KR20190001107A - 비히클 유지 보수용 승강 장치 - Google Patents

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KR20190001107A KR1020170080556A KR20170080556A KR20190001107A KR 20190001107 A KR20190001107 A KR 20190001107A KR 1020170080556 A KR1020170080556 A KR 1020170080556A KR 20170080556 A KR20170080556 A KR 20170080556A KR 20190001107 A KR20190001107 A KR 20190001107A
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Abstract

주행 레일을 따라 이동하는 천장 주행 이송 장치의 비히클 유지 보수를 위한 비히클 유지 보수용 승강 장치가 개시된다. 상기 장치는, 상기 주행 레일과 연결되며 상기 비히클의 유지 보수를 위한 공간을 제공하는 작업 챔버와, 상기 주행 레일과 연결되는 상부 위치와 상기 비히클의 유지 보수가 수행되는 하부 위치 사이에서 승강 가능하도록 상기 작업 챔버 내에 배치되며 상기 작업 챔버 내에서 상기 비히클을 지지하는 서포트 레일과, 상기 서포트 레일을 승강시키기 위한 승강 기구와, 상기 작업 챔버 내부의 공기를 외부로 배출하며 상기 작업 챔버 내부의 오염 물질을 제거하기 위한 팬 필터 유닛을 포함한다.

Description

비히클 유지 보수용 승강 장치{Vehicle maintenance lift}
본 발명의 실시예들은 비히클 유지 보수용 승강 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, OHT(Overhead Hoist Transport) 장치와 같은 천장 주행 이송 장치의 비히클(vehicle) 유지 보수를 위한 승강 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 또는 디스플레이 장치는 실리콘 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 기판에 대하여 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 제조될 수 있다. 예를 들면, 상기 기판 상에 회로 패턴들을 형성하기 위하여 증착, 사진 식각, 산화, 이온 주입, 세정 등의 제조 공정들이 선택적 및/또는 반복적으로 수행될 수 있다.
상기와 같은 제조 공정들은 오염 방지를 위하여 청정도 관리가 이루어지는 클린룸 내에서 수행되며, 상기 제조 공정들 사이에서의 기판 이송은 카세트, 풉(FOUP) 등과 같은 기판 수납 용기를 이용하여 이루어질 수 있다. 예를 들면, 상기 기판 수납 용기는 RGV(Rail Guided Vehicle), OHT(Overhead Hoist Transport) 등과 같은 무인 반송 장치에 의해 상기 제조 공정들 사이에서 이송될 수 있다.
상기 OHT 장치와 같은 천장 주행 이송 장치는, 클린룸의 천장에 설치된 주행 레일과, 상기 주행 레일 상에서 이동 가능하도록 구성된 비히클을 포함할 수 있다. 상기 비히클의 하부에는 이송 대상물의 운반을 위한 호이스트 모듈이 장착될 수 있으며, 상기 호이스트 모듈은 상기 이송 대상물의 파지를 위한 그리퍼 유닛과, 상기 그리퍼 유닛의 수직 이동을 위한 호이스트 유닛과, 상기 그리퍼 유닛과 호이스트 유닛의 수평 이동 및 회전을 위한 로봇을 포함할 수 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2013-0057955호 (공개일자: 2013년 06월 03일)
본 발명의 실시예들은 상기 천장 주행 이송 장치의 비히클에 대한 유지 보수를 위해 상기 비히클을 수직 방향으로 승강시키며 아울러 유지 보수 과정에서 발생되는 오염 물질의 제거가 가능한 비히클 유지 보수용 승강 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 주행 레일을 따라 이동하는 천장 주행 이송 장치의 비히클 유지 보수를 위한 비히클 유지 보수용 승강 장치에 있어서, 상기 장치는, 상기 주행 레일과 연결되며 상기 비히클의 유지 보수를 위한 공간을 제공하는 작업 챔버와, 상기 주행 레일과 연결되는 상부 위치와 상기 비히클의 유지 보수가 수행되는 하부 위치 사이에서 승강 가능하도록 상기 작업 챔버 내에 배치되며 상기 작업 챔버 내에서 상기 비히클을 지지하는 서포트 레일과, 상기 서포트 레일을 승강시키기 위한 승강 기구와, 상기 작업 챔버 내부의 공기를 외부로 배출하며 상기 작업 챔버 내부의 오염 물질을 제거하기 위한 팬 필터 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 