JP2003241203A - 液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
液晶表示装置の製造方法Info
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Abstract
加圧して生産性を向上できるようにした液晶滴下方式の
液晶表示装置の製造方法を提供する。 【解決手段】 第1基板と第2基板を合着機チャンバー
内にローディングする工程と、前記第1,第2基板を合
着する工程と、前記合着機チャンバーをベントさせ、前
記合着した2つの基板を加圧する工程と、前記加圧した
第1,第2基板をアンローディングする工程とを備え
る。
Description
方法に係り、特に液晶滴下方式の液晶表示装置製造方法
に関する。
する要求も多様な形で次第に増加されており、これに応
じて、最近はLCD(Liquid Crystal D
isplay Device)、PDP(Plasma
Display Panel)、ELD(Electr
o Luminescnet Display)、VFD
(Vacuum Fluorescent Displa
y)など様々な平板表示装置が研究され、一部は既に各
種の装備で表示装置として活用されている。
費電力などの長所のため、移動型画像表示装置の用途と
してCRT(Cathode Ray Tube)を代替
してからLCDが最も多く使われており、ノート型パソ
コンのモニターのような移動型の用途以外にも、放送信
号を受信してディスプレイするTVやコンピュータのモ
ニターなどに多様に開発されている。
画面表示装置としての役割を果たすために多様な技術的
な発展が進まれてきたにも拘わらず、画面表示装置とし
て画像の品質を高めるような作業は上記特徴及び長所と
背馳する面が多かった。従って、液晶表示素子が一般的
な画面表示装置として多様な部分に使われるためには、
軽薄型、低消費電力の特徴を維持しながらも、高精細、
高輝度、大面積など、高品位の画像をどれほど実現でき
るかが重要な問題にされている。
する液晶パネルと、前記液晶パネルに駆動信号を印加す
るための駆動部とから区分することができ、前記液晶パ
ネルは、一定の空間を有して合着された第1,第2ガラ
ス基板と、前記第1,第2ガラス基板の間に注入された
液晶層とから構成されている。ここで、前記第1ガラス
基板(TFTアレイ基板)には、一定の間隔を有して一
方向に配列される複数個のゲートラインと、前記各ゲー
トラインと垂直な方向に一定の間隔で配列される複数個
のデータラインと、前記各ゲートラインとデータライン
とが交差して形成された各画素領域にマトリックス形態
に形成される複数個の画素電極と、前記ゲートラインの
信号によりスイッチングされ、前記データラインの信号
を前記各画素電極に伝達する複数個の薄膜トランジスタ
ーとが形成される。
ー基板)には、前記画素領域を除いた部分の光を遮断す
るためのブラックマトリックス層と、カラーを表現する
ためのR,G,Bカラーフィルター層と、画像を実現す
るための共通電極とが形成される。
ーによって一定の空間を有して液晶注入口を有するシー
ル剤により合着され、その2つの基板間に液晶が注入さ
れる。この際、液晶注入方法としては、前記シール剤に
より合着された2つの基板の間を真空状態に維持し且つ
液晶液に前記液晶注入口が沈むようにすると、毛管現象
によって液晶が前記2つの基板間に注入される。このよ
うに液晶が注入されると、前記液晶注入口を密封剤で密
封する。
液晶表示装置の製造方法においては次のような問題点が
