JP2001282126A

JP2001282126A - 基板組立装置

Info

Publication number: JP2001282126A
Application number: JP2000097873A
Authority: JP
Inventors: Masayuki Saito; 正行齊藤; Satoshi Hachiman; 聡八幡; Kiyoshi Imaizumi; 潔今泉; Akira Hirai; 明平井
Original assignee: Hitachi Techno Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 2000-03-30
Filing date: 2000-03-30
Publication date: 2001-10-12
Anticipated expiration: 2020-03-30
Also published as: JP3707990B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】真空チャンバ内において基板を損傷することな
く高精度に位置合わせでき、速やかに貼り合せることが
可能な基板組立装置を提供することである。【解決手段】基板１Ａ，１Ｂの何れか一方を脱着自在に
固着させる単一のテーブル８が真空チャンバ１００内に
配置され、真空チャンバ外に配置した複数のアクチュエ
ータ９，１０の各々からテーブルの側面部にＸＹの各方
向に伸びたアームがあり、テーブルは各アクチュエータ
の動作によりアームを介してＸＹおよびθの各方向に水
平移動するようになっており、さらに基板の他方を脱着
自在に固着させる加圧板２７が真空チャンバ内に配置さ
れ、前記テーブルを各アクチュエータにより水平移動さ
せて基板同士の位置決めを行い、加圧板をテーブルの方
向に移動させて両基板を貼り合せる基板組立装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、貼り合せるべき基
板同士をそれぞれ上下に保持して対向させ、位置決めを
行うと共に間隔を狭めて貼り合せる基板組立装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルの製造には、透明電極や
薄膜トランジスタアレイを付けた２枚のガラス基板を数
μｍ程度の極めて接近した間隔をもって接着剤（以下、
シール剤ともいう）で貼り合わせ(以後、貼り合せ後の
基板をセルと呼ぶ)、それによって形成される空間に液
晶を封止する工程がある。

【０００３】この液晶の封止を行うものとして、注入口
を設けないようにシール剤をクローズしたパターンに描
画した下基板上に液晶を滴下しておいて、真空チャンバ
中で上基板をピン上に保持して上基板を上に配置し、上
基板を手動で位置決めしてから、ピンを下降させてシー
ル剤を介して上下基板を接触させ、真空をリークするこ
とによって接触時との差圧を利用して上下基板を加圧し
貼り合わせを行うものが特開平１０−２６７６３号公報
で提案されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、上
基板をピン上に保持して下基板に対する位置合わせを行
うので、上基板の下面に設けられた透明電極や薄膜トラ
ンジスタアレイなどがピンで損傷する恐れがある。

【０００５】そこで、下基板を位置決め用のＸＹθテー
ブル上に配置し、上基板は移動させないようにすること
が考えられるが、従来のＸＹθテーブルはＸ，Ｙ，θの
各個別テーブルを多段重ねに設け、アクチュエータでそ
れぞれを駆動し、Ｘ，Ｙ，θの各方向へ移動する構成と
なっており、このような構成では、ＸＹθテーブルは垂
直方向の寸法が大きくなるため、真空チャンバが大型化
し、また、ねじ穴やテーブル同士の連結部などの細かな
隙間に入り込んだガスが抜けるのに時間がかかるため、
真空チャンバ内が目標の真空度に到達するまでの時間が
著しく遅くなるという問題がある。

【０００６】それゆえ、本発明の目的は、真空チャンバ
内において基板を損傷することなく高精度に位置合わせ
でき、速やかに貼り合せることが可能な基板組立装置を
提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の特徴とするところは、貼り合せるべき基板同士をそ
れぞれ上下に保持して対向させ、位置決めを行うと共に
間隔を狭めて、いづれかの基板に設けた接着剤により真
空中で両基板を貼り合せる基板組立装置において、上面
または下面に上記基板の何れか一方を脱着自在に固着さ
せる単一のテーブルが真空チャンバ内に配置され、該真
空チャンバ外に配置した複数のアクチュエータの各々か
ら前記テーブルの側面部にＸＹの各方向に伸びたアーム
があり、該各アームはＸＹの交差する他の方向の動きに
対してはテーブルの側面部においてスライドし得る端部
を有し、前記テーブルは前記各アクチュエータの動作に
よりアームを介してＸＹおよびθの各方向に水平移動し
得るるようになっており、さらに下面または上面に上記
基板の他方を脱着自在に固着させる加圧板が前記真空チ
ャンバ内に配置され、前記テーブルを前記各アクチュエ
ータにより水平移動させて基板同士の位置決めを行い、
次いで加圧板をテーブルの方向に移動させ、両基板の対
向間隔を狭めて両基板を貼り合せるように構成されてい
ることにある。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図に
基づいて説明する。

