KR20050081426A - 평판표시소자 제조장치 - Google Patents

평판표시소자 제조장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20050081426A
KR20050081426A KR1020040009663A KR20040009663A KR20050081426A KR 20050081426 A KR20050081426 A KR 20050081426A KR 1020040009663 A KR1020040009663 A KR 1020040009663A KR 20040009663 A KR20040009663 A KR 20040009663A KR 20050081426 A KR20050081426 A KR 20050081426A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
opening
closing
chamber
load lock
flat panel
Prior art date
Application number
KR1020040009663A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100606567B1 (ko
Inventor
이영종
최준영
조생현
Original Assignee
주식회사 에이디피엔지니어링
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에이디피엔지니어링 filed Critical 주식회사 에이디피엔지니어링
Priority to KR1020040009663A priority Critical patent/KR100606567B1/ko
Publication of KR20050081426A publication Critical patent/KR20050081426A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100606567B1 publication Critical patent/KR100606567B1/ko

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/54Apparatus specially adapted for continuous coating
    • HELECTRICITY
    • H01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67196Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the transfer chamber
    • HELECTRICITY
    • H01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67201Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the load-lock chamber

Abstract

본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대형 평판표시소자의 제조에 적합하도록 로드락 챔버 또는 공정 챔버 등을 상하로 적층하여 구비시킨 적층형 챔버를 가지는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치는, 로드락 챔버, 반송챔버, 공정챔버로 구성되는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상기 각 챔버는 독립적으로 진공 분위기를 형성할 수 있으며, 독자적으로 구동되는 복수개의 챔버가 상하로 적층되어 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

평판표시소자 제조장치{Apparatus for manufacturing flat panel display}
본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대형 평판표시소자의 제조에 적합하도록 로드락 챔버 또는 공정 챔버 등을 상하로 적층하여 구비시킨 적층형 챔버를 가지는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치(Liquid Crystal Display) 등의 평판표시소자 제조장치는 로드락챔버, 반송챔버, 공정챔버로 구성된다.
상기 로드락챔버(100), 반송챔버(200), 공정챔버(300)는 도 1에 도시된 바와 같이, 병렬적으로 나란하게 연결되어 구비되며, 각 챔버 간에는 기밀을 유지할 수 있는 게이트가 구비되어, 각 챔버간의 진공 분위기 등을 독립적으로 유지할 수 있도록 한다.
이러한 평판표시소자 제조장치는 공정의 완벽을 기하기 위하여 클린룸 내에 설치되기 때문에 평판표시소자 제조장치가 클린룸내에서 차지하는 면적이 좁을수록 장비의 설치 단가가 낮아지는 것이며, 결과적으로 생산되는 평판표시소자의 제조 단가가 낮아지는 것이다. 따라서, 클린룸내에서 좁은 면적을 차지하면서도 높은 생산 효율을 얻어내는 것이 평판표시소자 제조장치에 있어서 매우 중요하다.
특히, 최근에는 생산되는 평판표시소자의 크기가 대형화되면서, 평판표시소자 제조장치도 대형화되고 있다. 따라서 동일한 설치 면적을 차지하면서도 평판표시소자 생산 효율성이 높은 평판표시소자 제조장치의 개발이 강하게 요구된다. 그러므로 하나의 로드락 챔버로는 펌핑시간이 오래 소요되므로 상술한 요구에 대응할 수 없다는 문제점이 있다.
또한 종래의 로드락 챔버는 챔버 자체를 개방할 수 없는 구조이므로, 기판이 로드락 챔버내에서 파손되는 경우 또는 로드락 챔버 내에 손상이 발생하거나 부품의 교체 필요성이 있을때 상기 로드락 챔버에 구비되어 있는 게이트를 통하여 파손된 기판을 제거하거나, 로드락 챔버 내부의 보수작업을 수행할 수 밖에 없었다. 그러나, 로드락 챔버가 대형화되면서 더이상 좁은 게이트를 통하여 파손된 기판을 제거하거나 챔버 내부의 유지 보수 작업을 하는 것이 불가능해지는 심각한 문제점이 있다.
