KR20060078545A - 리프트 핀 어셈블리 및 이를 사용한 화학기상증착장비 - Google Patents

리프트 핀 어셈블리 및 이를 사용한 화학기상증착장비 Download PDF

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KR20060078545A
KR20060078545A KR1020040118512A KR20040118512A KR20060078545A KR 20060078545 A KR20060078545 A KR 20060078545A KR 1020040118512 A KR1020040118512 A KR 1020040118512A KR 20040118512 A KR20040118512 A KR 20040118512A KR 20060078545 A KR20060078545 A KR 20060078545A
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최원희
노규화
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 화학기상증착장비에서 글라스 기판을 지지하는 리프트 핀(lift pin)이 용이하게 상하 구동을 할 수 있도록 한 리프트 핀 어셈블리 및 이를 사용한 화학증착장비를 개시한다. 개시된 본 발명은 리프트 핀; 상기 리프트 핀 가장자리에 배치된 웨이트; 상기 리프트 핀의 상하 동작시 상기 리프트 핀 가이드를 위하여 배치된 리프트 핀 가이드; 및 상기 리프트 핀 가이드와 웨이트 사이에 배치되어 있는 탄성수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명은 리프트 핀에 탄성수단을 체결함으로써, 이물질, 마찰 및 정전기에도 불구하고, 리프트 핀의 동작을 원활하게 할 수 있는 효과가 있다.
화학기상증착장비, PECVD, 글라스, 리프트 핀, 세라믹

Description

리프트 핀 어셈블리 및 이를 사용한 화학기상증착장비{LIFT PIN ASSEMBLY AND CHEMICAL VAPOR DEPOSITION EQUIPMENT}
도 1은 종래 기술에 따른 화학기상증착장비에서 증착 챔버의 구조를 개략적으로 도시한 도면.
도 2는 종래 기술에 따른 화학기상증착장비를 도시한 도면.
도 3a는 종래 기술에 따라 증착 챔버에 글라스 기판을 안착시킬 때, 리프트 핀이 하강하는 모습을 도시한 도면.
도 3b는 종래 기술에 따른 화학기상증착장비에서 리프트 핀의 구동 불량을 설명하기 위한 도면.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 화학기상증착장비에서 글라스 기판이 증착 챔버 내에서 안착되는 과정을 도시한 도면.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 리프트 핀 어셈블리의 동작을 설명하기 위한 도면.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100: 증착 챔버 101: 하부 전극
120: 리프트 핀(lift pin) 121: 글라스 기판
125a: 제 1 리프트 바 125b: 제 2 리프트 바
127: 리프트 핀 가이드 128: 웨이트(weight)
130: 지지플레이트 150: 탄성수단
본 발명은 화학기상증착장비에서 글라스 기판을 지지하는 리프트 핀(lift pin)이 용이하게 상하 구동 할 수 있도록 한 리프트 핀 어셈블리 및 이를 사용한 화학증착장비에 관한 것이다.
오늘날에는 노트북(Note book) 형태의 컴퓨터가 많이 이용되고 있다. 그리고, 화면 표시부의 대면적화 경향에 따른 LCD(Liquid Crystal Display) 패널의 경량화가 가장 큰 과제로 대두되고 있다. 이러한 LCD 패널 경량화의 한 방법으로 글라스(glass) 상에 얇은 절연막 또는 금속막을 증착하고, 식각하는 식각 기술이 개발되고 있다.
이와 같이, 상기 글라스 상에 절연막 또는 금속막을 증착하는 장비로는 화학기상증착장비(PECVD)가 보통 사용된다.
특히, 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT-LCD)는 글라스 기판 상에 게이트 전극, 게이트 절연막, 소스/드레인 전극, 데이터 배선, 화소 전극, 보호막 등을 순차적으로 증착하고, 식각하는 공정을 진행하여 제조된다.
도 1은 종래 기술에 따른 화학기상증착장비에서 증착 챔버의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 증착 챔버(10)는 알루미늄 계열(bare Al)의 금속으로된 상부 전극(3)과 하부 전극(1)이 조립되어 있다.
