상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면 기판의 합착 공정이 수행되는 진공 챔버와; 상기 진공 챔버 내에 각각 대향되어 구비되고, 반송 장치에 의해 반입된 각 기판을 흡착하여 각 기판간 합착을 수행하는 상부 스테이지 및 하부 스테이지와; 상기 진공 챔버 내에 승강 및 회전하게 구비되고, 합착 완료된 기판을 고정하거나 혹은, 상부 스테이지에 고정되는 기판을 받쳐주는 공정 보조 수단:을 포함하여 구성된 액정표시소자용 진공 합착 장치가 제공된다.
이하, 본 발명의 바람직한 각 실시예를 첨부한 도 3 내지 도 16을 참조하여 보다 상세히 설명하면 하기와 같다.
우선, 도시한 도 3은 본 발명에 따른 액정표시소자용 진공 합착 장치의 구성을 개략적으로 나타내고 있다.
이를 통해 알 수 있듯이 본 발명의 진공 합착 장치는 크게 진공 챔버(110)와, 상부 스테이지(121) 및 하부 스테이지(122)와, 스테이지 이동장치, 진공 장치(200) 그리고, 공정 보조 수단(600)을 포함하여 구성됨이 제시된다.
상기에서 본 발명의 합착 장치를 구성하는 진공 챔버(110)는 그 내부가 선택적으로 진공 상태 혹은, 대기압 상태를 이루면서 각 기판간 합착 작업이 수행될 수 있도록 형성되어 이루어진다.
이 때, 상기 진공 챔버(110)는 그 둘레면 일측에 진공 장치(200)로부터 전달 된 공기 흡입력을 전달받아 그 내부 공간에 존재하는 공기가 배출되는 공기 배출관(112)이 연결됨과 더불어 그 외부로부터 공기 혹은, 여타의 가스 유입이 이루어지져 상기 진공 챔버(110) 내부를 대기 상태로 유지하기 위한 벤트(Vent)관(113)이 연결되어 내부 공간의 선택적인 진공 상태 형성 혹은, 해제가 가능하도록 구성된다.
또한, 상기에서 공기 배출관(112) 및 벤트관(113)에는 그 관로의 선택적인 개폐를 위해 전자적으로 제어 받는 개폐 밸브(112a,113a)가 각각 구비된다.
그리고, 본 발명의 합착 장치를 구성하는 상부 스테이지(121) 및 하부 스테이지(122)는 상기 진공 챔버(110) 내의 상측 공간과 하측 공간에 각각 대향 설치되며, 반송 장치(300)에 의해 진공 챔버(110) 내부로 반입된 각 기판(510,520)을 진공 혹은, 정전 흡착하여 상기 진공 챔버(110) 내의 해당 작업 위치에 고정된 상태로 유지시킴과 더불어 이 고정된 각 기판(510,520)간 합착을 수행하도록 선택적 이동이 가능하게 구성된다.
이 때, 상기 반송 장치(300)는 다수의 핑거부(311)를 가지는 로보트 아암(310)을 제어하여 진공 챔버(110) 내부의 기판 반입/반출을 수행한다.
또한, 상기에서 상부 스테이지(121)는 그 저면에 다수의 정전력을 제공하여 기판(이하, “제2기판”이라 한다)(520)의 고정이 가능하도록 하나 이상의 정전척(ESC;Electro Static Chuck)(121a)이 장착되어 이루어짐과 더불어 진공 펌프(123)의 구동에 의해 발생된 진공 흡착력을 전달받아 제2기판(520)을 흡착 고정하는 다수의 진공홀(121b)이 형성되어 이루어진다.
이와 함께, 진공 챔버 내부의 각 모서리 부위에는 진공 챔버(110) 내부를 진공 상태로 만드는 과정에서 제2기판(520)을 일시적으로 받아주는 역할을 수행하는 제2기판 받침 수단(410)이 구비된다.