또한 공정 챔버에서도 동일한 문제점이 발생하며, 이를 해결하기 위한 공정 챔버의 구조가 요구된다.
본 발명의 목적은 독자적으로 진공 형성이 가능한 로드락 챔버 또는 진공 챔버를 적층형으로 구비하는 적층형 챔버를 구비하여 평판표시소자 생산의 효율성이 높은 평판표시소자 제조장치의 제공에 있다.
본 발명의 다른 목적은 로드락 챔버 또는 진공챔버를 적층형으로 구비하면서도 챔버 내부의 유지 보수 작업이 용이한 구조의 챔버를 구비한 평판표시소자 제조장치의 제공에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치는, 로드락 챔버, 반송챔버, 공정챔버로 구성되는 평판표시소자 제조장치에 있어서,
상기 각 챔버는 독립적으로 진공 분위기를 형성할 수 있으며, 독자적으로 구동되는 복수개의 챔버가 상하로 적층되어 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치는, 로드락 챔버, 반송챔버, 공정챔버로 구성되는 평판표시소자 제조장치에 있어서,
상기 로드락 챔버 또는 공정 챔버는 독립적으로 진공 분위기를 형성할 수 있으며, 독자적으로 구동되는 복수개의 로드락 챔버 또는 공정챔버가 상하로 적층되어 형성되는 적층형 챔버인 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 로드락 챔버에는,
- 상부에 위치되는 제1 로드락 챔버;
·상기 제1 로드락 챔버의 상부면 소정 부분에 형성된 제1 개구부;
·상기 제1 개구부를 밀폐할 수 있도록 제1 개구부보다 큰 면적으로 구비되는 상부 개폐부;
·상기 상부 개폐부의 상부에 상기 상부 개폐부와 연결되며, 상기 상부 개폐부를 상하로 구동시킬 수 있도록 구비되는 제1 개폐부 구동수단;
·상기 상부 개폐부의 하부에 상기 상부 개폐부와 연결되며, 그 소정 부분에 제1 기판지지부재가 구비되는 제1 기판지지봉;
- 하부에 위치되는 제2 로드락 챔버;
·상기 제2 로드락 챔버의 하부면 소정 부분에 형성된 제2 개구부;
·상기 제2 개구부를 밀폐할 수 있도록 제2 개구부보다 큰 면적으로 구비되는 하부 개폐부;
·상기 하부 개폐부의 하부에 상기 하부 개폐부와 연결되며, 상기 하부 개폐부를 상하로 구동시킬 수 있도록 구비되는 제2 개폐부 구동수단;
·상기 하부 개폐부의 상부에 상기 하부 개폐부와 연결되며, 그 소정 부분에 제2 기판지지부재가 구비되는 제2 기판지지봉;
이 구비된 평판표시소자 제조장치를 개시한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치에는 로드락 챔버(100), 반송챔버(200), 공정챔버(300)가 구비된다.
이때 상기 로드락 챔버(100) 또는 공정 챔버(300)는 적층형 챔버로 구비된다. 상기 적층형 로드락 챔버 또는 공정 챔버는 각각 독립적으로 진공 분위기를 형성할 수 있으며, 독립적으로 구동되는 복수개의 로드락 챔버 또는 공정 챔버가 상하로 적층되는 구조의 챔버를 말한다.