あった。
液晶注入口を液晶液につけて液晶を注入するので、注入
工程時間が多く所要とされ、生産性が低下する。
場合、液晶注入式で液晶を注入するとパネル内に液晶が
完全に注入されず、不良の原因となる。
間がかかるので、多数の液晶注入装備が要求され、多く
の空間が必要とされる。従って、最近は、液晶を滴下す
る方法を用いた液晶表示装置の製造方法が研究されてい
る。その中、日本公開特許公報2000−147528
号に次のような液晶滴下方式を用いた技術が開示されて
いる。
液晶表示装置の製造方法を説明する。
よる液晶表示装置の工程断面図である。図1aのよう
に、薄膜トランジスタアレイが形成された第1ガラス基
板3に紫外線硬化型シール剤1を約30μmの厚さで塗
布し、前記シール剤1の内側(薄膜トランジスタアレイ
部分)に液晶2を滴下する。この際、前記シール剤3は
液晶注入口を有せずに形成される。前記のような第1ガ
ラス基板3を、水平方向に移動可能な真空容器C内のテ
ーブル4上に搭載し、前記第1ガラス基板3の下部表面
の全面を第1吸着機構5で真空吸着して固定させる。
が形成された第2ガラス基板6の下部表面の全面を第2
吸着機構7で真空吸着して固定し、真空容器Cを閉めて
真空させる。そして、前記第2吸着機構7を垂直方向に
下降させ、前記第1ガラス基板3と第2ガラス基板6と
の間隔を1mmとし、前記第1ガラス基板3を搭載した
前記テーブル4を水平方向に移動させ、前記第1ガラス
基板3と第2ガラス基板6との位置を合わせる。
直方向に下降させ、前記第2ガラス基板6と液晶2又は
シール剤1を接触させる。
搭載した前記テーブル4を水平方向に移動させ、前記第
1ガラス基板3と第2ガラス基板6との位置を合わせ
る。
直方向に下降させ、第2ガラス基板6を前記シール剤1
を介して第1ガラス基板3に接合し、5μmまで加圧す
る。
接合した第1,第2ガラス基板3,6を取り出して、前
記シール剤1に紫外線照射を行い、前記シール剤1を硬
化させることで液晶表示装置を完成する。
従来の液晶滴下方式の液晶表示装置の製造方法において
は次のような問題点があった。
を滴下するので、2つの基板を合着する前の工程時間が
相当所要となる。第二に、前記第1基板にはシール剤が
塗布され、液晶が滴下された反面、前記第2基板には何
の工程も行われないので、第1基板と第2基板の工程間
に不均衡が発生して、生産ラインを効率よく稼動するの
が困難である。
れ、液晶が滴下するので、合着前に洗浄装備(USC)
で前記シールの塗布された基板を洗浄できなくなる。従
って、上下基板を合着するシール剤が洗浄できなくてパ
ーティクルが除去されず、合着時にシール剤の接触不良
を引き起こす。
と第2吸着機構の物理的な力によってのみ行われるの
で、前記テーブルと第2吸着機構との水平度が正確でな
い場合、基板全体に均一な圧力が加えられず、接着不良
が発生することがある。
時、空気が投入されるので空気中の水分によって真空容
器の状態が不良となる可能性がある。
させ且つ均一な圧力で基板を加圧して生産性を向上でき
るようにした液晶滴下方式の液晶表示装置の製造方法を
提供することにある。
の本発明による液晶表示装置の製造方法は、第1基板と
第2基板を合着機チャンバー内にローディングする工程
と、前記第1,第2基板を合着する工程と、前記合着機
チャンバーをベントさせ、前記合着した2つの基板を加
圧する工程と、前記加圧した第1,第2基板をアンロー
ディングする工程とを備えることを特徴とする。
着機チャンバー内の下部及び上部ステージに第1基板と
第2基板とを吸着させる工程と、前記合着機の基板レシ