그리고 상기 상부 전극(3)의 일측 영역에는 상기 증착 챔버(10) 내의 압력 조건을 조절하기 위한 펌핑 포트(Pumping Port: 5)가 배치되어 있고, 상기 하부 전극(1) 내측에는 리프트 핀(lift pin: 20)들이 배치되어 있다.
또한, 도면에서는 명확하게 도시하지 않았지만, 헬륨(He) 가스를 공급할 수 있는 가스관이 연결되어 있다.
상기 증착 챔버(10)에서 글라스 기판 상에 박막을 증착하기 위해서는, 카세트에 적재되어 있는 글라스들을 로봇 암에 의해서 상기 증착 챔버(10) 내측 영역으로 로딩 (loading) 시킨다. 그러면, 상기 하부 전극(1)의 하부에 각각 배치되어 있는 리프트 핀(20)이 상승하여, 상기 글라스 기판을 전달받은 다음, 이를 상기 하부 전극(1) 상에 안착시킨다.
상기와 같이 하부 전극(1) 상에 글라스 기판이 안착되면, 상기 증착 챔버(10) 내에 증착하고자 하는 절연 물질 또는 금속 물질을 가스 상태로 주입하고, 이를 플라즈마(plasma) 상태로 전환시킨 다음, 상기 상부 전극(3)과 하부 전극(1) 사이에 고전압을 걸어주어 상기 글라스 기판 상에 박막을 증착한다.
도 2는 종래 기술에 따른 화학기상증착장비를 도시한 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 화학기상증착장비는 상기 도 1에 도시한 증착 챔버를 다수개 적층된 구조로 되어 있다.
상기 증착 챔버들(C1 ...CN)은 제 1 리프트 바(lift bar: 25a)와 제 2 리프트 바(25b) 사이에 순차적으로 적층되어 있고, 상기 증착 챔버들(C1 ...CN) 사이에는 각각 지지플레이트들(support plate: P1 ...PN)이 배치되어 있다.
상기 지지플레이트들(P1 ...PN)은 상기 증착 챔버들(C1 ...CN)내로 로딩되는 글라스 기판들을 전달받아 하부 전극 상에 안착시키거나, 증착 공정이 끝난 글라스 기판을 외부로 언로딩(unloading) 시키는 리프트 핀(20)들을 상하 방향으로 동작시키는 역할을 한다.
이와 같이 상기 리프트 핀(20)을 상하 방향으로 동작시키는 구동력은 상기 증착 챔버들(C1 ...CN) 양측에 배치되어 있는 상기 제 1 리프트 바(25a)와 제 2 리프트 바(25b)에서 전달받는다.
따라서, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 제 1 리프트 바(25a)와 제 2 리프트 바(25b)에는 동력 전달 장치(motor)가 연결되어 있고, 동력 전달 장치로부터 동력을 전달받아 상기 지지플레이트들(P1 ...PN)을 상하 방향으로 구동시킨다.
도 3a는 종래 기술에 따라 증착 챔버에 글라스 기판을 안착시킬 때, 리프트 핀이 하강하는 모습을 도시한 도면이다.
도 3a에 도시된 바와 같이, 증착 챔버(10) 내로 글라스 기판(21)이 로딩(loading)되면, 리프트 핀(20)들이 놓여 있는 지지플레이트(30)가 상승하고, 상승된 리프트 핀(20)은 상기 증착 챔버(10) 내로 들어온 상기 글라스 기판(21)을 전달받는다.
그래서, 상기 글라스 기판(21)은 상기 리프트 핀(20)들에 의하여 지지된 상태에서, 상기 증착 챔버(10) 하부에 배치된 지지플레이트(30)를 하강 시켜 상기 리프트 핀(20) 상에 놓여 있는 글라스 기판(21)을 상기 증착 챔버(10)의 하부 전극 상에 안착시킨다.
여기서, 상기 지지플레이트(30)는 상기 도 2에서 설명하였듯이, 상기 증착 챔버(10) 양측에 배치되어 있는 제 1 리프트 바(25a)와 제 2 리프트 바(25b)에 의하여 상하 운동을 한다.
