KR100794649B1 - 로드락 챔버 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 로드락 챔버에 관한 것으로서, 본체와 덮개를 포함하는 본 발명에 의한 로드락 챔버는 상기 본체의 저판에는 기판을 적재할 수 있는 적재부가 일체형성된다. 상기 적재부는 상기 기판을 적재하기 위한 적재면과, 반송로봇의 암이 진입할 수 있는 진입면으로 이루어지며, 또한 상기 본체의 저판 또는 덮개의 두께방향으로는 냉매유로가 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 본 발명에 따르면, 기판 적재대를 별도로 형성하지 아니하고, 챔버 본체의 저판에 일체형성되기 때문에 챔버 내부구성이 매우 간단하다. 따라서 제조 및 유지보수가 용이하고, 그에 대한 비용절감효과가 있다.
로드락 챔버. 적재대. 일체형성. 냉매유로.

Description

로드락 챔버{Load-lock chamber}
도 1은 종래 로드락 챔버의 내부 구성을 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명에 의한 로드락 챔버의 내부 구성을 나타내는 분리사시도이다.
도 3은 도 2의 저면 사시도이다.
도 4는 본 발명에 의한 다층구조를 가지는 로드락 챔버의 분리사시도이다.
도 5는 도 4에 도시된 로드락 챔버의 단면도이다.
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**
1: 로드락 챔버 10: 본체
11: 저판 12: 적재면
13: 냉매유입구 14: 냉매유출구
15: 냉매유로 16: 진입면
20: 덮개 21: 냉매유로
22: 냉매유입구 23: 냉매유출구
본 발명은 로드락 챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 적재대를 별도로 형성하지 아니하고, 챔버 본체의 저판에 일체형성되고, 냉각 플레이트가 별도로 구비되지 않기 때문에 챔버의 내부구성이 매우 간단한 로드락 챔버에 관한 것이다.
최근 정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광받고 있다. 이러한 평판표시소자로는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 대표적이다.
이 중에서 액정표시소자를 예로 설명하면, 유리 기판상에 유전체 물질 등을 박막으로 증착하는 증착공정, 감광성 물질을 사용하여 이들 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그라피 (Photolithography)공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 목적하는 대로 패터닝(Patterning)하는 식각공정, 잔류물을 제거하기 위한 세정공정 등을 수차례 반복하여야 하는데, 이들 각 공정은 해당 공정을 위해 최적의 환경이 조성된 챔버 내부에서 진행된다.
이러한 진공처리장치는 플라즈마 처리 등의 공정이 수행되는 공정챔버와, 로드락 챔버와, 이송챔버 등으로 구성된다. 이들 진공처리용 챔버는 공정순으로 배치될 수도 있고, 다수의 챔버가 이송챔버를 중심으로 결합되는 클러스터 형태로 배치될 수도 있다.
종래 방식의 클러스터형 진공처리장치의 구성을 설명보면, 이송챔버를 중심으로 다수개의 공정챔버와 로드락챔버가 연결되며, 로드락챔버의 일측면은 다수개의 기판을 적재하는 카세트와 연결되어 있다. 상기 로드락 챔버는 진공과 대기압 분위기가 반복되도록 핸들링되고, 기판이 반입 또는 반송된다.
도 1을 참조하여 종래 로드락 챔버(100)의 구성을 설명하면, 측벽과 저판으로 구성되는 본체(110)와, 그의 상면에 장착되는 덮개(120)로 이루어진다. 또한 로드락 챔버의 내부에는 기판(S)을 적재하는 적재대(140)가 구비되는데, 상기 적재대(140)는 기판(S)이 적재되는 적재면(141)과, 반송로봇의 암이 진입할 수 있는 진입면(142)이 요철(凹凸)형상으로 구성되었다. 또한 기판을 냉각할 수 있는 냉매유로(143)가 형성되어 있다.
또한, 상기 적재대(140)의 상부에 설치되는 냉각플레이트(150)가 구비된다. 상기 냉각플레이트(150)는 기판(S)을 냉각시키기 위하여 내부에 냉매유로(151)가 형성되어 있다.
그러나 종래의 로드락 챔버는 상술한 바와 같이, 내부에 기판 적재대(140)와 냉각 플레이트(150)가 각각 별도로 형성되기 때문에, 챔버 전체의 부피가 필요 이상으로 크므로, 제작 및 유지보수가 어렵다는 문제점이 있었다.
또한 냉각플레이트(150)가 떨어지는 안전사고가 발생되기도 하였다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목 적은 기판 적재대를 별도로 형성하지 아니하고, 챔버 본체의 저판에 일체형성되는 로드락 챔버를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 냉각 플레이트가 별도로 구비되지 않고, 덮개에 냉각유로가 형성되는 로드락 챔버를 제공함에 있다.
