CN1442728A - 制造液晶显示器的设备和方法,使用该设备的方法,用该方法生产的器件 - Google Patents

Abstract

一种用来制造一液晶显示器的设备包括：一整体真空处理室；固定第二衬底的上工作台和固定第一衬底的下工作台；和一衬底接收系统，设置于该真空处理室内，沿第二衬底的第一方向移动，并且接收第二衬底。

Description

制造液晶显示器的设备和方法，使用该设备的方法，用该方法生产 的器件

本发明要求享有2002年3月5日于韩国提出的韩国专利中请第P2002-11608号和2002年4月13日在韩国提出的韩国专利申请第P2002-20205的利益，这些申请在此引入以作参考。

技术领域

本发明涉及一种制造器件，尤其涉及一种用来制造适于大型液晶显示的液晶显示器的设备和方法。

背景技术

通常，在信息通信领域方面的近期开发对各种类型显示器的需求有所增长。根据这种需求，已经开发出各种平板式显示器，如液晶显示器(LCD)、等离子体显示器(PDP)、场致发光显示器(ELD)和真空荧光显示器(VFD)，用以代替传统的阴极射线管(CRT)器件。尤其是，LCD装置因其分辨率高、重量轻、外型薄且功耗低而被广泛采用。另外，LCD装置也已经在移动装置如笔记本计算机的监视器中使用。此外，已经开发出用于计算机监视器和电视以接收和显示广播信号的LCD装置。

因此，在改善LCD装置画质上的努力与分辨率高、重量轻、外型薄和功耗低的好处形成对比。为了将LCD装置实现为一普通的图像显示器，例如必须达到例如画质优良、亮度好、面积大。

在第一玻璃衬底(TFT阵列衬底)上，沿一个方向以固定间隔形成多条控制线，而沿与这多条控制线的方向相垂直的第二方向形成多条数据线，由此限定多个象素区。然后，在这些象素区上以一矩阵结构形成多个象素电极，并且在这些象素区上形成多个薄膜晶体管(TFT)。因此，通过沿控制线传输给每个象素电极的信号和沿数据线传输给每个象素电极的转接信号开关这多个薄膜晶体管。为了防止漏光，在除了第二玻璃衬底(滤色器衬底)上对应于第一玻璃衬底的象素区的区域以外的第二玻璃衬底上，形成黑色矩阵膜。

以下参照根据已有技术的制造设备描述采用一TFT衬底和一滤色器衬底制造一LCD装置的过程。

根据已有技术制造一LCD装置的过程包括以下步骤：在第一和第二衬底中的一个上形成一密封图案，以形成一注入口；在一真空处理室内将第一和第二衬底相互粘接在一起；通过该注入口注入液晶。在根据已有技术制造一LCD装置的另一个过程中，披露于日本专利申请第11-089612和11-172903号中的液晶滴落法包括以下步骤：将液晶材料滴落到第一衬底上；将第二衬底设置在第一衬底之上；移动第一和第二衬底，由此将第一和第二衬底相互粘接在一起。与液晶注入法相比，液晶滴落法的优点在于，由于液晶预先设置在第一衬底上，所以无需一些步骤，如形成液晶材料注入口、注入液晶材料和密封注入口。

图1和2示出一种采用根据已有技术的液晶滴落法的衬底粘接装置剖视图。图1中，衬底粘接装置包括框架10、上工作台21、下工作台22、密封剂分配器(图中未示)、液晶材料分配器30、包括上室单元31和下室单元32的处理室、室移动系统40和工作台移动系统50。室移动系统40包括一驱动电机，该电机受驱动以有选择地将下室单元32移动到执行粘接过程的位置，或者移动到密封剂流出或液晶材料滴落的位置。工作台移动系统50包括另一驱动电机，该电机受到驱动以有选择地沿与上工作台21和下工作台22垂直的一个垂直方向移动上工作台21。一接收系统暂时接收在衬底52的对角部分接收衬底52。该接收系统固定到上工作台21上，并且包括：一旋转轴61，用来从上室单元31的外部延伸到上室单元31的内部；一旋转致动装置63，固定到上室单元31的外部、旋转轴61的一端，它受到驱动以有选择地旋转旋转轴61；提升致动装置64，有选择地提升旋转致动装置63；和一接收片62，设置在旋转轴61的另一端以用旋转轴61形成单独一个主体，由此有选择地支撑衬底52的对边部分。