이와 같이, 상기 글라스 기판(21)이 증착 챔버(10)의 하부 전극 상에 놓이게 되면, 박막 증착 공정을 진행하고, 증착 공정이 끝나면 상기 지지플레이트(30)를 상승시켜 리프트 핀(20)을 상승시켜 글라스 기판(21)을 증착 챔버(10) 밖으로 언로딩 시킨다.
그러나, 종래 기술에서는 지지플레이트(30)가 하강할 때, 상기 리프트 핀(20)이 상하 방향으로 움직이는 영역에 이물질, 정전기, 마찰 등으로 인하여 용이하게 움직이지 못하는 문제가 발생한다.
이하, 도면을 참조로 문제점을 설명하면 다음과 같다.
도 3b는 종래 기술에 따른 화학기상증착장비에서 리프트 핀의 구동 불량을 설명하기 위한 도면이다.
도 3b에 도시된 바와 같이, 리프트 핀(20)은 하부 전극(1)을 관통하여 상하로 움직일 수 있도록 배치되어 있다.
구체적으로 보면, 증착 챔버의 하부 전극 상에는 리프트 핀 가이드(27)가 체결되어 있고, 상기 리프트 핀(20)의 가장자리 영역에는 웨이트(weight: 28)가 배치되어 있다. 상기 웨이트(28)는 상기 지지플레이트(30) 상에 상기 리프트 핀(20)이 놓일 때, 좌우 방향으로 기울어지는 것을 방지하는 역할을 한다.
따라서, 상기 리프트 핀(20)은 상기 하부 전극에 체결된 리프트 핀 가이드(27)를 통하여 상하 방향으로 움직이면서 글라스 기판을 전달받는다.
하지만, 증착 공정 중에 이물질이 상기 리프트 핀 가이드(27) 내측으로 들어가거나 쌓이게 되면, 상기 리프트 핀(20)이 이물질에 걸려 하강하지 않게 되는 불량이 발생한다.
또한, 상기 리프트 핀(20)의 빈번한 상하 작동으로 인하여 상기 리프트 핀 가이드(28)와 마찰 및 정전기에 의하여 상기 리프트 핀(20)이 하강하지 않게 된다.
이와 같이 상기 리프트 핀이(20) 하강하지 않게 되면, 상기 리프트 핀(20) 상에 놓여진 글라스의 파손 및 기울어짐으로 인하여 증착 유니포머티(Uniformity) 불량을 유발하게 된다.
본 발명은, 화학기상증착장비에 사용되는 리프트 핀에 탄성수단을 결합함으로써, 증착 공정중 리프트 핀의 동작 불량을 개선할 수 있는 리프트 핀 어셈블리 및 화학기상증착장비를 제공함에 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 리프트 핀 어셈블리는,
리프트 핀;
상기 리프트 핀 가장자리에 배치된 웨이트;
상기 리프트 핀의 상하 동작시 상기 리프트 핀을 가이드하는 리프트 핀 가이드; 및
상기 리프트 핀 가이드와 웨이트 사이에 배치되어 있는 탄성수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 탄성수단은 스프링이고, 상기 리프트 핀은 세라믹 재질로 형성되며, 상기 탄성수단은 상기 리프트 핀 가이드와 상기 웨이트에 탄성력을 인가하여 상기 리프트 핀이 용이하게 하강할 수 있도록 하고, 상기 탄성수단은 상기 리프트 핀이 상하 운동을 할 때, 상기 리프트 핀 가이드와 함께 상기 리프트 핀 가이드 역할을 하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 화학기상증착장비는,
상부 전극과 하부 전극으로 구성된 증착 챔버;
상기 증착 챔버의 하측에 배치되어 있는 지지플레이트;
상기 지지플레이트 상에 배치된 탄성수단이 체결된 리프트 핀 어셈블리; 및
상기 지지플레이트에 동력을 전달하여 상하 운동시키는 리프트 핀 바들을 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 리피트 핀 어셈블리는 글라스를 지지하는 리프트 핀과, 상기 리프트 핀이 상기 지지플레이트에 놓일 때, 기울어짐을 방지하기 위한 웨이트와, 상기 리프트 핀의 상하 운동을 가이드 하는 리프트 핀 가이드와, 상기 웨이트와 리 프트 핀 가이드 사이에 체결된 탄성수단으로 구성된 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 