CN101178502B - 升降销驱动装置以及具有该装置的平板显示器制造设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种升降销驱动装置以及具有该装置的平板显示器(FPD)制备设备。升降销驱动装置能利用单台电动机精确地使多个升降销移动，从而实现简单的升降销驱动结构以及简单的电动机控制。这使制造设备室主体下方的空间可以按多种方式设计，从而减小设备成本以及产品生产成本。

Description

升降销驱动装置以及具有该装置的平板显示器制造设备

技术领域

本发明涉及用于半导体/平板显示器(FPD)制造设备的升降销模块。

背景技术

平板显示器(FPD)可以包括例如LCD(液晶显示器)、PDP(等离子显示板)、OLED(有机发光二极管)。用于制造FPD的制造设备可以包括多个真空处理装置，例如负载锁定室、输送室和加工室，用于处理基板表面。

负载锁定室从外部接收原始基板，并将加工后的基板输送到外部。输送室可以包括在各个室之间输送基板的输送机器人，从而将原始基板从负载锁定室输送到加工室，并将加工后的基板从加工室返回到负载锁定室。在加工室中可以加工基板，例如在基板上形成各个层，或者在真空下利用等离子或热能蚀刻基板。用于升降基板的升降销可以装在各个室中，便于从各个室装载和卸载基板。相应地，基板的稳定移动和安置可以简化制造工艺并产生较高质量的FPD。

附图说明

下面参考如下附图详细描述本发明实施例，其中相同的参考数字代表相同的零件。在附图中：

图1是示例性加工室的剖视图；

图2是图1所示的示例性加工室的升降销驱动装置的立体图；

图3是另一个示例性加工室的剖视图；

图4是根据这里广义描述的第一实施例、具有升降销驱动装置的加工室的剖视图；

图5是图4所示升降销驱动装置的平面图；

图6是图4和5所示升降销驱动装置的立体图；

图7是根据这里广义描述的第二实施例的升降销驱动装置的立体图；

图8是根据这里广义描述的第三实施例的升降销驱动装置的立体图；

图9是根据这里广义描述的第四实施例、具有升降销驱动装置的加工室的剖视图；

图10是图9所示升降销驱动装置的立体图；

图11是根据这里广义描述的第五实施例、具有升降销驱动装置的加工室的剖视图；

图12是图11所示升降销驱动装置的平面图；

图13是图11和12所示的一部分升降销驱动装置的局部立体图；

图14是根据这里广义描述的第六实施例的一部分升降销驱动装置的局部立体图；以及

图15是根据这里广义描述的第七实施例的一部分升降销驱动装置的局部立体图。

具体实施方式

下面将详细参考各个实施例，其例子图示在附图中。无论何处，在所有附图和描述中使用的相同参考数字是指相同或类似的零件。

图1所示的示例性加工室可以包括室主体10、以及能保持室主体10内真空状态的门11。加工室还可以包括上电极组件12和下电极组件14。下电极组件14可以在其上支撑基板S。上电极组件12可以包括将加工气体喷射到基板S上的喷射头(未图示)。

下电极组件14可以包括沿垂直方向移动基板S的多个升降销20，以便装载或卸载基板S。下电极组件14可以包括多个销孔16，升降销20可移动地从销孔经过。因此，升降销20可以在各个销孔16内向上或向下移动，从而使位于下电极组件14的上表面上的基板S移动。

例如，当基板S已经通过输送单元(未图示)从外部输送到室主体10内时，升降销20可以升高到预定高度以接收基板S，并将位于其上的基板S保持在预定高度。在输送单元移出室主体10之后，升降销20可以使基板S下降、并将基板S装到下电极组件14的上表面上。同样，为了将加工后的基板S移到室主体10外部，升降销20可以将加工后的基板S升离下电极组件14的上表面，从而将基板S输出到室主体10外部。

升降销20可以被同时移动多个升降销20的升降销驱动装置30驱动。升降销驱动装置30可以包括销板35，多个升降销20可以固定到销板上。升降销驱动装置30也可以包括驱动电动机32和滚珠丝杠33，以使销板35通过滚珠丝杠型驱动方法向上或向下移动。波纹管22可以环绕暴露在室主体10的下表面与销板35的上表面之间的每个升降销20，从而保持室主体10内的真空状态。