用根据已有技术衬底组装设备制造一液晶显示装置的过程如下。首先，将第二衬底52装到上工作台21上，将第一衬底51装到下工作台22上。然后，通过室移动系统40将具有下工作台22的下室单元32移动到用来分配密封剂和分配液晶材料的处理位置。接着，通过室移动系统40将下室单元32移动到用来粘接衬底的处理位置。之后，通过室移动系统40将上室单元31和下室单元32组装在一起以形成一真空紧密封，通过真空产生系统(图中未示)降低室中的压力。提升致动装置64受到驱动以朝向上工作台21的下部移动旋转轴61，同时，旋转致动装置63受到驱动以旋转旋转轴61，从而将接收片62定位于固定到上工作台21上的第二衬底52的两边。

图2和3示出根据已有技术一衬底组装设备的接收系统工作状态的透视图。在图2和3中，当工作台移动系统50向下移动上工作台21，接近对应于接收片62定位的高度。

当在组装室内达到真空状态时，第二衬底52可能完全从上工作台21上掉落，因为室内的真空压大于将第二衬底52固定到上工作台21上的真空力。因此，在达到室内的期望真空压之前，必需将第二衬底52暂时保持固定到上工作台21上。一旦在室部分内达到期望的真空压，则通过将一静电力作用于上工作台21上，将第二衬底52固定到上工作台21上。因此，通过驱动接收系统的旋转致动装置63和提升致动装置64，接收片62和旋转轴61返回到原始备用位置。

然后，在上述真空状态下通过工作台移动系统50向下移动上工作台21，以便于将固定到上工作台21上的第二衬底52紧固到固定到下工作台22上的第一衬底51上。另外，通过连续增压，执行将各衬底相互粘接的过程，由此完成对LCD装置的制造。

但是，根据已有技术的衬底组装装置存在缺点。首先，根据已有技术的衬底组装装置无法设置用来将衬底稳定装载在下工作台上或将所粘接的衬底从下工作台上稳定卸载下来的辅助系统或装置，由此有很大的可能会在装载/卸载过程中出现损坏衬底的现象。更具体地说，所粘接的衬底可能在粘接过程中粘附到下工作台的上表面上。其次，当卸载所粘接的衬底时，所粘接衬底的中央或周边部分不应下垂。更具体地说，考虑到LCD装置的尺寸为了满足需要而增大，在卸载所粘接衬底的过程中防止下垂就极其重要和必要。

发明概述

因此，本发明涉及一种用来制造液晶显示器的设备和方法，一种使用该设备的方法，和一种用该方法生产的显示器，它们基本上避免了因已有技术的限制和缺点所带来的一个或多个问题。

本发明的一个目的在于提供一种制造液晶显示器的设备和方法，它具有一衬底接收系统，该系统能够防止一对象衬底的特定部分变形。

本发明的另一个目的在于提供采用制造一液晶显示器的设备的方法，该设备适于制造大型液晶显示器、有一衬底接收系统。

本发明的又一目的在于提供一种用有一衬底接收系统的方法生产的器件，该方法适于制造一大型液晶显示器。

本发明的其他特征和优点将在以下的说明书中描述，并且根据说明书的描述，它们一部分变得很明显，或者可以通过对本发明的实践学会。通过说明书及其权利要求书以及附图所特别指出的结构，本发明的这些目的和其他优点得以实现和得到。

为了实现根据本发明目的的这些和其他优点，如这里所具体和概括性描述的那样，一种用来制造液晶显示器的设备包括：一整体真空处理室；固定第二衬底的上工作台和固定第一衬底的下工作台；和一衬底接收系统，设置在真空处理室内，沿每一个衬底的装载/卸载方向移动，并且接收第二衬底的下表面。

在本发明的另一方面，一种用来制造一液晶显示器的设备，包括：一整体真空处理室；固定第二衬底的上工作台和固定第一衬底的下工作台；和一衬底接收系统，设置在真空处理室内，沿与每一个衬底装载/卸载方向垂直的方向移动，并且接收第二衬底的下表面。

在本发明的又一方面，一种用来制造一液晶显示器的方法包括：将第一衬底固定到一整体真空处理室内的下工作台上；将第二衬底固定到该整体真空处理室内的上工作台上；将第二衬底的下表面接收到设置在该整体真空处理室内一衬底接收系统上，该衬底接收系统沿第一和第二衬底的装载/卸载方向移动。

