KR20030076148A - 합착기 - Google Patents

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KR20030076148A
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Abstract

본 발명은 액정표시장치의 제조 장치인 합착기에 관한 것으로, 기판을 합착하기 위한 합착기 챔버와, 상기 합착기 챔버의 상측 및 하측 공간에 설치된 상부 스테이지 및 하부 스테이지와, 상기 합착기 챔버에 형성되어 진공상태의 상기 합착기 챔버를 대기상태로 변환하기 위한 복수개의 벤트 홀을 구비한 것이다.
또한, 본 발명의 합착기는 일체형으로 이루어진 합착기 챔버와, 상기 합착기 챔버 내부에 설치된 상부 스테이지 및 하부 스테이지와, 상기 합착기 챔버에 연결된 적어도 둘 이상의 흡입 펌프와, 상기 합착기 챔버에 형성되어 진공상태의 상기 합착기 챔버를 대기상태로 변환하기 위한 벤트 홀을 포함하여 구비한 것이다.

Description

합착기{bonding device for liquid crystal display device}
본 발명은 액정표시소자 제조용 합착기에 관한 것으로, 특히 액정표시소자 제조용 합착기의 벤트홀 위치에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Lipuid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징 및 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.
이와 같이 액정표시장치가 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 특징 및 장점과 배치되는 면이 많이 있다. 따라서, 액정표시장치가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.
상기와 같은 액정표시소자의 제조 방법으로는, 한쪽 기판상에 주입구가 형성되도록 밀봉제(sealant)를 도포하고 진공 중에서 다른 기판과 접합한 후에 밀봉제의 주입구를 통해 액정을 주입하는 통상적인 액정 주입 방식과, 일본국 특개평11-089612 및 특개평 11-172903호 공보에서 제안된, 액정을 적하한 기판과 다른 하나의 기판을 준비하고, 진공 중에서 상하의 기판을 근접시켜 접합하는 액정 적화 방식 등으로 크게 구분할 수 있다.
상기한 방식 중 액정 적화 방식은, 액정 주입 방식에 비해 많은 공정(예컨대, 액정 주입구의 형성, 액정의 주입, 액정 주입구의 밀봉 등을 위한 각각의 공정)을 단축할 수 있고 더불어 장비를 더 필요로 하지 않는다는 장점을 가진다.
이에 최근에는 상기한 액정 적화 방식을 이용하기 위한 각종 장비의 연구가 이루어지고 있다.
도시한 도 1 및 도 2는 상기한 바와 같은 종래의 액정 적화 방식을 적용한 기판의 조립장치를 나타내고 있다.
즉, 종래의 기판 조립장치(합착기)는, 외관을 이루는 프레임(10)과, 스테이지부(21,22)와, 밀봉제 토출부(도시는 생략함) 및 액정 적하부(30)와, 챔버부(31,32)와, 챔버 이동수단 그리고, 스테이지 이동수단으로 크게 구성된다.
여기서, 상기 스테이지부는, 상부 스테이지(21)와 하부 스테이지(22)로 각각 구분되고, 상기 밀봉제 토출부 및 액정 적하부(30)는 상기 프레임의 합착 공정이 이루어지는 위치의 측부에 장착된다.
상기 챔버부는 상부 챔버 유닛(31)과 하부 챔버 유닛(32)으로 각각 합체 가능하게 구분되고, 상기 챔버 유닛(31)에는 진공원에 접속되어 상기 챔버부를 진공시키기 위한 진공밸브(23)와 배관호스(24)가 연결되고, 가스나 공기 등의 압력원에 접속되어 상기 챔버부를 대기압으로 되돌리기 위한 가스퍼지밸브(25)와 가스튜브(26)가 연결되어 있다.
이와 함께, 상기 챔버 이동수단은 하부 챔버 유닛(32)을 상기 합착 공정이 이루어지는 위치 혹은, 밀봉제의 토출 및 액정의 적하가 이루어지는 위치에 선택적으로 이동시킬 수 있도록 구동하는 구동 모터(40)로 구성되며, 상기 스테이지 이동수단은 상기 상부 스테이지(21)를 선택적으로 상부 혹은, 하부로 이동시킬 수 있도록 구동하는 구동 모터(50)로 구성된다.
이하, 상기한 종래의 기판 조립장치를 이용한 액정표시소자의 제조 과정을 그 공정 순서에 의거하여 보다 구체적으로 설명하면 하기와 같다.
우선, 상부 스테이지(21)에는 어느 하나의 기판(51)이 로딩된 상태로 진공흡착법으로 부착 고정되고, 하부 스테이지(22)에는 다른 하나의 기판(52)이 로딩된 상태로 부착 고정된다.
이 상태에서 상기 하부 스테이지(22)를 가지는 하부 챔버 유닛(32)는 챔버 이동수단(40)에 의해 도시한 도 1과 같이 밀봉제 도포 및 액정 적하를 위한 공정 위치 상으로 이동된다.
그리고, 상기 상태에서 상기 밀봉제 토출부 및 액정 적화부(30)에 의한 밀봉제의 도포 및 액정 적하가 완료되면 다시 상기 챔버 이동수단(40)에 의해 도시한 도 2와 같이 기판간 합착을 위한 공정 위치 상으로 이동하게 된다.