ーバを前記上部ステージに固定された第2基板の下側に
位置させる工程と、合着機チャンバーを排気する工程
と、前記第1,第2基板を前記ステージにそれぞれ静電
吸着法で固定する工程とを含むことが好ましい。
に可変として行うことが好ましい。
着機の上部ステージの上昇を完了する工程と、前記合着
機チャンバー内にガス又は乾燥空気を注入する工程とを
含むことが好ましい。
着機の上部ステージを上昇し始め上昇が完了する前に前
記合着機チャンバー内にガス又は乾燥空気を注入する工
程を含むことが好ましい。
着機の上部ステージを上昇させると同時に前記合着機チ
ャンバー内にガス又は乾燥空気を注入する工程を含むこ
とが好ましい。
記合着機チャンバー内にガス又は乾燥空気の注入を始め
る工程と、前記合着機の上部ステージを上昇させる工程
とを含むことが好ましい。
記合着機チャンバー内へのガス又は乾燥空気の注入を終
了する工程と、前記合着機の上部ステージを上昇させる
工程とを含むことが好ましい。
程は、前記合着機の上部ステージの真空溝を介してガス
又は乾燥空気を吹きかけつつ行うことが好ましい。
空気の注入は、前記合着機チャンバー内の上面を通じて
好適に行うことができる。
空気の注入は、前記合着機チャンバー内の下面を通じて
好適に行うことができる。
しい。
気圧又は単位面積当たり(cm2)0.4〜3.0kg
/cm2の圧力で行うことが好ましい。
前記合着した基板をチャンバーの下部ステージに固定す
る工程を更に含むことができる。
記合着機チャンバー内にガス又は乾燥空気を2段階で注
入することが好ましい。
程が行われる第1基板又は第2基板の少なくとも一方を
前記上部又は下部ステージにローディングし、前記合着
した基板をアンローディングすることを含む。
ローディングする前、液晶が滴下した第1基板と、液晶
が滴下していない第2基板とを用意する工程と、前記第
2基板を反転させる工程とを更に含むことが好ましい。
板を反転器のテーブルにローディングして予備整列する
工程と、前記第2基板をテーブルに吸着及びクランピン
グする工程と、前記テーブルを反転するように回転させ
る工程と、前記反転した第2基板を前記合着機チャンバ
ーに移送する工程とを含むことが好ましい。本発明の液
晶表示装置の製造方法は、第2基板を反転させる前にク
リーニングする工程を含むことができる。
の製造方法を図面に基づいて詳細に説明する。
置の工程を示す模式的な断面図である。
晶12を滴下し、第2ガラス基板13にシール剤14を
形成する。ここで、前記第1,第2ガラス基板11,1
3の中一方の基板には複数個のパネルが設けられ、各パ
ネルに薄膜トランジスタアレイが形成されるし、他方の
基板には前記各パネルに相応するよう複数個のパネルが
設けられ、各パネルにブラックマトリックス層、カラー
フィルター層及び共通電極などが備えられたカラーフィ
ルターアレイが形成される。説明の便宜のために、薄膜
トランジスタアレイが形成された基板を第1ガラス基板
11、カラーフィルターアレイが形成された基板を第2
ガラス基板13とする。
する。
程順序図である。本発明による合着工程は、真空合着機
のチャンバーに2つの基板をローディングする工程、前
記2つの基板を合着する工程、前記真空合着機のチャン
バーをベンティングして、合着した2つの基板を加圧す
る工程、そして、前記合着した2つの基板を真空合着機
チャンバーからアンローディングする工程からなる。
が塗布された第2ガラス基板13はUSC(Ultra
Sonic Cleaner)で洗浄され、工程中に発
生したパーティクルを除去することもできる。即ち、第