在本发明的再一方面，一种用一方法制造的一液晶显示器，该方法包括：

将第一衬底固定到一整体真空处理室内的下工作台上；将第二衬底固定到该整体真空处理室内的上工作台上；将第二衬底的下表面接收到设置在该整体真空处理室内一衬底接收系统上，该衬底接收系统沿第一和第二衬底的装载/卸载方向移动。

应理解的是，前面总的描述和下面详细的描述都是示例性和解释性的，意欲用它们提供对所要求保护的本发明的进一步解释。

附图简要说明

所包括用来提供对本发明进一步理解且包括在本说明书内构成本说明书一部分的附图，示出了本发明的实施例，并且连同说明书一起用来解释本发明的原理。这些附图中：

图1和图2是采用根据已有技术的液晶滴落法的衬底组装设备剖视图；

图3是示出根据已有技术一衬底组装设备的接收系统的工作状态透视图；

图4是根据本发明一典型设备的剖视图；

图5是根据本发明沿图4的线I-I的平面图；

图6是根据本发明一典型衬底接收系统的工作状态透视图；

图7A至7C是示出根据本发明一衬底与一提升杆之间接触状态的剖视图；

图8是示出具有根据本发明一衬底接收系统的典型设备内部结构的平面图；

图9是示出根据本发明另一典型设备的内部结构平面图；

图10是示出根据本发明另一典型设备的内部结构剖视图；

图11是沿图10的线II-II的平面图；

图12是示出根据本发明另一典型设备的剖视图；

图13是沿图12的线III-III的平面图；

图14至图17是示出根据本发明其他典型设备的平面图；

图18是示出根据本发明另一典型设备的剖视图；

图19是沿图18的线IV-IV的平面图；

图20是示出根据本发明另一典型设备的剖视图；

图21是沿图20的线V-V的平面图；

图22是示出根据本发明另一典型设备的平面图；

图23是示出根据本发明另一典型设备的剖视图。

具体实施例

现在详细描述本发明的优选实施例，其实例示于附图中。

图4至6示出根据本发明第一实施例的液晶显示(LCD)器的典型设备。在图4至6中，该设备可以包括一真空处理室110、一上工作台121、一下工作台122、一工作台移动装置、一真空装置200、一装载部分300和一衬底接收系统。

真空处理室110有一内部，该内部可以置于一真空压或大气压状态，以便可以进行衬底之间的粘接工作。一排气口112将真空装置200产生的真空力经一排气口阀112a传送给真空处理室110。

上工作台121和下工作台122可以分别设置在真空处理室110内部的上空间和下空间上，以便相互面对。上工作台121和下工作台122通过一真空力或静电力对载入真空处理室110内的第一衬底510和第二衬底520进行固定。上工作台121和下工作台122沿一垂直方向移动，以粘接第一衬底510和第二衬底520。因此，上工作台121的下表面可以配有至少一个静电卡盘(ESC)121a，用以通过多个静电片将第一衬底510和第二衬底520分别固定到上工作台121和下工作台122上。

除了静电卡盘121a，可以在上工作台121的下表面上进一步设置在多个真空孔121b，以将一真空力作用于第二衬底520上，由此通过一真空力固定第二衬底520。多个真空孔121b可以沿静电卡盘121a的周边排布。多个真空孔121b可以通过至少一条或多条管线121c相互连接，以便接收接至上工作台121的真空泵123产生的真空力。另外，至少一个静电卡盘122a也可以设置在下工作台122的上表面上，沿静电卡盘122a的周边可以设置至少一个真空孔(图中未示)。

但是，下工作台122的上表面上的静电卡盘122a和多个真空孔(图中未示)的结构可以并不限于上工作台121的结构。此外，下工作台122的上表面上的静电卡盘122a和多个真空孔(图中未示)可以考虑一对象衬底的整体形状配置。

工作台移动装置包括：上工作台移动轴131，它接至上工作台121，用来沿一垂直方向移动上工作台；下工作台旋转轴132，它接至下工作台122，用来顺时针或逆时针旋转下工作台122；上驱动电机133，它轴向接至上工作台121；和下驱动电机134，它在真空处理室110的外部或内部轴向接至下工作台122。因此，工作台移动装置可以并不限于这样一种结构，即，沿垂直方向移动上工作台121，并且顺时针或逆时针旋转下工作台122。工作台移动装置可以使得上工作台121顺时针或逆时针旋转，并且沿垂直方向移动下工作台122。这种情况下，一辅助旋转轴(图中未示)可以加至上工作台121以使其旋转，并且一辅助移动轴(图中未示)可以加至下工作台122以使其在垂直方向上运动。