작업 챔버의 측면에는 상기 비히클의 동작 상태를 점검하기 위한 제1 도어가 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 작업 챔버의 전면 상부에는 상기 비히클의 출입을 위한 개구가 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 작업 챔버의 전면 하부에는 상기 비히클의 동작 테스트를 위한 테스트용 로드 포트가 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 개구와 상기 테스트용 로드 포트 사이에는 상기 비히클의 반입 및 반출을 위한 제2 도어가 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 작업 챔버의 하부에는 상기 공간을 한정하는 배플 플레이트가 배치될 수 있으며 상기 팬 필터 유닛은 상기 배플 플레이트 아래에 배치될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치는, 상기 주행 레일과 연결되며 상기 비히클의 유지 보수를 위한 공간을 제공하는 작업 챔버와, 상기 주행 레일과 연결되는 상부 위치와 상기 비히클의 유지 보수가 수행되는 하부 위치 사이에서 승강 가능하도록 상기 작업 챔버 내에 배치되며 상기 작업 챔버 내에서 상기 비히클을 지지하는 서포트 레일과, 상기 서포트 레일을 승강시키기 위한 승강 기구와, 상기 작업 챔버 내부의 공기를 외부로 배출하며 상기 작업 챔버 내부의 오염 물질을 제거하기 위한 팬 필터 유닛을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 비히클의 유지 보수를 위한 상기 비히클의 승강이 용이하게 이루어질 수 있으며, 또한 상기 비히클의 유지 보수 작업이 상기 작업 챔버 내에서 수행되고 상기 작업 챔버 내부의 오염 물질이 상기 팬 필터 유닛에 의해 제거될 수 있으므로, 상기 비히클의 유지 보수 작업에 의해 클린룸의 내부가 오염되는 것이 충분히 방지될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 유지 보수용 승강 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 비히클 유지 보수용 승강 장치의 외관을 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 유지 보수 작업이 수행된 후 비히클의 동작 테스트 단계를 설명하기 위한 개략도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 유지 보수용 승강 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 비히클 유지 보수용 승강 장치의 외관을 설명하기 위한 사시도이며, 도 3은 도 1에 도시된 유지 보수 작업이 수행된 후 비히클의 동작 테스트 단계를 설명하기 위한 개략도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 유지 보수용 승강 장치(100)는 물건 이송을 위한 비히클(30)의 유지 보수를 위해 상기 비히클(30)의 승강을 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, OHT 장치와 같은 천장 주행 이송 장치(10)의 비히클(30)에 대한 유지 보수를 위해 사용될 수 있다.
상기 천장 주행 이송 장치(10)는 클린룸의 천장에 설치되는 주행 레일(20)과 상기 주행 레일(20) 상에서 이동 가능하게 구성되는 비히클(30)을 포함할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 비히클(30)은 상기 주행 레일(20)을 따라 이동하기 위한 추진력을 제공하는 주행 모듈과 상기 주행 모듈의 하부에 장착되며 물건의 이송을 위한 호이스트 모듈을 포함할 수 있다. 상기 호이스트 모듈은 이송 대상물의 픽업을 위한 그리퍼 유닛과, 상기 그리퍼 유닛의 수직 이동을 위한 호이스트 유닛과, 상기 그리퍼 유닛과 호이스트 유닛의 수평 이동 및 회전을 위한 로봇을 포함할 수 있다.
상기 비히클 유지 보수용 승강 장치(100)는, 상기 주행 레일(20)과 연결되며 상기 비히클(30)의 유지 보수를 위한 공간을 제공하는 작업 챔버(110)와, 상기 주행 레일(20)과 연결되는 상부 위치와 상기 비히클(30)의 유지 보수가 수행되는 하부 위치 사이에서 승강 가능하도록 상기 작업 챔버(110) 내에 배치되며 상기 작업 챔버(110) 내에서 상기 비히클(30)을 지지하는 서포트 레일(120)과, 상기 서포트 레일(120)을 승강시키기 위한 승강 기구(130)와, 상기 작업 챔버(110) 내부의 공기를 외부로 배출하며 상기 작업 챔버(110) 내부의 오염 물질을 제거하기 위한 팬 필터 유닛(140)을 포함할 수 있다.