为了使销板35和多个升降销20均匀而稳定地向上或向下移动，升降销驱动装置30可以包括两台或多台恰当定位的驱动电动机32，如图1和2所示。这允许实现较大FPD基板S的加工，因为否则仅使用一台驱动电动机32难以均匀和稳定地移动图1和2所示的销板35以及升降销20。

为了将升降销驱动装置30的升降销20均匀而稳定地同时移动到预定高度，应该精确地控制驱动电动机32。当使用两台驱动电动机32时，非常难以同步地控制两台电动机32以使电动机32同时将升降销20移动到精确的相同高度。如果两台电动机32未被精确地控制，结果造成销板35可能处于倾斜位置时，在升降销20之间产生相位差，这可能导致在装载或卸载过程中损坏基板S。因此，当升降销20具有这种相位差时难以执行高质量的基板处理。

补偿控制系统可以用于监测和控制电动机32并补偿升降销20的任何相位差。但是，使用这种补偿控制系统使制造装置的控制结构变复杂并增大设备成本。

根据所用的等离子产生方法，加工室可以基本分成PE(等离子增强)型室和RIE(反应离子蚀刻)型室。在RIE型加工室中，用于施加RF功率的电子模块可装在室主体10下方的空间中。因此，在这种RIE型加工室的室主体10下方的空间中安装两台驱动电动机32受到限制，并且将升降销驱动装置30改变到在室主体10下方的空间中运行，如图3所示。其中升降销20和波纹管22被延长的这种类型安装为例如匹配箱R的电子模块在室主体10下方的安装提供了空间。但是，由于升降销20和波纹管22较长，升降销驱动装置30的运行可能变得不稳定。

图4到6表示的加工室可以包括室主体50、分别处于室主体50的上和下部分的上电极组件52和下电极组件54。室主体50可以包括门51，用于接收和排出基板S。上电极组件52可以包括喷射头(未图示)，用于将加工气体喷射到基板S上表面并处理基体S的表面。下电极组件54可以起到基板支撑单元的功能，从而支撑在室主体50中进行表面处理的基板S。

多个升降销60可以垂直穿过下电极组件54，并使基板S在装载或卸载过程中向上或向下移动。为了使升降销60穿过下电极组件54，下电极组件54可以包括具有多个销孔56的销穿过单元。

升降销驱动装置70可以设置室主体50下方的空间中。室主体50也可以包括多个销孔58，销孔58与销孔56一起形成销穿过单元，并且使升降销60穿过室主体50下端，从而使升降销驱动装置70可以操纵升降销60。

升降销驱动装置70可以包括多个凸轮80，多个凸轮80由一台驱动电动机71操纵，从而使升降销60向上或向下移动。如图5和图6所示，驱动轴75可以设置在室主体50下方的空间中，成如图所示的具有4根驱动轴75的方形排列，或者适合的其它排列。动力传动单元可以设置在例如4根驱动轴75方形排列的每个角部上，使动力传动单元同时旋转。每个动力传动单元可以包括例如伞齿轮77，它们相互啮合以提供旋转。

驱动轴75之一(在附图中，位于左侧的驱动轴75L)可以通过具有蜗杆72和蜗轮74的蜗轮单元从驱动电动机71接收旋转动力。蜗轮单元可以位于驱动电动机71和驱动轴75L之间，从而电动机71的动力可以垂直地传递到驱动轴75L。

当驱动电动机71运行时，蜗杆72以及与蜗杆72啮合的蜗轮74旋转。这引起通过伞齿轮77彼此连接的4根驱动轴75同时旋转，从而向上或向下移动升降销60。因此，图4到图6所示的蜗轮型运力传动机构可以在降低的驱动电动机71转速下传递动力，而不需要安装另外的减速齿轮。

在图4到图6所示的实施例中，3个凸轮80设置在2根驱动轴75的每一根上。但是，凸轮80的数量和凸轮80的位置可以根据需要调节。例如，凸轮80可以替代地或另外地设置在左驱动轴75L和/或右驱动轴75R上。并且，当凸轮80如图4到图6所示设置时，右驱动轴75R可以从升降销驱动装置70上拆除。

驱动轴75可以按不同方式可旋转地连接。例如，轴承可以可旋转地连接到装在室主体50下部的支架上、或者可以固定到设置在室主体50下方空间中的结构上。其它连接结构也是合适的。