真空装置200传送一真空力，以使真空处理室110内有一真空状态，并且真空装置200可以包括一真空泵，该泵受到驱动以产生一总的真空力。

装载部分300可以设置在真空处理室110的外部，与设置在真空处理室110内部的各部件分开。装载部分300可以包括第一臂310和第二臂320。第一臂310将其上滴有液晶材料的第一衬底510装入真空处理室110内。第二臂320将其上分配有密封剂的第二衬底520装入真空处理室110内。另一方面，液晶材料可以淀积(即，滴落、分配)到可以是一TFT阵列衬底的第一衬底510上，而密封剂可以淀积到可以是一滤色器(C/F)衬底的第二衬底520上。此外，液晶材料和密封剂二者都可以淀积到可以是一TFT阵列衬底的第一衬底510上，而可以是一C/F衬底的第二衬底520上可以既没有淀积液晶材料也没有淀积密封剂。此外，液晶材料和密封剂二者都可以淀积在可以是一C/F衬底的第一衬底510上，并且可以是一TFT阵列衬底的第二衬底520上可以没有淀积液晶材料或密封材料中的任何一个。第一衬底510可以包括TFT阵列衬底和C/F衬底中的一个，第二衬底520可以包括TFT衬底和C/F衬底中的另一个。

如果液晶材料和密封剂可以淀积在第一衬底和第二衬底中的一个上，那么第一臂310装载该对象衬底，而第二臂320装载另一个衬底。

在装载第一和第二衬底510和520的过程中，第一臂310可以设置在第二臂320之上。这样，液晶材料滴落在第一衬底510上。换句话说，如果第二臂320置于第一臂310之上，那么可能造成由第二臂320的运动产生的各种颗粒落到滴在第一衬底510上的液晶材料上，第一衬底510固定到第一臂310上，从而造成其上有损伤。这样，第一臂310置于第二臂320之上，由此避免因污染造成的损坏。

衬底接收系统可以构造成接收要固定到上工作台121上的第二衬底520，同时沿该衬底的装载/卸载方向移动。衬底接收系统可以包括一提升部分和一移动部分。该提升部分可以包括一提升杆411和一支撑件412。提升杆411可以沿第二衬底520的宽度方向纵向形成，以支撑固定到上工作台121上第二衬底520的下表面。另一方面，如图7A所示，提升杆411可以构造成通过与第二衬底的面接触支撑第二衬底520。此外，提升杆41 1可以具有至少一个凸起物411a，凸起物411a在提升杆411的上表面上与第二衬底520的下表面接触，以使凸起物411a能够通过与第二衬底520的点接触来支撑第二衬底520。凸起物411a可以如图7B或7C形成。

支撑件412具有接至提升杆411一端的一端和接至移动部分的另一端以支撑提升杆411。另外，至少两个或更多提升部分可以用来同时支撑第二衬底520的每一个部分，由此防止第二衬底520低垂。尤其是，提升部分可以构造成有选择地支撑第二衬底520各个部分之间的一个虚拟区，由此防止发生因与一盒区域的接触造成的损坏，并且防止第二衬底520弯曲或弯折。

移动部分可以包括一螺旋轴413和一驱动电机414，以沿一水平方向移动提升部分。因此，如图4至6所示，螺旋轴413可以沿真空处理室110内下工作台122的纵向边纵向设置。驱动电机414可以轴向固定到螺旋轴413内。因此，螺旋轴413的螺旋方向可以形成为便于中央周围的两边沿不同方向取向。也就是说，螺旋轴413的一边配成右手螺旋，而螺旋轴413的另一边配成左手螺旋。另外，提升部分可设置在螺旋轴413的两边，以便在驱动电机414受到驱动时移动到螺旋轴413的中央。尤其是，螺旋轴413可以设置在下工作台122纵向边的两边。支撑件412一端拧入螺旋轴413内以沿螺旋轴413移动，而支撑件412的另一端固定到提升杆411两端。如果两个支撑件412支撑一个提升杆411，那么可以防止提升杆411的低垂。这样，在本发明的该优选实施例中，一个提升部分包括两个支撑件412和一个提升杆411。