따라서 상기 로드락 챔버(100) 또는 공정 챔버(300)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상부에 위치되는 제1 로드락 챔버(400)와 하부에 위치되는 제2 로드락 챔버(500) 또는 상부에 위치되는 제1 공정 챔버(700)와 하부에 위치되는 제2 공정 챔버(800)로 구성된다. 이때 상부에 위치되는 제1 로드락 챔버(400) 또는 제1 공정 챔버(700)는 그 상부면의 소정 부분에 열릴 수 있는 개구부(도면에 미도시)가 형성되어 상부 방향으로 열리는 구조이며, 하부에 위치되는 제2 로드락 챔버(500)와 제2 공정 챔버(800)는 그 하부면의 소정 부분에 열릴 수 있는 개구부(도면에 미도시)가 형성되어 하부 방향으로 열리는 구조로 구비되는 것이 바람직하다. 개구부가 열리는 방식은 개구부 자체가 상방 또는 하방으로 이동되어서 열릴 수도 있고, 개구부가 슬라이딩 방식으로 좌우로 이동하여 열리는 구조일 수도 있다.
그리고 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제1 로드락 챔버(400)에는 제1 개구부(410), 상부 개폐부(420), 제1 개폐부 구동수단(430), 제1 기판지지봉(440)이 구비되고, 상기 제2 로드락 챔버(500)에는 제2 개구부(510), 하부 개폐부(520), 제2 개폐부 구동수단(530), 제2 기판지지봉(440)이 구비되는데,
이하에서는 상기 적층형 로드락 챔버의 구조를 각 구성요소 별로 상세하게 설명한다.
먼저 상기 제1 개구부(410)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제1 로드락 챔버(400)의 상부면 소정 부분에 형성된다. 이때 상기 제1 개구부(410)는 상기 제1 로드락 챔버(400)의 벽면 중 상부면이 뚫려서 소정 크기의 구멍이 형성된 것을 말한다. 상기 제1 개구부(410)는 상기 제1 로드락 챔버(400) 내부에서 기판이 파손되거나, 장비에 손상이 있을 경우, 이를 제거하거나 보수하기 위하여 작업자가 직접 들어가거나 여러가지 장비를 사용할 수 있어야 하므로 상기 제1 로드락 챔버(400) 상부면의 대부분을 차지하도록 형성되는 것이 바람직하다.
다음으로 상기 상부 개폐부(420)는 상기 제1 로드락 챔버(400)에 형성되어 있는 제1 개구부(410)를 밀폐할 수 있도록 제1 개구부(410)보다 큰 면적으로 구비된다. 즉, 상기 제1 개구부(410)를 완전히 막아서 상기 제1 로드락 챔버(400)의 외부와 내부를 격리시키는 역할을 한다. 따라서 상기 상부 개폐부(420)는 상기 제1 개구부(410)가 형성된 상기 제1 로드락 챔버(400)의 상부면과 겹치도록 상기 제1 개구부(410)보다 넓은 면적으로 형성되며, 상기 제1 로드락 챔버(400)의 상부면과 겹치는 부분에는 밀봉부재 삽입홈(도면에 미도시)이 형성되고, 상기 밀봉부재 삽입홈에는 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 밀봉부재(450)가 구비된다. 이는 상기 상부 개폐부(420)가 상기 제1 로드락 챔버(400)와 분리되는 구조임에도 불구하고 상기 제1 로드락 챔버(400)의 내부에 진공이 형성될 수 있도록 밀봉시키기 위한 것이다.
다음으로 상기 상부 개폐부(420)의 상부에는 제1 개폐부 구동수단(430)이 구비된다. 상기 제1 개폐부 구동수단(430)은 상기 상부 개폐부(420)를 상하로 구동시켜 개폐시키는 역할을 한다. 이때 상기 제1 개폐부 구동수단(430)은 상기 상부 개폐부(420)의 상부에 1개가 구비될 수도 있고, 다수개가 구비될 수도 있다.
본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치는 대형 기판의 제조를 위한 것으로 그 면적이 크므로, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제1 개폐부 구동수단(430)이 상기 상부 개폐부(420)의 각 모서리 근처에 1개씩 4개가 구비되는 것이 무게 중심을 잡기 쉽고, 각 제1 개폐부 구동수단(430)에 가해지는 하중을 분산시킬 수 있어서 바람직하다.