이후, 챔버 이동수단(40)에 의한 각 챔버 유닛(31,32)간 합착이 이루어져 각스테이지(21,22)가 위치된 공간이 밀폐되고, 상기 진공밸브(23) 및 배관호스(24)를 통해 진공수단에 의해 상기 공간이 진공 상태를 이루게 된다.
그리고, 상기한 진공 상태에서 스테이지 이동수단(50)에 의해 상부 스테이지(21)가 하향 이동하면서 상기 상부 스테이지(21)에 흡착된 기판(51)을 하부 스테이지(22)에 흡착된 기판(52)에 밀착됨과 더불어 계속적인 가압을 통한 각 기판간 합착을 수행하고, 상기 가스퍼지밸브(25) 및 가스튜브(26)을 통해 가스 또는 공기를 상기 챔버부에 주입하여 대기상태로 함으로써 상기 합착된 두 기판이 가압된다.
그러나 전술한 바와 같은 종래의 조립장치(합착기)에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있었다.
첫째, 상기 챔버부를 대기상태로 하기 위한 가스퍼지밸부 및 가스호스가 챔버부의 일측에 형성되므로 챔버부 내부가 균일한 대기상태를 이루지 못한다. 따라서, 합착된 기판이 균일하게 가압되지 않아 불량을 발생하게 한다.
둘째, 상기 챔버부를 대기상태로 하기 위한 가스퍼지밸브 및 가스호스가 하나만 설치되므로 챔버부 전체가 균일한 대기상태를 이루지 못하고 더불어 기판의 균일한 가압이 이루어지지 않는다.
셋째, 종래의 합착기는 챔버부를 진공시키기 위한 구성이 단순히 하나의 진공 수단을 이용하였기에 진공 속도를 자유롭게 조절하기 어려웠다.
특히, 제조 공정에 따른 작업 시간의 단축을 위해서는 빠른 시간 내에 챔버부 내부가 진공 상태를 이루어야 하지만 이를 위해 고진공을 발생시키는(높은 공기 흡입력을 발생시키는) 진공 수단을 사용할 경우 액정양의 불량이 발생될 수 있음으로써 제품 불량을 유발하게 된 원인이 되었다.
넷째, 만일 상기한 문제점을 해결하기 위해 낮은 공기 흡입력을 발생시키는 진공 펌프를 이용한다면 챔버부 내부를 완전한 진공 상태로 이루기 위한 작업 시간이 상당히 길어지게 되어 작업 효율이 저하될 수 밖에 없는 문제점이 발생된다.
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 벤트 홀을 다수개 형성하고 챔버에 균일한 간격으로 벤트 홀을 형성하여 진공상태의 합착기 챔버가 균일한 대기상태를 이루도록하여 기판의 균일한 가압이 이루어지도록 한 합착기를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여, 상기 합착기 내부를 진공시키는 과정이 기판에 적하된 액정의 불량 발생 없이 보다 빠른 시간 내에 이루어질 수 있도록 한 합착기를 제공하는데 또 다른 목적에 있다.
도 1은 종래의 액정 적화 방식을 적용한 기판의 조립장치의 액정 적하시 구성도
도 2는 종래의 액정 적화 방식을 적용한 기판의 조립장치의 합착시 구성도
도 3은 본 발명에 따른 액정 적하 방식을 이용한 액정표시소자 제조용 합착기를 개략적으로 나타낸 구성도
도 4는 본 발명 제 1 실시예에 따른 벤트홀 위치 구성도
도 5는 도 4의 단면도
도 6은 본 발명 제 2 실시예에 따른 벤트홀 위치 구성도
도 7은 도 6의 단면도
도 8 내지 도 13은 본 발명 제 3 실시예에 따른 합착기의 동작 상태를 개략적으로 나타낸 구성도
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
110. 합착기 챔버113 : 벤트관
113a : 개폐 밸브113b : 벤트 홀
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 형태에 따른 합착기는, 기판을 합착하기 위한 합착기 챔버와, 상기 합착기 챔버의 상측 공간과 하측 공간에 설치된 상부 스테이지 및 하부 스테이지와, 상기 합착기 챔버에 형성되어 진공상태의 상기 합착기 챔버를 대기상태로 변환하기 위한 복수개의 벤트 홀을 구비하여 됨을 제시한다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 형태에 따른 합착기는 일체형으로 이루어진 합착기 챔버와, 상기 합착기 챔버 내부에 설치된 상부 스테이지 및 하부 스테이지와, 상기 합착기 챔버에 연결된 적어도 둘 이상의 흡입 펌프와, 상기 합착기 챔버에 형성되어 진공상태의 상기 합착기 챔버를 대기상태로 변환하기 위한 벤트 홀을 포함하여 구비됨을 제시한다.
이와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따른 합착기 및 합착기의 스테이지 구조를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
우선, 도 3은 본 발명에 따른 액정 적하 방식을 이용한 액정표시소자 제조용 합착기를 개략적으로 나타낸 것이다.
본 발명에 따른 합착기는 합착기 챔버(110)와, 스테이지부와, 스테이지 이동 장치와, 진공 장치, 벤트 장치 그리고, 로더부(300)를 포함하여 구성됨이 제시된다.
상기에서 본 발명의 합착기를 구성하는 합착기 챔버(110)는 그 내부가 선택적으로 진공 상태 혹은, 대기압 상태를 이루면서 각 기판간 가압을 통한 합착과 압력 차를 이용한 합착이 순차적으로 수행되며, 상기 합착기 챔버(110)의 측면의 소정 부위에는 각 기판의 반입 또는 반출이 이루어지도록 하기 위한 유출구(111)가 형성되어 이루어진다.