另外，驱动电机可以与螺旋轴41 3相连，或者与螺旋轴413中的任何一个相连。因此，没有与驱动电机414相连的螺旋轴413可以没有螺纹。提升部分可以设置成其没有受到驱动时低于上工作台122的上表面。此外，还可以设置一驱动装置415，它沿垂直方向移动支撑件412。因此，将一液压缸用作该驱动装置415，该液压缸或者可以用气压或液压沿垂直方向移动支撑件412，或者可以用能够借助一旋转移动力沿垂直方向移动支撑件412的步进电机移动支撑件412。支撑件412的形状可取决于驱动装置415。螺旋轴413的一端416可以是一固定部分，它防止固定到驱动电机414上一边的对边低垂或移动。

现在描述采用根据本发明一LCD的前述粘接设备的衬底粘接过程。装载部分300控制第一臂310和第二臂320，以使要装到上工作台121上的第二衬底520和要装到下工作台122上的第一衬底510分别被送入。因此，装载部分300控制第二臂320，以便通过真空处理室110打开的真空室入口111，将第二衬底520装入真空处理室110内的上工作台121内。

真空泵123可以接至上工作台121上，以将一真空力传送给形成于上工作台121中多个真空孔121b的每一个，从而通过真空吸收作用将第二衬底520固定到上工作台121的下表面上。第二臂320可以卸载所粘接的衬底。之后，如果第二臂320移动到真空处理室110之外，装载部分300控制第一臂310，以使第一衬底510可以装入设置在真空处理室110中下部空间的下工作台122内。然后，接至下工作台122的真空泵(图中未示)可以将一真空力传送给形成于下工作台122中多个真空孔(图中未示)的每一个，以便通过真空吸收作用将第一衬底510固定到下工作台122上。一旦第一臂310移动到真空处理室110之外，就完成了第一和第二衬底510和520的装载。

在该过程中，在装载第一衬底510之前进行对分配有密封剂的第二衬底520的装载。这防止了任何可能出现在第二衬底520装载过程中的灰尘或类似物落到其上滴有液晶材料的第一衬底510上。一旦完成对第一衬底510和第二衬底520的装载，就关闭真空处理室110的真空室入口111，以便在真空处理室110内保持一关闭状态。然后，真空装置200工作以在真空处理室110内产生一真空压。因此，配有真空处理室110排气管112的排气阀112a打开排气管112，以将真空力传送到真空处理室110内，由此在真空处理室110内逐渐产生一真空压。

驱动装置415工作，以沿一向上方向移动每一个支撑件412。同时，构成移动部分的一对驱动电机414受到驱动以旋转一对螺旋轴413。这样，固定到每一个螺旋轴413两端的一对提升部分朝向每一个螺旋轴413的中央移动，以对应于每一个螺旋轴413的方向。换句话说，构成每一个提升部分的一对支撑件412借助因螺旋轴413的旋转产生的水平移动力移动到螺旋轴413的中央，由此移动提升杆411。因此，一旦每一个提升部分移动一设定距离，每一个驱动电机414就不受到驱动，由此导致提升部分停止移动。通过控制每一个驱动电机414的驱动时间或驱动程度，控制每一个提升部分的位置。优选的是，每一个提升部分停止到第二衬底520的虚拟区之下。

一旦完成以上过程，就停止真空泵123的工作，由此断掉将第二衬底520固定到上工作台121下表面上的真空力。这样，固定在上工作台121下表面上的第二衬底520掉落，然后置于每一个提升杆411的上表面上。因此，可以执行将第二衬底置于每一个提升杆411的过程，以在第二衬底520接触每一个提升杆411之后，通过向下移动上工作台121或通过向上移动提升杆411，解除真空力。这种情况下，可以在第二衬底520掉落时避免可能因第二衬底520与每一个提升杆410之间的碰撞引起的任何损坏。

之后，一旦通过在一预定时间段内驱动真空装置200在真空处理室110内达到完全的真空状态，对真空装置200的驱动就停止，同时排气管112的排气阀112a工作，以使排气管112保持在一关闭状态。

向上工作台121和下工作台122的静电卡盘121a和122a供以动力，以使各个衬底510和520通过静电分别固定到第一工作台121和第二工作台122上。一旦完成静电固定，衬底接收系统就将各提升杆411和各支撑件412返回其原始位置。之后，工作台移动系统有选择地沿垂直方向移动上工作台121和下工作台122，以使通过静电固定到第一工作台121和第二工作台122上的第一衬底510和第二衬底520相互粘接。

同时，对衬底接收系统的驱动可以不限于前述在真空处理室110内产生真空压的过程中驱动衬底接收系统的结构。也就是说，可以在真空处理室110内达到真空压之前，在装载第一衬底510和第二衬底520之后，驱动衬底接收系统。