또한, 상기 제1, 2 로드락 챔버(400, 500)의 외부에는 도 3에 도시된 바와 같이, 외부 프레임(600)이 더 구비되고, 상기 제1 개폐부 구동수단(430)은 상기 상부 개폐부(420)와 상기 외부 프레임(600)에 각각 연결되며, 상기 외부 프레임(600)에 결합되어 지지된다.
그리고 상기 제1 개폐부 구동수단(430)은 상하로 구동될 수 있도록 구비되어 있어서, 자신에 결합되어 있는 상부 개폐부(420)를 개폐하는데, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 외부 프레임(600)에 구비된 제1 지그(610)에 의하여 연결되며, 상기 외부 프레임(600)의 상부로 돌출되면서 상승하고 하강된다.
다음으로 상기 제1 기판지지봉(440)은 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 상부 개폐부(420)의 하부에서 상기 상부 개폐부(420)와 연결되며, 그 소정 부분에 제1 기판지지부재(442)가 구비된다. 즉, 상기 제1 기판지지봉(440)은 상기 제1 로드락 챔버(400) 내부에 기판(444)을 위치시킬 수 있도록 구비되는 것이며, 상기 제1 기판지지부재(442)는 실제로 기판(444)과 접촉되는 부분이다.
또한 상기 제1 기판지지부재(442)는 각 제1 기판지지봉(440)에 하나가 형성될 수도 있지만, 하나의 로드락 챔버에 여러개의 기판을 동시에 지지하기 위하여 다수개가 형성될 수도 있다.
또한 상기 제1 기판지지봉(440)은 도 6에 도시된 바와 같이, 상하방향으로 구동될 수 있도록 구비되는 것이 바람직하다. 이는 상기 제1 기판 지지봉(440)에 위치한 기판(444)를 반송챔버(200)에 구비되어 있는 반송로봇(210)에 인계하거나 상기 반송로봇(210)으로 인계받는 경우 등 그 높이를 조절할 필요가 있을때 높이를 조절함으로써 기판의 전달을 효율적으로 하기 위함이며, 더 나아가서는 상기 상부 개폐부(420)를 개방하고 제1 로드락 챔버(400)의 내부를 보수하는 경우에 상기 제1 기판지지봉(440)을 상부로 이동시킴으로써 보수작업이 보다 용이하게 이루어지게 하기 위함이다.
또한 상기 제1 기판지지봉(440)을 상하로 구동시키면 상기 상부 개폐부(420)를 개방하는 경우 상부 개폐부(420)를 상승시키는 높이를 낮출 수 있어서, 본 발명의 평판표시소자 제조장치가 설치되는 클린룸의 높이를 낮출 수 있는 장점이 있다.
또한 상기 제1 기판지지봉(440)은 도 7a, 7b에 도시된 바와 같이, 상기 상부 개폐부(420) 중 상기 제1 개폐부 구동수단(430)과 연결되는 부분에 제1 기판지지봉 통과홈(422)을 형성시키고, 상기 제1 기판지지봉 통과홈(422)을 관통하도록 구비되되, 상기 제1 기판지지봉 통과홈(422)의 외주부분과 상기 제1 기판지지봉(440)의 소정부분을 밀봉시키는 제1 벨로우즈 모듈(446)이 더 구비되며, 상기 제1 개폐부 구동수단(430)의 내부로 중첩되어 상하로 구동될 수 있도록 구비되는 것이 더욱 바람직하다.
즉, 상기 제1 기판지지봉(440)이 상승하는 경우 그 상승하는 부분이 상기 제1 개폐부 구동수단(430)의 내부에 형성된 홈을 통해서 삽입되도록 하여 도 7b에 도시된 바와 같이, 상기 제1 개폐부 구동수단(430)과 제1 기판지지봉(440)이 동시에 상승하는 경우에 상기 제1 개폐부 구동수단(430)과 제1 기판지지봉(440)이 중첩되도록 하여 상승되는 전체 높이가 더욱 낮아져서 본 발명의 평판표시소자가 설치되는 클린룸의 높이를 더욱 낮출 수 있으며, 상기 상부 개폐부(420)를 들어올리는 높이가 낮으므로 개폐 동작 자체도 짧은 시간에 용이하게 이루어지는 장점이 있다.