또한, 상기 합착기 챔버(110)에는, 측면에 진공 장치로부터 전달된 공기 흡입력을 전달받아 상기 합착기 챔버(110)의 내부 공간에 존재하는 공기가 배출되는 공기 배출관(112)이 연결되고, 더불어 그 외부로부터 공기 혹은, 여타의 가스(N2)를유입하여 상기 합착기 챔버(110) 내부를 대기 상태로 유지하기 위한 복수개의 벤트(Vent)관(113)이 연결되어, 선택적으로 상기 합착기 챔버(110)를 진공 상태로 하거나 혹은 대기 상태로 할 수 있도록 구성된다.
또한, 상기에서 공기 배출관(112) 및 각 벤트관(113)에는 그 관로의 선택적인 개폐를 위해 전자적으로 제어 받는 개폐 밸브(112a,113a)가 각각 구비된다.
이와 함께, 상기 합착기 챔버(110)의 유출구(111)에는 상기 유출구로 인한 개구 부위를 선택적으로 차폐할 수 있도록 차폐 도어(도면에는 도시되지 않음)가 설치됨을 추가로 제시한다.
그리고, 본 발명의 합착기를 구성하는 상기 스테이지부는 상기 합착기 챔버(110) 내의 상측 공간과 하측 공간에 각각 대향 설치되며, 로더부(300)를 통해 상기 합착기 챔버(110) 내부로 반입된 각 기판(510,520)을 상기 합착기 챔버(110) 내의 해당 작업 위치에 고정시키는 역할을 수행하는 상부 스테이지(121) 및 하부 스테이지(122)를 포함하여 구성된다.
이 때, 상기 상부 스테이지(121)의 저면에는 정전력을 제공하여 기판의 고정이 가능하도록 최소 하나 이상의 정전척(ESC;Electric Static Chuck)(121a)이 요입 장착됨과 더불어 진공력을 전달받아 기판의 흡착 고정이 가능하도록 최소 하나 이상의 진공홀(121b)을 형성한 것을 제시한다.
상기와 같은 정전척(121a)은 서로 다른 극성의 직류 전원이 각각 인가되어 각 기판의 정전 부착이 가능하도록 최소 둘 이상 서로 다른 극성을 가지면서 쌍을 이루도록 구비됨을 그 실시예로써 제시하지만, 반드시 이로 한정되지는 않으며, 하나의 정전척(121a) 자체가 두 극성을 동시에 가지면서 정전력이 제공될 수 있도록 구성할 수도 있다.
또한, 상기한 상부 스테이지(121)의 구성에서 진공홀(121b)은 상기 상부 스테이지(121)의 저면에 장착된 각 정전척(121a)의 둘레부위를 따라 다수 형성하여 배치되며, 이 각각의 진공 홀(121b)은 상부 스테이지(121)에 연결된 진공 펌프(123)에 의해 발생된 진공력을 전달받을 수 있도록 단일 혹은, 다수의 관로(121c)를 통해 서로 연통되도록 형성한다.
이와 함께, 상기 하부 스테이지(122)의 상면에는 정전력을 제공하여 기판의 고정이 가능하도록 최소 하나 이상의 정전척(122a)이 장착됨과 더불어 진공력을 전달받아 기판의 흡착 고정이 가능하도록 최소 하나 이상의 진공 홀(도시는 생략함)을 형성한 것을 제시한다.
그리고, 본 발명 합착기를 구성하는 스테이지 이동장치는 상부 스테이지(121)를 선택적으로 상하 이동시키도록 구동하는 이동축(131)을 가지고, 하부 스테이지(122)를 선택적으로 좌우 회전시키도록 구동하는 회전축(132)을 가지며, 합착기 챔버(110)의 내측 또는 외측에 상기 각 스테이지(121,122)와 축결합된 상태로 상기한 각각의 축을 선택적으로 구동하기 위한 구동 모터(133,134)를 포함하여 구성된다.
미설명 부호 135는 각 기판의 위치 정렬 시 하부 스테이지(122)의 좌우 이동을 위해 구동하는 구동 수단이다.
그리고, 본 발명에 따른 진공 장치는 상기 합착기 챔버(110)의 내부가 선택적으로 진공 상태를 이룰 수 있도록 흡입력을 전달하는 역할을 수행하며, 통상의 공기 흡입력을 발생시키기 위해 구동하는 흡입 펌프(200)로 구성하고, 이 흡입 펌프(200)가 구비된 공간은 합착기 챔버(110)의 공기 배출관(112)과 연통하도록 형성한다.
그리고, 본 발명 합착기를 구성하는 로더부는 상기한 합착기 챔버(110) 및 상기 합착기 챔버(110) 내부에 구비되는 각종 구성부분과는 별도의 장치로써 상기 합착기 챔버(110)의 외측에 구축되어, 액정이 적하된 제 1 기판(510) 또는, 씨일재가 도포된 제 2 기판(520)을 각각 전달받아 상기 합착기의 합착기 챔버(110) 내부에 선택적으로 반입 혹은, 반출하는 역할을 수행한다.
