는 소형의 판형 구조로 형성되어 상기 챔버(50) 하부의 중앙 공간에 배치되어, 하나의 구동 모터(71)와 볼 스크류(72)에 의해 승강 작동될 수 있도록 구성된다.
참고로 도면에서는 상기 구동 플레이트(75)의 상하 이동을 안내하는 가이드 수단을 예시하지는 않았지만 필요한 경우에 구동 플레이트(75)의 직선 이동을 안내하는 가이드 수단을 채택하여 사용할 수 있다.
그리고 상기에서는 볼 스크류 방식을 예시하여 설명하였으나, 반드시 이에 한정되지 않고 상기 구동 플레이트(75)를 상하 이동 가능하게 하는 액츄에이터의 구성이면 실시 조건에 따라 적절하게 선택하여 구성할 수 있음은 물론이다.
상기 링크 부재(77)는 일반적인 선형 부재로 구성되는 것이 바람직한데, 수직 운동을 위한 동력 전달 과정에서 변형량이 최소화될 수 있도록 충분한 강성을 가진 부재로 구성되는 것이 바람직하다.
이와 같은 링크 부재(77)는 상기 구동 플레이트(75)와 핀 플레이트(80)에 양단부가 회전 가능하게 연결되는 것이 바람직한 바, 볼 조인트 방식이나 힌지 연결 방식 등 실시 조건에 따라 상대 운동이 가능한 다양한 방식으로 연결하여 구성할 수 있다
상기 링크 부재(77)의 배치는 도 5에서와 같이 구동 플레이트(75)에서 주변 영역으로 방사형 구조로 배치되는 것이 바람직하고, 도 4에서와 같이 상하 방향으로 경사지게 배치되는 것이 바람직하다.
다음, 상기 수직 가이드(85)는 상기와 같은 구동 수단에 의해 상기 각각의 핀 플레이트(80)들이 안정되게 상하 이동할 수 있도록 구성된 것으로서, 상하 이동 안내 구조는 다양하게 구성할 수 있는 바, 본 실시예에서는 랙(87)과 피니언(86)을 이용한 안내 방식을 채택한다.
즉, 도 6을 참조하면, 상기 챔버(50)의 저면에 수직으로 랙(87)이 연결되어 설치되고, 상기 핀 플레이트(80)에 상기 랙(87)에 치합되는 피니언(86)이 설치된다. 따라서 상기 핀 플레이트(80)가 상하 이동할 때 피니언(86)이 랙(87)을 따라 상하 이동하면서 상기 핀 플레이트(80)의 상하 운동을 안내하고 지지하게 된다.
물론, 도면에 도시하지는 않았지만 상기와 반대로 핀 플레이트(80)에 랙(87)을 구성하고, 상기 챔버(50)의 하부에 피니언(86)을 구성하는 것도 가능하다.
다만, 랙(87)은 상기 핀 플레이트(80)의 보다 안정된 지지를 위해 중앙으로부터 바깥쪽에 위치시키고, 안쪽에 피니언(86)이 위치되도록 구성되는 것이 바람직 하다. 도 5는 이러한 구성을 보여준다.
그리고 상기 랙(87)과 피니언(86)으로 이루어진 수직 가이드(85)에 상기 챔버(50)의 하부에서 길게 연결되어 상기 핀 플레이트(80)를 통과하는 가이드 봉(88)을 추가로 구성할 수 있다.
이때 상기 핀 플레이트(80)에는 가이드 홀(80a)이 형성되고, 상기 가이드 봉(88)의 하단부에는 핀 플레이트(80)가 이탈하지 않도록 이탈방지너트(89) 등이 구성될 수 있다.
상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 리프트 핀 구동장치는 챔버(50) 하부의 중앙 영역을 회피하여 주변 영역에 복수개의 핀 플레이트(80)들을 배치시킴과 아울러, 중앙 영역의 하부 영역에서 하나의 구동 모터(71)를 이용하여 복수개의 핀 플레이트(80)를 동시에 승강시킬 수 있도록 구성되므로, 챔버 하주의 중앙 공간의 레이아웃이 유리해지고, 하나의 구동 모터(71)를 이용하여 모든 리프트 핀(60)을 동시에 승강시킬 수 있게 된다.
또한 상기 핀 플레이트(80)와 챔버(50) 사이에는 수직 가이드(85)가 구비되어 있으므로 각각의 핀 플레이트(80) 및 리프트 핀(60)이 보다 안정된 상태로 지지되어 승강할 수 있게 된다.
이하 상기와 같은 본 발명의 제 1 실시예와 유사한 구성을 갖는 여러 변형 실시예를 설명한다. 이때 상기한 제 1 실시예의 구성과 상이한 부분인 수직 가이드를 중심으로 설명하고, 도 7과 도 8의 도면도 도 6에 대응되는 부분의 구성만을 도 시한다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 리프트 핀(60) 구동장치의 주요부 사시도이다.
