KR100720443B1 - 액정 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (18)
- 액정이 적하된 제 1 기판과 액정이 적하되지 않은 제 2 기판을 준비하는 공정;상기 제 2 기판을 반전시키는 공정;상기 반전된 제 2 기판과 상기 제 1 기판을 합착기 챔버내에 로딩하는 공정;상기 합착기 챔버를 진공 상태로 만드는 공정;상기 제 1, 제 2 기판을 정렬하는 공정;상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 공정;상기 합착기 챔버를 벤트시켜 상기 합착된 제 1, 제 2 기판을 가압하는 공정; 그리고상기 제 1, 제 2 기판을 언로딩하는 공정을 포함하며;상기 합착기 챔버를 진공 상태로 만드는 공정은 상기 합착기 챔버를 진공 상태로 만드는 동안 상기 제 2 기판의 하측에 기판 리시버를 위치시키는 공정을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 2 기판을 반전시키는 공정은, 제 2 기판을 반전기의 테이블에 로딩하는 공정과,상기 제 2 기판을 테이블에 흡착 및 클램핑하는 공정과,상기 테이블을 반전되도록 회전시키는 공정과,상기 반전된 제 2 기판을 상기 합착기 챔버로 이송하는 공정을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 로딩하는 공정은,상기 합착기 챔버의 하부 및 상부 스테이지에 제 1 기판과 제 2 기판을 흡착시키는 공정과,상기 제 1, 제 2 기판을 1차 정렬하는 공정과,상기 기판 리시버를 상기 상부 스테이지에 고정된 제 2 기판 하측에 위치시키는 공정과,상기 제 1, 제 2 기판을 상기 스테이지가 각각 정전 흡착법으로 고정하는 공정을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 3 항에 있어서,상기 1차 정렬은 대 마크만 정렬시킴을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1, 제 2 기판을 정렬시키는 공정은, 상기 상부 스테이지를 하강하여 상기 제 1, 제2 기판을 근접시킨 다음 상기 하부 스테이지를 수평 방향을 이동시켜 대 마크와 소 마크를 차례로 정렬시킴을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 5 항에 있어서,상기 대 마크와 소 마크의 정렬은 각각 별개의 카메라에 의해 정렬시킴을 특 징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 5 항에 있어서,상기 대 마크와 소 마크의 정렬은 상기 제 2 기판과 제 1 기판 사이의 중간에 초점을 맞추어 정렬함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 5 항에 있어서,상기 대 마크와 소 마크의 정렬은 상기 제 2 기판의 마크와 제 1 기판의 마크를 각각 번갈아 초점을 맞추어 정렬함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 합착기 챔버를 벤트시켜 제 1, 제 2 기판을 가압하는 공정은, 합착기의 상부 스테이지를 상승 완료시키는 공정과,상기 합착기 챔버내에 가스 또는 건조 공기를 주입하는 공정을 구비함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 합착기 챔버를 벤트시켜 제 1, 제 2 기판을 가압하는 공정은, 합착기의 상부 스테이지를 상승 시작 후 상승 완료전에 상기 합착기 챔버내에 가스 또는 건조 공기를 주입함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 합착기 챔버를 벤트시켜 제 1, 제 2 기판을 가압하는 공정은, 합착기의 상부 스테이지를 상승 시킴과 동시에 상기 합착기 챔버내에 가스 또는 건조 공기를 주입함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 11 항에 있어서,상기 합착기 챔버의 상부 스테이지를 상승시키면서 상기 스테이지의 진공 흡착홈을 통해 가스 또는 건조 공기를 불어줌을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 합착기 챔버를 벤트시켜 제 1, 제 2 기판을 가압하는 공정은, 상기 합착기 챔버내에 가스 또는 건조 공기 주입을 시작하는 공정과,상기 합착기의 상부 스테이지를 상승 시키는 공정을 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 합착기의 상부 스테이지를 상승 시키는 공정은, 상기 합착기 상부 스테 이지의 진공 홈을 통해 가스 또는 건조 공기를 불어주면서 진행함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 합착기 챔버를 벤트시켜 제 1, 제 2 기판을 가압하는 공정은, 상기 합착기 챔버내에 가스 또는 건조 공기를 2단계로 주입함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 언로딩하는 공정은, 다음 합착 공정이 진행될 제 1 기판 또는 제 2 기판 중 적어도 하나를 상기 상부 또는 하부 스테이지에 로딩하고 상기 합착된 제 1, 제 2 기판을 언로딩함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 합착기 챔버를 벤트시키는 공정은, 합착된 제 1, 제 2 기판의 간격이 5㎛ 이하가 되도록 가압함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 액정이 적하된 제 1 기판과 실재가 도포된 제 2 기판을 합착기 챔버에 로딩하는 공정;상기 합착기 챔버의 하부 및 상부 스테이지에 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 흡착시키는 공정과;상기 합착기 챔버를 진공 상태로 만드는 공정;상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 공정;상기 합착기 챔버를 벤트시켜 합착된 제 1, 제 2 기판의 간격이 5㎛ 이하가 되도록 상기 합착된 제 1, 제 2 기판을 가압하는 공정; 그리고상기 제 1, 제 2 기판을 언로딩하는 공정을 포함하며;상기 합착기 챔버를 진공 상태로 만드는 공정은 상기 합착기 챔버를 진공 상태로 만드는 동안 상기 제 2 기판의 하측에 기판 리시버를 위치시키는 공정을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
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