2ガラス基板13は液晶が滴下されず、シール剤が塗布
されているので洗浄が可能である。
した第1ガラス基板11と、シール剤14が塗布された
第2ガラス基板13は、その全端でそれぞれ液晶が滴下
した部分とシール剤が塗布された部分とが上方向に向か
うように位置されているので、前記液晶12が滴下した
第1ガラス基板11と前記シール剤14が塗布された第
2ガラス基板13とを合着するためには、前記基板の何
れか一方を反転しなければならず、液晶が滴下した基板
を反転できないので、前記シール剤14が塗布された第
2ガラス基板13を、前記シール剤14の塗布部分が下
方向に向かうようにして反転させる(32S)。
反転器のテーブルにローディングして予備整列を行い、
前記第2基板をテーブルに吸着及びクランピングする。
そして、前記テーブルを反転するように回転させた後、
前記反転した第2基板を前記真空合着機チャンバーに移
送する。
うに、シール剤14が塗布された部分が下方向に向かう
ように反転した状態で真空合着機チャンバー10の上部
ステージ15に真空吸着法で固定させ(33S)、液晶
12が滴下した第1ガラス基板11を真空合着機チャン
バー10の下部ステージ16に真空吸着法で固定させる
(34S)。この際、前記真空合着機チャンバー10は
待機状態にある。
示せず)のローダが、シール剤14の塗布部分が下方向
に向かうように反転された状態で第2ガラス基板11を
前記真空合着機チャンバー10内に位置させる。この状
態で前記真空合着機チャンバー10の上部ステージ15
が下降して、前記第2ガラス基板13を真空吸着法で固
定した後上昇する。この際、真空吸着法の代わりに静電
吸着法で固定できる。
機チャンバー10からアウトし、再びロボットのローダ
によって液晶12が滴下した第1ガラス基板11を前記
真空合着機チャンバー10内の下部ステージ16の上側
に位置させる。
た前記第1ガラス基板11に液晶12を滴下し、カラー
フィルターアレイが形成された第2ガラス基板13にシ
ール剤を形成すると説明しているが、前記第1ガラス基
板11にシール剤を塗布し、前記第2基板に液晶を滴下
することもできる。また、前記2つのガラス基板の何れ
か一方に液晶を滴下し且つシール剤を塗布することもで
きる。但し、液晶が滴下した基板を下部ステージに位置
させ、他方の基板は上部ステージに位置させれば良い。
上部ステージ15に固定された第2ガラス基板13の真
下側に位置させる(35S)。この際、前記基板レシー
バを第2基板に位置させる方法は次の通りである。
前記基板レシーバを上昇させ、前記第2ガラス基板と前
記基板レシーバを近接させた後、前記第2ガラス基板1
3を前記基板レシーバ上に載置する。
の距離だけ下降し、前記基板レシーバを二次的に上昇し
て、前記第2ガラス基板13と基板レシーバを近接させ
た後、前記第2ガラス基板13を前記基板レシーバ上に
載置する。
前記基板レシーバを上昇するか、又は前記上部ステージ
を1次下降し且つ基板レシーバを2次上昇して、前記第
2ガラス基板13と前記基板レシーバが一定の間隔を有
するように近接させた後、上部ステージが第2ガラス基
板を吸着できる。
ス基板13の下側に位置させる理由は、前記各ステージ
15,16が真空吸着法で第1,第2ガラス基板を吸着
している状態で前記合着機チャンバー10を真空化させ
る間、前記各ステージの真空より合着機チャンバー内の
真空度が更に高くなるので、前記ステージが取っている
第1,第2ガラス基板11,13の吸着力を失い、特
に、上部ステージに吸着された第2ガラス基板が離脱し
て、第1ガラス基板11上に落ちることを防止するため