상기 작업 챔버(110)는 대략 직사각 형태를 가질 수 있으며, 상기 작업 챔버(110)의 전면 상부에는 상기 비히클(30)의 출입을 위한 개구(112)가 구비될 수 있다. 즉, 도시된 바와 같이 상기 개구(112)를 통해 상기 주행 레일(20)의 단부가 배치될 수 있으며, 상기 서포트 레일(120)은 상기 주행 레일(20)의 단부에 인접하는 상부 위치와 상기 비히클(30)의 유지 보수를 위한 하부 위치 사이에서 승강될 수 있다.
상기 승강 기구(130)는 상기 비히클(30)이 상기 상부 위치에서 상기 서포트 레일(120) 상으로 이동된 후 상기 서포트 레일(120)을 상기 하부 위치로 하강시킬 수 있다. 예를 들면, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 승강 기구(130)는 상기 서포트 레일(120)을 수직 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일들과 상기 서포트 레일(120)을 수직 방향으로 승강시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 구동부는 모터와 타이밍 벨트 등을 이용하여 구성될 수 있다. 그러나, 상기 구동부의 구성은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
상기 작업 챔버(110)의 측면에는 상기 비히클(30)의 동작 상태를 점검하기 위한 제1 도어(114)가 구비될 수 있다. 상기 비히클(30)이 상기 하부 위치로 하강된 후 작업자는 상기 제1 도어(114)를 개방한 후 상기 비히클(30)의 동작 상태를 점검할 수 있다. 예를 들면, 상기 주행 모듈과 호이스트 모듈의 동작 상태, 각종 센서들의 동작 상태, 상기 주행 모듈의 구동 휠들의 마모 상태 등이 작업자에 의해 점검될 수 있다.
한편, 상기 비히클(30)의 동작 상태가 불량하여 고장 수리, 부품 교체 등이 요구되는 경우 상기 비히클(30)은 상기 작업 챔버(110)로부터 반출될 수 있다. 이를 위해 상기 작업 챔버(110)의 전면에는 상기 비히클(30)의 반입 및 반출을 위한 제2 도어(116)가 구비될 수 있다. 상기 제2 도어(116)는 상기 개구(112) 아래에 위치될 수 있으며, 후술될 테스트용 로드 포트(150) 상부에 배치될 수 있다. 즉, 상기 제2 도어(116)는 상기 개구(112)와 상기 테스트용 로드 포트(150) 사이에 위치될 수 있다.
상기 테스트용 로드 포트(150)는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 비히클(30)이 상기 작업 챔버(110)로 이동되기 전 또는 상기 비히클(30)의 점검이 완료된 후 상기 주행 레일(20) 상에 위치된 비히클(30)의 동작 상태를 테스트하기 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 테스트용 로드 포트(150)는 공정 설비에 구비되는 로드 포트와 동일하게 구성될 수 있으며, 카세트 또는 FOUP 등과 같은 기판 수납 용기를 지지할 수 있도록 구성될 수 있다. 즉, 상기 테스트용 로드 포트(150)는 상기 기판 수납 용기의 로드/언로드 테스트, 상기 호이스트 모듈의 티칭 상태 등을 테스트하기 위해 사용될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 팬 필터 유닛(140)은 상기 작업 챔버(110)의 하부에 구비될 수 있으며, 상기 작업 챔버(110) 내에서 발생된 파티클과 같은 오염 물질이 상기 작업 챔버(110)의 외부 즉 클린룸으로 확산되는 것을 방지하기 위해 사용될 수 있다. 즉, 상기 팬 필터 유닛(140)은 상기 작업 챔버(110) 내부의 공기를 외부 즉 클린룸으로 배출할 수 있으며, 이때 상기 공기에 포함된 오염 물질을 제거할 수 있다. 특히, 상기 작업 챔버(110) 내부에는 상기 팬 필터 유닛(140)에 의해 하방 기류가 형성될 수 있으며, 이에 따라 상기 개구(112)를 통해 상기 작업 챔버(110) 내부로 유입되거나 상기 작업 챔버(110) 내에서 발생된 오염 물질이 포함된 공기는 상기 팬 필터 유닛(140)에 의해 정화된 후 상기 작업 챔버(110)로부터 배출될 수 있다.