그리고 상기 제1 기판 지지봉(440)의 말단에는 도 3에 도시된 바와 같이, 하부판(460)이 구비된다. 하부판(460)은 넓은 판상의 형상이며, 그 크기는 제1 기판 지지봉(440)에 의하여 지지되는 기판보다 넓은 크기이어야 한다. 하부판(460)은 제1 기판 지지봉(440)의 가장 말단에 형성되어 상기 제1 기판 지지봉(440)에 지지된 기판이 파손되는 경우 그 파편이 하부판(460)에 떨어지도록 하는 것이다.
따라서 파손된 기판의 제거작업시 상기 제1 개구부(410)를 상승시킨 후 상기 하부판(460) 상부면에 떨어져 있는 기판의 파편을 제거하면 되는 것이다. 그러므로 제1 로드락 챔버로 기판의 제거를 위해 작업자가 들어갈 필요가 없다.
다음으로 상기 제2 개구부(510)는 제2 로드락 챔버(500)의 하부면 소정 부분에 형성되며, 그 형상이나 크기는 상기 제1 개구부(410)와 동일하게 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 하부 개폐부(520)는 상기 제2 개구부(510)를 밀폐할 수 있도록 제2 개구부(510)보다 큰 면적으로 구비되는데, 그 구조나 역할은 상기 상부 개폐부(420)와 동일하다. 다만, 상기 하부 개폐부(520)는 상부 개폐부(420)와 달리 하측 방향으로 개폐된다.
또한 상기 제2 개폐부 구동수단(530)은 상기 하부 개폐부(520)의 하부에서 상기 하부 개폐부(520)와 연결되며, 상기 하부 개폐부(520)를 상하로 구동시킬 수 있도록 구비된다. 이때 상기 제2 개폐부 구동수단(530)은 제1 개폐부 구동수단(430)과 동일한 구조이며, 동일한 역할을 한다. 다만, 그 구동 방향이 상기 제1 개폐부 구동수단(430)과 반대이고, 상기 외부 프레임(600)에 결합된 하부 프레임(560)에 제2 지그(550)에 결합되어 지지될 수도 있고, 지면에 설치된 지지대(도면에 미도시)에 결합되어 지지될 수도 있는 점은 상이하다.
다음으로 상기 제2 기판지지봉(540)도 상기 제1 기판지지봉(440)과 동일한 구조이므로, 상기 하부 개폐부(520)의 상부에서 상기 하부 개폐부(520)와 연결되며, 그 소정 부분에 제2 기판지지부재(542)가 구비된다. 또한 상기 제2 기판지지봉(540)도 상하 방향으로 구동될 수 있도록 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 제2 기판지지봉(540)도 상기 제1 기판지지봉(440)과 마찬가지로, 상기 하부 개폐부(520) 중 상기 제2 개폐부 구동수단(530)과 연결되는 부분에 제2 기판지지봉 통과홈(도면에 미도시)을 형성시키고, 상기 제2 기판지지봉 통과홈을 관통하도록 구비되되, 상기 제2 기판지지봉 통과홈의 외주부분과 상기 제2 기판지지봉(540)의 소정부분을 밀봉시키는 제2 벨로우즈 모듈(도면에 미도시)이 더 구비되며, 상기 제2 개폐부 구동수단(530)의 내부로 중첩되어 상하로 구동될 수 있도록 구비되는 것이 바람직하다.
그리고 상기 상부 개폐부(420)와 하부 개폐부(520)는 도 8에 도시된 바와 같이, 상부 개폐부(420)는 상부 방향으로 상승하여 열리고, 하부 개폐부(520)는 하부 방향으로 하강하여 열린다.