である。
にする前に、上部ステージに吸着された第2ガラス基板
13を前記基板レシーバに載置するか、第2ガラス基板
を吸着した上部ステージと前記基板レシーバを一定の間
隔を置いて位置させた後、チャンバー内を真空化する間
に第2ガラス基板13を前記上部ステージから前記基板
レシーバに位置されるようにすることができる。また、
前記合着機チャンバーを真空化し始めると、初期段階で
チャンバー内に流動が生じ、基板が動けるので、これの
固定手段を更に構成することもできる。
せる(36S)。ここで、真空合着機チャンバー10の
真空度は合着する液晶モードによって差があり、IPS
モードは約1.0×10−3Pa 〜1Paに、TNモ
ードは約1.1×10−3Pa〜102Paにする。
で真空できる。即ち、前記上/下部ステージにそれぞれ
基板を吸着させ、チャンバーのドアを閉めた後、1次真
空を始める。そして、前記基板レシーバを上部ステージ
の下側に位置させ、上部ステージに吸着した基板を前記
基板レシーバに載置するか、基板を吸着した状態で上部
ステージと前記基板レシーバが一定の間隔を維持した
後、前記真空合着機チャンバーを2次真空する。この
際、2次真空時の速度がより早く、1次真空は前記真空
合着機チャンバーの真空度が上部ステージの真空吸着力
より高くないようにする。
ステージ基板を吸着してチャンバーのドアを閉めた後排
気を始め、排気中に前記基板レシーバを上部ステージの
下側に位置させ得る。この際、前記基板レシーバが上部
ステージの下側に位置する時点は、真空合着機チャンバ
ーの真空度が上部ステージの真空吸着力より高くなる前
になるべきである。
2次に亘って行う理由は、前記真空合着機チャンバーが
急に真空化すると、チャンバー内の基板が歪曲するか流
動するおそれがあって、これを防止するためである。
態に真空化すると、前記上下部の各ステージ15,16
は静電気吸着法(ESC:Electric Stat
icCharge)で前記第1,第2ガラス基板11,
13を固定させ(37S)、前記基板レシーバを元の位
置に戻す(38S)。
た少なくとも2つ以上の平板電極を備えて、前記平板電
極に−/+の直流電源を供給して吸着する。即ち、各平
板電極に+又は−電圧が印加されると、前記ステージに
−又は+電荷が誘起され、それらの電荷によってガラス
基板に導電層(共通電極又は画素電極など透明電極が形
成される)が形成されているので、前記導電層とステー
ジとの間に発生するクーロン力で基板が吸着される。こ
の際、基板の導電層が形成された面が前記ステージに対
面する場合は、約0.1〜1KVの電圧を印加し、基板
の導電層が形成された面が前記ステージに対面しない場
合は、3〜4KVを印加する。ここで、前記上部ステー
ジ上に弾性シートを形成することもできる。
基板11,13が静電気吸着法で各ステージ15,16
にローディングされた状態で、前記上部ステージ15を
下降して前記第1ガラス基板11と第2ガラス基板13
とを合着するために加圧する(1次加圧)(39S)。
上部ステージ15又は下部ステージ16を垂直方向に移
動させて2つの基板を加圧し、この際、ステージの移動
速度及び圧力を可変して加圧する。
2ガラス基板13とが接触する時点、又は第1ガラス基
板11と第2ガラス基板 13のシール剤14と
が接触する時点までは一定の速度又は一定の圧力でステ
ージを移動させ、接触する時点から所望の最終の圧力ま
では次第に段階別に圧力を上昇させる。即ち、前記移動
ステージの軸にロードセルが設けられ接触時点を認識
し、接触する時点には0.1ton、中間段階では0.