하지만, 상기 제2기판 받침 수단(410)은 반드시 상기한 형태로만 구성할 수 있는 것은 아니며, 제2기판(520)을 임시적으로 받아줄 수 있는 다양한 형태로 구성할 수 있고, 그 위치도 상부 스테이지(121)의 대각된 두 모서리 부위와 인접된 부위 혹은, 각 스테이지(121,122)의 대각된 네 모서리 부위에 각각 구비할 수도 있다.
또한, 상기 하부 스테이지(122)의 상면에도 상기한 상부 스테이지(121)의 저면 형상과 같이 최소 하나 이상의 정전척(122a)을 장착함과 더불어 진공홀(122b)을 형성하여 구성하고, 이에 추가하여 하부 스테이지(122)에 로딩되기 위해 반입되는 기판(이하, “제1기판”이라 한다)(510)의 로딩을 수행하는 제1기판 받침 수단(420)이 승강 가능하게 설치되어 구축된다.
이 때, 상기 제1기판 받침 수단(420)은 상기 제1기판(510)의 저면에 접촉되도록 구비되고, 하부 스테이지(122)를 관통하여 동작되도록 구비된다. 상기 제1기판 받침 수단(420)을 승강 가능하도록 하는 구성으로는 유공압 실린더(421) 또는, 모터 등이 될 수 있다.
하지만, 상기 제1기판 받침 수단(420)은 기판의 로딩을 위한 다양한 구성으로 이루어질 수 있음을 고려할 때 반드시 어느 한 형상으로만 한정하지는 않는다.
그리고, 본 발명 합착 장치를 구성하는 스테이지 이동장치는 상부 스테이지(121)에 결합되어 상기 상부 스테이지(121)를 상향 이동 혹은, 하향 이동시키는 이동축(131)을 가지고, 하부 스테이지(122)에 결합되어 상기 하부 스테이지를 회전시키는 회전축(미도시)을 가지며, 상기 각 스테이지(121,122)에 결합된 각각의 축을 이동 또는, 회전시키도록 구동하는 구동 모터(133,134)를 포함하여 구성된다.
이 때, 상기 스테이지 이동장치는 단순히 상기 상부 스테이지(121)를 상하로만 이동시키거나, 하부 스테이지(122)를 좌우로만 회전시키도록 구성한 것으로 한정되지는 않는다.
즉, 상기 상부 스테이지(121)를 좌우 회전 가능하도록 구성할 수도 있을 뿐 아니라 상기 하부 스테이지(122)를 상하 이동시킬 수 있도록 구성할 수도 있다.
이의 경우 상기 상부 스테이지(121)에는 별도의 회전축(도시는 생략함)을 추가로 설치하여 그 회전이 가능하도록 하고, 상기 하부 스테이지(122)에는 별도의 이동축(도시는 생략함)을 추가로 설치하여 그 상하 이동이 가능하도록 함이 바람직하다.
그리고, 본 발명 합착 장치를 구성하는 진공 장치(200)는 상기 진공 챔버(110)의 내부가 선택적으로 진공 상태를 이룰 수 있도록 흡입력을 전달하는 역할을 수행하며, 통상의 공기 흡입력을 발생시키기 위해 구동하는 흡입 펌프로 구성한다.
이 때, 상기 진공 장치(200)가 구비된 공간은 진공 챔버(110)의 공기 배출관(112)과 연통하도록 형성한다.
그리고, 본 발명 합착 장치를 구성하는 공정 보조 수단(600)은 도시한 도 4 와 같이 진공 챔버(110) 내부의 진공 상태를 해제하는 과정에서 합착 기판(500)을 고정하는 역할 혹은, 진공 챔버(110) 내부가 진공 상태를 이루었을 경우 상부 스테이지(121)에 고정되는 제2기판(520)을 상기 상부 스테이지(121)로 밀어주는 역할을 수행하게 된다.
상기에서 공정 보조 수단(600)은 회전축(610)과, 받침부(620) 그리고, 구동부(630)로 크게 구성된다.
이 때, 회전축(610)은 진공 챔버(110) 내에서 승강 및 회전 가능한 위치에 위치되며, 구동부(630)의 구동에 의해 선택적인 회전을 수행하면서 받침부(620)를 하부 스테이지(122)의 상측 둘레부위에 위치시키는 역할을 수행한다.