또한 상기 반송챔버(200)에 구비되는 반송로봇(210)은 상기 적층형 로드락 챔버(100) 또는 적층형 공정 챔버(300) 사이 에서 기판을 반송하기 위하여는 상하로 구동될 수 있도록 구비되는 것이 바람직하다. 즉, 상부에 설치된 제1 로드락 챔버(400)와 제1 공정 챔버(700) 및 하부에 설치된 제2 로드락 챔버(500)와 제2 공정 챔버(800) 모두에서 기판을 반출하거나 반입하기 위해서는 상기 반송로봇(210)이 상하로 구동하면서 기판을 반송하여야 하기 때문이다.
본 발명에 의하면 로드락 챔버의 진공분위기 형성을 위한 펌핑시간 때문에 기판의 반송에 많은 시간이 소요되고, 기판의 처리 효율이 낮아지는 문제점이 해결된다. 즉, 상부에 설치된 제1 로드락 챔버를 한번 이용하여 기판을 반송하고, 제1 로드락 챔버가 다음 기판 반송을 위한 세팅이 진행되는 동안에는 하부에 설치된 제2 로드락 챔버를 이용하여 기판을 반송하면 펌핑시간에 의한 공정 지연을 방지할 수 있는 것이다.
또한 공정 챔버를 상하로 적층한 구조로 구비시킴으로써 하나의 평판표시소자 제조장치에서 2가지 공정을 수행하거나, 2개의 기판에 대한 공정을 처리할 수 있어서 기판의 처리 효율이 높아지는 장점이 있다.
더구나 로드락 챔버 또는 공정 챔버가 대형화 되더라도 그 내부를 용이하게 유지 보수할 수 있도록 각 로드락 챔버 또는 공정 챔버가 개방되는 구조로 구성되어 유지 보수작업이 용이해지는 장점이 있다.
도 1은 일반적인 평판표시소자 제조장치에 있어서 각 챔버의 배열상태를 도시한 모식 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 적층형 로드락 챔버 및 공정 챔버가 반송챔버에 결합되는 모습을 모식적으로 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 적층형 로드락 챔버의 내부 구조를 나타내는 단면도이다.
도 4는 적층형 로드락 챔버의 상부 개폐부 및 제1 개폐부 구동수단의 결합 모습을 나타내는 부분 사시도이다.
도 5는 적층형 로드락 챔버의 제1 개폐부 구동수단의 구동 모습을 나타내는 단면도이다.
도 6은 적층형 로드락 챔버의 제1 기판지지봉의 구동 모습을 나타내는 단면도이다.
도 7a,7b는 적층형 로드락 챔버의 제1 기판지지봉의 다른 실시예의 구동 모습을 나타내는 단면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 로드락 챔버의 상부 개폐부와 하부 개폐부가 열린 구조를 나타내는 단면도이다.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
100 : 로드락 챔버 200 : 반송챔버
210 : 반송로봇 300 : 공정챔버
400 : 제1 로드락 챔버 410 : 제1 개구부
420 : 상부 개폐부 430 : 제1 개폐부 구동수단
440 : 제1 기판지지봉 450 : 제1 밀봉부재
460 : 하부판 500 : 제2 로드락 챔버
510 : 제2 개구부 520 : 하부 개폐부
530 : 제2 개폐부 구동수단 540 : 제2 기판지지봉
550 : 제2 지그 560 : 하부 프레임
600 : 외부 프레임 610 : 제1 지그

Claims (13)

  1. 로드락 챔버, 반송챔버, 공정챔버로 구성되는 평판표시소자 제조장치에 있어서,
    상기 로드락 챔버 또는 공정 챔버는 독립적으로 진공 분위기를 형성할 수 있으며, 독자적으로 구동되는 복수개의 로드락 챔버 또는 공정 챔버가 상하로 적층되어 형성되는 적층형 챔버인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상부에 형성되는 로드락 챔버 또는 공정 챔버는 상부면의 소정 부분이 열리는 구조이며, 하부에 형성되는 로드락 챔버 또는 공정 챔버는 하부면의 소정 부분이 열리는 구조인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  3. 제2항에 있어서, 로드락 챔버는,
    - 상부에 위치되는 제1 로드락 챔버;
    ·상기 제1 로드락 챔버의 상부면 소정 부분에 형성된 제1 개구부;
    ·상기 제1 개구부를 밀폐할 수 있도록 제1 개구부보다 큰 면적으로 구비되는 상부 개폐부;
    ·상기 상부 개폐부의 상부에 상기 상부 개폐부와 연결되며, 상기 상부 개폐부를 상하로 구동시킬 수 있도록 구비되는 제1 개폐부 구동수단;
    ·상기 상부 개폐부의 하부에 상기 상부 개폐부와 연결되며, 그 소정 부분에 제1 기판지지부재가 구비되는 제1 기판지지봉;
    - 하부에 위치되는 제2 로드락 챔버;
    ·상기 제2 로드락 챔버의 하부면 소정 부분에 형성된 제2 개구부;
    ·상기 제2 개구부를 밀폐할 수 있도록 제2 개구부보다 큰 면적으로 구비되는 하부 개폐부;