이 때, 상기와 같은 로더부는 액정이 적하된 제 1 기판(510)의 반송을 위한 어느 하나의 아암(이하, “제 1 아암”이라 한다)(310)과, 씨일재(Sealant)가 도포된 제 2 기판(520)의 반송을 위한 다른 하나의 아암(이하, “제 2 아암”이라 한다)(320)을 포함하여 구성되며, 제 1, 제 2 기판(510, 520)이 상기 각 아암(310, 320)에 얹혀진 상태로써 합착기 챔버(110) 내부로 반송되기 전의 대기 상태에서는 상기 제 1 아암(310)이 제 2 아암(320)에 비해 상측에 위치되도록 구성된다.
또한, 본 발명 합착기에는 로더부에 의해 합착기 챔버(110) 내부로 반입되어 각 스테이지(121,122)에 로딩된 각 기판(510,520)간의 정렬 상태를 확인하기 위한 얼라인 장치(600)가 더 포함되어 구성됨을 추가로 제시하며, 이 때의 얼라인 장치(600)는 상기 합착기 챔버(110)의 외측 혹은, 내측 중 최소 어느 한 위치에 장착할 수 있으나 상기 합착기 챔버(110)의 외측에 장착함을 그 실시예로써 제시한다.
여기서, 상기 벤트 홀 및 벤트관의 위치를 좀 더 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 4는 본 발명 제 1 실시예에 따른 벤트 홀 위치 구성도이고, 도 5는 도 4의 단면도이다.
먼저, 본 발명 제 1 실시예의 합착기 챔버의 벤트 홀 형성위치는, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 합착기 챔버(110)의 상부면에 복수개(4개)의 벤트홀을 균일하게 배치한다.
그리고, 상기 각 벤트 홀(113b)에 벤트관(113)이 연결되고 각 벤트관(113)에는 개폐 밸브(113a)가 설치된다.
이와 같이 합착기 챔버(110)의 상부면에 복수개의 벤트 홀(113b)을 균일하게 배치하므로 진공상태에서 기판을 합착한 후 벤트 시 챔버내부에는 위치별로 압력이 균일하여 합착된 기판을 균일하게 가압 할 수 있다.
여기서, 상기 상부면에 형성된 벤트 홀의 개수는 도 4에 도시한 4개에 한정되지 않고 적어도 2개 이상 형성될 수 있으며, 8개가 형성될 수 있다. 이와 같은 벤트 홀은 상부면에 2열로 형성될 수 있다.
도 6은 본 발명 제 2 실시예에 따른 벤트 홀 위치 구성도이고, 도 7은 도 6의 단면도이다.
본 발명 제 2 실시예에 따른 벤트 홀 구성은, 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이, 합착기 챔버(110)의 상부면, 측면 및 하부면에 각각 복수개의 벤트 홀(113b)을 균일하게 배치한 것이다. 즉, 합착기 챔버(110)의 상부면에는 적어도 2개 이상(4개)의 벤트 홀(113b)이 일정한 간격을 갖도록 균일하게 배치되고, 마찬가지로 챔버(110)의 각 측면에도 일정한 거리를 갖도록 적어도 1개 이상(2개)의 벤트 홀(113b)이 균일하게 배치되며, 하부면에도 적어도 1개 이상(2개 내지 4개)의 벤트 홀(113b)이 균일하게 배치된다. 여기서 측면은 적어도 2개의 면을 구비한다.
상기 도 6 및 도 7에서는 합착기 챔버의 상부면, 측면 및 하부면에 모두 벤트 홀이 형성되는 것을 도시하였으나, 이에 한정되지 않고, 상부면과 측면에만 형성할 수 있고, 상부면 및 하부면에만 형성할 수 있으며, 측면 및 하부면에만 형성할 수 있다. 이 때 각 면에 설치되는 벤트 홀 수는 상술한 바와 같이, 상부면에는 적어도 2개, 측면에는 적어도 1개, 하부면에는 적어도 1개의 벤트 홀이 형성된다.
이와 같이 복수개의 벤트 홀이 합착기 챔버의 상, 하, 측면 모두에 균일하게 배치되므로, 진공상태에서 기판을 합착한 후 벤트 시 챔버내부에는 위치별로 압력이 균일하여 합착된 기판을 균일하게 가압 할 수 있다.
또한, 상기와 같이 균일하게 배치된 벤트 홀을 통해 벤트 시킴과 동시에 상기에서 설명한 상부 및 하부 스테이지에 형성된 진공 홀(121b)을 통해 건조 공기 또는 가스를 공급하여 합착기 챔버를 벤트 시켜면 더욱더 균일한 벤트를 이룰 수 있으며, 공급된 가스를 가열하여 공급하면 더욱 효과적이다.
이하, 전술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명 액정표시소자의 합착기를 이용한 기판간 합착 과정을 보다 개략적으로 설명하면 하기와 같다.
먼저, 액정이 적하된 제 1 기판과 씨일재가 도포된 제 2 기판을 준비한다.물론 제 1 기판에 액정도 적하되고 씨일재가 도포되어도 무관한다.
그리고, 도 3의 점선 부분에 따른 상태와 같이 로더부(300)는 제 1 아암(310)을 이용하여 액정이 적하된 제 1 기판(510)을 상측에 대기시킴과 더불어 제 2 아암(320)을 이용하여 씨일재가 도포된 제 2 기판(520)을 전달받아 상기 제 1 아암(310)의 하측에 위치시킨다.