그리고, 받침부(620)는 회전축(610)의 일단에 일체화되고, 제2기판(520), 합착 기판(500) 및 반송 장치(300)의 소정 부위와 접촉하면서 상기 제2기판(520)을 받쳐주거나, 합착 기판(500)을 고정하는 역할 또는, 반송 장치(300)의 끝단을 받쳐주는 역할을 수행한다.
이 때. 받침부(620)의 각 기판(510,520)과 접촉되는 면은 상호간의 접촉시 긁힘을 방지할 수 있는 재질로 형성된 제1접촉부(621) 및 제2접촉부(622)가 포함되어 형성되며, 상기 제1접촉부(621) 및 제2접촉부(622)의 재질은 테프론이나 피크와 같은 재질로써 형성한다.
하지만, 반드시 상기 각 접촉부(621,622)를 추가로 구성할 수만 있는 것은 아니며, 받침부(620)의 각 면을 상기 테프론이나 피크와 같은 재질의 코팅재로 코 팅할 수도 있다.
이와 함께, 받침부(620)의 형상은 단순한 길이와 폭이 동일한 정육면체로 구성할 수 있을 뿐 아니라, 원기둥 또는, 다면체의 형상으로도 구성할 수 있으나, 바람직하기로는 길이가 폭에 비해 길게 형성되는 직육면체의 형상을 이루도록 함이 각 기판(510,520)의 고정시 넓은 면적을 잡아줄 수 있어서 보다 유리하다.
그리고, 구동부(630)는 진공 챔버(110) 외부(혹은, 내부)에 구비되고, 회전축(610)에 축결합되어 회전축(610)을 회전시키는 회전 모터(631)와, 유공압을 이용하여 회전축(610)을 승강시키도록 구동하는 승강 실린더(632)를 포함하여 구성된다.
물론, 회전축(610)을 회전시키기 위한 구성 및 회전축(610)을 승강시키기 위한 구성이 상기한 회전 모터(631) 및 승강 실린더(632)로만 구성할 수 있는 것 만은 아니며, 여타의 다양한 장치나 장비로 구성할 수도 있다.
이 때, 상기 승강 실린더(632)에 의해 승강하는 회전축(610)의 승강 범위는 본 발명에 따른 공정 보조 수단이 수행하는 각 역할의 동작 범위가 될 수 있다.
즉, 진공 챔버(110) 내부의 진공 상태를 해제하는 과정에서 합착 기판(500)을 고정하는 역할을 수행하도록 동작하는 범위와, 진공 챔버(110) 내부가 진공 상태를 이루었을 경우 상부 스테이지(121)에 고정되는 제2기판(520)을 상기 상부 스테이지(121)로 밀어주는 역할을 수행하도록 동작하는 범위 그리고, 반송 장치(300)에 의한 각 기판(510,520)의 반입이 이루어질 경우 해당 기판을 반입하는 상기 반송 장치(300)의 각 핑거부(311) 끝단을 받쳐주는 역할을 수행하도록 동작하는 범위 등이 회전축(610)의 승강 범위로 설정되는 것이다.
만일, 상기의 구성에서 구동부(630)가 본 발명의 실시예에 따른 도면상에서 제시된 바와 같이 진공 챔버(110)의 외측 하부에 위치되도록 설치될 경우 회전축(610)은 상기 진공 챔버(110)를 관통하여 결합됨과 더불어 이 진공 챔버(110)와 회전축(610) 간의 결합 부위는 씰링이 이루어져야 한다.
또한, 본 발명에서는 상술한 바와 같은 공정 보조 수단(600)의 위치가 도시한 도 5와 같이 하부 스테이지(122)의 장변측(혹은, 단변측) 각 모서리 부분과 인접한 부위에 위치되도록 함을 제시한다.