    ·상기 하부 개폐부의 하부에 상기 하부 개폐부와 연결되며, 상기 하부 개폐부를 상하로 구동시킬 수 있도록 구비되는 제2 개폐부 구동수단;
    ·상기 하부 개폐부의 상부에 상기 하부 개폐부와 연결되며, 그 소정 부분에 제2 기판지지부재가 구비되는 제2 기판지지봉;
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 적층형 로드락 챔버의 외부에는 외부 프레임이 더 구비되고, 상기 제1 개폐부 구동수단은 상기 외부 프레임에 결합되어 지지되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 제1 개폐부 구동수단은,
    소정 간격으로 다수개가 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  6. 제3항에 있어서, 상기 제1 기판지지봉에는,
    그 말단에 넓은 판상의 구조를 가지는 하부판이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  7. 제3항에 있어서, 상기 제1 기판지지봉은,
    상하방향으로 구동될 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  8. 제3항 또는 제6항에 있어서, 상기 제1 기판지지봉은,
    상기 상부 개폐부 중 상기 제1 개폐부 구동수단과 연결되는 부분에 제1 기판지지봉 통과홈을 형성시키고, 상기 제1 기판지지봉 통과홈을 관통하도록 구비되되, 상기 제1 기판지지봉 통과홈의 외주부분과 상기 제1 기판지지봉의 소정부분을 밀봉시키는 제1 벨로우즈 모듈이 더 구비되며, 상기 제1 개폐부 구동수단의 내부로 중첩되어 상하로 구동될 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  9. 제3항에 있어서, 상기 제2 개폐부 구동수단은,
    지면에 구비된 지지대에 지지되거나, 외부 프레임에 결합되어 지지되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  10. 제3항에 있어서, 상기 제2 기판지지봉에는,
    다수개의 기판을 동시에 지지할 수 있도록 다수개의 제2 기판 지지부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  11. 제3항에 있어서, 상기 제2 기판지지봉은,
    상하방향으로 구동될 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  12. 제3항 또는 제11항에 있어서, 상기 제2 기판지지봉은,
    하부 개폐부 중 제2 개폐부 구동수단과 연결되는 부분에 제2 기판지지봉 통과홈을 형성시키고, 제2 기판지지봉 통과홈을 관통하도록 구비되되, 제2 기판지지봉 통과홈의 외주부분과 상기 제2 기판지지봉의 소정부분을 밀봉시키는 제2 벨로우즈 모듈이 더 구비되며, 상기 제2 개폐부 구동수단의 내부로 중첩되어 상하로 구동될 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  13. 제1항에 있어서,
    반송챔버내에 구비되는 반송로봇은 상하 방향으로 구동할 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
KR1020040009663A 2004-02-13 2004-02-13 평판표시소자 제조장치 KR100606567B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040009663A KR100606567B1 (ko) 2004-02-13 2004-02-13 평판표시소자 제조장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040009663A KR100606567B1 (ko) 2004-02-13 2004-02-13 평판표시소자 제조장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050081426A true KR20050081426A (ko) 2005-08-19
KR100606567B1 KR100606567B1 (ko) 2006-07-28

Family

ID=37268048

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040009663A KR100606567B1 (ko) 2004-02-13 2004-02-13 평판표시소자 제조장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100606567B1 (ko)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100794649B1 (ko) * 2006-03-02 2008-01-14 브룩스오토메이션아시아(주) 로드락 챔버