도시된 바와 같이 제 2 실시예에서는 수직 가이드(85A)가 전술한 제 1 실시예의 랙(87)과 피니언(86) 대신에 리니어 가이드가 구비된다.
상기 리니어 가이드는 통상 널리 사용되는 LM(Linear Motion) 가이드인 바, 도면에서는 가이드 홈(87a)이 형성된 고정 블록(87A)에 가이드 돌출부(86a)를 갖는 이동 블록(86A)이 암수 방식으로 결합된 구성을 보여준다.
여기서 상기 이동 블록(86A)은 상기 핀 플레이트(80)에 일체로 구성하는 것도 가능하다.
그리고 본 실시예에서도 수직 가이드(85A)로 가이드 봉(88)이 추가로 구성될 수 있다.
도 8은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 리프트 핀(60) 구동장치의 주요부 사시도이다.
본 발명의 제 3 실시예에서는 수직 가이드(85B)가 두 개의 가이드 봉(88B)로 이루어진 구성이 전술한 실시예의 구성과 다르다.
즉, 상기 핀 플레이트(80)에 두 개의 가이드 홀(80b)을 형성하고, 상기 챔버(50)의 하부에 고정된 가이드 봉(88B)이 상기 가이드 홀(80b)에 삽입된 상태에서 상기 핀 플레이트(80)의 상하 이동을 안내할 수 있도록 구성되는 것이다.
상기와 같이 구성되고 작용되는 본 발명에 따른 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비한 평판표시소자 제조장치는, 각각의 리프트 핀을 개별적으로 승강시킬 수 있도록 복수개의 핀 플레이트가 구성되므로, 챔버 하부 공간에서 주변 부품과의 간섭 없이 레이아웃 구조를 다양화할 수 있으며, 또한 챔버의 하부 중앙부를 회피하여 주변 영역에서 리프트 핀을 구동할 수 있도록 구성되기 때문에 챔버 하부 공간의 레이아웃(Layout) 구성을 다양하게 변형하여 실시할 수 있으며, 또한 전체적인 장비의 비용도 줄여 제품의 원가 절감에 기여할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명은 하나의 모터를 이용하여 전체 리프트 핀을 동시에 정확하게 승강시킬 수 있도록 구성되기 때문에 모터의 구동 제어가 간단해짐과 아울러 모든 리프트 핀의 승강 작동도 보다 정확하게 이루어질 수 있는 이점이 있다.

Claims (9)

  1. 기판 탑재 수단을 관통한 상태로 배치되어 기판을 승강시키는 복수의 리프트 핀과;
    상기 각 리프트 핀의 하단부가 각각 고정되어 있는 복수의 핀 플레이트와;
    상기 복수의 핀 플레이트에 링크 부재로 각각 연결되어 상기 복수의 핀 플레이트를 동시에 상하 이동시키는 구동 수단과;
    상기 핀 플레이트의 상하 이동을 안내하는 수직 가이드를 포함하며,
    상기 수직 가이드는 상기 탑재 수단과 상기 핀 플레이트에 각각 설치되어 상호 치합된 상태에서 상기 핀 플레이트의 상하 이동을 안내하는 랙과 피니언인 것을 특징으로 하는 리프트 핀 구동장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 핀 플레이트는 상기 기판 탑재 수단의 하부 중 중앙 영역의 주변인 가장 자리 영역에 배치되게 설치된 것을 특징으로 하는 리프트 핀 구동장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 구동 수단은 볼 스크류 방식에 의해 상하 이동하는 구동 플레이트와, 상기 구동 플레이트와 상기 각 핀 플레이트 사이에 연결되는 복수의 링크 부재를 포함한 것을 특징으로 하는 리프트 핀 구동장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 수직 가이드는 상기 탑재 수단의 하부에서 길게 연결되어 상기 핀 플레이트를 통과하는 가이드 봉을 포함한 것을 특징으로 하는 리프트 핀 구동장치.
  8. 하부에 핀 통과부를 갖는 챔버와;
    상기 챔버의 내부에서 기판이 탑재될 수 있도록 이루어지고, 복수의 핀 통과부가 형성되어 있는 탑재 수단과;
    상기 챔버의 하부 공간에 위치되어 상기 기판을 승강시킬 수 있도록 상기 챔버와 탑재 수단의 핀 통과부에 구비된 복수의 리프트 핀을 구동하는 수단으로서, 상기 청구항 1 내지 청구항 3, 청구항 7 중 어느 한 항에 기재된 리프트 핀 구동장치를 포함한 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 챔버 내에는, 공정 가스를 분사하면서 플라즈마를 발생시켜 기판의 표면을 처리할 수 있도록 상부 전극 조립체가 구비되고,
    상기 상부 전극 조립체의 하부에 하부 전극 조립체가 배치되되, 이 하부 전극 조립체가 상기 탑재 수단을 구성하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
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