3ton、最終の前段階では0.4ton、そして、最
終段階では0.5tonの圧力で前記2つのガラス基板
11,13を合着する(図2e参照)。
基板を加圧するが、多数個の軸ごとに別途のロードセル
(圧力を測定する装置)を装着して、独立的に加圧する
ようにも設置できる。従って、前記下部ステージと上部
ステージとの水平が合わなくて、シール剤が均一に合着
されない場合には、該部分の軸を相対的に更に高いか低
い圧力で加圧することで均一に合着され得るようにす
る。
すると、前記静電気吸着法による吸着を停止した後(E
SC off)、図2fのように、前記上部ステージ1
5を上昇させ、上部ステージ15を前記合着した2つの
ガラス基板11,13から分離させる。
10を大気状態にさせ、前記合着した基板を均一に加圧
するために、図2gのように、前記合着機チャンバー1
0にN2などのガス又は乾燥空気を供給して、真空合着
機チャンバーをベントさせる(40S)。
0がベントすると、前記シール剤14により合着された
第1,第2ガラス基板の間は真空状態であり、前記真空
合着機チャンバー10が大気状態になるので、大気圧に
よって真空状態の第1,第2ガラス基板11,13は均
一なギャップを維持するよう均一な圧力で加圧される。
ここで、前記合着した第1,第2ガラス基板11,13
は大気圧により加圧されるだけでなく、ベント時に注入
されるN2又は乾燥空気の注入力によっても加圧され
る。
各部分に均一と圧力を加えることが最も重要であるが、
2つの基板間のシール剤の高さを一定に形成して、液晶
が各部分に均等に広がるようにすることでシール剤の破
れや液晶未充填の不良を防止できるからである。チャン
バーをベントさせつつ基板の各部分に均一な圧力を加え
るためには、チャンバー内にベントされるガスのベント
方向が最も重要である。
提供する。
形成してチャンバーの内部にガスを注入するか、第二
に、チャンバーの下部に多数個の管を形成してチャンバ
ーの内部にガスを注入するか、第三に、チャンバーの側
面に多数個の管を形成してチャンバーの内部にガスを注
入するか、第四に、これらの方法を並行することができ
る。チャンバーの上部からガスを注入することが好まし
いが、基板の大きさ、ステージの状態などを考慮して前
記ベント方向を決定できる。
り加圧されるか、又はベント時に注入されるガスの注入
力によっても加圧される。ベント時に2つの基板に加え
られる圧力は大気圧(105Pa)、単位面積当たり
(cm2)0.4〜3.0kg/cm2の圧力であれば
適当であるが、好ましくは1.0kg/cm2にするこ
とが良い。しかしながら、基板の大きさや基板間の間
隔、シール剤の厚さなどを考慮して変更決定が可能であ
る。前記多数個のガス注入管は少なくとも2つ以上に形
成可能であり、好ましくは基板の大きさにより決定され
るが、ここでは8個を形成する。
動)を防止するために、固定手段や方法を用いることも
できる。前記チャンバーを急速にベントさせると、基板
の振れや、合着した基板の誤整列が懸念されるので、ガ
スを段階的にベントさせ得且つガスを徐々に供給するた
めのスローバルブを更に備えることもできる。即ち、チ
ャンバー内にベントを始めていっぺんにベントを完了す
る方法があり、1次にベントを徐々に始めて基板の振れ
を防止し、一定の時点に到達すると、2次にベントの速
度を異なるようにして大気圧により早く到達するように
することもできる。
上における合着した基板がガス注入によって振れるか誤
整列が発生し得るような問題があるから、ガスの注入時
期も非常に重要である。
われ、前記2つの基板の間が真空状態を形成するとチャ
ンバーのベントを始める。その具体的なベントスタート
の時点を以下に説明する。
トを始めたり、第二に、工程時間の短縮のため前記上部
ステージが上昇をし始め完了する前にベントを始めるこ
とができる。
同時にベントを始めることができ、この際、前記上部ス
テージの真空溝(穴)を介してガス又は乾燥空気を吹き
かけながら上部ステージを上昇させることもできる。こ
れは、前記上部ステージから合着した基板がうまく離れ
なかったり、基板が上部ステージに吸着された状態で上
昇された後、基板の振れによって下部ステージの下に落
ちるような問題が発生し得るからである。
は下部ステージを移動させないままチャンバーのベント
を始めることができる。この際、チャンバーのベントを
完了した状態で前記上部ステージを移動させるか、チャ
ンバーのベントが完了する前に前記上部ステージの移動
を始めることができる。また、前記したように、前記上
部ステージの真空溝(穴)を介してガス又は乾燥空気を
吹きかけながら上部ステージを上昇させることもでき