如上所述，升降销60可以构造成，使它们通过凸轮80向上或向下移动。如图4所示，升降销60可以包括销部分61和接触部分62，销部分61可以可动地穿过室主体50的销孔58和下电极组件54的销孔56，接触部分62可以形成为在销部分61下端的平圆盘部分、并可以相应凸轮80接触。波纹管65可以连接到室主体50的下表面以及每个升降销60的接触部分62，从而密封室主体50的每个销孔58。

图4到图6所示的升降销驱动装置70可以构造成，驱动轴75和凸轮80可以由一台驱动电动机71旋转，以使升降销60向上或向下移动。因此，升降销驱动装置70具有简单结构，并且比具有两台电动机的装置更容易控制。

此外，在室主体50下方空间的中心区X中没有设置驱动部分，如图5所示。因此可以有效地利用中心区X。特别是，在RIE型加工室中，可以容易地将较大的匹配箱R装在室主体50下方空间的中心区X中。

虽然已经根据其在加工室50中的使用描述了图4到图6所示的升降销驱动装置70的结构，但应该理解的是，此装置70可以应用于使用这些类型升降销60的不同其它类型设备中，例如FPD制造设备的负载锁定室或输送室、或者半导体设备或其它适合设备。

图7是根据这里广义描述的另一个实施例的升降销驱动装置的立体图。在此实施例中，升降销驱动装置70A的总体形状可以类似于图4到图6所示的实施例。但是，在图7所示的升降销驱动装置70A中，运力传动单元通过伞齿轮72A和74A将动力从驱动电动机71传递到驱动轴75。连接到驱动电动机71的伞齿轮72A可以大于连接到驱动轴75的伞齿轮74A，如图7所示。并且，在另一个实施例中，驱动电动机171的轴172(图7的阴影所示)可以直接连接到一根驱动轴75上。在该另一个实施例中，可以去除驱动电动机71和伞齿轮72A和74A。

图8是根据这里广义描述的另一个实施例的升降销驱动装置的立体图。在此实施例中，升降销驱动装置70B的总体形状可以类似于图7所示的实施例。但是，图8所示的升降销驱动装置70B可以包括在升降销驱动装置70B中心部分的另外驱动轴75B。升降销驱动装置70B可以有效地应用于大规模的设备，其中除了升降销60对基板周边部分形成的支撑以外，例如基板中心区的一部分可以保证由另外的升降销60B额外地支撑。根据特定基板和设备能力的要求，此另外的轴75B和升降销60B可以位于中心区外部。

更具体地，如图8所示，另外驱动轴75B可以在相对驱动轴75之间延伸、或者是垂直于驱动轴75、或者是成另一适合角度。另外驱动轴75B的动力传动单元可以包括伞齿轮77B。凸轮80B可以设置在另外驱动轴75B上，以使另外升降销60B与其它升降销60一起向上或向下移动。通过根据升降销60和60B的位置和数量设置驱动轴75以及通过在相邻驱动轴75之间提供包括伞齿轮77B的动力传动单元，可以按不同形式形成此另外结构。

图9表示根据这里广义描述的另一个实施例的、具有升降销驱动装置的加工室。在此实施例中，具有此装置的升降销驱动装置70C和加工室50的总体形状类似于前面的实施例。但是，在图9和图10所示的装置70C中，升降销60可以装在销板66C中。销板66C可以具有例如矩形框架形状，如图10所示，或其它适合的形状。设置在驱动轴75上的凸轮80可以向上或向下移动销板66C，从而使与销板连接的升降销60向上或向下移动。

通过改变凸轮80的位置，使其不局限于升降销60的位置，销板66C可以按多种不同方式设计。使用销板66C可以利用一台驱动电动机71更加稳定和精确地同时向上或同时向下移动多个升降销60。

此外，在另一个实施例中，例如在升降销驱动装置70C中心区可以设置另外的升降销60C(图10的阴影所示)。在此另外的实施例中，另外的销板67C可以横过矩形框架状的销板66C延伸，升降销60C可以装在另外的销板67C上。此结构可以有效地应用于具有大尺寸的系统。当两种销板66C和67C应用于升降销驱动装置70C时，可以去掉图8所示的另外驱动轴75B和另外凸轮80B。

