KR101039533B1

KR101039533B1 - 적층구조의 공정챔버를 포함하는 기판 제조장비

Info

Publication number: KR101039533B1
Application number: KR1020100092497A
Authority: KR
Inventors: 황철주; 김영록; 권기청
Original assignee: 주성엔지니어링(주)
Priority date: 2010-09-20
Filing date: 2010-09-20
Publication date: 2011-06-13
Also published as: KR20100109887A

Abstract

본 발명은 다수의 공정챔버를 상하로 적층하여 대면적의 기판을 처리하기 위한 적층구조의 공정챔버를 포함하는 기판 제조장비에 관한 것으로, 기판제조장치는, 챔버 프레임; 상기 챔버 프레임에 의해 지지되며, 상하로 적층되는 다수의 공정챔버; 상기 다수의 공정챔버의 측면에 각각 연결되는 다수의 로드락챔버; 상기 다수의 로드락챔버 측면에 위치하며, 기판을 적재하는 카세트; 상기 다수의 로드락챔버와 상기 다수의 공정챔버 사이에서 기판을 운송하는 기판 트레이; 및 상기 다수의 로드락챔버와 상기 카세트 사이에서 상기 기판을 운송하는 로봇암을 포함한다.

Description

적층구조의 공정챔버를 포함하는 기판 제조장비{Apparatus for manufacturing substrate having vertically stacted process chambers}

본 발명은 기판 제조장비에 관한 것으로서, 구체적으로는 다수의 공정챔버를 상하로 적층하여 대면적의 기판을 처리하기 위한 적층구조의 공정챔버를 포함하는 기판 제조장비에 관한 것이다.

일반적으로 LCD를 제조하기 위해서는, 기판에 유전체 물질 등을 증착하는 박막증착공정, 감광성 물질을 사용하여 이들 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그라피(photolithography) 공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 목적하는 대로 패터닝(patterning)하는 식각공정, 잔류물을 제거하기 위한 세정공정 등을 수 차례 반복하게 된다.

또한 이들 각 공정은 해당공정을 위해 최적의 환경으로 설계된 공정챔버에서 진행되는데, 특히 근래에는 단시간에 다량의 기판을 처리하기 위해서 복수개의 공정챔버와, 공정 챔버로 기판을 이송 또는 회송하는 이송챔버와, 기판을 일시 저장하며 이송챔버와 연결되는 로드락챔버를 포함하는 복합형 장비로서 클러스터(cluster)가 많이 사용되고 있다. 이러한 클러스터를 구성하는 공정챔버로는 플라즈마 화학기상증착장비(PECVD)나 건식 식각장비(Dry Etcher) 등이 있다.

도 1은 일반적인 클러스터의 개략적인 구성을 도시한 것으로서, 클러스터는 로드락챔버(20), 이송챔버(50) 및 복수 개의 공정챔버(30)와, 상기 공정챔버(30)에서 공정을 수행하기 전에 미리 기판(60)를 예열시키기 위한 예열챔버(40)를 포함하며, 상기 로드락챔버(20)는 다수의 기판(60)를 적재하는 기판 저장부(10)에 연결된다.

이송챔버(50)에는 로드락챔버(20), 공정챔버(30) 및 예열챔버(40) 사이에서 기판(60)를 이송하기 위해 이송챔버 로봇암(52)이 설치되며, 기판 저장부(10)에는 기판(60)를 이송하기 위해 저장부 로봇암(12)이 설치된다.

한편 공정상 필요에 따라, 상기 예열챔버(40)는 생략될 수 있고, 로드락챔버(20)나 공정챔버(30)의 개수도 달라질 수 있다.

도 2는 이러한 종래 방식의 클러스터에 사용되는 로드락챔버(20)를 예시한 단면도로서, 저장부 로봇암(12)이 플레이트(26)에 기판(60)을 안치하는 모습을 도시하고 있으며, 플레이트(26)의 상면에는 기판(50)을 안치하는 기판지지용 핀(21)이 돌출되어 있다. 미설명부호 22, 24는 각각 저장부측 도어와 이송챔버측 도어를 나타낸다.