리프트 바들은 상기 증착 챔버 양측에 각각 배치되어, 상기 지지플레이트를 상하로 움직이는 제 1 리프트 바와 제 2 리프트 바로 구성되고, 상기 리프트 핀 가이드는 상기 하부 전극에 체결되어 상기 리프트 핀의 상하 운동을 가이드하며, 상기 탄성수단은 상기 리프트 핀이 상승할 때, 상기 리프트 핀을 가이드하는 역할을 하는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 탄성수단은 상기 리프트 핀이 하강할 때, 상기 리프트 핀에 고정되어 있는 웨이트에 탄성력을 인가하여 상기 리프트 핀이 용이하게 하강할 수 있도록 하고, 상기 탄성수단은 상기 리프트 핀이 상승될 때, 수축된 다음, 상기 리프트 핀이 하강할 때, 팽창하면서 상기 리프트 핀을 하강시키는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 리프트 핀 어셈블리에 체결된 탄성수단은 스프링이고, 상기 리프트 핀은 세라믹 재질로 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 화학기상증착장비에 사용되는 리프트 핀에 탄성수단을 결합함으로써, 증착 공정중 리프트 핀의 동작 불량을 개선할 수 있다.
이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 자세히 설명하도록 한다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 화학증착장비에서 글라스 기판이 증착 챔버 내에서 안착되는 과정을 도시한 도면이다.
도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 상부 전극과 하부 전극으로 구성된 증착 챔버(100)에 글라스 기판(121)이 로딩(loading)되면, 상기 증착 챔버(100)의 하 부에서 리프트 핀 어셈블리중 리프트 핀(120)이 상승한다.
상기 리프트 핀 어셈블리는 상기 리프트 핀(120)과 상기 리프트 핀(120)의 가장자리에 배치된 웨이트(weight: 128)와, 상기 증착 챔버(100)의 하부 전극에 체결되어 상하 방향으로 움직이는 리프트 핀(120)을 가이드하는 리프트 핀 가이드(미도시 도 5a참조)와, 상기 리프트 핀 가이드(미도시 도 5a 참조)와 웨이트(128) 사이에 배치된 탄성수단(150)으로 구성되어 있다.
그리고 상기 탄성수단(150)은 코일 형태의 스프링(spring)을 사용하며, 상기 리프트 핀(120)이 삽입될 수 있도록 하였고, 상기 리프트 핀(120)은 세라졸(cerazole)과 같은 세라믹(ceramic) 재질을 사용하였다.
상기 리프트 핀 어셈블리는 지지플레이트(130) 상에 배치되고, 상기 지지플레이트(130)는 상기 증착 챔버(100) 양측에 배치되어 있는 제 1 리프트 바(lift bar: 125a)와 제 2 리프트 바(lift bar: 125b)로부터 동력을 인가 받아 상하 방향으로 운동한다.
즉, 상기 지지플레이트(130)가 상승하기 위해서는 상기 제 1 리프트 바(125a)와 제 2 리프트 바(125b)에서 인가되는 동력에 의하여 상승되고, 하강할 때에도 제 1 리프트 바(125a)와 제 2 리프트 바(125b)에서 인가되는 동력에 의하여 하강된다.
이와 같이, 상기 지지플레이트(130)가 상하 방향으로 움직이면, 상기 지지플레이트(130) 상에 배치되어 있는 리프트 핀 어셈블리의 리프트 핀(120)도 상하 방향으로 움직이게 되어 증착 챔버(100) 내로 들어오는 글라스 기판(121)을 컨트롤한 다.
따라서, 도 4a를 참조하여 리프트 핀 어셈블리의 구체적인 동작을 설명하면, 상기 증착 챔버(100)에 박막을 증착하기 위한 글라스 기판(121)이 들어오면(loading), 상기 지지플레이트(130)를 상승시켜 상기 지지플레이트(130) 상에 배치되어 있는 리프트 핀(120)을 상승시켜 상기 글라스 기판(121)을 전달받는다.