图8和9是示出具有根据本发明一衬底接收系统的典型设备内部结构平面图。根据本发明第二实施例的衬底接收系统可以包括两对或多对螺旋轴，以使三个或四个提升杆有选择地移动，因为提升部分的数目取决于衬底的模型或大小。

图8中，如果有三个提升部分，那么形成一对设置得靠下工作台122最近的第一螺旋轴421，以便在不同方向上取向中央周围两边上的螺旋方向。也就是说，第一螺旋轴421的一边设为右手螺旋，而第一螺旋轴421的另一边设为左手螺旋。另外，第一提升部分422和第二提升部分423可以设置在第一螺旋轴421的两端以相互对应。与第一螺旋轴421沿一个螺旋方向形成相比，一对第二螺旋轴424可以设置得更靠外。第三提升部分425可以设置在第二螺旋轴424的一端。因此，第一螺旋轴421和第二螺旋轴424可以轴向固定到相应的驱动电机426上。这样，一旦每一个驱动电机426受到驱动以旋转各个螺旋轴421和424，第一提升部分422和第二提升部分423就分别移动到第一螺旋轴421的中央，同时第三提升部分425移动到第二螺旋轴424的中央，由此导致提升部分在预设位置处停止。

在以上结构中，第一螺旋轴421可以沿一个方向形成，第二螺旋轴424可以形成得便于中央周围的两边沿不同方向取向。这种情况下，第一提升部分422和第二提升部分423可以设置在第二螺旋轴424的两端，而第三提升部分425可以设置在第一螺旋轴421的任何一端。

图9中，根据衬底的一个模型，需要四个提升部分，第二螺旋轴424具有与第一螺旋轴421形状类似的形状，而第三提升部分425和第四提升部分427设置在第二螺旋轴424的两端。这样，一旦每一个驱动电机426受到驱动以旋转各螺旋轴421和424，第一提升部分422和第二提升部分423就分别移动到第一螺旋轴421的中央，而第三提升部分425和第四提升部分427分别移动到第二螺旋轴424的中央，由此导致提升部分在预设位置上停止。

图10和11示出根据本发明第三实施例的典型衬底接收系统。根据本发明第三实施例的衬底接收系统构成为便于移动部分有选择地控制和移动多个提升部分。

图10中，移动部分可以包括一移动系统432，并且工作以沿水平方向移动提升部分433。移动系统432可以直接与移动轴431和提升部分433相连，并且可以受到驱动以沿移动轴431移动提升部分。提升部分433可以与移动轴431相连。尤其是，可以将一普通导轨用作移动轴431，一直线电机可以用作移动系统432。因此，移动系统432可以和提升部分433与移动轴431之间的连接部分相连，以使提升部分433沿移动轴431移动。所有的提升部分433可以位于移动轴431的任何一端。另一方面，提升部分433可以分别位于移动轴431的两端。

如上所述，如果各提升部分433分开受到控制，如图12和图13所示，那么可以设置三个或更多提升部分433。这样，衬底接收系统可以以一更稳定的方式接收第二衬底520。虽然图中未示，但是可以将齿条、齿轮或链条驱动机构用作移动轴431，并且轴向固定到小齿轮、齿轮或链轮上的电机可以用作移动系统432。另一方面，一导轨可以用作移动轴431，而一采用液压或气压的汽缸可以用作移动系统432。

同时，图14至17示出根据本发明第四实施例的衬底接收系统。根据本发明第四实施例的衬底接收系统构造成提升部分441的一个提升杆442可以仅由一支撑件443支撑。换句话说，提升杆442可以在中央周围相互分开以相互面对，以便分开控制接至各移动轴445的各支撑件443。这样，可以防止因各移动部分的操作误差导致的任何操作误差。

如图14和15所示，移动部分可以用作根据本发明第四实施例的螺旋轴445和驱动电机444。此外，如图16和17所示，移动部分可以用作根据本发明第四实施例的移动轴447和移动系统448。

特别是，如图15和17所示，当从平面角度观察真空处理室110的内部时，各个提升杆442可以设置成相互交叉以使衬底接收系统可以以一更稳定的方式接收第二衬底520。

图18和19示出根据本发明第五实施例的衬底接收系统。在本发明的第五实施例中，两个衬底接收系统可以形成得在一与下工作台122相邻的部分处相互面对。图19中，两个衬底接收系统中的第一衬底接收系统451可以设置在真空处理室110内形成真空室入口111的部分上，而第二衬底接收系统452可以设置在与第一衬底接收系统相对的部分上。

