KR100778848B1 - 합착기 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (16)
- 기판을 합착하기 위한 합착기 챔버와,상기 합착기 챔버의 상측 공간과 하측 공간에 설치된 상부 스테이지 및 하부 스테이지와,상기 합착기 챔버에 형성되어 진공상태의 상기 합착기 챔버를 대기상태로 변환하기 위한 복수개의 벤트 홀을 구비함을 특징으로 하는 합착기.
- 제 1 항에 있어서,상기 복수개의 벤트 홀은 상기 합착기 챔버의 상부면에 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 복수개의 벤트 홀은 상기 합착기 챔버의 상부, 하부 및 측면에 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
- 제 1 항에 있어서,상기 합착기 챔버의 상부면에 적어도 2개, 측면에 적어도 1개, 그리고 하부면에 적어도 1개의 벤트 홀이 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
- 제 1 항에 있어서,상기 복수개의 벤트 홀들의 간격은 일정 거리를 갖도록 배치됨을 특징으로 하는 합착기.
- 제 1 항에 있어서,상기 각 벤트 홀이 형성되는 위치는 합착기 챔버의 상부면 및 측면에 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
- 제 7 항에 있어서,상기 상부면에는 적어도 2개의 벤트 홀이 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
- 제 7 항에 있어서,상기 측면에는 적어도 1개의 벤트 홀이 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 각 벤트 홀이 형성되는 위치는 합착기 챔버의 상부면 및 하부면에 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
- 제 11 항에 있어서,상기 상부면에는 적어도 2개의 벤트 홀이 형성되고 상기 하부면에는 적어도 1개의 벤트 홀이 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
- 제 1 항에 있어서,상기 각 벤트 홀이 형성되는 위치는 합착기 챔버의 측면 및 하부면에 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
- 일체형으로 이루어진 합착기 챔버와,상기 합착기 챔버 내부에 설치된 상부 스테이지 및 하부 스테이지와,상기 합착기 챔버에 연결된 적어도 둘 이상의 흡입 펌프와,상기 합착기 챔버에 형성되어 진공상태의 상기 합착기 챔버를 대기상태로 변환하기 위한 벤트 홀을 포함하여 구비된 합착기.
- 제 14 항에 있어서,각 흡입 펌프는 저진공 상태에서 동작하는 적어도 하나 이상의 저진공 펌프와, 상기 저진공 상태보다 높은 진공도를 가지는 고진공 상태에서 동작하는 고진공 펌프로 구성됨을 특징으로 하는 합착기.
- 제 15 항에 있어서,상기 벤트 홀은 합착기 챔버의 상면에 형성하고,상기 고진공 펌프는 상기 합착기 챔버의 둘레면에 연결하며,상기 저진공 펌프는 상기 합착기 챔버의 저면에 연결하여 구성함을 특징으로 하는 합착기.
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