도 3은 종래 방식의 공정챔버(30)의 단면도로서, 공정챔버(30)는 내부에 기판(60)이 안치되는 서셉터(31)와, 서셉터(31)의 상부에서 공정가스를 분사하며 통상 플라즈마 전극(34)과 일체로 형성되는 샤워헤드(33)와, 샤워헤드(33)로 공정가스를 유입하는 가스유입관(36)과, 상기 플라즈마 전극(34)에 RF전력을 인가하는 RF전원(35)과, 배기가스를 배출하는 배기라인(37)을 포함하여 구성된다. 샤워헤드(33)를 통해 공정가스를 분사한 후, RF전력을 인가하면 RF전기장에 의해 가속된 전자가 중성기체와 충돌하여 플라즈마(32)가 발생하게 된다.

그런데 이러한 종래 방식의 LCD 제조장비는 도 1에서 도시하고 있는 바와 같이, 공정챔버(30) 및 로드락챔버(20)를 모두 수평으로 구성하고 있는데, 최근 LCD 기판의 사이즈가 대면적화 됨에 따라 이러한 클러스터가 차지하는 면적(foot print)도 함께 증가하게 되고, 이로 인해 생산현장의 공간활용도를 저하시키는 문제점이 대두되고 있다.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 장비가 차지하는 면적을 줄임으로써, 공간을 효율적으로 활용할 수 있게 하는 기판 제조장비를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 챔버 프레임; 상기 챔버 프레임에 의해 지지되며, 상하로 적층되는 다수의 공정챔버; 상기 다수의 공정챔버의 측면에 각각 연결되는 다수의 로드락챔버; 상기 다수의 로드락챔버 측면에 위치하며, 기판을 적재하는 카세트; 상기 다수의 로드락챔버와 상기 다수의 공정챔버 사이에서 기판을 운송하는 기판 트레이; 및 상기 다수의 로드락챔버와 상기 카세트 사이에서 상기 기판을 운송하는 로봇암;을 포함하는 기판제조장치를 제공한다.

상기 다수의 공정챔버 및 로드락챔버의 내부에 각각 다수의 롤러가 설치되며, 상기 다수의 롤러의 구동으로 상기 기판 트레이가 이송하는 기판제조장치를 제공한다.

상기 로봇암은 상기 다수의 로드락챔버 내부에 위치한 상기 기판 트레이와 상기 카세트 사이에서 상기 기판을 이송하는 기판제조장치를 제공한다.

상기 다수의 공정챔버 각각은 상기 기판을 안치하기 위한 서셉터와 상기 기판 트레이로부터 상기 기판을 분리하기 위한 리프트 핀을 포함하며, 상기 기판 트레이는 상기 리프트 핀이 상승하기 위한 리프트핀 삽입부를 포함하는 기판제조장치를 제공한다.

상기 기판 트레이는 상기 로봇암이 상기 다수의 로드락챔버 각각에 진입하여 상하운동할 수 있는 로봇암 삽입부를 포함하는 기판제조장치를 제공한다.

상기 로봇암은, 로봇암 구동부; 상기 로봇암 구동부에 의해 수평이동하며 상면에 상기 기판을 안치하는 리프팅 바; 및 상기 리프팅 바의 수평이동을 가이드 하는 가이드 바;를 포함하는 기판제조장비를 제공한다.

상기 로봇암이 위치하는 스테이션; 및 상기 스테이션의 상하운동을 구동하는 스테이션 구동부;를 더 포함하는 기판제조장치를 제공한다.

상기 카세트와 상기 로봇암이 위치하는 스테이션; 및 상기 스테이션의 상하운동을 구동하는 스테이션 구동부;를 더 포함하는 기판제조장치를 제공한다.

본 발명에 따르면, 기판 제조장비가 차지하는 면적이 작아짐에 따라 제조현장의 작업공간을 보다 효율적으로 활용할 수 있게 된다.

도 1은 종래 클러스터장비의 일반적인 구성도
도 2는 종래 로드락챔버의 단면도
도 3은 종래 공정챔버의 단면도
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 LCD 제조장비의 구성도
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 공정챔버의 평면도
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 공정챔버와 로드락챔버의 구성도
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 기판 트레이의 평면도
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 기판 트레이의 단면도
도 9는 도 4의 공정장비에서 기판이 로드락챔버로 반입되는 모습을 도시한 구성도
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 로봇암의 평면도
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 기판트레이에 로봇암이 기판을 안치하는 모습을 도시한 평면도
도 12 내지 도 15는 본 발명의 실시예에 따라 기판이 공정챔버로 로딩되는 과정을 도시한 구성도

이하에서는 도면을 참고로 하여 본발명의 바람직한 실시예를 설명하기로 한다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 LCD제조장비의 구성을 도시한 것으로서, 3개의 공정챔버(110,120,130)가 상하로 적층되어 있는 챔버모듈(100)과; 상기 제1,2,3 공정챔버(110,120,130)의 측면에 각 연결되고, 내부에 기판운송을 위한 제1,2 롤러플레이트(214,216)가 설치되는 제1,2,3 로드락챔버(210,220,230)를 포함하는 로드락 모듈(200)과; 기판(600)을 적재하며 다수의 슬롯(312)을 포함하는 카세트(310)와, 상기 카세트(310)와 상기 각 로드락챔버(210,220,230) 사이에서 기판(600)을 운송하는 로봇암(320)과, 상기 카세트(310)와 상기 로봇암(320)을 적재한 채 상하 운동하는 스테이션(330)을 포함하는 기판저장모듈(300)을 포함한다. 상기 스테이션(330)은 스테이션 구동부(350)에 의해 구동된다.

또한 본 발명의 실시예는 공정챔버(110,120,130)와 로드락챔버(210,220,230) 사이에서 롤러를 이용하여 기판을 운송하는 방법을 제시하고 있다.

이하에서는 각 모듈(100,200,300)을 구체적으로 설명한다.

챔버모듈(100)을 구성하는 제1, 2, 3 공정챔버(110,120,130)는 챔버 프레임(140)에 의해 지지되며, 공정챔버의 개수는 다양하게 구성될 수 있다.

각 공정챔버(110,120,130)는 도 3과 같이 챔버의 상부에 샤워헤드가 위치하는 방식의 공정챔버를 적층하여도 무방하지만, 가스유입관 등의 부속 설비로 인해 챔버 모듈(100)의 높이가 지나치게 커지는 것을 방지하기 위해 공정가스의 공급설비는 측면에 설치하는 것이 바람직하다.

각 공정챔버(110,120,130)는 모두 동일한 구조를 가지므로, 제1 공정챔버(110)만을 살펴보면, 공정챔버(110)는 내부에 기판(600)을 안치하는 서셉터(111)를 포함하고, 서셉터(111)의 상부에는 RF전원(114)에 연결되는 플라즈마 전극(113)이 위치하고 있다. 가스분사수단 및 배기수단은 도 5에서 도시하고 있는데, 도 5는 제1 공정챔버(110)의 평면을 도시한 것으로서, 챔버의 측면에 다수의 인젝터(116)를 형성하고 상기 인젝터(116)의 대향하는 측면에 배기라인(118)을 형성하고 있다. 가스분사와 배기수단을 이와 같이 분사할 경우 예상되는 공정의 불균일성은 후술하는 펄스 플라즈마를 이용하여 해소할 수 있다.

도 6은 제1 공정챔버(110)와 제1 로드락챔버(210)의 평면을 도시한 것으로서, 제1 공정챔버(110) 내부에는 서셉터(111)의 가장자리를 따라 다수의 롤러(400)가 배치되고, 제1 공정챔버(110)와 연결되는 제1 로드락챔버(210)에도 다수의 롤러(500)로 구성되는 제1 롤러플레이트(214)가 배치되어 있다.

이와 같이 롤러(400,500)를 이용하는 이유는, 공정챔버(110,120,130)와 로드락챔버(210,220,230) 사이에서 기판트레이에 의해 기판을 운송하기 때문인데, 도 6에는 제1 로드락챔버(210) 내부에 기판트레이(700)가 위치하고, 기판트레이(700)의 상면에 기판(600)이 안치된 모습이 도시되어 있다.

다수의 롤러(400,500)는 미도시된 롤러구동수단에 의해 회전운동하게 되는데, 모든 롤러(400,500)마다 롤러구동수단이 연결될 수도 있으나, 제1 도어(115) 또는 제2 도어(212)에 인접한 롤러를 구동하는 것이 바람직하다.

롤러(500)의 구동으로 제1 롤러 플레이트(214) 상면에 안치된 기판 트레이(700)가 제1 도어(115)를 통해 공정챔버(110)의 내부로 진입하면, 서셉터(111)의 가장자리 부근에 배치된 롤러(400)가 구동하여 기판 트레이(700)를 공정챔버(110) 내부로 이송한다.

또한 필요에 따라 각 롤러 플레이트(214,216)를 상하구동부(미도시)에 연결하여 상하로 움직이게 할 수도 있다.

각 로드락챔버(210,220,230)는 제2 도어(212,222,232)를 통해 기판저장모듈(300)과 연결된다.

도 7과 도 7의 I-I선에 따른 단면도인 도 8을 참고로 기판 트레이(700)의 구성을 살펴보면, 기판 트레이(700)는 상면에 기판(600)이 안치되는 기판안치부(710)와, 기판안치부(710)의 가장자리에 형성되며 롤러의 상부에 거치되는 롤러거치부(750)를 포함한다.

롤러거치부(750)와 기판안치부(710)의 경계면에는 기판(600)을 안정적으로 안치하고 이송하기 위해 단차부(740)가 형성된다. 롤러거치부(750)의 하면에는 롤러(400,500)가 삽입되는 롤러삽입홈(752)이 형성된다.

기판안치부(710)는 평면으로 형성될 수도 있으나, 공정챔버(110)에서 기판(600)을 로딩 또는 언로딩하는 경우와, 로드락챔버(210)와 기판저장 모듈(300) 사이의 기판(600) 교환을 대비하여, 도면과 같이 가장자리로부터 중심부를 향하여 다수의 홈을 형성하는 것이 바람직하다.

즉 공정챔버(110)에서 기판트레이(700)로부터 기판(600)을 분리하기 위해 리프트핀이 상승할 수 있도록 형성되는 리프트핀 삽입부(720)와, 로드락챔버(210)에 진입하는 로봇암(320)이 상하운동할 수 있도록 형성되는 로봇암 삽입부(730)가 그것이다.

이때 기판트레이(700)가 롤러(400,500)에 거치된 상태에서, 기판안치부(710)의 하면이 서셉터의 상면보다 높은 위치에 있도록 롤러(400,500)의 위치가 조절되어야 한다.

도 9는 본 발명의 실시예에 따른 LCD제조장비의 기판저장모듈(300)로부터 로봇암(320)에 의해 제1 로드락챔버(210)로 기판(600)이 반입되는 모습을 도시한 것이다.

상기 로봇암(320)은 기판(600)을 적재하는 다수의 슬롯(312)을 포함하는 카세트(310)와 함께 스테이션(330)의 상면에 위치하는데, 상기 스테이션(330)은 기판저장모듈 프레임(340)에 지지된 채 스테이션 구동부(350)에 의해 상하운동을 한다. 따라서 수직으로 배치된 로드락챔버(210,220,230)와 카세트(310) 사이에서 기판(600)의 교환이 이루어질 수 있게 된다.

도면에는 상기 스테이션 구동부(350)를 프레임(340)의 상부에 위치하는 승강용 도르레 구동장치인 것으로 예시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니므로 스테이션(330)의 하부나 측부에 구동샤프트를 연결하고 이를 통해 스테이션(330)을 구동할 수도 있다.

어떠한 방식으로 구동하든지 간에 상기 프레임(340)은 스테이션(330)의 상하운동을 가이드 하는 역할을 수행하여야 하는데, 이를 위해 상기 프레임(340)의 각 기둥이 상기 스테이션(330)의 가장자리 부근을 관통하는 방식으로 결합하거나, 스테이션(330)의 가장자리 또는 프레임(340)에 가이드 레일(미도시)을 설치하여 양자가 결합되도록 하는 것이 바람직하다.

한편 상기 로봇암(320)은 종래 방식의 로봇암을 사용하여도 무방하나, 본 발명은 로봇암의 회전으로 인해 요구되는 공간을 절약하기 위해 도면과 같은 방식의 로봇암을 제안하고 있다.

도 10은 본 발명의 실시예에 따른 로봇암(320)의 평면을 도시한 것으로서, 로봇암 구동부(322)와, 기판(600)을 안치한 채 수평 운동하는 리프팅 바(326)와, 상기 리프팅 바(326)의 운동을 가이드 하며 상기 로봇암구동부(322)에 연결되는 가이드 바(324)로 구성되는데, 상기 리프팅 바(326)는 로봇암구동부(322)에 의해 구동된다.

도 11은 상기 로봇암(320)이 로드락챔버(210) 내부의 기판트레이(700)에 기판(600)을 안치하는 모습을 도시한 것으로서, 기판(600)을 안치한 로봇암(320)이 기판트레이(700)의 로봇암 삽입부(730)의 상부에 위치하게 되며, 이 위치에서 로봇암(320)이 상기 로봇암 삽입부(730)를 통해 하강하면 기판(600)이 기판트레이(700)의 기판안치부(710)에 안치된다.

이와 같이 기판트레이(700)에 안치된 기판(700)이 서셉터(111)에 로딩되기까지의 과정을 도 12 내지 도 15를 참고로 하여 살펴보면 다음과 같다.

도 12는 제1 공정챔버(110)의 단면 중 일부를 개략적으로 도시한 것으로서, 서셉터(110)의 가장자리에 롤러(400)가 설치되고, 상기 롤러(400)는 롤러지지대(410)에 의해 지지된다. 서셉터(111)의 내부에는 기판을 교환하기 위한 리프트핀 어셈블리(112)가 설치되며, 리프트핀 어셈블리(112)는 리프트핀 구동샤프트(117)에 의해 구동된다. 리프트핀 구동샤프트(117)는 서셉터 구동샤프트(119)와 별도의 구동수단에 연결될 수도 있고, 같은 구동수단에 연결될 수도 있다.

다음에 기판(600)을 안치한 기판 트레이(700)가 제1 공정챔버(110)로 반입되어, 기판 트레이(700)의 가장자리 하면에 형성된 롤러삽입홈(752)에 공정챔버의 롤러(400)가 삽입되면, 미도시된 롤러구동부에 의해 롤러(400)가 구동하여 기판 트레이(700)를 이동시키게 된다.(도 13)

기판 트레이(700)가 서셉터(111) 상부에 정확하게 위치하면, 서셉터(111)에 형성된 리프트핀 어셈블리(112)가 리프트핀 구동 샤프트(117)에 의해 상승하여 기판 트레이(700)로부터 기판(600)을 분리시킨다.(도 14)

이후 기판 트레이(700)가 공정챔버(110)로부터 빠져나가면, 리프트핀 어셈블리(112)이 하강하여 기판(600)이 서셉터(111)의 상면에 안착된다.(도 15) 그리고 공정수행을 위해 상부의 공정영역으로 서셉터(111)가 상승하여 공정을 수행하게 된다.

이때 공정가스는 도 5에서 도시한 바와 같이 측면에 형성되는 다수의 인젝터(116)를 통해 공정챔버(110) 내부로 분사되어 반대편의 배기라인(118) 쪽으로 유동되는데, 플라즈마를 균일하게 발생시키기 위해서, 도 4의 플라즈마 전극(113)에 인가되는 RF전력은 펄스(pulse) 형태로 인가되는 것이 바람직하다.

펄스파를 이용하는 이유는, 본 발명과 같이 공정챔버(110, 120, 130)의 측벽에 위치한 다수의 인젝터(116)로부터 공정가스를 분사하고 연속적인 RF전력을 인가하게 되면, 공정가스는 분사되자마자 활성종으로 여기되어 기판에 대한 증착 또는 에칭 등의 공정을 수행하게 되므로, 증착공정을 예로 들면 인젝터(116)에 가까운 쪽에서 박막이 두껍게 형성되고, 배기라인(118)쪽으로 박막두께가 갈수록 선형적으로 얇아지는 불균일 현상이 나타나게 되는데, 이를 방지하기 위한 것이다.

즉 공정가스가 분사되는 즉시 활성종으로 여기시키지 않고, 일정 시간동안 반대편 배기라인(118)쪽으로 유동한 후에 RF전력을 인가하게 되면, 공정가스가 챔버(100) 내부에 균일하게 분포하는 상태에서 활성종으로 여기되므로, 연속 플라즈마에 의한 공정 불균일을 크게 개선시킬 수 있게 되기 때문이다.

이때 펄스의 듀티 레이트(duty rate), 즉 펄스 1 주기당 전원이 인가되는 시간의 비율은 10% 내지 90% 범위에서 결정하는 것이 바람직하며, 펄스의 주기는 2μsec에서 10sec 까지 다양하게 정할 수 있다. 따라서 펄스의 주파수는 0.1Hz 내지 500kHz 사이에서 선택하면 된다.

그리고 RF전력의 주파수는 400kHz 내지 13.56MHz 또는 20MHz 내지 100MHz사이에서 정해지는 것이 바람직하다.

한편 공정을 마치고 서셉터(111)가 하강하면, 상기 과정의 역순으로 진행되는데, 먼저 리프트핀 어셈블리(112)가 상승하여 기판(600)을 서셉터(111)로부터 분리하면, 기판(600)과 서셉터(111) 사이로 기판 트레이(700)가 진입한다. 이후 리프트핀 어셈블리(112)가 하강하여 기판(600)을 기판 트레이(700)에 안치하면, 롤러(400)의 구동에 의해 기판 트레이(700)가 제1 도어(115)를 통해 로드락챔버(210)로 반출된다.

기판(600)을 안치한 기판트레이(700)가 제1 로드락챔버(210)의 롤러플레이트(214,216) 중 하나에 위치하면, 제1 도어(115)를 닫고 로드락챔버(210)를 대기압 상태로 변경하기 위한 펌핑을 실시한 후, 기판 저장모듈(300) 쪽의 제2 도어(212)를 오픈한다.

제2 도어(212)를 통해 기판 저장모듈(300)의 로봇암(320)이 진입하여 기판(600)을 리프팅하여 카세트(310)로 반출하며, 공정을 끝낸 기판(600)을 반출한 후 새로운 기판을 반입하여 공정챔버로 이송하게 된다.

제2, 제3 공정 챔버(120,130)에 기판을 로딩하거나 이로부터 언로딩하기 위해서는 기판 저장모듈(300)의 스테이션(330)을 상승시켜 로봇암(320)이 제2, 3 로드락챔버(220,230)의 제2 도어를 통해 출입할 수 있도록 높이를 맞춘 다음에 기판(600)을 교환하면 된다

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 한하여 설명하였으나, 이 밖에도 당업자에 의한 다양한 수정이나 변경이 가능하며, 그러한 수정이나 변경은 본 발명의 기술적 사상을 바탕으로 하는 한, 본 발명의 권리범위에 속하게 됨은 당연하다 할 것이다.

100 : 챔버모듈 110, 120, 130 : 제 1,2,3 공정챔버
111 : 서셉터 112 : 리프트핀 어셈블리
113 : 플라즈마 전극 114 : RF 전원
115 : 제1 도어 116 : 인젝터
117 : 리프트핀 구동샤프트 118 : 배기라인
119 : 서셉터 구동샤프트 140 : 프레임
200 : 로드락모듈 210,220,230 : 제1,2,3 로드락챔버
212 : 제2 도어 214 : 제1 롤러플레이트
216 : 제2 롤러 플레이트 300 : 기판 저장모듈
310 : 카세트 320 : 로봇암
322 : 로봇암 구동부 324 : 가이드 바
326 : 리프팅 바 330 : 스테이션
340 : 기판저장모듈 프레임 350 : 스테이션 구동부
400, 500 : 롤러 410 : 롤러 지지대
600 : 기판 700 : 기판트레이
710 : 기판안치부 720 : 리프트핀 삽입부
730 : 로봇암 삽입부 740 : 단차부
750 : 롤러 거치부 752 : 롤러 삽입홈

Claims

챔버 프레임;
상기 챔버 프레임에 의해 지지되며, 상하로 적층되는 다수의 공정챔버;
상기 다수의 공정챔버의 측면에 각각 연결되는 다수의 로드락챔버;
상기 다수의 공정챔버의 측면과 상기 다수의 로드락챔버의 일면사이를 연결하는 도어;
상기 다수의 로드락 챔버의 측면에 위치하며, 기판을 적재하는 카세트;
상기 다수의 로드락챔버와 상기 다수의 공정챔버 사이에서 기판을 운송하는 기판 트레이; 및
상기 다수의 로드락챔버와 상기 카세트 사이에서 상기 기판을 운송하는 로봇암;
을 포함하는 기판제조장치.
제1항에 있어서,
상기 다수의 공정챔버 및 로드락챔버의 내부에 각각 다수의 롤러가 설치되며, 상기 다수의 롤러의 구동으로 상기 기판 트레이가 이송하는 기판제조장치.
제1항에 있어서,
상기 로봇암은 상기 다수의 로드락챔버 내부에 위치한 상기 기판 트레이와 상기 카세트 사이에서 상기 기판을 이송하는 기판제조장치.
제1항에 있어서,
상기 다수의 공정챔버 각각은 상기 기판을 안치하기 위한 서셉터와 상기 기판 트레이로부터 상기 기판을 분리하기 위한 리프트 핀을 포함하며, 상기 기판 트레이는 상기 리프트 핀이 상승하기 위한 리프트핀 삽입부를 포함하는 기판제조장치.
제1항에 있어서,
상기 기판 트레이는 상기 로봇암이 상기 다수의 로드락챔버 각각에 진입하여 상하운동할 수 있는 로봇암 삽입부를 포함하는 기판제조장치.
제1항에 있어서,
상기 로봇암은,
로봇암 구동부;
상기 로봇암 구동부에 의해 수평이동하며 상면에 상기 기판을 안치하는 리프팅 바; 및
상기 리프팅 바의 수평이동을 가이드 하는 가이드 바;
를 포함하는 기판제조장치.
제6항에 있어서,
상기 로봇암이 위치하는 스테이션; 및
상기 스테이션의 상하운동을 구동하는 스테이션 구동부;
를 더 포함하는 기판제조장치.
제6항에 있어서,
상기 카세트와 상기 로봇암이 위치하는 스테이션; 및
상기 스테이션의 상하운동을 구동하는 스테이션 구동부;
를 더 포함하는 기판제조장치.