在本发明的第五实施例中，螺旋轴451a、451b、452a和452b的螺旋方向可以沿一个方向取向，而螺旋轴451a、451b、452a和452b可以受到驱动电机451c、451d、452c和452d的控制，由此能够进行更精确的移动。同时，在第五实施例的结构中，没有可以接收第二衬底520中部虚拟区的部件。因此，在本发明的第六实施例中，如图20和21所示，可以进一步设置一旋转衬底接收系统453，它可以接收第二衬底520的中部，同时向上移动或在衬底接收系统451和452之间顺时针或逆时针旋转。这种情况下，旋转衬底接收系统453可以包括：一支撑件453a，它与第二衬底520相接触；一连接轴453b，它与支撑件453a相连；和一驱动装置453c，它提供一驱动力以沿垂直方向移动连接轴453b，并且顺时针或逆时针旋转连接轴453b。采用液压或气压的汽缸或电机中的至少任何一个可以用作驱动装置453c。换句话说，当衬底接收系统451和452移动时，旋转衬底接收系统453沿垂直方向移动，并且顺时针或逆时针旋转，以将支撑件453a置于第二衬底520中部的虚拟区之下。

根据本发明的衬底接收系统可以并不限于这样一种结构，即，沿一宽度方向接收第二衬底520的下表面，同时沿衬底的装载/卸载方向移动。例如，如根据本发明第七实施例的图22所示，衬底接收系统可以构造成在一长度方向上接收第二衬底520的下表面，尤其是接收第二衬底520的虚拟区，同时在与第二衬底520装载/卸载方向垂直的方向上移动。因此，衬底接收系统的提升杆471可以沿第二衬底520的长度方向纵向形成，形成一个或两个支撑件472以支撑一个提升杆471。此外，根据本发明衬底接收系统的移动部分可以并不限于设置在真空处理室110内一下部上的结构。

例如，如根据本发明第八实施例的图23所示，移动部分可以设置在真空处理室110内一上部。也就是说，根据本发明第一至第八实施例的每一个移动部分可以设置在真空处理室内一上部。

对本领域的普通技术人员来说很明显的是，可以在不脱离本发明的实质或范围的情况下，在该制造液晶显示器的设备和方法、采用该设备的方法和用本发明的方法生产的器件中作各种修改和变换。这样，假定这些修改和变换落在所附权利要求书及其等同物的范围内，意欲使本发明覆盖这些修改和变换。

Claims (35)

1.一种用来制造液晶显示器的设备，包括：

一整体真空处理室；

固定第二衬底的上工作台和固定第一衬底的下工作台；和

一衬底接收系统，设置在真空处理室内，沿第二衬底的第一方向移动，并且接收第二衬底。

2.根据权利要求1的设备，其中衬底接收系统包括：多个提升部分，接收第二衬底；和多个移动部分，沿每一个衬底的第一方向移动这多个提升部分。

3.根据权利要求2的设备，其中多个提升部分中的每一个包括：沿第二衬底的第二方向纵向形成且接触第二衬底的提升杆；和一支撑件，具有垂直接至提升杆的第一端和接至移动部分第二端，用来支撑提升杆。

4.根据权利要求3的设备，其中提升杆包括与第二衬底的虚拟区相对应的至少一个凸起物。

5.根据权利要求3的设备，其中一个提升杆与一个支撑件或两个支撑件相连。

6.根据权利要求2的设备，其中提升部分的数目是至少两个，每一个提升部分设置成接收第二衬底的虚拟区。

7.根据权利要求3的设备，其中支撑件包括沿一向上方向移动支撑件的驱动装置。

8.根据权利要求7的设备，其中驱动装置包括利用气压或液压沿向上方向移动支撑件的汽缸和沿一垂直方向移动支撑件的电机中的一个。

9.根据权利要求2的设备，其中移动部分包括：一螺旋轴，沿与真空处理室内一工作台纵向边相邻的部分纵向形成；和一驱动电机，轴向固定到螺旋轴上。

10.根据权利要求9的设备，其中螺旋轴设置成便于以相反方向取向螺旋轴中央周围的两边。

11.根据权利要求10的设备，其中提升部分设置在螺旋轴的两端。

12.根据权利要求9的设备，还包括设置在真空处理室内一工作台两侧上的两个螺旋轴。

13.根据权利要求9的设备，还包括设置在真空处理室内一工作台两侧上的四个螺旋轴。

14.根据权利要求13的设备，其中设置得靠工作台最近的两个螺旋轴配置成成便于以相反方向取向中央周围的两边，而设置得离工作台最远的两个螺旋轴配置成便于以一个方向取向它们的螺旋方向。