그리나, 반드시 상기의 구성으로만 한정되지는 않으며, 하부 스테이지(122)의 각 측면 중앙 부위와 인접한 위치에서 그 동작이 이루어지도록 본 발명의 공정 보조 수단(600)을 설치할 수도 있고, 하부 스테이지(122)의 각 모서리 및 각 측면 중앙 부위와 인접한 위치에서 그 동작이 이루어지도록 본 발명의 공정 보조 수단(600)을 설치할 수도 있다.
이하, 전술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명 합착 보조 장치의 각 역할에 따른 동작 수행 과정을 상기 각 역할별로 설명하면 하기와 같다.
제1실시예:
우선, 본 발명에 따른 공정 보조 장치(600)는 각 기판(510,520)의 반입/반출시 반송 장치(300)를 구성하는 로보트 아암(310)의 각 핑거부(311) 끝단을 받쳐주는 역할을 수행한다.
이를, 각 구성요소의 동작 순서에 의거하여 설명하면 다음과 같다.
우선, 도 3과 같은 최초의 상태에서 반송 장치(300)를 이루는 로보트 아암(310)이 진공 챔버(110)의 기판 유출구(미도시)를 통해 상부 스테이지에 로딩될 제2기판(520)을 반송한다.
이 경우, 본 발명에 따른 각각의 공정 보조 수단(600)를 구성하는 구동부(630)의 승강 실린더(632)가 구동하면서 회전축(610)을 상향 이동시킴과 더불어 회전 모터(631)가 구동하면서 회전축(610)을 회전시켜 받침부(620)를 작업 부위에 위치시킨다.
이 때, 회전축(610)은 대략 로보트 아암(310)이 가지는 각 핑거부(311)의 끝단이 위치되는 높이에까지 상향 이동하게 되고, 각 받침부(620)는 하부 스테이지(122)의 상측 둘레 부위인 상기 각 핑거부(311)의 끝단 하측에 위치된다.
이에 따라, 상기 각 공정 보조 수단(600)의 받침부(620) 상면에 상기 각 핑거부(311)의 끝단 저면이 받쳐지게 되어 상기 핑거부(311)의 끝단 부위가 하부로 처지게 됨이 방지된다. 이의 상태는 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같다.
물론, 상기의 각 동작 과정에서 본 발명에 따른 공정 보조 수단(600)이 제2기판(520)의 반송 전에 그 동작을 먼저 수행하여 해당 작업 위치에 로딩되도록 한 후 반송 장치(300)를 제어하여 제2기판(520)의 반송이 이루어지도록 그 동작 과정을 설정할 수도 있다.
그리고, 상기한 바와 같이 공정 보조 수단(600)의 각 받침부(620)에 각 핑거부(311)가 받쳐져 있는 상태에서 진공 펌프(123)가 동작하면서 상부 스테이지(121) 의 각 진공홀(121b)을 통해 진공 흡착력을 전달하여 상기 제2기판(520)을 상부 스테이지(121)에 흡착시킴으로써 제2기판(520)의 로딩이 완료된다. 이 때, 각 공정 보조 수단(600)은 최초 위치로의 복귀된다.
계속해서, 반송 장치(300)를 이루는 로보트 아암(310)은 진공 챔버(110)의 기판 유출구(미도시)를 통해 하부 스테이지(122)에 로딩될 제1기판(510)을 반송한다.
이와 함께, 각각의 공정 보조 수단(600)을 구성하는 구동부(630)의 승강 실린더(632)가 구동하면서 회전축(610)을 상향 이동시킴과 더불어 회전 모터(631)가 구동하면서 회전축(610)을 회전시킨다.
이 때, 회전축(610)은 대략 로보트 아암(310)이 가지는 각 핑거부(311)의 끝단이 위치되는 높이에까지 상향 이동하게 되고, 회전 모터(631)의 구동에 의해 회전된 받침부(620)는 하부 스테이지(122)의 상측 둘레 부위인 상기 각 핑거부(311)의 끝단 하측에 위치된다.
이에 따라, 상기 각 핑거부(311)의 끝단은 상기 각 공정 보조 수단(600)의 각 받침부(620)에 그 저면이 받쳐지게 되어 하부로 처지게 됨이 방지된다. 이의 상태는 도 8에 도시한 바와 같다.
그리고, 상기한 바와 같이 공정 보조 수단(600)의 각 받침부(620)에 각 핑거부(311)가 받쳐져 있는 상태에서 상기 하부 스테이지(122)의 수용홈(미도시) 내에 수용되어 있던 제1기판 받침 수단(420)이 그 동작에 따른 제어를 받아 상향 이동하면서 반송 장치(300)에 의해 반송된 제1기판(510)을 안착하게 된다. 이의 상태는 도 9에 도시한 바와 같다.
이후, 상기 반송 장치(300)를 구성하는 로보트 아암(310)의 각 핑거부(311)가 반출됨과 더불어 각 공정 보조 수단(600)의 받침부(620)가 회전 모터(631) 및 승강 실린더(632)의 구동에 의해 연속적인 동작을 수행하면서 최초 장착 위치로 되돌아가게 된다.
그리고, 상기한 과정이 완료되면 제1기판(510)은 제1기판 받침 수단(420)에 얹혀진 상태를 이루게 되고, 이 상태에서 상기 제1기판 받침 수단(420)은 그 동작에 따른 제어를 받아 하향 이동하면서 하부 스테이지(122)의 수용홈(미도시) 내로 수용된다.
이에 따라, 제1기판(510)은 상기 하부 스테이지(122)의 상면에 얹혀지고, 계속해서 상기 하부 스테이지(122)의 각 진공홀(122b)을 통해 전달되는 진공 흡착력에 의해 상기 제1기판(510)은 하부 스테이지(122)에 흡착됨으로써 상기 제1기판(510)의 로딩이 완료된다. 이의 상태는 도 10에 도시한 바와 같다.
한편, 상기한 바와 같은 제1실시예에 따른 공정 보조 수단(600)의 동작 과정에 있어서, 로보트 아암(310)의 각 핑거부(311)의 처짐을 방지하기 위한 과정은 도 10에 도시된 바와 같이 기판 유출구(미도시)가 형성된 측과는 반대측(로보트 아암과 각 핑거부 간의 결합이 이루어진 부위와는 반대측 부위)에 구비된 두 개의 공정 보조 수단(600)만을 동작시켜 각 핑거부(311)의 끝단 처짐만을 방지하도록 할 수도 있고, 도시하지는 않았지만 모든 공정 보조 수단의 동시적인 동작에 의해 상기 각 핑거부의 일단 및 끝단을 동시에 지지하도록 할 수도 있다.
또한, 상기한 바와 같이 본 발명의 공정 보조 수단(600)이 로보트 아암(310) 의 각 핑거부(311)를 받쳐주는 역할을 수행할 경우에는 반드시 받침부(620)를 이용하여 상기 각 핑거부(311)를 받쳐주도록 할 수 있는 것은 아니다.
즉, 도시한 도 4와 같이 받침부(620)의 측부에 받침부(620)의 길이 방향과는 수직된 방향을 따라 길게 형성된 보조 받침부(640)를 추가로 형성하여, 이 보조 받침부(640)가 상기 각 핑거부(311)를 받쳐주도록 구성할 수도 있다.
이 때, 상기 보조 받침부(640)를 받침부(620)의 길이 방향에 대하여 수직된 방향을 따라 형성하는 이유는 해당 공정 위치로의 회전이 이루어졌을 경우 보조 받침부(640)의 길이 방향이 각 핑거부(311)의 폭 방향을 향하도록 함에 따라 원활한 받침 역할이 수행될 수 있기 때문이다.
뿐만 아니라, 상기한 역할을 수행하는 보조 받침부(640)는 각 기판과의 접촉이 이루어지는 것이 아니기 때문에 그 상면에 테프론이나 피크 등과 같은 재질의 접촉부를 별도로 구비할 필요가 없다.
또한, 상기한 본 발명의 공정 보조 수단(600)은 반드시 반송 장치(300)를 구성하는 핑거부(311)의 끝단을 받쳐주도록 동작하는 것으로 한정하지는 않으며, 상기 반송 장치에 의해 반송되는 각 기판(510,520)의 끝단을 받쳐주도록 설정할 수도 있다.
제2실시예:
도 11을 참조하면, 본 발명에 따른 공정 보조 수단(600)은 진공 챔버(110) 내부가 완전히 진공된 상태에서 제2기판(520)을 상부 스테이지(121)에 정전 흡착하는 도중 상기 제2기판(520)을 밀어올려 상기 상부 스테이지(121)에의 원활한 부착이 가능하도록 하는 역할을 수행한다.
이를, 각 구성요소의 동작 순서에 의거하여 설명하면 다음과 같다.
우선, 도 11과 같이 진공 챔버(110) 내부를 진공 상태로 만드는 과정에서 제2기판(520)은 제2기판 받침 수단(410)에 얹혀져 있게 된다.
이의 상태에서 진공 챔버(110) 내부가 완전한 진공 상태를 이루게 되면 상부 스테이지(121)의 각 정전척(121a)이 전원의 인가를 받아 정전력을 발생시킴으로써 상기 제2기판 받침 수단(410)에 얹혀져 있는 제2기판(520)을 정전 흡착하게 된다.
이 때, 진공 챔버(110) 내의 하측인 하부 스테이지(122)의 각 모서리 부위 측부에 장착된 각각의 공정 보조 수단(600)이 그 구동을 수행하게 된다.
즉, 도시한 도 12과 같이 승강 실린더(632)가 구동하면서 회전축(610)을 상향 이동시킴과 더불어 회전 모터(631)가 구동하면서 회전축(610)을 회전시키게 된다.
상기 과정에서 회전축(610)은 대략 받침부(620)가 제2기판(520)의 저면에 닿을 정도의 높이에까지 상향 이동하게 되고, 회전 모터(631)의 구동에 의해 회전된 받침부(620)는 제2기판(520)의 둘레 부위인 각 더미 영역의 하측에 위치된다.
계속해서, 각각의 공정 보조 수단(600)을 구성하는 승강 실린더(632)가 구동하면서 회전축(610) 및 이 회전축(610)에 일체화된 받침부(620)를 상향 이동시키게 되고, 이러한 상향 이동에 의해 받침부(620)는 제2기판(520)의 둘레 부위를 상부 스테이지(121)와 최대한 가까운 위치에까지 들어올리게 된다.
이에 따라, 상기 제2기판은 상부 스테이지의 각 정전척을 통해 발생된 정전 력을 더욱 원활히 전달받게 되어 상기 상부 스테이지(121)에의 정전 흡착이 더욱 원활히 이루어질 수 있다. 이의 상태는 도 13에 도시한 바와 같다.
그리고, 상기한 과정이 진행되는 도중 제2기판(520)을 들어올리는 공정 보조 수단(600)의 받침부(620) 상면은 테프론 또는, 피크와 같은 재질로 이루어진 제1접촉부(621)가 구비되어 있음에 따라 제2기판(520) 및 받침부(620) 상호간의 접촉에 따른 상기 제2기판(520)의 손상(예컨대, 긁힘 등)은 방지된다.
또한, 상기한 바와 같이 진공 챔버 내부를 진공시키는 과정에서 본 발명에 따른 공정 보조 수단은 제2기판(520) 만을 받쳐주는 역할을 수행하도록 한정되지는 않는다.
즉, 상기와 같은 진공 챔버(110) 내부의 진공시 하부 스테이지(122)에 위치되는 제1기판(510)을 고정하는 역할도 추가로 수행하도록 설정함으로써 상기 제1기판(510)의 유동을 방지할 수 있도록 함이 보다 바람직하다.
제3실시예:
도 14를 참조하면, 본 발명에 따른 공정 보조 수단(600)은 각 기판(510,520)간 가압에 의한 합착이 완료된 후 진공 챔버(110) 내부를 진공 해제하는 도중에서 상기 합착 완료된 합착 기판(500)을 하부 스테이지(122)에 고정하는 역할을 수행하게 된다.