图11到图13是根据另一个实施例的、具有升降销驱动装置的加工室。此加工室可以用于制造FPD，并且可以包括室主体150，其中基板S可以在真空状态下进行表面处理。室主体150可以包括在其上部和下部的上电极组件152和下电极组件154，以及用于接收和排出基板S的门151。上电极组件152可以包括喷射头(未图示)，用于将加工气体喷射到基板S的上表面并处理基板S的表面。下电极组件154可以起到基板支撑单元的功能，用于支撑在室主体150中进行表面处理的基板S。

多个升降销160可以垂直穿过下电极组件154，以便在装载或卸载基板S的过程中向上或向下移动基板S。为了使升降销160穿过下电极组件154，下电极组件154可以包括具有多个销孔156的销穿过单元。

升降销驱动装置170可以设置在室主体150下方的空间中。室主体150还可以包括多个销孔158，销孔158与销孔156一起形成销穿过单元、并且使升降销160穿过室主体150下端，从而使升降销驱动装置170可以操纵升降销160。

升降销驱动装置170可以包括多个销板180，销板180由一台驱动电动机171操纵，从而使升降销160向上或向下移动。如图11和图12所示，多个销板180可以位于室主体150下方，用于接收相应升降销160的下端。升降销驱动装置170还可以包括使销板180同时向上或同时向下移动的驱动单元，以及引导销板180向上或向下移动的垂直引导部185。

在某些实施例中，销板180可以设置在处于室主体150下方空间的中心区周围的周边区域，如图12所示。这样，其它所需的元件例如匹配箱R可以装在室主体150下方空间的中心区。如上所述，匹配箱R是电子模块，当加工室150构造成RIE(反应离子蚀刻)型室或者加工室是从PE(等离子增强)型室改变的，匹配箱R用于为下电极组件154施加RF功率。

每个升降销160可以固定在销板180上。在某些实施例中，每个销板180上可以固定多个升降销160，例如2个或3个。所述多个销板180使相应的升降销160根据需要向上或向下移动。

销板180可以利用连杆机构177彼此连接，并可以通过驱动单元向上或向下移动，从而使升降销160向上或向下移动。用于密封室主体150每个销孔158的波纹管165可以连接到室主体150的下表面以及每个销板180的上端或者每个升降销160的下端。

驱动单元可以包括通过滚珠丝杠型驱动方法向上或向下移动的驱动板175，以及将各个销板180连接到驱动板175的多个连杆机构177，例如成辐射结构，如图12所示。其它排列也是可以的。

驱动板175可以具有较小尺寸的板结构，并可以置于室主体150下方空间的中心区。驱动板175可以通过一台驱动电动机171和一个滚珠丝杠172向上或向下移动。升降销驱动装置170中也可以设置引导装置(未图示)，用于引导驱动板175的直线移动。此外，虽然图11到图13表示出滚珠丝杠型驱动方法，但应该理解的是，可以使用能向上或向下移动驱动板175的其它类型的致动器。

连杆机构177可以起到线性机构的功能，并可以由具有足够强度的材料制成，以减小动力传动过程中的应变，以便执行垂直移动。每个连杆机构177的两端可以通过不同的连接方法如球窝连接法或铰链连接法可旋转地连接到驱动板175和其相应的销板180，使连杆机构177的端部可相对驱动板175和销板180移动。

如图12所示，连杆机构177可以设置在驱动板175的周边区域，并沿径向向外延伸。并且，连杆机构177可以向上和向外倾斜，如图11所示。其它设置也是可以的。

当销板180被驱动单元驱动移动时，垂直引导部185可以引导销板180的移动，并且使销板180稳定地向上或向下移动。引导销板180移动的垂直引导部结构可以不同方式构造。例如，在图11到图13所示的实施例中，垂直引导部结构是利用齿条187和小齿轮186形成的。

更具体地，如图13所示，齿条187可以垂直连接在室主体150的下表面，而小齿轮186可以装在各个销板180上并与齿条187啮合。因此，当销板180向上或向下移动时，小齿轮186沿着齿条187向上或向下移动，并引导和支撑销板180的向上或向下移动。在另外的实施例中，齿条187可以设置在销板180上，而小齿轮186可以设置在室主体150的下表面上。为了更加稳定地支撑销板180，齿条187可以定位在外侧，而小齿轮186定位在内侧，如图12所示。