이 상태에서 합착기 챔버(110)의 유출구(111)가 개방되면 상기 로더부는 제 2 아암(320)을 제어하여 상기 씨일재가 도포된 제 2 기판(520)을 상기 개방된 유출구(111)를 통해 합착기 챔버(110)내로 로딩시키고, 상기 상부 스테이지(121)를 하강시켜 상기 제 2 기판(520) 상측에 위치되도록 하고 상부 스테이지(121)에 연결된 진공 펌프(123)가 그 동작을 수행하면서 상기 상부 스테이지(121)에 형성된 각 진공 홀(121b)로 진공력을 전달하여 제 2 아암(320)에 의해 반입된 제 2 기판(520)을 흡착하여 상기 상부 스테이지(121)가 상승하므로 제 2 기판이 로딩된다.
이후, 상기 로더부는 제 1 아암(310)을 제어하여 상기 액정이 적하된 제 1 기판(510)을 상기 합착기 챔버(110)내로 로딩시켜 하부 스테이지(122)에 반입시키고, 하부 스테이지(122)에 연결된 진공 펌프(도시는 생략함)가 동작하면서 상기 하부 스테이지(122)에 형성된 각 진공홀(도시는 생략함)로 진공력을 전달하여 제 1 아암(310)에 의해 반입된 제 1 기판(510)을 흡착하여 상기 하부 스테이지(122)에 고정시키게 된다.
상기에서 씨일재가 도포된 제 2 기판(520)을 액정이 적하된 제 1 기판(510)보다 먼저 반입시키는 이유는, 상기 제 1 기판(510)을 먼저 반입하고 상기 제 2 기판(520)을 반입할 경우 상기 제 2 기판(520)의 반입 과정 중 발생될 수 있는 먼지 등이 상기 미리 반입되어 있던 제 1 기판(510)에 적하된 액정에 떨어질 수 있기 때문에 이의 문제점을 미연에 방지할 수 있도록 하기 위함이다.
만일, 상기한 과정에서 바로 이전에 합착 공정이 진행되어 하부 스테이지에 합착 기판이 존재한다면, 상기 제 2 기판을 반입하였던 제 2 아암(320)이 상기 제 2 기판의 반입 후 상기 하부 스테이지에 존재하는 합착된 기판을 언로딩 시키도록 함으로써 로딩과 언로딩이 동시에 수행되도록 하여 그 작업 시간상의 단축을 얻을 수 있도록 함이 바람직하다.
그리고, 상기한 과정을 통한 각 기판(510, 520)의 로딩이 완료되면 로더부(300)를 구성하는 각 아암(310, 320)이 합착기 챔버(110)의 외부로 빠져나감과 더불어 상기 합착기 챔버(110)의 유출구(111)에 설치된 차폐 도어가 동작하면서 상기 유출구(111)를 폐쇄하여 상기 합착기 챔버(110) 내부는 밀폐된 상태를 이루게 된다.
이후, 도면에는 도시되지 않았지만, 기판 리시버가 상부 스테이지 하측에 위치되고 상기 상부 스테이지가 흡착한 제 2 기판을 상기 기판 리시버위에 내려 놓은 다음, 상기 합착기 챔버(110)는 진공이 시작된다.
즉, 진공 장치를 구성하는 흡입 펌프(진공 장치)(200)가 구동되어 공기 흡입력을 발생시킴과 더불어 상기 합착기 챔버(110)의 공기 배출관(112)에 구비된 개폐 밸브(112a)가 상기 공기 배출관(112)을 개방된 상태로 유지시켜 상기 흡입 펌프(200)로부터 발생된 공기 흡입력을 상기 합착기 챔버(110) 내부로 전달시킴으로써 상기 합착기 챔버(110) 내부를 진공의 상태로 만들게 된다.
이렇게, 일정 시간 동안의 흡입 펌프(200) 구동에 의해 합착기 챔버(110) 내부가 진공 상태를 이루게 되면 상기 흡입 펌프(200)의 구동이 중단됨과 동시에 공기 배출관(112)의 개폐 밸브(112a)가 동작하여 상기 공기 배출관(112)을 폐쇄된 상태로 유지시키게 된다.
그리고, 상기와 같이 합착기 챔버(110) 내부가 완전한 진공 상태를 이루게 되면, 상기 각각의 정전척(121a,122a)에 전원을 인가하여 상기 상부 스테이지(121) 및 하부 스테이지(122)가 각 기판(510, 520)을 정전 흡착하도록 한다. 그리고 상기 기판 리시버를 원 위치시킨다.
이 상태에서 스테이지 이동장치가 구동 모터(133)를 구동하여 상기 상부 스테이지(121)를 하향 이동시킴으로써 상기 상부 스테이지를 하부 스테이지(122)에 근접 위치시키게 되며, 이와 함께 얼라인 장치(600)는 상기 각 스테이지(121,122)에 부착된 각각의 기판(510, 520)간 정렬 상태를 확인함과 더불어 각 스테이지(121,122)에 축결합된 이동축(131,132) 및 회전축에 제어 신호를 전달하여 각 기판을 상호 정렬시키게 된다.
이후, 상기 스테이지 이동장치가 계속적인 구동신호를 전달받아 구동하면서 상부 스테이지(121)에 정전 흡착된 제 2 기판(520)을 하부 스테이지(122)에 흡착된 제 1 기판(510)에 밀착한 상태로 가압하여 상호간의 일차적인 합착을 수행하게 된다(10S).