15.根据权利要求14的设备，其中设置在靠工作台最近的两个螺旋轴的两端与两个提升部分相连，而设置在离工作台最远的两个螺旋轴的一端与一个提升部分相连。

16.根据权利要求13的设备，其中靠工作台最近的两个螺旋轴设置成便于其螺旋方向沿一个方向取向，而离工作台最远的两个螺旋轴设置成便于中央周围的两边沿相反方向取向。

17.根据权利要求16的设备，其中设置在靠工作台最近的两个螺旋轴的一端与一个提升部分相连，而设置在离工作台最远的两个螺旋轴的两端与两个提升部分相连。

18.根据权利要求13的设备，其中螺旋轴形成得便于中央周围的两边沿相反方向取向，而设置在靠工作台最近的两个螺旋轴的两端以及设置在离工作台最远的两个螺旋轴的两端与两个提升部分相连。

19.根据权利要求10的设备，还包括设置在真空处理室内一工作台两端的至少两个螺旋轴。

20.根据权利要求2的设备，其中移动部分包括沿与真空处理室内一工作台纵向侧相邻部分纵向形成的移动轴；和

一用来沿该移动轴移动提升部分的移动系统。

21.根据权利要求20的设备，其中移动轴由一导轨构成，移动系统由一直线电机和/或利用液压或气压的汽缸构成。

22.根据权利要求20的设备，其中移动轴由齿条、齿轮、链条中的至少一个构成，移动系统由沿轴向固定到小齿轮、齿轮和链轮中至少一个上的电机构成。

23.根据权利要求20的设备，其中提升部分的数目为至少两个。

24.根据权利要求1的设备，其中衬底接收系统设置在真空处理室内四个角上。

25.根据权利要求24的设备，其中衬底接收系统包括接收第二衬底下表面的多个提升部分，和沿每一个衬底第一方向移动提升部分的多个移动部分。

26.根据权利要求25的设备，其中每一个提升部分包括：与第二衬底接触且长度比第二衬底的宽度小的提升杆；有垂直接至提升杆的第一端和接至移动部分的第二端以支撑提升杆的支撑件。

27.根据权利要求24的设备，还包括设置在两个对角上两个衬底接收系统之间设置的一旋转衬底接收系统，该旋转衬底接收系统接收第二衬底中间部分处的虚拟区，同时向上移动且绕顺时针和逆时针方向之一旋转。

28.根据权利要求27的设备，其中旋转衬底接收系统包括：与第二衬底接触的支撑件；与该支撑件相连的连接轴；和一驱动装置，该装置提供一驱动力以沿一垂直方向移动连接轴并且绕顺时针和逆时针方向之一旋转。

29.根据权利要求1的设备，其中衬底接收系统设置在真空处理室内一上表面和一下表面之一上。

30.一种用来制造一液晶显示器的设备，包括：

一整体真空处理室；

固定第二衬底的上工作台和固定第一衬底的下工作台；和

一衬底接收系统，设置在真空处理室内，沿与每一个衬底第一方向垂直的方向移动，并且接收第二衬底。

31.根据权利要求30的设备，其中衬底接收系统包括：接收第二衬底的多个提升部分；和沿与每一个衬底第一方向垂直的方向移动提升部分的多个移动部分。

32.根据权利要求3 1的设备，其中每一个提升部分包括：

一提升杆，沿第二衬底的第二方向纵向形成，并且接触第二衬底的下表面；一支撑件，具有垂直接至提升杆的第一端和接至移动部分的第二端以支撑提升杆。

33.一种用来制造一液晶显示器的方法，包括以下步骤：

将第一衬底固定到一整体真空处理室内的下工作台上；

将第二衬底固定到该整体真空处理室内的上工作台上；

将第二衬底接收到设置在该整体真空处理室内一衬底接收系统上，该衬底接收系统沿第一和第二衬底的第一方向移动。

34.根据权利要求33的方法，其中衬底接收系统包括：多个提升部分，接收第二衬底的下表面；和多个移动部分，沿每一个衬底的第一方向移动提升部分。

35.根据权利要求33的方法，其中衬底接收系统设置在真空处理室内上表面和下表面之一上。

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