垂直引导部185也可以包括引导杆188，引导杆从室主体150的下端纵向向下延伸并穿过销板180。销板180中可以形成引导孔180a，并在引导杆188的下端形成限位螺母189，从而防止销板180与引导杆188分离。

在图11到图13所示的升降销驱动装置中，多个销板180可以位于周边区，从而避开室主体150下方的空间的中心区。并且，单一驱动电动机171可以装在该空间中心区下面的区域，并可以驱动多个销板180同时向上或向下移动。这样，室主体下方空间的布局可以按多种方式设置。并且，所有升降销160可以利用此单一驱动电动机171同时向上或同时向下移动。此外，垂直引导部185可以装在每个销板180与室主体150之间，使销板180和升降销160在受到稳定支撑的同时向上或向下移动。

图14是根据另一个实施例的垂直引导部的立体图。如图14所示，垂直引导部185A可以包括直线引导部，而不是上面参考图13所述的齿条187和小齿轮186。直线引导部可以是LM(直线移动)引导部，包括具有引导槽187B的固定块187A，以及具有引导突起186B的可移动块186A。引导突起186B可以按燕尾配合或其它适合结构与固定块187A可移动地配合。此移动块186A可以集成在销板180上。

图15是根据另一个实施例的垂直引导部的立体图。如图15所示，垂直引导部185B可以包括两个引导杆188B。在销板180中可以形成两个引导孔180b，装在室主体150下部的两个引导杆188B可以插入相应的引导孔180b，从而两个引导杆188B可以引导销板180的垂直移动。

这里具体实施和广义描述的升降销驱动装置以及具有该装置的FPD制造设备可以利用凸轮型驱动方法向上或向下移动多个升降销，而不是传统的滚珠丝杠型驱动方法，从而具有简单的驱动结构并有效地向上或向下移动升降销。

这里具体实施和广义描述的升降销驱动装置以及具有该装置的FPD制造设备可以使用单台电动机精确地向上或向下移动升降销，从而容易地控制电动机并精确地向上或向下移动升降销。

这里具体实施和广义描述的升降销驱动装置以及具有该装置的FPD制造设备可以容易地应用于具有大面积的系统中，并可以使室主体下方空间的布局按多种方式构成，并可以减小设备成本，从而减小产品生产成本。

这里具体实施和广义描述的升降销驱动装置以及具有该装置的FPD制造设备，销板可以分成多块板，多块销板可以设置成在位于室主体下方空间的中心区周围的周边区域向上或向下移动升降销，从而使室主体下方空间的布局按多种类型构成，并可以减小设备成本，从而减小产品生产成本。

在这里具体实施和广义描述的升降销驱动装置以及具有该装置的FPD制造设备中，可以利用单台电动机同时精确地使升降销向上或向下移动，由此容易地控制电动机并精确地使升降销向上或向下移动。

在这里具体实施和广义描述的升降销驱动装置可以包括多个升降销，多个升降销布置成使它们穿过基板支撑单元，升降销向上或向下移动基板；驱动轴，所述驱动轴在基板支撑单元下方的位置可旋转地装在安装结构上；用于使驱动轴旋转的驱动单元；以及凸轮，所述凸轮装在驱动轴上并由驱动轴驱动旋转，从而使升降销向上或向下移动。

在某些实施例中，基板支撑单元可以构造成下电极组件。

在某些实施例中，凸轮可以构造成直接接触升降销下端，如图4到图8所示。

在另外实施例中，升降销可以固定在销板上，凸轮可以构造成向上或向下移动销板，从而向上或向下移动升降销，如图9和图10所示。

驱动轴可以包括多个驱动轴，其构造成由动力传动单元同时驱动旋转。在此实施例中，动力传动单元可以包括伞齿轮，所述伞齿轮可以装在相应驱动轴上并可以彼此啮合。

在某些实施例中，多个驱动轴可以按多边形结构设置。

在另外实施例中，另外驱动轴可以设置在按多边形结构排列的驱动轴形成的空间中，如图8所示。

多个驱动轴之一可以构造成从驱动单元接收旋转动力。在此实施例中，驱动单元可以包括电动机，电动机和驱动轴可以通过蜗轮或伞齿轮彼此传递动力。

在另外实施例中，驱动单元可以包括电动机，电动机的轴可以直接连接到多个驱动轴之一，从而将动力传递到驱动轴，如图7的虚线所示。

这里具体实施和广义描述的具有升降销驱动装置的FPD制造设备可以包括室主体，所述室主体在其下部具有销穿过单元；支撑单元，所述支撑单元装在室主体中以便将基板支撑在其上，并在支撑单元中形成多个销穿过单元；以及升降销驱动装置，所述升降销驱动装置装在室主体下方的空间中，驱动设置在室主体和支撑单元的销穿过单元中的多个升降销，从而使基板向上或向下移动。