상기 정전척(121a)에 공급되는 전원을 차단하여 상기 기판이 상부 스테이지로부터 이탈되도록 한 다음, 상기 상부 스테이지(121)를 상승시킨다. 그리고 상기 각 벤트관(113)을 폐쇄하고 있던 개폐 밸브(113a)가 동작하면서 상기 모든 벤트관(113)을 개방시켜 건조 공기 또는 N2가스를 챔버내로 유입시키게 되고, 이로 인해 합착기 챔버(110) 내부는 점차 대기압 상태로 되면서 상기 합착기 챔버(110) 내부에 기압차를 부여하게 되어 이 기압차로 인한 상기 합착된 기판을 가압한다. 즉, 상기 씨일재로 밀봉된 제 1 기판(510)과 제 2 기판(520) 사이는 진공 상태이고 합착기 챔버(110)는 대기 상태가 되므로 상기 제 1, 제 2 기판이 균일하게 가압된다.
이에 보다 완전한 기판간 합착이 이루어지며, 이러한 합착 공정이 완료되면 합착기 챔버(110)의 차폐 도어(114)가 구동하면서 상기 차폐 도어에 의해 폐쇄되어 있던 유출구(111)를 개방시키게 된다.
이후, 상기 로더부(300)에 의한 상기 합착 기판의 언로딩이 수행됨과 더불어 다시 상기 전술한 일련의 각 과정을 반복 수행하면서 기판간 합착을 수행하게 된다.
한편, 도시한 도 8 내지 도 13은 본 발명의 제 3 실시예를 나타내고 있다.
이 때, 상기 본 발명의 제 3 실시예에서는 합착기 챔버 내부를 진공시키는 과정이 기판에 적하된 액정의 불량 발생 없이 보다 빠른 시간 내에 이루어질 수 있도록 한 구성이 제시된다.
즉, 본 발명 제 3 실시예에 따른 합착기는 벤트 홀(113b)이 형성된 합착기챔버(110)에 적어도 둘 이상의 흡입 펌프를 더 포함하여 구성한 것이다.
이 때, 상기 벤트 홀(113b)에는 가스 공급 수단(700)과 연결된 벤트관(113)이 장착되며, 상기 벤트관(113)에는 개폐 밸브(113a)가 구비된다.
특히, 상기 각 흡입 펌프는 고진공 상태에서 동작하는 고진공 펌프(210)와, 저진공 상태에서 동작하는 적어도 하나 이상의 저진공 펌프(220)로 구성된다.
이 때, 상기 고진공 펌프(210)는 대략 50㎩ 이하의 압력에서 그 동작이 가능함과 더불어 대략 0.1㎘∼5.0㎘/min의 배기 속도를 가지는 사양의 펌프이다.
또한, 상기 저진공 펌프(220)는 대기압 상태로부터 그 동작이 가능함과 더불어 대략 10㎘∼30㎘/min의 배기 속도를 가지는 사양의 펌프이다.
이와 같이 흡입 펌프를 고진공 펌프(210) 및 저진공 펌프(220)로 구성하는 이유는 단순히 저진공 펌프(220)만을 사용할 경우 고진공 상태로 갈수록 점차 진공시키는 속도가 느려지기 때문이며, 만일 고진공 펌프(210)만을 사용할 경우 대기압 상태에서는 상기 고진공 펌프의 구동이 어렵다는 문제점이 있기 때문이다.
즉, 본 발명의 제 3 실시예에서는 저진공 상태에서는 그 환경에 가장 적합하게 구동하는 저진공 펌프(220)를 사용하고, 고진공 상태에서는 상기 고진공 상태에서 보다 빠르고 완전한 진공 상태를 이룰 수 있도록 구동하는 고진공 펌프(210)를 추가로 사용함으로써 빠른 시간 내에 합착기 챔버(110) 내부가 완전한 진공 상태를 이룰 수 있도록 한 것이다.
그리고, 상기와 같은 합착기를 구성하는 벤트 홀(113b)은 합착기 챔버(110)의 상면에 형성하고, 고진공 펌프(210)는 상기 합착기 챔버(110)의 둘레면에 연결하며, 저진공 펌프(220)는 상기 합착기 챔버(110)의 저면에 연결한다.
이 때, 상기 저진공 펌프(220)는 병렬 연결된 두 개 이상의 펌프가 한 쌍을 이루도록 하되, 다수의 쌍으로 구성한다.
즉, 도시된 바와 같이 병렬 연결된 각 쌍의 저진공 펌프(220)를 합착기 챔버(110)의 저면에 각각 연결하는 것이다.
특히, 상기 각 쌍의 저진공 펌프(220)는 합착기 챔버(110) 저면의 각 모서리 부분 혹은, 외곽측 중앙 부위에 서로 대응된 상태를 이루도록 연결하여 구성한다.
이는, 특정 방향으로만 진공 흡입력을 전달할 경우 발생될 수 있는 액정의 쏠림을 방지할 수 있도록 하기 위함이다.
또한, 상기에서 고진공 펌프(210) 및 두 쌍의 저진공 펌프(220)와 합착기 챔버(110) 간은 각각 관로(이하, “제1공기 배출관(114)”, “제2공기 배출관(115)”, “제3공기 배출관(116)”이라 한다)를 통해 서로 연결되도록 한다.