る。
する(41S)。即ち、ベントが完了すると、前記上部
ステージ15が上昇し、ロボットのローダを用いて加圧
した第1,第2ガラス基板11,13をアンローディン
グするか、加圧した第1,第2ガラス基板11,13を
上部ステージ15が吸着して上昇した後、ロボットのロ
ーダが前記上部ステージ16からアンローディングす
る。
工程が行われる第1ガラス基板11又は第1ガラス基板
13の中一方をステージにローディングさせ、加圧した
第1,第2ガラス基板をアンローディングすることがで
きる。即ち、次に合着工程が行われる第2基板をロボッ
トのローダを用いて前記上部ステージ15に位置させ、
真空吸着法によって上部ステージが第2基板を固定させ
るようにした後、前記上部ステージ16上の加圧した第
1,第2基板をアンローディングするか、前記上部ステ
ージ15が加圧された第1,第2ガラス基板11,13
を吸着して上昇し、ロボットのローダが次の合着工程が
行われる第1ガラス基板11を前記下部ステージにロー
ディングさせた後、前記加圧した第1,第2ガラス基板
をアンローディングすることができる。
行う前に、合着した基板の液晶がシール剤側に広がるよ
うにする液晶拡散工程を更に行うことができる。又は、
アンローディング工程の完了後に液晶が広がらない場
合、液晶がシール剤側に均等に広がるよう液晶拡散工程
を更に行うこともできる。この際、液晶拡散工程は10
分以上施し、大気中或いは真空中でも実施可能である。
示装置の製造方法においては次のような効果がある。
基板にはシール剤を形成するので、2つの基板を合着す
る前の工程時間が短縮され、生産性を向上させることが
できる。
前記第2基板にはシール剤が塗布されるので、第1基板
と第2基板との工程がバランスを取れ、生産ラインを効
率よく稼動することができる。
第2基板にはシール剤が塗布されるので、合着直前に洗
浄装備(USC)でシール剤が塗布された基板を洗浄す
ることができ、パーティクルによってシール剤が汚染す
ることを防止できる。
位置させ、合着機チャンバーを真空化するため、前記上
部ステージに吸着された基板が落ちて基板が破損するこ
とを防止できる。
て、圧力を可変としながら合着するので、滴下した液晶
が背向膜に与えられるダメージを最小化できる。
可能な多数個の軸によって基板を加圧するので、前記下
部ステージと上部ステージとの水平が合わず、シール剤
が均一に合着されなくなる場合、該部分の軸を相対的に
更に高いか低い圧力で加圧して、シール剤が均一に合着
され得るようにすることができる。
階に亘って行うので、チャンバーの急な真空化による基
板の歪曲や流動を防止できる。
つの基板を合着した後、前記合着機チャンバーを大気圧
でベントさせ、前記合着した基板を加圧するので、全基
板に均一な圧力が加えられる。
基板のダメージを最小化できる。
とを同時に行うことで工程時間を短縮できる。
晶表示装置の工程時間を短縮できる。
分離させると同時にベントするので、ベント工程時間を
短縮させることができる。
示す模式的な断面図
示す模式的な断面図
示す模式的な断面図
示す模式的な断面図
示す模式的な断面図
示す模式的な断面図
工程を示す模式的な断面図
工程を示す模式的な断面図
工程を示す模式的な断面図
工程を示す模式的な断面図
工程を示す模式的な断面図
工程を示す模式的な断面図
工程を示す模式的な断面図
Claims (19)
- 【請求項1】 第1基板と第2基板を合着機チャンバー
内にローディングする工程と、 前記第1,第2基板を合着する工程と、 前記合着機チャンバーをベントさせ、前記合着した2つ
の基板を加圧する工程と、 前記加圧した第1,第2基板をアンローディングする工
程とを備えることを特徴とする液晶表示装置の製造方
法。 - 【請求項2】 前記ローディング工程は、前記合着機チ
ャンバー内の下部及び上部ステージに第1基板と第2基
板とを吸着させる工程と、 前記合着機の基板レシーバを前記上部ステージに固定さ
れた第2基板の下側に位置させる工程と、 前記合着機チャンバーを排気する工程と、 前記第1,第2基板を前記ステージがそれぞれ静電吸着
法で固定する工程とを含むことを特徴とする請求項1記
載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項3】 前記合着工程は、圧力を少なくとも2段
階に可変として行うことを特徴とする請求項1記載の液
晶表示装置の製造方法。 - 【請求項4】 前記合着機チャンバーのベント工程は、
合着機の上部ステージの上昇を完了する工程と、 前記合着機チャンバー内にガス又は乾燥空気を注入する