이를, 각 구성요소의 동작 순서에 의거하여 설명하면 다음과 같다.
우선, 도 14와 같이 각 기판(510,520)간 가압에 의한 일차적인 합착이 완료되면 상부 스테이지(121)는 정전력을 해제함과 동시에 상향 이동한다.
이와 함께, 본 발명에 따른 각각의 공정 보조 수단(600)을 구성하는 구동부(630)의 승강 실린더(632)가 구동하면서 회전축(610)을 상향 이동시킴과 더불어 회전 모터(631)가 구동하면서 회전축(610)을 회전시켜 받침부(620)를 작업 부위에 위치시킨다.
이 때, 회전축(610)은 대략 합착 기판(500)의 상면 높이보다 소정 높이만큼 더 상향 이동하게 된다.
또한, 상기에서 각 받침부(620)의 작업 부위라 함은 상기 합착 기판(500)의 둘레 부위인 더미 영역의 상측이다.
상기한 상태에서 각 공정 보조 수단(600)을 구성하는 승강 실린더(632)는 계속적인 구동을 수행하면서, 회전축(610)을 하향 이동시켜 각 받침부(620)가 상기 합착 기판(500)의 상측 더미 영역을 누르도록 하여 상기 합착 기판(500)을 고정하게 된다. 이의 상태는 도시한 도 15와 같다.
그리고, 상기한 일련의 과정이 완료되면 도시한 도 16과 같이 벤트관(113)에 구비된 개폐 밸브(113a)가 그 제어에 따른 동작을 수행하면서 상기 벤트관(113)의 관로를 개방시킴에 따라 공기 혹은, 가스(예컨대, N2 가스 등)가 상기 벤트관(113)의 개방된 관로를 통해 진공 챔버(110) 내부로 유입된다.
이에 따라, 진공 챔버(110) 내부는 점차적으로 진공 상태로부터의 해제가 이루어진다.
이 때, 합착 기판(500)은 진공 챔버(110) 내부의 점차 변동되는 기압과 상기 합착 기판(500)의 합착 부위에 존재하는 잔여 기압과의 차이에 의해 상기 합착 부 위가 보다 밀착되면서 재차적인 기판간 합착이 이루어진다.
이 과정에서 본 발명의 각 공정 보조 수단(600)을 구성하는 각 받침부(620)가 합착 기판(500)의 각 모서리 부위를 눌러주면서 상기 합착 기판(500)이 고정된 상태를 유지할 수 있도록 함으로써 합착 기판을 이루는 제1기판(510) 및 제2기판(520)간 밀착이 이루어지는 도중 발생될 수 있는 기판간의 어긋남에 대한 문제점이 방지된다.
그리고, 상기한 과정이 진행되는 도중 합착 기판(특히, 제2기판의 상면)(500)을 누르는 각 공정 보조 수단(600)의 각 받침부(620) 저면은 테프론 또는, 피크와 같은 재질로 이루어진 제2접촉부(622)가 각각 구비되어 있음에 따라 합착 기판(500) 및 받침부(620) 상호간의 접촉에 따른 상기 합착 기판(500)의 손상(예컨대, 긁힘 등)은 방지된다.
한편, 본 발명에 따른 공정 보조 수단(600)은 반드시 전술한 각 실시예에 따른 작업만을 수행하도록 구성되는 것은 아니다.
예컨대, 진공 챔버(110) 내부를 진공 상태로 변경하는 도중 상부 스테이지(121)에 진공 흡착된 제2기판(520)을 임시로 받아 주기 위한 제2기판 받침 수단(410)의 역할을 수행하도록 구성 또는, 제어 할 수 있고, 제1기판(510)의 로딩을 위한 제1기판 받침 수단(420)의 역할을 수행하도록 구성 또는, 제어할 수도 있다.
또한, 본 발명에 따른 공정 보조 수단(600)의 위치 역시 전술한 각 실시예와 같이 진공 챔버(110) 내의 하부에만 설치할 수 있는 것은 아니며, 진공 챔버 내의 상부에 설치할 수도 있다.