그리고, 상기와 같은 각각의 공기 배출관(114,115,116)에는 상기 관로를 개폐하는 개폐 밸브(114a,115a,116a)를 각각 구비한다.
이하, 전술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명 제 3 실시예의 합착기를 이용한 기판간 합착 과정을 개략적으로 설명하면 하기와 같다.
먼저, 액정이 적하된 제 1 기판(510)과 씨일재가 도포된 제 2 기판(520)을 합착기 챔버(110) 내부에 로딩하는 과정은 전술한 일 실시예와 동일하므로 그 설명은 생략하며, 도시한 도 8은 상기한 각 기판의 로딩이 완료된 상태를 나타내고 있다.
이 상태에서 도시한 도 9와 같이 차폐 도어(111a)가 유출구(111)를 폐쇄하여 상기 합착기 챔버(110) 내부를 밀폐하게 되면, 기판 리시버(400)가 상부 스테이지(121) 하측에 위치된다.
이 때, 제2공기 배출관(115) 및 제3공기 배출관(116)에 구비된 각각의 개폐 밸브(115a,116a)는 상기 각 공기 배출관(115,116)을 개방시키고, 상기 각 공기 배출관(115,116)에 연결된 각 저진공 펌프(220)는 대략 10㎘~30㎘/min(특히, 23㎘/min)의 배기 속도로 구동하면서 합착기 챔버(110) 내부를 서서히 진공시킨다.
이의 과정에서 상기 합착기 챔버(110) 내부의 진공 정도가 제 2 기판(520)을 흡착하는 진공 정도에 비해 커질 경우 도시한 도 10과 같이 상기 제 2 기판(520)은 상부 스테이지(121)로부터 떨어져 기판 리시버(400)에 얹히게 된다.
이후, 계속적인 합착기 챔버(110) 내부의 진공이 수행되다가 상기 합착기 챔버(110) 내부가 설정된 진공 상태인 대략 50Pa(바람직하게는 13Pa) 이하가 된다면 제1공기 배출관(114)에 구비된 개폐 밸브(114a)가 작동되면서 상기 제1공기 배출관(114)을 개방시킴과 더불어 상기 제1공기 배출관(114)에 연결된 고진공 펌프(210)가 대략 0.1㎘~5.0㎘/min(특히, 1.1㎘/min)의 배기 속도로 구동하면서 상기 합착기 챔버(110) 내부를 급격하게 진공시킨다.
상기 과정에서, 제2공기 배출관(115) 및 제3공기 배출관(116)에 구비된 각각의 개폐 밸브(115a,116a)는 상기 각 공기 배출관(115,116)을 폐쇄시키게 되고, 각각의 저진공 펌프(220)는 그 구동이 중단된다.
그리고, 상기한 과정에 의해 합착기 챔버(110) 내부가 완전한 진공 상태를이루면 고진공 펌프(210)의 구동이 중단됨과 더불어 제1공기 배출관(114)에 구비된 개폐 밸브(114a)가 상기 제1공기 배출관(114)을 폐쇄하게 된다.
이 상태에서, 도시하지는 않았지만 상부 스테이지(121)는 정전력을 이용하여 기판 리시버(400)에 얹혀져 있는 제 2 기판(520)을 정전 흡착하고, 상기 기판 리시버(400)는 원위치로 복귀된다. 물론, 하부 스테이지(122) 역시 정전력을 발생시켜 제 1 기판(510)을 정전 흡착하게 된다.
이후, 도시한 도 11과 같이 상부 스테이지(121)가 하향 이동하면서 상기 상부 스테이지(121)에 정전 흡착된 제 2 기판(520)을 하부 스테이지(122)에 흡착된 제 1 기판(510)에 밀착한 상태로 가압하여 상호간을 합착시킨다.
그리고, 이와 같은 기판간 합착이 완료되면 상기 상부 스테이지(121)는 상향 이동함과 더불어 도시한 도 12와 같이 벤트관(113)을 폐쇄하고 있던 개폐 밸브(113a)가 동작하면서 상기 벤트관(113)을 일부만 개방시켜 건조 공기 또는 N2가스를 합착기 챔버(110) 내로 유입시킨다.
이는, 벤트관(113)을 순간적으로 완전 개방할 경우 발생될 수 있는 합착 기판의 파손 혹은, 액정의 쏠림 및 합착 불량을 미연에 방지할 수 있도록 하기 위함이다.
그리고, 설정된 시간이 경과되면 도시한 도 13과 같이 벤트관(113)을 완전 개방시켜 상기 합착기 챔버(110) 내부를 완전한 대기 상태로 이루게 된다.
이 때, 상기한 바와 같이 합착기 챔버(110) 내부를 진공 해제 시키는 과정에서는 상기 합착기 챔버(110) 내부에 기압차가 부여되어 이 기압차로 인한 상기 합착된 기판이 가압된다.
즉, 상기 씨일재로 밀봉된 제 1 기판(510)과 제 2 기판(520) 사이는 진공 상태이고 합착기 챔버(110)는 대기 상태가 되므로 상기 제 1, 제 2 기판이 균일하게 가압되는 것이다.