【０００９】図１乃至図４において、本発明になる基板
組立装置は、液晶滴下部Ｓ１と基板貼合部Ｓ２から構成
され、この両部分は架台２上に隣接して配置される。架
台２の上方には基板貼合部Ｓ２を支持するフレーム３が
ある。また、架台２の上面には、Ｘステージ４が備えら
れている。Ｘステージ４は、駆動モータ５により、図面
上で左右のＸ軸方向に、即ち、液晶滴下部Ｓ１と基板貼
合部Ｓ２間を往来できるようになっている。Ｘステージ
４の上には下チャンバ６が固定されている。下チャンバ
６内にはボールベアリング７が敷いてあり、その上には
単一（１段構成）のテーブル８が設置してある。テーブ
ル８のＸ方向、すなわち、駆動モータ５に面した側面に
は、下チャンバ６の側面に固定された２個のアクチュエ
ータ９から伸ばしたアームが取り付けてある。また、図
示を省略したが、このアームと直角をなすＹ方向の側面
には、同じく下チャンバ６の側面に固定された２個のア
クチュエータ１０から伸ばしたアームが取り付けてあ
る。

【００１０】図３はそれぞれのアクチュエータ９，１０
から伸びたアーム９ａまたは１０ａとテーブル８のＴ字
状レール８ａの接続部分（端部）を示している。

【００１１】テーブル８は方形であり、Ｘ，Ｙ各方面に
おけるそれぞれ一方の側面部にＴ字状レール８ａがあっ
て、各アーム９ａ，１０ａの端部にローラ９ｂ，１０ｂ
がテーブル８とそれぞれの側面部におけるＴ字状レール
８ａの間に位置するようにとりつけてある。

【００１２】従って、アクチュエータ１０は不変で、ア
クチュエータ９がアーム９ａをＸ方向に前後させてテー
ブル８をＸ方向に移動させようとする場合、アクチュエ
ータ１０に接続されたアーム１０ａのローラ１０ｂが回
転することによって、テーブル８とアーム１０ａはスラ
イドするだけでアクチュエータ１０の拘束を受けず、テ
ーブル８をＸ方向に移動させることができる。また、逆
の場合にはテーブル８をＹ方向に移動させることができ
る。さらに、アクチュエータ９，１０の移動量を同時に
適宜量だけ変えた場合、テーブル８をθ方向に回転させ
ることができる。

【００１３】よってテーブル８は、Ｘステージ４とは別
に下チャンバ６内で自由にＸ，Ｙおよびθの各方向に移
動させることができる。

【００１４】テーブル８上には下基板１Ａを搭載する吸
着部１１がある。

【００１５】液晶滴下部Ｓ１は、テーブル８に保持され
た下基板１Ａに所望量の液晶剤を滴下するためのディス
ペンサ１３，これを上下移動させるためのＺ軸ステージ
１４，それを駆動するモータ１５，Ｚ軸ステージ１４と
ともにディスペンサ１３をＸ軸ステージ４と直角に移動
させるためのＹ軸ステージ１６とこれを駆動するモータ
１７とで構成され、フレーム３に固定されている。

【００１６】Ｘステージ４を駆動モータ５によりＸ方向
に、ディスペンサ１３を駆動モータ１７によりＹ方向に
移動させることにより、下基板１Ａ上の任意の個所に所
望量の液晶剤が滴下される。

【００１７】液晶滴下後の下基板１Ａを搭載保持したＸ
ステージ４は、基板貼合部Ｓ２の下部に駆動モータ５に
よって移動する。

【００１８】基板貼合部Ｓ２では、上チャンバ２１とそ
の内部の加圧板２７及び静電吸着板２８とがそれぞれ独
立して上下動できる構造になっている。即ち、上チャン
バ２１は、リニアブッシュと真空シールを内蔵したハウ
ジング３０を有しており、シャフト２９をガイドとして
フレーム３に固定されたシリンダ２２により上下のＺ軸
方向に移動する。

【００１９】Ｘステージ４が基板貼合部Ｓ２に移動して
いて上チャンバ２１が下降すると、下チャンバ６の周り
に配置してあるＯリング４４に上チャンバ２１のフラン
ジが接触し一体となり、この時真空チャンバ１００とし
て機能する状態になる。

【００２０】ハウジング３０は、上チャンバ２１が下チ
ャンバ６と真空チャンバ１００を形成して変形しても、
シャフト２９に対し真空漏れを起こさないで上下動可能
な真空シールを内蔵しているので、真空チャンバの変形
がシャフト２９に与える力を吸収することができ、シャ
フト２９に固定され静電吸着板２８を保持した加圧板２
７の変形がほぼ防止でき、後述するように静電吸着板２
８に保持された上基板１Ｂとテーブル８の吸着部１１に
保持された下基板１Ａとの平行を保って貼り合せが可能
となる。

【００２１】２３は真空バルブ、２４は配管ホースで、
図示していない真空源に接続され、これらは真空チャン
バを減圧し真空にする時に使用される。また、２５はガ
スパージバルブ、２６はガスチューブで、Ｎ₂やクリー
ンドライエアー等の圧力源に接続され、これらは真空チ
ャンバを大気圧に戻す時に使用される。

【００２２】上基板１Ｂは静電吸着板２８の下面に密着
保持されるが、大気下においては上基板１Ｂは真空吸着
で静電吸着板２８に保持されるようになっている。即
ち、４１は真空吸着用継手、４２は吸引チューブであ
り、図示していない真空源に接続され、静電吸着板２８
面には、それにつながる複数の吸引孔が設けられてい
る。

【００２３】尚、周りが大気の場合、静電吸着を併用し
てもよいし、静電吸着力が大きい場合は、真空吸着を不
要としてもよい。

【００２４】静電吸着板２８はシャフト２９で支持され
た加圧板２７に取付けられており、シャフト２９はハウ
ジング３１に固定されている。ハウジング３１はフレー
ム３に対してリニアガイド３４で取付けられ、静電吸着
板２８は上下動可能な構造になっている。その上下駆動
はフレーム３とつながるフレーム３５上にブラケット３
８で固定されたモータ４０により行う。駆動の伝達はボ
ールねじ３６とナットハウジング３７で実行される。

【００２５】ナットハウジング３７は荷重計３３を介し
てハウジング３１とつながり、その下部の静電吸着板２
８と一体で動作する。

【００２６】従って、モータ４０によってシャフト２９
が下降し、上基板１Ｂを保持した静電吸着板２８が下降
し、上基板１Ｂがテーブル８上の下基板１Ａと密着し
て、加圧力を与えることのできる構造となっている。こ
の場合、荷重計３３は加圧力センサとして働き、逐次、
フィードバックされた信号を基にモータ４０を制御する
ことで、上下基板１Ａ，１Ｂに所望の加圧力を与えるこ
とが可能となっている。

【００２７】下基板１Ａは重力方向の搭載なので、図４
に示すようにテーブル８の吸着部１１に設けた位置決め
部材８１に押付ローラ８２による水平方向での押付けに
よる位置決めの固定で十分であるが、貼り合わす直前の
微小位置決めの際、上基板１Ｂが下基板１Ａ上のシール
剤や液晶剤と接触した影響で、下基板１Ａがずれたり持
上がる可能性があることや真空チャンバ１００内が減圧
され真空になる過程で下基板１Ａとテーブル８の吸着部
１１との間に入り込んでいる空気が逃げて下基板１Ａが
踊りずれる可能性があるので、吸着部１１に対しても静
電吸着の機能を持たせると良い。そして、テーブル８に
上下Ｚ軸方向に移動できるピンを設けて接地しておく
と、基板貼り合わせ後のセルの帯電防止とテーブル８か
らのセル取り外しを容易に行なうことができる。

【００２８】図４に示す６０は、静電吸着板２８が真空
吸着をしていて真空チャンバが減圧され真空吸着力が消
えて上基板１Ｂが落下するときに静電吸着板２８の僅か
下の位置で受け止める受止爪で、上基板１Ｂの２個の対
角の位置にあって下方に伸びたシャフト５９で釣り下げ
た形に支持されている。具体的には、シャフト５９は上
チャンバ２１のハウジングを介して真空シールされて回
転と上下移動が独立してできるようになっている。

【００２９】次に、基板を吸着する静電吸着板２８につ
いて説明する。

【００３０】静電吸着板２８は絶縁物の板であり、方形
の凹部を２個有していて、各凹部に内蔵された平板電極
を誘電体で覆ってその誘電体の主面が静電吸着板２８の
下面と同一平面になっている。埋め込まれた各平板電極
はそれぞれ正負の直流電源に適宜なスイッチを介して接
続されている。

【００３１】従って、各平板電極に正あるいは負の電圧
が印加されると、静電吸着板２８の下面と同一平面にな
っている誘電体の主面に負あるいは正の電荷が誘起さ
れ、それら電荷によって上基板１Ｂの透明電極膜との間
に発生するクーロン力で上基板１Ｂが静電吸着される。
各平板電極に印加する電圧は同極でもよいしそれぞれ異
なる双極でもよい。

【００３２】次に、本基板組立装置で基板を貼り合わせ
る工程について説明する。

【００３３】先ず、液晶滴下部Ｓ１において、テーブル
８の吸着部１１に上基板１Ｂを保持した治具を搭載し、
駆動モータ５でＸステージ４を基板貼合部Ｓ２に移動さ
せる。そこでモータ４０によりシャフト２９を介して加
圧板２７や静電吸着板２８を降下させ、上基板１Ｂを真
空吸着させてからモータ４０で上昇させて、上基板１Ｂ
を待機状態とする。

【００３４】Ｘステージ４は液晶滴下部Ｓ１に戻って、
空になった治具が外され、テーブル８上に下基板１Ａを
搭載し、図４に示すように位置決め部材８１と押付ロー
ラ８２による水平方向での押付けで、所望位置に固定保
持させる。

【００３５】図２には示していないが、Ｙ軸ステージ１
４にはシール剤を吐出するディスペンサがあって、駆動
モータ５で下基板１ＡをＸ方向に、シール剤ディスペン
サをＹ方向に移動させつつシール剤を吐出させると、下
基板１Ａ上にクローズ（閉鎖）したパターンでシール剤
を描画できる。

【００３６】その後、ディスペンサ１３から液晶剤を下
基板１Ａ上に滴下する。この場合、シール剤がダムとな
って、滴下した液晶剤は流失しない。

【００３７】次に、Ｘステージ４を基板貼合部Ｓ２に移
動させ、シリンダ２２で上チャンバ２１を降下させ、そ
のフランジ部をＯリング４４に当接させて、図１のよう
に下チャンバ１０と真空チャンバ１００を形成させる。

【００３８】そして、真空バルブ２３を開放して真空チ
ャンバ１００内を減圧していく。

【００３９】この減圧はテーブル８が単一構成であるた
め、従来の多段重ねで複雑な構成になっている細部から
空気が染み出してくるような事はなく、速やかに所望の
真空度に到達する。

【００４０】この減圧時に上基板１Ｂは静電吸着板２８
に真空吸着された状態になっているので、減圧が進んで
チャンバ内の真空化が進行していくと上基板１Ｂに作用
していた真空吸着力は消えて行き、上基板１Ｂが自重で
落下する。これを図４に示すように受止爪６０で受け止
めて、図５に示すように静電吸着板２８の僅か下の位置
に保持しておく。

【００４１】真空チャンバ１００内が充分真空になった
時点で、静電吸着板２８に電圧を印加して受止爪６０上
の上基板１Ｂを静電吸着板２８にクーロン力で吸引保持
する。

【００４２】この場合、既に真空になっているので、静
電吸着板２８と上基板１Ｂの間に空気が残るようなこと
は無いし、その空気が逃げるときに上基板１Ｂが踊るこ
ともない。より重要なことは空気を介在させることな
く、静電吸着板２８に上基板１Ｂが密着していることで
ある。そのため、誘起電荷で放電を発生することがな
い。

【００４３】空気を残したまま放電を生じると空気が膨
張し、上基板１Ｂを静電吸着板２８から剥離させたり、
上基板１Ｂ上のパターンを破壊することがあるが、本実
施形態によれば空気が存在しないので、そのような異常
事故は発生しない。

【００４４】その後、昇降アクチェータでシャフト５９
を下降させ、次に、回転アクチェータでシャフト５９を
回転させ、受止爪６０が上下両基板１Ａ，１Ｂの貼り合
わせの邪魔にならぬようにしてから、モータ４０で加圧
板２７を降下させ、荷重計３３で加圧力を計測しつつモ
ータ４０を制御して上下両基板１Ａ，１Ｂを所望間隔に
貼り合わせる。

【００４５】この場合、上基板１Ｂは静電吸着板２８に
密着していて中央部が垂れ下がっていることはないか
ら、液晶剤中のスペーサに悪影響を与えたり、基板同士
の位置合わせが不可能になることはない。また、上下両
基板１Ａ，１Ｂを平行に維持して加圧して貼り合わせる
から、シール剤による接合部にリーク個所を形成してし
まう恐れはなく、液晶剤を上下両基板１Ａ，１Ｂ間に密
封できるとともに外気が侵入してボイドを形成し表示機
能を阻害することもない。

【００４６】上下両基板１Ａ，１Ｂの位置合わせは、図
５に示すように、上チャンバ２１に設けた覗き窓２１ａ
からシャフト２９に設けた画像認識カメラ３２で上下各
基板１Ａ，１Ｂに設けられている位置合わせマークを読
み取って画像処理により位置を計測し、テーブル８をア
クチュエータ９，１０により微動させて、高精度な位置
合わせを行う。この場合、上下両基板１Ａ，１Ｂは貼り
合わせられる対向面が何物にも接触しないで保持されて
いるので、損傷を受けないこの微動位置合わせにおい
て、テーブル８は真空チャンバ１００内にあり上下チャ
ンバ６，２１が移動することはないので、真空チャンバ
１００内の真空度を維持することができる。

【００４７】貼り合わせが終了すると、真空バルブ２３
を締めてガスパージバルブ２５を開き、真空チャンバ１
００内にＮ₂やクリーンドライエアーを供給し、大気圧
に戻してからガスパージバルブ２５を閉じて、シリンダ
２２で上チャンバ２１を上昇させ、Ｘステージ４を液晶
滴下部Ｓ１に戻して、テーブル８からセルを外し次の貼
り合わせに備える。

【００４８】ここで、貼合後のセルは帯電している場合
があるので、接地した除電バーに接触させたりイオン風
を吹き当てるなどの除電処理をしてから、テーブル８か
らセルを外すと良い。テーブル８から外したセルは下流
のＵＶ光照射装置や加熱装置などでシール剤が硬化され
る。

【００４９】以上の実施形態では、シール剤を吐出して
液晶を滴下した後直ちに貼り合せに移行するので、基板
が塵埃を受けづらく生産歩留まりを向上できる。また、
Ｘステージ４を上基板１Ｂの真空チャンバ１００内への
搬送に利用でき、装置の小型化が図られている。またさ
らに、Ｘステージ４を単一のステージとすることで、真
空チャンバ内の容積を最小とすることができ、これによ
り目的の真空度に速やかに到達することができる。

【００５０】本発明は以上説明した実施形態に限らず、
以下の様に実施しても良い。

【００５１】（１）上基板１Ｂの静電吸着板２８への供
給は、Ｘステージ４に上下方向に伸縮可能な複数の受止
爪（図４の受止爪６０相当のもの）を設けておいて、Ｘ
ステージ４が液晶滴下部Ｓ１にあるときにその複数の受
止爪上に上基板１Ｂを載せて、Ｘステージ４を基板貼合
部Ｓ２に移動させるようにしてもよい。

【００５２】（２）ロボットハンドから直接静電吸着板
２８に吸引吸着させてもよい。

【００５３】（３）上記（１）で説明したＸステージ４
に設けた受止爪で、減圧が進む際に落下する上基板１Ｂ
を受け止めるようにしてもよい。

【００５４】（４）図４の受止爪６０や上記（１）で説
明したＸステージ４に設けた受止爪で、上基板１Ｂが落
下する前に上基板１Ｂを静電吸着板２８に押し付けてお
いて、静電吸着板２８に吸引吸着された状態から減圧を
進めて、静電吸着に切替えてもよい。この場合、物理的
に上基板１Ｂが静電吸着板２８に密着しているというこ
とがないようにしておくことで、上基板１Ｂと静電吸着
板２８の間の空気を減圧とともに真空化することができ
る。

【００５５】（５）図４の受止爪６０や上記（１）で説
明したＸステージ４に設けた受止爪で、上基板１Ｂを静
電吸着板２８から僅かに離れた位置に保持しておいて、
真空吸着をしないで減圧を進める途中で静電吸着を行な
ってもよい。

【００５６】（６）図４では受止爪６０により上基板１
Ｂの２個の角部（対角を構成する２隅）を保持している
が、上基板１Ｂの４個の角部（４隅）を保持したり、上
基板１Ｂの４辺あるいは長手方向の２辺または幅方向の
２辺を適宜な手段で保持するようにしてもよい。

【００５７】（７）アーム９ａ，１０ａとテーブル８と
の接続部分は、アーム９ａ，１０ａとテーブル８がアー
ム９ａ，１０ａの取り付け方向に対して直角に移動でき
れば良いので、アーム９ａ，１０ａに固定するローラ９
ｂ，１０ｂの代りに、回転しなくても、テフロンなどの
滑りやすいものを使ってもよい。

【００５８】（８）テーブル８は下チャンバ６内で滑ら
せることができればよいので、テーブル８の下面にテフ
ロン（登録商標）などを貼れば、ボールベアリングはな
くてもよい。

【００５９】（９）図示の実施形態は、テーブル８を下
チャンバ側とし、加圧板２７を上チャンバ側とし、加圧
板２７を降下させて両基板を貼り合せるものについて説
明したが、その逆に、テーブル８を上チャンバ側とし、
加圧板２７を下チャンバ側とし、下基板を上基板に対し
て持ち上げるようにしてもよい。この場合、画像認識用
のカメラは下チャンバ側とし、上チャンバ側のテーブル
８を微動させて位置合わせを行う。

【００６０】（10）液晶表示パネルの製造だけでなく、
その他の基板の貼り合わせに適用できる。

【００６１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
真空チャンバ内において基板を損傷することなく高精度
に位置合わせして、速やかに貼り合せることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を示す基板組立装置の概略
図である。

【図２】図１に示した基板組立装置の真空チャンバを開
放し上下各基板を貼り合わせのためにセットするときの
状況を示す図である。

【図３】図１に示した基板組立装置のテーブルとこれを
水平移動させるアームの構成を示す図である。

【図４】真空チャンバ内で上基板を受止爪上に保持した
状況を示す斜視図である。

【図５】真空チャンバ内で上下基板の位置合わせを行う
状況を示す要部断面図である。

【符号の説明】

Ｓ２基板貼合部１Ａ下基板１Ｂ上基板６下チャンバ８テーブル８ａＴ字状レール９，１０アクチュエータ９ａ，１０ａアーム９ｂ，１０ｂローラ２１上チャンバ２３真空バルブ２７加圧板２８静電吸着板１００真空チャンバ

フロントページの続き (72)発明者今泉潔茨城県竜ヶ崎市向陽台５丁目２番日立テクノエンジニアリング株式会社開発研究所内 (72)発明者平井明茨城県竜ヶ崎市向陽台５丁目２番日立テクノエンジニアリング株式会社開発研究所内Ｆターム(参考） 2H088 FA01 FA16 FA24 FA30 HA01 MA20 2H090 JB02 JC12 5G435 AA17 BB12 CC09 KK05 KK10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】貼り合せるべき基板同士をそれぞれ上下に
保持して対向させ、位置決めを行うと共に間隔を狭め
て、いづれかの基板に設けた接着剤により真空中で両基
板を貼り合せる基板組立装置において、上面または下面に上記基板の何れか一方を脱着自在に固
着させる単一のテーブルが真空チャンバ内に配置され、該真空チャンバ外に配置した複数のアクチュエータの各
々から前記テーブルの側面部にＸＹの各方向に伸びたア
ームがあり、該各アームはＸＹの交差する他の方向の動
きに対してテーブルの側面部においてスライドし得る端
部を有し、前記テーブルは前記各アクチュエータの動作
によりアームを介してＸＹおよびθの各方向に水平移動
し得るようになっており、さらに下面または上面に上記基板の他方を脱着自在に固
着させる加圧板が前記真空チャンバ内に配置され、前記テーブルを前記各アクチュエータにより水平移動さ
せて基板同士の位置決めを行い、次いで前記加圧板をテ
ーブルの方向に移動させ、両基板の対向間隔を狭めて両
基板を貼り合せるように構成したことを特徴とする基板
組立装置。
【請求項２】上記請求項１において、真空チャンバは上
チャンバと下チャンバとで構成され、その上チャンバに
は前記加圧板またはテーブルが内蔵され、下チャンバに
は前記テーブルまたは加圧板が内蔵されていることを特
徴とする基板組立装置。
【請求項３】上記請求項２において、上チャンバに内蔵
された加圧板またはテーブルは上基板を真空吸着する手
段と静電吸着する手段とを備えていることを特徴とする
基板組立装置。