그래서, 상기 증착 챔버(100) 내로 들어온 글라스 기판(121)은 상기 리프트 핀(130)들에 의해 지지된다. 이때, 상기 지지플레이트(130) 상에 배치되어 있는 리프트 핀 어셈블리의 탄성수단(150)이 수축된다.
상기 탄성수단(150)은 상기 리프트 핀(120)이 상승될 때, 리프트 핀 가이드 역할을 하여, 상승 중인 리프트 핀(120)이 상승 도중 기울어지지 않도록 한다.
상기에서와 같이, 리프트 핀(120) 상에 글라스 기판(121)이 놓이게 되면 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 글라스 기판(121)을 상기 증착 챔버(100)의 하부 전극(미도시 도 5a 참조) 상에 안착시키기 위하여 상기 지지플레이트(130)가 하강한다.
이와 같이, 상기 지지플레이트(130)가 하강하면, 상기 리프트 핀(120) 가장자리에 부착되어 있는 웨이트(128)가 중력에 의하여 하강하여 상기 리프트 핀(120)을 하강시킨다.
아울러, 본 발명에서는 리프트 핀 어셈블리에 탄성수단(150)이 배치되어 있고, 상기 도 4a에 도시된 바와 같이, 상기 리피트 핀(120) 상승 과정에서 수축되어 있던 상기 탄성수단(150)이 상기 지지플레이트(130)가 하강할 때, 팽창하여 상기 리프트 핀(120)을 하강시킨다.
즉, 상기 리프트 핀(120)에 고정된 웨이트(128)에 탄성수단(150)이 팽창하면서, 탄성력을 전달하면 그로인해 상기 리프트 핀(120)을 하강된다.
따라서, 종래 기술보다 보다 강한 힘에 의하여 상기 리프트 핀(120)을 하측 방향으로 하강시킬 수 있어, 상기 리프트 핀(120)이 용이하게 동작할 수 있다.
그리고 상기 리프트 핀(120)을 가이드하는 리프트 핀 가이드에 이물질, 마찰력 및 정전기가 발생하더라도 상기 탄성수단(150)의 강한 탄성력에 의해서 상기 리프트 핀(120)이 원활하게 움직일 수 있는 장점이 있다.
또한, 상기 리프트 핀(120)이 상하 방향으로 움직일 때, 증착 챔버(100)의 하부 전극 영역과 상기 리프트 핀(120) 가장자리에 배치된 웨이트(128) 사이에 탄성수단(150) 수축과 팽창을 하면서 상기 웨이트(128)를 상기 지지플레이트(130) 상에 고정시키는 역할을 한다.
즉, 도 4a에 도시된 바와 같이, 상기 리프트 핀(120)이 상승할 때, 탄성수단(150)이 수축되지만, 상기 탄성수단(150)이 상기 리프트 핀(120)에 체결된 웨이트(128)와 증착 챔버(100)의 하부 전극에 힘을 가하고 있기 때문에 상기 웨이트(128)가 안전하게 상기 지지플레이트(130) 상에 놓이게 된다.
그리고 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 리프트 핀(120)이 하강할 때, 탄성수단(150)이 팽창하면서, 상기 리프트 핀(120)을 용이하게 하강시킬 수 있는 역할도 하지만, 상기 웨이트(128)에 탄성력을 가하고 있으므로, 상기 웨이트(128)가 상 기 지지플레이트(130) 상에 안전하게 놓일 수 있게 된다.
따라서, 본 발명의 리프트 핀 어셈블리는 탄성수단(150)에 의해서 용이하게 리프트 핀(120)을 움직일 수 있도록 하면서, 상기 리프트 핀(120)을 지지하는 웨이트(128)를 항상 지지플레이트(130) 상에 밀착되도록 하기 때문에 리프트 핀(120)의 동작 신뢰성이 개선된다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 리프트 핀 어셈블리의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 증착 챔버의 하부 전극(101)에는 리프트 핀(120)을 용이하게 상하 운동시킬 수 있는 리프트 핀 가이드(127)가 체결되어 있다.
그리고 상기 리프트 핀 가이드(127)에는 리프트 핀(120)이 삽입되어 있어, 상기 하부 전극(101)의 표면으로부터 상부로 상하 운동을 할 수 있도록 되어 있다.
또한, 상기 하부 전극(101)의 하측에는 상기 리프트 핀(120)을 상하 방향으로 움직이는 지지플레이트(130)가 배치되어 있고, 상기 리프트 핀(120)의 가장자리에는 웨이트(128)가 부착되어 있어 상기 리프트 핀(120)이 상기 지지플레이트(130) 상에 안전하게 배치되어 있다.
그리고 상기 리프트 핀(120)에는 탄성수단(150)이 삽입되어 있는데, 상기 탄성수단(150)은 상기 리프트 핀 가이드(127)와 웨이트(128) 사이에 위치되어, 상기 리프트 핀(120)이 상승할 때에는 상기 리프트 핀 가이드(127)와 같이 리프트 핀(120) 가이드 역할을 한다.
따라서, 상기와 같은 구성을 갖는 리프트 핀 어셈블리의 동작 과정을 도 5a를 참조하여 설명하면, 상기 지지플레이트(130)가 상승하게 되면 상기 리프트 핀 가이드(127)와 웨이트(128) 사이에 배치된 탄성수단(150)이 수축하게 된다.
이때, 상기 리프트 핀(120)은 상기 리프트 핀 가이드(127)와 상기 탄성수단(150)에 삽입된 구조를 하고 있으므로, 상기 리프트 핀(120)이 상승하거나 하강하는 동안 상기 리프트 핀 가이드(127)와 상기 탄성수단(150)에 의하여 가이드되기 때문에 상기 리프트 핀(120)이 기울어지지 않고 상하방향으로 움직일 수 있게 된다.
또한, 상기 지지플레이트(128)가 상승할 때, 상기 탄성수단(150)은 상기 리프트 핀 가이드(127)와 웨이트(128) 사이에서 수축되기 때문에 상기 웨이트(128)가 상기 지지플레이트(128) 상에 밀착되어 고정된다.
그래서, 상기 리프트 핀(120)이 상승될 때, 상기 탄성수단(150)의 작용으로 인하여 기울어짐이 없이 상승되기 때문에 작업 특성이 좋아진다.
그리고 도 5b에 도시된 바와 같이, 리프트 핀(120)을 하강시킬 때에는 상기 지지플레이트(130)를 하강시키는데, 이때, 상기 리프트 핀(120)의 가장자리에 체결되고, 상기 지지플레이트(130) 상에 놓여있는 웨이트(128)가 중력에 의하여 하강한다.
상기 웨이트(128)가 중력에 의하여 하강하면, 상기 웨이트(128)와 연결되어 있는 리프트 핀(120)을 하강시키게 된다.
또한, 본 발명에서는 상기 웨이트(128)와 리프트 핀 가이드(127) 사이에 수 축된 탄성수단(150)이 배치되어 있어 상기 지지플레이트(130)가 하강할 때 수축된 탄성수단(150)이 팽창하면서 상기 웨이트(128)의 하측 방향으로 탄성력을 전달한다.
그로 인하여 상기 리프트 핀(120)이 하강할 때, 상기 웨이트(128)의 중력과 상기 탄성수단(150)의 탄성력이 함께 작용하여, 보다 강한 힘으로 상기 리프트 핀(120)을 하강시키게 된다.
따라서, 상기 하부 전극(101)에 체결되어 있는 리프트 핀 가이드(127)에 이물질 또는 상기 리프트 핀(120)과의 마찰력, 정전기 등이 발생하여 상기 리프트 핀(120)이 원활하게 움직이기 어려운 상태이더라도, 수축된 상기 탄성수단(150)에서 전달된 강한 탄성력에 의하여 상기 리프트 핀(120)이 용이하게 움직이게 된다.
그리고, 상기 리프트 핀(120)이 하강할 때에도 상기 탄성수단(150)이 웨이트(128)에 탄성력을 인가하기 때문에, 상기 지지플레이트(130)와 웨이트(128)가 떨어지지 않고 안정적으로 밀착된 상태에서 상기 리프트 핀(120)이 하강할 때 기울어지는 현상이 발생하지 않는다.
이와 같이, 증착 공정에서 상기 리프트 핀(120)이 기울어짐이 없이 일정하게 상승하고 하강하기 때문에 작업중 글라스 기판이 파손될 위험이 줄어든다.
따라서, 본 발명에서는 화학기상증착장비에서 박막 증착 공정을 진행할 때 상하 동작을 빈번하게 하는 리프트 핀에 탄성수단을 추가적으로 배치함으로써, 공정중 리프트 핀 동작 불량을 방지할 수 있는 이점이 있다.
이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명은 화학기상증착장비에 사용되는 리프트 핀에 탄성수단을 결합함으로써, 증착 공정중 리프트 핀의 동작 불량을 개선할 수 있는 효과가 있다.
또한, 탄성수단이 상하 운동을 하는 리프트 핀을 가이드하는 역할을 하여 기울어짐이 없이 일정하게 상하 운동을 할 수 있게 되는 이점이 있다.
본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않고, 이하 청구 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.

Claims (14)

  1. 리프트 핀;
    상기 리프트 핀 가장자리에 배치된 웨이트;
    상기 리프트 핀의 상하 동작시 상기 리프트 핀 가이드하는 리프트 핀 가이드; 및
    상기 리프트 핀 가이드와 웨이트 사이에 배치되어 있는 탄성수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 어셈블리.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성수단은 스프링인 것을 특징으로 하는 리프트 핀 어셈블리.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 리프트 핀은 세라믹 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 리프트 핀 어셈블리.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성수단은 상기 리프트 핀 가이드와 상기 웨이트에 탄성력을 인가하여 상기 리프트 핀이 용이하게 하강할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 어셈블리.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성수단은 상기 리프트 핀이 상하 운동을 할 때, 상기 리프트 핀 가이드와 함께 상기 리프트 핀을 가이드 하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 어셈블리.
  6. 상부 전극과 하부 전극으로 구성된 증착 챔버;
    상기 증착 챔버의 하측에 배치되어 있는 지지플레이트;
    상기 지지플레이트 상에 배치되며, 탄성수단이 체결된 리프트 핀 어셈블리; 및
    상기 지지플레이트에 동력을 전달하여 상하 운동시키는 리프트 핀 바들을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장비.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 리피트 핀 어셈블리는 글라스를 지지하는 리프트 핀과, 상기 리프트 핀이 상기 지지플레이트에 놓일 때, 기울어짐을 방지하기 위한 웨이트와, 상기 리프트 핀의 상하 운동을 가이드하는 리프트 핀 가이드와, 상기 웨이트와 리프트 핀 가이드 사이에 체결된 탄성수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 화학기상증착장비.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 리프트 바들은 상기 증착 챔버 양측에 각각 배치되어, 상기 지지플레이 트를 상하로 움직이는 제 1 리프트 바와 제 2 리프트 바로 구성된 것을 특징으로 하는 화학기상증착장비.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 리프트 핀 가이드는 상기 하부 전극에 체결되어 상기 리프트 핀의 상하 운동을 가이드하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장비.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 탄성수단은 상기 리프트 핀이 상승할 때, 상기 리프트 핀을 가이드하는 역할을 하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장비.
  11. 제 7 항에 있어서,
    상기 탄성수단은 상기 리프트 핀이 하강할 때, 상기 리프트 핀에 고정되어 있는 웨이트에 탄성력을 인가하여 상기 리프트 핀이 용이하게 하강할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장비.
  12. 제 7 항에 있어서,
    상기 탄성수단은 상기 리프트 핀이 상승될 때, 수축된 다음, 상기 리프트 핀이 하강할 때, 팽창하면서 상기 리프트 핀을 하강시키는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장비.
  13. 제 6 항에 있어서,
    상기 리프트 핀 어셈블리에 체결된 탄성수단은 스프링인 것을 특징으로 하는 화학기상증착장비.
  14. 제 7 항에 있어서,
    상기 리프트 핀은 세라믹 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 화학기상증착장비.
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