이에 보다 완전한 기판간 합착이 이루어지며, 이러한 합착 공정이 완료되면 합착기 챔버(110)의 차폐 도어(111a)가 구동하면서 상기 차폐 도어에 의해 폐쇄되어 있던 유출구(111)를 개방시키게 된다.
이후, 상기 로더부(300)에 의한 상기 합착 기판의 언로딩이 수행됨과 더불어 다시 상기 전술한 일련의 각 과정을 반복 수행하면서 기판간 합착을 수행하게 된다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 합착기에 있어서는 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 진공 상태의 합착기 챔버를 대기상태로 만들기 위한 벤트 홀이 복수개 형성되고, 상기 복수개의 벤트 홀이 합착기 챔버에 균일하게 배치되므로, 합착된 기판을 균일하게 가압할 수 있다.
둘째, 기판을 흡착하기 위해 상기 상부 및 하부 스테이지에 형성된 진공 홀을 통해 건조 공기 또는 가스를 합착기 챔버에 공급하여 챔버를 벤트 시키므로 보다 더 효과적으로 합착된 기판을 균일하게 가압 할 수 있다.
셋째, 합착기 챔버를 진공시키기 위한 구성이 서로 다른 진공 상태에서 구동하는 다수의 진공 수단을 이용함에 따라 빠른 시간 내에 합착기 챔버를 진공시킬 수 있게 된다.
특히, 빠른 시간 내에 합착기 챔버를 진공시킨다 하더라도 액정의 불량은 방지할 수 있게 된다.

Claims (16)

  1. 기판을 합착하기 위한 합착기 챔버와,
    상기 합착기 챔버의 상측 공간과 하측 공간에 설치된 상부 스테이지 및 하부 스테이지와,
    상기 합착기 챔버에 형성되어 진공상태의 상기 합착기 챔버를 대기상태로 변환하기 위한 복수개의 벤트 홀을 구비함을 특징으로 하는 합착기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수개의 벤트 홀은 상기 합착기 챔버의 상부면에 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 상부면에는 적어도 2개의 벤트 홀이 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수개의 벤트 홀은 상기 합착기 챔버의 상부, 하부 및 측면에 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 합착기 챔버의 상부면에 적어도 2개, 측면에 적어도 1개, 그리고 하부면에 적어도 1개의 벤트 홀이 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수개의 벤트 홀들의 간격은 일정 거리를 갖도록 배치됨을 특징으로 하는 합착기.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 벤트 홀이 형성되는 위치는 합착기 챔버의 상부면 및 측면에 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 상부면에는 적어도 2개의 벤트 홀이 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 측면에는 적어도 1개의 벤트 홀이 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 합착기 챔버의 측면은 적어도 2개의 면을 구비함을 특징으로 하는 합착기.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 벤트 홀이 형성되는 위치는 합착기 챔버의 상부면 및 하부면에 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 상부면에는 적어도 2개의 벤트 홀이 형성되고 상기 하부면에는 적어도 1개의 벤트 홀이 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 벤트 홀이 형성되는 위치는 합착기 챔버의 측면 및 하부면에 형성됨을 특징으로 하는 합착기.
  14. 일체형으로 이루어진 합착기 챔버와,
    상기 합착기 챔버 내부에 설치된 상부 스테이지 및 하부 스테이지와,
    상기 합착기 챔버에 연결된 적어도 둘 이상의 흡입 펌프와,
    상기 합착기 챔버에 형성되어 진공상태의 상기 합착기 챔버를 대기상태로 변환하기 위한 벤트 홀을 포함하여 구비된 합착기.
  15. 제 14 항에 있어서,
    각 흡입 펌프는
    저진공 상태에서 동작하는 적어도 하나 이상의 저진공 펌프와, 고진공 상태에서 동작하는 고진공 펌프로 구성됨을 특징으로 하는 합착기.
  16. 제 14 항 또는, 제 15 항에 있어서,
    벤트 홀은 합착기 챔버의 상면에 형성하고,
    고진공 펌프는 상기 합착기 챔버의 둘레면에 연결하며,
    저진공 펌프는 상기 합착기 챔버의 저면에 연결하여 구성함을 특징으로 하는 합착기.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100416361C (zh) * 2004-12-28 2008-09-03 芝浦机械电子装置股份有限公司 基板粘合装置以及基板粘合方法
KR100898793B1 (ko) * 2005-12-29 2009-05-20 엘지디스플레이 주식회사 액정표시소자용 기판 합착 장치
KR20190045971A (ko) 2017-10-25 2019-05-07 (주)구일엔지니어링 합착기

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1026763A (ja) * 1996-07-11 1998-01-27 Seiko Epson Corp 液晶パネルの製造方法及びその装置
JPH1195230A (ja) * 1997-09-19 1999-04-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネルの製造方法および製造装置
JP2002049045A (ja) * 2000-08-03 2002-02-15 Nec Corp 液晶表示パネルの製造方法
KR100480819B1 (ko) * 2002-03-20 2005-04-06 엘지.필립스 엘시디 주식회사 합착기 챔버의 크리닝 방법

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100416361C (zh) * 2004-12-28 2008-09-03 芝浦机械电子装置股份有限公司 基板粘合装置以及基板粘合方法
KR100898793B1 (ko) * 2005-12-29 2009-05-20 엘지디스플레이 주식회사 액정표시소자용 기판 합착 장치
KR20190045971A (ko) 2017-10-25 2019-05-07 (주)구일엔지니어링 합착기

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