室主体可以在其中设置上电极组件，用于喷射加工气体并产生等离子体，并处理基板表面；支撑单元可以包括下电极组件，所述下电极组件设置在上电极组件下方，从而二者彼此面对。

这里具体实施和广义描述的升降销驱动装置以及具有该装置的FPD制造设备可以利用凸轮型驱动方法使升降销向上或向下移动，而不是传统的滚珠丝杠型驱动方法，从而具有简单的驱动结构并且有效地向上或向下移动升降销。

并且，这里具体实施和广义描述的系统和方法可以利用单台电动机精确地向上或向下移动升降销，从而容易控制电动机并精确地向上或向下移动升降销。

并且，这里具体实施和广义描述的系统和方法可以容易地应用于具有大面积的系统中，并可以使室主体下方空间的布局按多种类型构成，并可以减小设备成本，从而减小产品生产成本。

这里具体实施和广义描述的升降销驱动装置可以包括多个升降销，所述升降销构造成穿过基板支撑单元，升降销向上或向下移动基板；多个销板，各个升降销的下端牢固地固定在所述销板上；驱动单元，所述驱动单元通过连杆机构连接到多个销板，并同时向上或向下移动销板；以及垂直引导部，用于向上或向下引导销板的移动。

在某些实施例中，基板支撑单元可以构造成下电极组件。

销板可以设置在基板支撑单元下方空间的中心区周围的周边区域。

驱动单元可以包括驱动板，通过滚珠丝杠型方法向上或向下移动；以及将驱动板连接到各个销板上的多个连杆机构。

在某些实施例中，垂直引导部可以包括齿条和小齿轮，它们处于支撑单元中并且分别在每块销板上，从而齿条和小齿轮彼此啮合，引导销板向上或向下移动，如图11到图13所示。

在另外的实施例中，垂直引导部可以包括直线引导部，它们处于支撑单元中并分别在每块销板上，从而直线引导部通过凸凹配合彼此配合，如图14所示。

在某些实施例中，两种垂直引导部的每一种也可以包括多个引导杆，引导杆从支撑单元下部延伸预定长度并穿过相应的销板。

在另外实施例中，垂直引导部可以仅仅包括多个引导杆，引导杆从支撑单元下部延伸预定长度并穿过相应销板，如图15所示。

这里具体实施和广义描述的具有升降销驱动装置的FPD制造设备可以包括室主体，所述室主体在其下部具有销穿过单元；支撑单元，所述支撑单元处于室主体中以便将基板支撑在其上，支撑单元中形成有多个销穿过单元；以及升降销驱动装置，所述升降销驱动装置处于室主体下方空间中，驱动处于室主体和支撑单元的销穿过单元中的多个升降销，从而使基板向上或向下移动。

在某些实施例中，室主体可以在其中具有上电极组件，用于喷射加工气体并产生等离子体，以及处理基板表面；并且下电极组件可以置于上电极组件下方并且构成支撑单元。

这里具体实施并广义描述的升降销驱动装置以及具有该装置的FPD制造设备可以包括移动各个升降销的多个销板，从而可以使室主体下方空间的布局可以按多种方式设计，而不会引起升降销驱动装置与周围元件之间的干扰。多块销板可以设置成在位于室主体下方空间的中心区周围的周边区域向上或向下移动升降销，从而使室主体下方空间的布局按多种类型构成。在这里具体实施并广义描述的系统和方法中，可以减小设备成本，从而减小产品生产成本。