KR100965515B1 (ko) * 2005-09-30 2010-06-24 엘아이지에이디피 주식회사 평판표시소자 제조장치
KR101218553B1 (ko) * 2012-03-21 2013-01-21 주성엔지니어링(주) 완충챔버를 가지는 로드락챔버
KR20140059727A (ko) * 2012-11-08 2014-05-16 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 로드 로크 장치
KR20150133076A (ko) * 2014-05-19 2015-11-27 주식회사 선익시스템 박막 증착 인라인 시스템
KR101866760B1 (ko) * 2015-09-14 2018-06-18 (주)제이피엘 디스플레이 기판 제조용 경화장치

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100965515B1 (ko) * 2005-09-30 2010-06-24 엘아이지에이디피 주식회사 평판표시소자 제조장치
KR100794649B1 (ko) * 2006-03-02 2008-01-14 브룩스오토메이션아시아(주) 로드락 챔버
KR101218553B1 (ko) * 2012-03-21 2013-01-21 주성엔지니어링(주) 완충챔버를 가지는 로드락챔버
KR20140059727A (ko) * 2012-11-08 2014-05-16 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 로드 로크 장치
KR20150133076A (ko) * 2014-05-19 2015-11-27 주식회사 선익시스템 박막 증착 인라인 시스템
KR101866760B1 (ko) * 2015-09-14 2018-06-18 (주)제이피엘 디스플레이 기판 제조용 경화장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR100606567B1 (ko) 2006-07-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100606567B1 (ko) 평판표시소자 제조장치
CN100536070C (zh) 真空处理装置
KR100715067B1 (ko) 기판 반송 장치, 기판 반송 방법 및 진공 처리 장치
KR100566324B1 (ko) 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈
KR100622846B1 (ko) 평판표시소자 제조장치
TW201712780A (zh) 基板搬送室、基板處理系統以及基板搬送室內之氣體置換方法
KR101335302B1 (ko) 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비한 평판표시소자 제조장치
KR101685752B1 (ko) 기판 중계 장치, 기판 중계 방법, 기판 처리 장치
US8499430B2 (en) Assembly method of transfer mechanism and transfer chamber
US20050183665A1 (en) Apparatus for manufacturing flat-panel display
KR100606566B1 (ko) 평판표시소자 제조장치
KR101898065B1 (ko) 기판이송모듈
KR101020154B1 (ko) 측면개방형 진공챔버
KR100965515B1 (ko) 평판표시소자 제조장치
KR101362458B1 (ko) 리프트 핀 모듈 및 이것을 포함하는 평판표시소자 제조장치
KR100640557B1 (ko) 평판표시소자 제조장치
KR101898064B1 (ko) 기판이송모듈
KR101528137B1 (ko) 기판처리장치의 기판교환모듈 및 그를 가지는 기판처리장치
KR100752934B1 (ko) 진공처리장치
KR101362455B1 (ko) 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비한 평판표시소자 제조장치
KR101468388B1 (ko) 게이트 밸브 및 이것을 포함하는 평판표시소자 제조장비
KR100640559B1 (ko) 평판표시소자 제조장치
KR100561108B1 (ko) 기판 처리 설비
KR100773263B1 (ko) 진공처리장치
JP5187565B2 (ja) ポッド開閉装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120626

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130724

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140724

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee