KR101265081B1 - 노광용 척 및 이를 이용한 액정표시소자의 제조방법 - Google Patents

노광용 척 및 이를 이용한 액정표시소자의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 노광광 반사에 의한 얼룩불량을 개선할 수 있는 노광용 척에 관한 것으로, 기판을 로딩하기 위한 리프트바(lift-bar)와, 기판이 올려진 리프트바를 안착시키기 위한 리프트바안착부 및 리프트바가 안착부에 진입하여, 기판이 리프트바로부터 분리됨에 따라, 기판을 지지하는 기판로딩부를 포함하여 구성되며, 상기 기판과 접촉하는 리프트바의 표면이 요철을 가지는 노광용 척을 제공한다.
리프트바, 요철, 반사, 얼룩, 노광용, 척

Description

노광용 척 및 이를 이용한 액정표시소자의 제조방법{CHUCK FOR EXPOSING AND METHOD FOR FABRICATING OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}
도 1a 및 도 1b는 종래 횡전계방식 액정표시소자를 나타내는 것으로, 도 1a는 평면도이고, 도 1b는 도 1a의 I-I'의 단면도.
도 2는 종래 리프트바안착부를 포함하는 노광용 척의 단면을 나타내는 도면.
도 3은 본 발명에 따라 리프트바의 표면에 요철구조를 갖는 노광용 척의 단면을 나타내는 도면.
도 4는 횡전계방식 액정표시소자의 공정을 설명하기 위한 평면도.
도 5a 및 도 5b는 도 4에 의해 제작된 기판을 기판 이송용 리프트바에 로딩한 단계를 나타낸 것으로, 도 5a는 평면도이고, 도 5b는 도 5a의 II-II'의 단면도.
도 6은 화소전극 형성을 위한 노광단계를 나타낸 도면.
도 7은 화소전극이 형성된 횡전계방식 액정표시소자를 나타낸 평면도.
*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ***
151,251: 척 153,253: 기판로딩부
155,255: 리프트바안착부 157,257: 리프트바
본 발명은 노광용 척(chuck)에 관한 것으로, 특히, 횡전계방식 액정표시소자 제조의 노광단계에서 발생되는 얼룩불량을 방지할 수 있는 노광용 척 및 이를 이용한 액정표시소자의 제조방법에 관한 것이다
고화질, 저전력의 평판표시소자(flat panel display device)로서 주로 액정표시소자가 사용되고 있다. 액정표시소자는 박막트랜지스터 어레이기판과 칼라필터 기판이 대향하여 균일한 간격을 갖도록 합착되며, 그 박막트랜지스터 어레이 기판과 칼라필터 기판 사이에 액정층이 형성된다.
박막트랜지스터 어레이기판은 화소들이 매트릭스 형태로 배열되며, 그 단위화소에는 박막트랜지스터, 화소전극 및 커패시터가 형성되고, 상기 칼라필터기판은 상기 화소전극과 함께 액정층에 전계를 인가하는 공통전극과 실제 칼라를 구현하는 RGB 칼라필터 및 블랙매트릭스가 형성되어 있다.
한편, 상기 박막트랜지스터 어레이기판과 칼라필터기판의 대향면에는 배향막이 형성되고, 러빙이 실시되어 상기 액정층이 일정한 방향으로 배열되도록 한다. 이때, 액정은 박막트랜지스터 어레이 기판의 단위 화소별로 형성된 화소전극과 칼라필터 기판의 전면에 형성된 공통전극 사이에 전계가 인가될 경우에 유전 이방성에 의해 회전함으로써, 단위화소별로 빛을 통과사키거나 차단시켜 문자나 화상을 표시하게 된다. 그러나, 상기와 같은 트위스트 네마틱 모드(twisted nematic mode) 액정표시소자(liquid crystal display device)는 시야각이 좁다는 단점이 있다.
따라서, 액정분자를 기판과 거의 횡방향으로 배향하여 시야각 문제를 해결하 는 횡전계방식 액정표시소자(In Plane Switching mode LCD)가 최근에 활발하게 연구되고 있다.
도 1은 일반적인 횡전계방식 액정표시소자의 단위화소를 개략적으로 도시한 것으로, 도 1a는 평면도이고, 도 1b는 도 1a의 I-I'의 단면도이다.
도면에 도시된 바와 같이, 투명한 제1기판(10) 상에 게이트라인(1) 및 데이터라인(3)이 종횡으로 배열되어 화소영역을 정의한다. 실제의 액정표시소자에서는 n개의 게이트라인(1)과 m개의 데이터라인(3)이 교차하여 n×m개의 화소가 존재하지만, 도면에는 설명을 간단하게 하기 위해 단지 한 화소만을 나타내었다.
상기 게이트라인(1)과 데이터라인(3)의 교차점에는 게이트전극(1a), 반도체층(5) 및 소스/드레인전극(2a,2b)으로 구성된 박막트랜지스터(thin film transistor;9)가 배치되어 있으며, 상기 게이트전극(1a) 및 소스/드레인전극(2a,2b)은 각각 게이트라인(1) 및 데이터라인(3)에 접속된다. 또한, 게이트절연막(8)은 기판 전체에 걸쳐서 적층되어 있다.
화소영역 내에는 상기 게이트라인(1)과 평행하게 공통라인(4)이 배열되고, 액정분자를 스위칭 시키는 적어도 한쌍의 전극 즉, 공통전극(6)과 화소전극(7)이 데이터라인과 평행하게 배열되어 있다. 상기 공통전극(6)은 게이트라인(1)과 동시에 형성되어 공통라인(4)에 접속되며, 화소전극(7)은 소스/드레인전극(2a,2b)과 동시에 형성되어 박막트랜지스터(9)의 드레인전극(2b)과 접속된다. 그리고, 상기 소스/드레인전극(2a,2b)을 포함하는 기판 전체에 걸쳐서 보호막(11)이 형성되어 있다. 또한, 상기 공통라인(4)과 중첩되어 형성되며, 화소전극(7)과 접속하는 화소전 극라인(14)은 그 사이에 개재된 절연막(8)을 사이에 두고 축적용량(Cst)를 형성한다.
또한, 제2기판(20)에는 박막트랜지스터(9), 게이트라인(1) 및 데이터라인(3)으로 빛이 새는 것을 방지하는 블랙매트릭스(21)와 칼라를 구현하기 위한 칼라필터(23)가 형성되어 있으며, 그 위에는 칼라필터(23)를 평탄화하기 위한 오버코트막(25)이 도포되어 있다. 그리고, 상기 제1기판(10) 및 제2기판(20)의 대향면에는 액정의 초기 배향방향을 결정짓는 배향막(12a,12b)이 도포되어 있다.
또한, 상기 제1기판(10) 및 제2기판(20) 사이에는 상기 공통전극(6) 및 화소전극(7)에 인가되는 전압에 의해 빛의 투과율을 조절하는 액정층(13)이 형성되어 있다.
상기와 같는 구조를 갖는 종래 횡전계방식 액정표시소자는 공통전극(6) 및 화소전극(7)이 동일기판 상에 배치되어 횡전계를 발생시키기 때문에 시야각을 향상시킬 수 있는 장점을 가진다.
반면에, 화면이 표시되는 화소영역 내에 불투명금속으로 이루어진 공통전극(6) 및 화소전극(7)이 배치되어 있기 때문에 개구율(aperture ratio)이 저하되어 휘도가 떨어지는 문제점이 발생하게 된다.
따라서, 상기 공통전극(6) 및 화소전극(7) 중 적어도 하나의 전극을 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide)와 같은 투명한 전도성물질로 형성하여 개구율을 향상시키기 위한 연구가 활발히 진행되고 있다.
상기한 바와 같은 구조를 갖는 횡전계방식 액정표시소자는 다수회의 포토리 소그래피(photo-lithography) 공정을 통해 제작되며, 포토리소그래피 공정은 감광막 도포, 노광, 현상 및 식각단계를 거쳐 진행된다. 특히, 노광공정은 광을 선택적으로 차단하는 마스크와 광을 조사하는 노광기를 사용하게 된다.
즉, 패턴을 형성하고자 하는 기판 상에 식각대상층을 형성하고, 그 상부에 감광막을 도포한 후, 기판을 노광기에 로딩한다. 그리고, 기판과 마스크를 얼라인 한 후, 상기 마스크를 통해 감광막 상에 광을 조사하게 된다. 이때, 노광 중에 얼라인이 틀어지지 않도록 기판을 고정시켜주기 위해서 척이 사용되며, 상기 기판은 척 위에 올려지게 된다. 그리고, 기판과 척 간의 마찰에 의해 발생되는 정전기를 최소화하기 위하여, 척 표면에 홈이 형성되어 있으며, 상기 홈은 기판과 척이 접촉하는 면적을 줄여주게 된다.
한편, 상기 기판은 로봇암에 의해 척 상부에 옮겨지게 되는데, 기판이 대형화됨에 따라, 기판이 휘어지는 것을 방지하기 위해 기판을 지지할 수 있는 기판이송용 리프트바(lift-bar)를 사용하게 된다. 이때, 리프트바의 형태는 일자형태로, 기판과 함께 척에 상에 로딩되며, 척에는 상기 리프트바가 안착될 수 있는 리프트바안착부가 마련되어 있다. 따라서, 로봇암에 의해 기판을 로딩한 리프트바가 척 상에 올려지면, 리프트바는 척에 마련된 리프트바안착부에 진입하게 되고, 기판은 척 상에 놓이게 된다.
도2는 리프트바안착부가 마련된 척의 단면을 개략적으로 나타낸 것으로, 특히, 기판이 로딩된 척의 일부 중, 리프트안착부의 단면을 나타낸 것이다.
도면에 도시된 바와 같이, 노광공정에서 사용되는 척(51)은 실제 기판을 로 딩하는 기판로딩부(53)와 리프트안착부(55)가 마련되어 있다. 상기 리프트안착부(55)에는 기판(50)이 기판로딩부(53)에 안착되기 전, 척(51) 상에 기판(50)을 이송시키기 위해 사용된 리프트바(57)가 안착되어 있다. 언급한 바와 같이, 상기 리프트바(57)는 기판이 대형화됨에 따라, 기판이 휘어지는 것을 방지하기 위해서 사용되는 것으로, 리프트바(57)를 사용하는 경우, 척(51)에는 리프트바안착부(55)가 별도로 마련되어야 한다. 리프트바(57)에 의해서 이송된 기판(50)은 리프트바(57)가 리프트바안착부(55) 내부로 진입함에 따라, 척(51)의 기판로딩부(53)에 로딩된다.
상기한 바와 같이, 척(51) 상에 로딩된 기판(50)은 상부에서 조사되는 광에 의해 노광이 이루어진다. 이때, 기판(50) 상에 형성된 식각대상층이 투명물질인 경우(예를들어, 화소전극 및 공통전극 형성을 위한 ITO층인 경우), 노광시 들어온 광빔이 기판을 투과한 후, 다시 척(51)에 의해 반사되기 때문에 광빔은 포토레지스트를 두 번 통과하게 된다.
횡전계방식 액정표시소자에서 화소전극 또는 공통전극을 투명한 전극으로 형성하는 경우, 전극의 폭은 개구율을 결정하게 되는데, 이때 반사광에 의해 노광정도의 차이가 발생하는 경우, 반사광의 세기 분포도에 따라 전극의 폭도 달라기게 된다. 따라서, 반사광의 분포가 일정치 않은 리프트바의 표면 영역을 따라 개구율이 변화되며, 이것은 화면상에 얼룩을 발생시키게 된다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 리프트바의 표면에 요철 구조를 형성함으로써, 노광광의 반사에 의한 얼룩 불량을 최소화하는 노광용 척 및 이를 이용한 액정표시소자의 제조방법을 제공하는데 있다.
이하, 본 발명의 목적 및 특징은 이하의 발명의 구성 및 특허청구범위에서 상세히 기술될 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 기판을 이송하기 위한 리프트바(lift-bar)와, 기판이 로딩된 리프트바를 안착시키기 위한 리프트바안착부 및 리프트바가 리프트바안착부에 진입하여, 기판이 리프트바로부터 분리됨에 따라, 기판을 로딩하는 기판로딩부를 포함하여 구성되며, 상기 기판과 접촉하는 리프트바의 표면이 요철 구조를 가지는 노광용 척을 제공한다.
상기 리프트바는 일자(-)형태로 구성되어 있으며, 상기 리프트바안착부는 리프트바가 안전하게 진입할 수 있는 공간과 형태로 제공한다.
그리고, 상기 기판로딩부에는 기판과 척사이의 접촉면을 최소화하기 위한 홈이 형성되어 있으며, 기판로딩부는 기판이 실질적으로 접촉하는 접촉부와 일정한 깊이의 홈이 형성된 비접촉부로 구성된다.
상기 리프트바는 기판과의 접촉면이 요철 형상을 가지며, 특히, 요철의 볼록 형상부의 폭은 오목형상부의 폭에 비해 작게 설계된다. 상기 요철의 볼록 형상부 표면에서 기판과 접촉하며, 상기 요철 구조는 투과광을 반사시키되, 요철 구조 내에서 난반사시킴으로써, 기판에 재투과되는 반사광 분포의 기울기를 완만하게 하는 역할을 한다. 즉, 종래 리프트바 표면 전면적에 걸쳐 반사되는 반사광을 요철 의 측면으로 난반사시키며, 또한 광의 이동거리를 요철 높이의 2배만큼 증가시킴으로써 포토레지스트에 재투과되는 반사광 분포도의 기울기를 완화시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 액정표시소자의 제조방법은 제1 및 제2기판을 준비하는 단계와, 상기 제1기판 상에 화소가 정의된 박막트랜지스터 어레이를 형성하는 단계와, 상기 화소내에 횡전계를 발생시키는 제1전극 및 제2전극을 형성하는 단계와, 상기 제2기판 상에 칼라필터를 형성하는 단계 및 상기 제1 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 제1전극 및 제2전극 중 어느 한 전극을 형성하는 단계는 제1기판 상에 투명전도막을 형성하는 단계와, 상기 투명전도막 상에 감광막을 도포하는 단계와, 상기 감광막이 도포된 제1기판을 접촉면(기판과의 접촉면)에 요철을 가지는 리프트바(tray)에 로딩하는 단계와, 기판이 로딩된 리프트바를 노광용 척에 마련된 리프트바안착부에 안착시킴에 따라, 제1기판을 척(chuck) 상에 로딩하는 단계와, 척 상에 로딩된 제1기판을 노광한 후, 이를 현상하여 감광패턴을 형성하는 단계 및 상기 감광패턴을 마스크로하여 투명전도막을 식각하는 단계를 포함하여 이루어진다.
상기한 바와 같이, 본 발명은 종래 리프트바안착부를 따라 발생하는 얼룩을 개선할 수 있는 노광용 척 및 이를 이용한 횡전계방식 액정표시소자의 제조방법을 제공한다. 본 발명의 기본개념은 리프트바안착부에서 발생하는 반사광의 분포가 완만한 기울기를 가지도록 하는 것으로, 기판과 접촉하는 리프트바의 접촉면이 요철을 가지며, 특히 요철의 오목부를 볼록부에 비하여 같거나 넓게 형성함으로써 리프 트바에 의해 반사되는 반사광을 난반사시켜 반사광의 분포 기울기를 완만하게 하는 것이다.
이하, 참조한 도면을 통하여 본 발명에 의한 노광용 척 및 이를 이용한 횡전계방식 액정표시소자의 제조방법에 대하여 상세하게 설명하도록 한다.
도 3은 본 발명에 의한 노광용 척의 단면을 개략적으로 나타낸 것으로, 특히, 기판이 로딩된 척의 일부 중, 리프트바안착부의 단면을 도시한 것이다.
도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 노광용 척(151)은 실제 기판을 로딩하는 기판로딩부(153)와 리프트바(157)를 안착시킬 수 있는 리프트바안착부(155)로 구성되어 있다. 상기 기판로딩부(153)는 노광시 실제 기판(150)을 로딩하는 영역으로, 기판(150)과 직접 접촉하는 접촉부(153a)와 비접촉부(153b)로 구성되어 있으며, 상기 비접촉부(153b)는 척 표면에 균일한 깊이의 홈이 형성된 영역으로 척과 기판과의 접촉면을 최소화하기 위해 마련된 것이다.
그리고, 상기 리프트바안착부(155)에 안착된 리프트바(157)는 척(151) 상에 기판(150)을 이송하기 위해 사용된 것으로, 특히, 기판(150)이 대형화됨에 따라, 기판이 휘어지는 것을 방지하는 지지대 역할을 한다. 이때, 리프트바(157)는 일자형태 혹은 격자형태로도 구성될 수 있으며, 그 표면(즉, 기판과의 접촉면)이 요철을 가진다. 이때, 리프트바 표면은 요철의 오목부를 볼록부에 비하여 같거나 넓게 형성하여, 볼록부의 폭(b)은 1mm이하로 세공하고 오목부의 폭(a)은 상기 볼록부 폭(b)의 5배 이내로 형성한다.
아울러, 상기 리프트바안착부(155)는 리프트바(157)가 진입할 수 있는 공간 으로, 리프트바(157)와 동일한 형태의 홈을 가진다. 즉, 리프트바(157)가 일자구조를 가지는 경우, 리프트바안착부(155)는 리프트바(157)와 동일한 일자구조를 갖으며, 리프트바가 격자구조를 가지는 경우, 리프트바안착부 역시 리프트바와 동일한 격자구조를 갖는다.
상기한 바와 같이 구성된 노광용 척(151) 상에, 기판(150)을 로딩한 리프트바(155)가 이송되면 리프트바(157)는 척에 마련된 리프트바안착부(155)에 진입하게 된다. 이때, 리프트바(157)와 기판(150)은 분리되고, 기판(150)은 기판로딩부(153)에 올려지게된다.
이때, 기판(150) 상에는 패턴을 형성하고자는 식각대상층과 감광막이 형성되어 있다. 따라서, 미리 제작된 마스크를 사용하여 상기 기판상에 도포된 감광막을 노광한 후, 이를 현상액에 적용함으로써, 감광패턴을 형성할 수가 있다. 이후에, 상기 감광패턴을 마스크로하여 식각대상층을 식각함으로써, 원하는 패턴을 형성할 수가 있다.
한편, 상기 기판(150) 상에 형성하고자 하는 패턴이 투명전극 특히, 횡전계방식 액정표시소자의 공통전극 또는 화소전극인 경우, 종래기술에서도 언급한 바와 같이, 리프트바 표면의 반사광에 의해 감광막의 이중노광이 이루어지게 된다.
이것은 리프트바에 의해 주로 반사가 이루어지기 때문이며, 리프트바가 위치하는 영역(D)에 상대적으로 노광량이 많아지게 된다. 그러나, 본 발명에서는 이전도면에 도시된 바와 같이, 리프트바(157)의 반사면이 요철을 갖도록 구성함으로써, 리프트바(157)에 의한 반사광을 분산시키도록 한다. 따라서, 종래에 비해 반사광분 포의 기울기를 완만해지도록 하여, 개구율 변동률을 줄일 수가 있으며, 이에 따라, 얼룩을 개선할 수가 있다.
이를 좀더 상세하게 설명하면, 종래에는 리프트바안착부에서 발생하는 반사광의 분포가 급격한 기울기를 가지는 반면, 본 발명에서는 리프트바의 표면이 요철을 갖도록 함으로써, 반사광의 분포가 종래에 비해 완만한 기울기를 갖는다.
일반적으로, 노광량은 패턴의 폭을 결정하는 요소로서, 반사광의 분포가 급격한 기울기를 갖는 것은, 노광량의 변화 기울기를 의미한다. 따라서, 상기 리프트바안착부와 대응하는 영역에 형성되는 패턴은 리프트바안착부 외의 노광용 척 영역세어의 패턴과 반사광 분포의 차이가 크기 때문에, 패턴폭에 따른 개구율 변화를 발생시키게 된다. 즉, 상기 패턴이 횡전계방식 액정표시소자에서 개구율을 좌우하는 공통전극 또는 화소전극인 경우, 패턴의 폭에 따른 개구율 변동을 초래하게 된다.
그러나, 리프트바가 위치하는 영역(D)에서의 반사광 분포가 상대적으로 완만한 기울기를 갖게 되면, 패턴의 변화폭이 줄어들게 되며, 이에 따라 개구율 변동률이 줄고, 얼룩이 개선된다.
도 4∼도 7는 상기한 바와 같이 구성된 노광용 척을 이용한 액정표시소자의 제조공정을 나타낸 것으로, 특히, 화소전극이 ITO와 같은 투명전극으로 구성된 횡전계방식 액정표시소자를 나타낸다.
먼저, 도 4에 도시된 바와같이, 투명한 제1기판을 준비한 다음, 상기 제1기판 상에 Al, Mo, Ta 또는 Al합금 등과 같은 금속막을 증착한 후, 이를 패터닝하여 제1방향으로 배열된 게이트라인(201)과 상기 게이트라인(201)으로부터 인출된 게이트전극(201a), 공통전극(206) 및 상기 공통전극(206)을 전기적으로 연결하는 공통라인(204)을 형성한다. 그리고, 상기 게이트전극(201a) 및 공통전극(206)이 형성된 기판 전면에 걸쳐서 SiOx 혹은 SiNx을 증착하여 게이트절연막(미도시)을 형성한 후, 상기 게이트절연막 상에 비정질 실리콘, n+ 비정질 실리콘을 적층한 후, 상기 비정질 실리콘과 n+ 비정질 실리콘을 패터닝하여 반도체층(205)을 형성한다.
이어서, 제1방향과 수직인 제2방향으로 배치되어 게이트라인(201)과 함께 화소영역(P)을 정의하는 데이터라인(203) 및 상기 데이터라인(203)으로부터 인출되어 상기 반도체층(205)과 그 일부가 중첩하는 소스전극(202a) 및 드레인전극(202b)을 형성한다.
다음으로, 상기 기판 전체에 걸쳐서 SiOx나 SiNx와 같은 무기물 또는 BCB 또는 아크릴과 같은 유기물을 적층하여 보호막(미도시)을 형성한 후, 상기 드레인 전극(202b)의 일부를 노출시키는 컨택홀(212)을 형성한다.
이후에, 상기 보호막 상에 ITO와 IZO와 같은 투명한 도전막을 스퍼터링방법에 의해서 증착한 후, 그 상부에 감광막(미도시)을 균일하게 도포한다.
그리고, 도 5a에 도시된 바와 같이, 감광막이 도포된 기판(250)을 기판 이송용 리프트바(257) 상에 로딩한 후, 이를 노광장비로 이송한다. 이때, 리프트바(257)는 기판(250)의 휨방지를 위해 사용되며, 일자형태의 평행구조를 가진다. 그리고, 도 5a의 II-II'의 단면을 도시된 도 5b에 나타낸 바와 같이, 기판(250)과 접촉하는 리프트바(257)의 접촉면(D')은 요철을 가진다.
이어서, 도6에 도시된 바와 같이, 상기 리프트바(257)를 노광장비의 척(251)에 마련된 리프트바안착부(255)에 안착시키고, 리프트바(257) 상에 로딩된 기판(250)은 척의 기판로딩부(253) 재로딩한다. 그리고, 미리 제작된 마스크를 사용하여 제1기판(250)을 노광한 다음, 노광된 감광막을 현상함으로써, 도 7에 도시된 바와같이, 공통전극(206)과 함께 화소(P)내에 횡전계를 발생시키는 화소전극(207) 및 상기 화소전극(207)을 전기적으로 연결하며, 공통라인(206)과 중첩하여 스토리지커패시터(Cst)를 형성하는 화소전극라인(214)을 형성한다. 이때, 상기 화소전극(207)은 콘택홀(212)에 의해 드레인전극(202b)과 전기적으로 접촉하게 된다.
계속해서, 도면에 도시하진 않았지만, 칼라필터가 형성된 제2기판을 준비한 다음, 상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성함으로써, 액정표시소자를 제작할 수가 있다.
상기한 바와 같이, 본 발명은 노광용 척의 반사광에 의한 얼룩을 개선할 수 있는 노광용 척 및 이를 이용한 액정표시소자의 제조방법을 제공한다. 본 발명은 기판이송용 리프트바의 안착부가 마련된 노광용 척에서, 상기 리프트바안착부의 반사광 분포를 완만하게 함으로써, 얼룩을 개선한다. 즉, 리프트바안착부에 안착된 리프트바의 반사면을 요철을 가지도록 구성하여 기판을 통해 투과된 광을 난반사시킴으로써, 반사광의 분포 기울기를 완만하게 만들어 줄수 있으며, 이에 따라 얼룩을 개선할 수가 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 노광용 척에 마련된 리프트바의 표면을 요철 구조로 형성함으로써, 노광광 반사에 의한 얼룩 불량을 개선할 수가 있다. 본 발명은 얼룩 불량을 방지함에 따라 액정표시소자의 화질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 일자(-) 또는 격자형태로 이루어지고, 기판을 이송하기 위한 리프트바(lift-bar);
    상기 리프트바와 동일한 형태로 이루어지고, 상기 기판이 로딩된 리프트바를 안착시키기 위한 리프트바안착부; 및
    리프트바가 리프트바안착부에 진입하여 기판이 리프트바로부터 분리됨에 따라 기판을 지지하며, 상기 기판과 접촉하는 접촉부 및 일정한 깊이의 홈이 형성된 비접촉부로 구성되는 기판로딩부를 포함하고,
    상기 기판과 접촉하는 리프트바의 표면이 상기 기판을 통해 투과된 광을 난반사시키는 요철을 가지며,
    상기 요철은 볼록부의 폭이 1mm 이하, 오목부의 폭이 상기 볼록부의 폭의 5배 이하인 것을 특징으로 하는 노광용 척.
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