并且，这里具体实施和广义描述的系统和方法可以利用单台电动机精确地同时向上或向下移动升降销，从而容易控制电动机并精确地向上或向下移动升降销。

本说明书中对“一个实施例”、“实施例”、“示例性实施例”等的任何引用，是指结合此实施例描述的特定特征、结构或特性被包括在本发明的至少一个实施例中。在本说明书中不同位置出现这些词语，并不是必须都指向同一实施例。并且，当结合任一实施例描述一个特定特征、结构或特性时，在本领域一般技术人员的范围内这意味着这些特征、结构或特性能有效应用于其它的实施例。

虽然已经参考多个图示的实施例描述了实施例，但应该理解的是，本领域一般技术人员可以设计出落在这里所述本发明原理的精神和范围内的很多其它修改和实施例。更具体地，在说明书、附图和权利要求范围内可以对目标组合设置的组成部分和/或设置做出不同变化和修改。除了组成部分和/或设置的变化和修改以外，其它的用途对于本领域一般技术人员也是显而易见的。

Claims (16)

1.一种升降销驱动装置，包括：

驱动结构，所述驱动结构包括：

多根轴，所述多根轴在它们各自端部连接在一起，以形成多根轴的闭合多边形布置，所述多根轴限定敞开的中心部分；以及

构造成使所述多根轴中的一根轴旋转的驱动器，其中，所述多根轴的各自端部连接成使得所述多根轴中的所述一根轴的旋转导致所述多根轴中的其余轴旋转；以及

连接到所述驱动结构的多个升降销，其中，所述多个升降销构造成在所述驱动器使所述多根轴中的所述一根轴旋转时穿过位于所述驱动结构上方的基板支撑部垂直地移动。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述多个升降销构造成在所述驱动器使所述多根轴中的所述一根轴旋转时穿过所述基板支撑部同时向上和同时向下移动。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述多个升降销的每一个的上端与位于所述基板支撑部上的基板的下表面接触，从而当所述多个升降销穿过所述基板支撑部垂直地移动时升高或降低所述基板。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述多个升降销的每一个通过凸轮连接到所述多根轴中的一根轴上。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述驱动器包括：

电动机；以及

连接在所述电动机与所述多根轴中的所述一根轴之间的驱动轴，所述驱动轴构造成将旋转力从电动机传递到所述多根轴中的所述一根轴，以使所述多根轴中的所述一根轴旋转。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，驱动轴通过蜗轮单元或伞齿轮单元连接到所述多根轴中的所述一根轴上。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述驱动轴和所述电动机位于所述多根轴的闭合多边形布置的外周边的外侧。

8.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，还包括动力传动单元，所述动力传动单元构造成用于将由所述多根轴中的所述一根轴接收的旋转力传递到所述多根轴的其余轴，使得所述多根轴一起旋转，以使所述驱动结构向上和向下移动。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述动力传动单元包括伞齿轮，所述伞齿轮设置在位于所述多根轴的相应端部之间的连接处，使得所述多根轴中的所述一根轴的旋转使所述多根轴的其余轴旋转。

10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述多根轴的旋转根据所述驱动轴的旋转方向使固定到所述多根轴上的所述多个升降销同时向上或同时向下移动。

11.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，还包括位于所述多根轴和所述多个升降销之间的销板，所述多个升降销的每一个的下端固定到所述销板的上表面上，所述销板的下表面连接到所述多根轴，并且所述多根轴的旋转根据所述驱动轴的旋转方向使所述销板和固定到所述销板上的所述多个升降销同时向上或同时向下移动。

12.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，还包括横过所述销板敞开中心部分延伸的辅助销板、以及固定到所述辅助销板上的辅助升降销，所述辅助销板和所述辅助升降销构造成分别与所述销板和所述多个升降销一起移动。

13.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，还包括在所述多根轴中的两根轴之间并且横过中心敞开部分延伸的辅助轴、以及连接到所述辅助轴的至少一个辅助升降销，所述辅助轴连接到所述多根轴中的所述两根轴，使得所述辅助轴和所述辅助升降销构造成分别与所述多根轴和所述多个升降销一起移动。

14.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述多个升降销的每一个的下端连接到所述多根轴的相应一根轴上，并且所述多个升降销根据所述驱动轴的旋转方向同时向上或同时向下移动。

15.根据权利要求14所述的装置，其特征在于，所述多个升降销通过单台电动机同时向上或同时向下移动。

16.一种平板显示器制造设备，其特征在于，包括根据权利要求1所述的升降销驱动装置。

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