예를 들면, 상기 작업 챔버(110)의 하부에는 상기 작업 챔버(110)의 내부 공간을 한정하는 즉 상기 작업 챔버(110)의 바닥을 구성하는 배플 플레이트(118)가 배치될 수 있으며, 상기 팬 필터 유닛(140)은 상기 배플 플레이트(118) 아래에 배치될 수 있다. 상기 팬 필터 유닛(140)의 아래에는 상기 작업 챔버(110)의 하부 패널(119)이 구비될 수 있다. 상기 배플 플레이트(118)는 복수의 관통공들을 구비하거나 그물망 형태로 구성될 수 있으며, 상기 하부 패널(119)에는 상기 공기를 외부로 배출하기 위한 복수의 개구들이 구비될 수 있다.
특히, 상기 팬 필터 유닛 내부(140)의 필터 오염 정도와 팬의 동작 상태 등을 작업자에게 알려주는 경보 기능이 제공될 수 있으며, 이를 통해 상기 비히클(30)의 유지 보수에 따른 오염이 효과적으로 관리될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치(100)는, 상기 주행 레일(20)과 연결되며 상기 비히클(30)의 유지 보수를 위한 공간을 제공하는 작업 챔버(110)와, 상기 주행 레일(20)과 연결되는 상부 위치와 상기 비히클(30)의 유지 보수가 수행되는 하부 위치 사이에서 승강 가능하도록 상기 작업 챔버(110) 내에 배치되며 상기 작업 챔버(110) 내에서 상기 비히클(30)을 지지하는 서포트 레일(120)과, 상기 서포트 레일(120)을 승강시키기 위한 승강 기구(130)와, 상기 작업 챔버(110) 내부의 공기를 외부로 배출하며 상기 작업 챔버(110) 내부의 오염 물질을 제거하기 위한 팬 필터 유닛(140)을 포함할 수 있다.
따라서, 상기 비히클(30)의 유지 보수를 위한 상기 비히클(30)의 승강이 용이하게 이루어질 수 있으며, 또한 상기 비히클(30)의 유지 보수 작업이 상기 작업 챔버(110) 내에서 수행되고 상기 작업 챔버(110) 내부의 오염 물질이 상기 팬 필터 유닛(140)에 의해 제거될 수 있으므로, 상기 비히클(30)의 유지 보수 작업에 의해 클린룸의 내부가 오염되는 것이 충분히 방지될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 천장 주행 이송 장치 20 : 주행 레일
30 : 비히클 100 : 비히클 유지 보수용 승강 장치
110 : 작업 챔버 112 : 개구
114 : 제1 도어 116 : 제2 도어
118 : 배플 플레이트 119 : 하부 패널
120 : 서포트 레일 130 : 승강 기구
140 : 팬 필터 유닛 150 : 테스트용 로드 포트

Claims (6)

  1. 주행 레일을 따라 이동하는 천장 주행 이송 장치의 비히클 유지 보수를 위한 비히클 유지 보수용 승강 장치에 있어서,
    상기 주행 레일과 연결되며 상기 비히클의 유지 보수를 위한 공간을 제공하는 작업 챔버;
    상기 주행 레일과 연결되는 상부 위치와 상기 비히클의 유지 보수가 수행되는 하부 위치 사이에서 승강 가능하도록 상기 작업 챔버 내에 배치되며 상기 작업 챔버 내에서 상기 비히클을 지지하는 서포트 레일;
    상기 서포트 레일을 승강시키기 위한 승강 기구; 및
    상기 작업 챔버 내부의 공기를 외부로 배출하며 상기 작업 챔버 내부의 오염 물질을 제거하기 위한 팬 필터 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 작업 챔버의 측면에는 상기 비히클의 동작 상태를 점검하기 위한 제1 도어가 구비되는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 작업 챔버의 전면 상부에는 상기 비히클의 출입을 위한 개구가 구비되는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 작업 챔버의 전면 하부에는 상기 비히클의 동작 테스트를 위한 테스트용 로드 포트가 배치되는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 개구와 상기 테스트용 로드 포트 사이에는 상기 비히클의 반입 및 반출을 위한 제2 도어가 구비되는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 작업 챔버의 하부에는 상기 공간을 한정하는 배플 플레이트가 배치되며, 상기 팬 필터 유닛은 상기 배플 플레이트 아래에 배치되는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.
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