위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본체와 덮개를 포함하는 본 발명에 의한 로드락 챔버는 상기 본체의 저판에는 기판을 적재할 수 있는 적재부가 일체형성된다.
상기 적재부는 상기 기판을 적재하기 위한 적재면과, 반송로봇의 암이 진입할 수 있는 진입면으로 이루어지며, 또한 상기 본체의 저판 또는 덮개의 두께방향으로는 냉매유로가 형성되는 것이 바람직하다.
또한 상기 로드락 챔버는 다층구조로 형성되는 것이 바람직한데, 이 경우 상기 본체를 상하로 적어도 2개 이상 적층한 후, 최상부에 위치하는 본체의 상면에 상기 덮개를 결합하는 것이 더욱 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 로드락 챔버(1)는 측벽과 저판(11)으로 구성되는 본체(10)와, 상기 본체(10)의 상면에 결합되는 덮개(20)를 포함 하여 이루어진다.
도시된 바와 같이, 상기 본체(10)의 저판(11)에는 기판 적재부가 일체형성되어 있음을 알 수 있다. 상기 기판 적재부는 기판을 적재할 수 있는 적재면(12)과 반송로봇의 암이 진입할 수 있는 진입면(16)이 각각 요철(凹凸)형상으로 구성된다. 특히, 상기 본체의 저판(11)에는 두께방향으로 냉매유로(15)가 형성되어 있다. 물론 상기 냉매유로(15)에 냉매를 순환시키기 위한 냉매유입구(13) 및 냉매유출구(14)가 형성되어 있다.
또한 본 발명에 따른 로드락 챔버(1)는 기판 상부에서 기판을 냉각하는 냉각 플레이트가 별도로 구비되어 있지 않다. 대신 상기 본체(10)의 상부에 결합하는 덮개(20)의 내부에 냉매유로(21)를 형성하고, 그 일측에는 냉매 유입구(22) 및 유출구(23)가 형성되어 있다. 따라서 본 발명에 따르면, 기판 적재부에 적재된 기판은 저판(11) 및 덮개(20)의 두께방향(내부)에 형성된 냉매유로(15,21)에 냉매를 순환시킴으로써 냉각되는 것이다.
위와 같이 구성된 본 발명에 의한 로드락 챔버의 작용은 다음과 같다. 본 발명에 따르면, 기판 적재대가 별도로 형성되어 챔버 내부에 설치되는 것이 아니라, 저판에 요철형상으로 일체형성되는 것이다. 더욱이, 상기 저판(11) 및 덮개(20)의 두께방향에 냉각유로(15,21)가 일체형성되어 있는 것이다.
위와 같이 저판(11) 및 덮개(20)의 두께방향(내부)에 냉매유로(15,21)를 일체형성하는 방법은 여러가지가 있으며, 대표적으로는 건드릴을 이용하여 형성할 수 있다. 구체적으로 설명하면, 건드릴로 상기 덮개(11,20)의 두께방향을 관통하는 홀 을 다수개 형성한다. 상기 다수개의 관통홀은 서로 평행하거나 교차되도록 적절한 위치에 형성한다. 이 상태에서 밀폐부재(마개)를 이용하여 상기 관통홀의 양단부를 폐쇄시키면, 상기 관통홀들이 서로 연통되는 소정의 유로가 형성되는 것이고, 이와 같이 형성된 유로가 다름 아닌 냉매유로(15,21)인 것이다.
도 4 및 도 5를 참조하여 본 발명에 따른 다층구조로 이루어진 로드락 챔버를 설명한다. 도시된 바와 같이, 기판 적재부가 일체형성된 복수개의 본체(10a,10b)를 순차적으로 2개 이상 적층한 다음, 최상부에 위치하는 본체(10b)의 상면에 덮개(20)를 결합하여 이루어지는 것이다. 따라서 각 본체(10a,10b)의 저판과 덮개(20)에 냉매유로가 형성되는 것이다. 도 5를 참조하여 본 실시예의 작용을 설명하면, 1층에 위치하는 본체(10a)에 적재된 기판은 그 저판과 2층에 위치하는 본체의 저판의 두께방향에 일체형성된 냉매유로에 냉매를 순환시킴으로써 냉각시키고, 2층에 위치하는 본체에 적재된 기판은 그 저판과 덮개의 두께방향에 일체형성된 냉매유로에 냉매를 순환시킴으로써 냉각시키는 것이다. 즉, 2층 본체의 저판에 형성된 냉매유로는 1층 및 2층을 동시에 냉각시키는 요소인 것이다.
본 발명에 따르면, 기판 적재대를 별도로 형성하지 아니하고, 챔버 본체의 저판에 일체형성되기 때문에 챔버 내부구성이 매우 간단하다. 따라서 제조 및 유지보수가 용이하고, 그에 대한 비용절감효과가 있다.
또한 냉각플레이트를 별도로 구비하지 아니하고, 본체의 벽체 즉, 저판이나 덮개의 두께방향에 일체형성하기 때문에 제조가 유리할 뿐만 아니라 냉각플레이트의 낙하에 따른 손상이나 냉매의 리크(leak)에 따른 문제가 없다.

Claims (5)

  1. 본체와 덮개를 포함하는 로드락 챔버에 있어서,
    상기 본체의 저판에는 기판을 적재할 수 있는 적재부가 일체형성되며, 상기 적재부는 상기 기판을 적재하기 위한 적재면과, 반송로봇의 암이 진입할 수 있는 진입면으로 이루어지되,
    상기 본체의 저판 또는 덮개의 두께방향으로는 냉매유로가 일체형성되며, 상기 로드락 챔버는 다층구조로 상기 본체를 상하로 적어도 2개 이상 적층한 후, 최상부에 위치하는 본체의 상면에 상기 덮개를 결합하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버.
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