工程とを含むことを特徴とする請求項1記載の液晶表示
装置の製造方法。 - 【請求項5】 前記合着機チャンバーのベント工程は、
合着機の上部ステージを上昇し始め上昇が完了する前に
前記合着機チャンバー内にガス又は乾燥空気を注入する
ことを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置の製造方
法。 - 【請求項6】 前記合着機チャンバーのベント工程は、
合着機の上部ステージを上昇させると同時に前記合着機
チャンバー内にガス又は乾燥空気を注入することを特徴
とする請求項1記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項7】 前記合着機チャンバーのベント工程は、
前記合着機チャンバー内にガス又は乾燥空気の注入を始
める工程と、 前記合着機の上部ステージを上昇させる工程とを含むこ
とを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置の製造方
法。 - 【請求項8】 前記合着機チャンバーのベント工程は、
前記合着機チャンバー内へのガス又は乾燥空気の注入を
終了する工程と、 前記合着機の上部ステージを上昇させる工程とを含むこ
とを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置の製造方
法。 - 【請求項9】 前記合着機の上部ステージを上昇させる
工程は、前記合着機の上部ステージの真空溝を介してガ
ス又は乾燥空気を吹きかけつつ行うことを特徴とする請
求項4、5、6、7又は8記載の液晶表示装置の製造方
法。 - 【請求項10】 前記合着機チャンバー内にガス又は乾
燥空気を注入する方法として、前記合着機チャンバー内
の上面を通じて注入することを特徴とする請求項4、
5、6、7又は8記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項11】 前記合着機チャンバー内にガス又は乾
燥空気を注入する方法として、前記合着機チャンバー内
の下面を通じて注入することを特徴とする請求項4、
5、6、7又は8記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項12】 前記ガスはN2ガスを注入することを
特徴とする請求項4、5、6、7又は8記載の液晶表示
装置の製造方法。 - 【請求項13】 前記合着機チャンバーのベント工程
は、大気圧又は単位面積当たり(cm2)0.4〜3.
0kg/cm2の圧力で行うことを特徴とする請求項1
記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項14】 前記合着機チャンバーをベントさせる
前に前記合着した基板をチャンバーの下部ステージに固
定する工程を更に含むことを特徴とする請求項1記載の
液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項15】 前記合着機チャンバーのベント工程
は、前記合着機チャンバー内にガス又は乾燥空気を2段
階で注入することを特徴とする請求項1記載の液晶表示
装置の製造方法。 - 【請求項16】 前記アンローディング工程は、次の合
着工程が行われる第1基板又は第2基板の少なくとも一
方を前記上部又は下部ステージにローディングし、前記
合着した基板をアンローディングすることを特徴とする
請求項1記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項17】 前記第1,第2基板を合着機チャンバ
ーにローディングする前、液晶が滴下した第1基板と、
液晶が滴下していない第2基板とを用意する工程と、 前記第2基板を反転させる工程とを更に含むことを特徴
とする請求項1記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項18】 前記第2基板を反転させる工程は、第
2基板を反転器のテーブルにローディングして予備整列
する工程と、 前記第2基板をテーブルに吸着及びクランピングする工
程と、 前記テーブルを反転するように回転させる工程と、 前記反転した第2基板を前記合着機チャンバーに移送す
る工程とを含むことを特徴とする請求項17記載の液晶
表示装置の製造方法。 - 【請求項19】 前記第2基板を反転する前に前記第2
基板を洗浄する工程を更に含むことを特徴とする請求項
17記載の液晶表示装置の製造方法。
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