KR20070069428A - 평판 표시장치 제조용 기판 가이드 장치 - Google Patents

평판 표시장치 제조용 기판 가이드 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판과 가이드 핀간의 마찰에 의한 불량을 방지할 수 있도록 한 평판 표시장치의 제조장치용 기판 가이드 장치에 관한 것으로서, 기판이 안착되는 공정 플레이트와, 상기 공정 플레이트를 관통하여 상기 기판의 가장자리를 가이드함과 아울러 지지하는 복수의 가이드 핀과, 상기 복수의 가이드 핀에 설치되어 상기 기판의 배면을 지지하는 패드부와, 상기 복수의 가이드 핀을 상승 및 하강시키기 위한 구동장치를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
가이드 핀, 패드, 산화피막, 테프론, 리프트 핀

Description

평판 표시장치 제조용 기판 가이드 장치{SUBSTRATE GUIDE DEVICE FOR FABRICATION FLAT PANEL DISPLAY}
도 1은 종래기술에 의한 평판 표시장치의 제조장치용 기판 가이드 장치를 개략적으로 나타낸 평면도
도 2는 도 1에 도시된 Ⅰ-Ⅰ'선의 단면을 나타낸 단면도
도 3은 도 2에 도시된 가이드 핀을 나타낸 도면
도 4는 본 발명에 의한 평판 표시장치의 제조장치용 기판 가이드 장치를 나타낸 도면
도 5는 본 발명에 의한 평판 표시장치의 제조장치용 기판 가이드 장치에서 가이드 핀을 나타낸 도면
도 6은 본 발명에 의한 평판 표시장치의 제조장치용 기판 가이드 장치에서 패드부를 나타낸 도면
도면의 주요 부분에 대한 부호설명
110 : 공정 플레이트 120 : 기판
130 : 리프트 핀 140 : 가이드 핀
142 : 기판 안착부 143 : 나사홈
144 : 경사부 145 : 패드부
146 : 나사형 돌기 147 : 패드
150 : 구동장치 152 : 구동축
본 발명은 평판 표시장치의 제조장치에 관한 것으로, 특히 기판과 가이드 핀간의 마찰에 의한 불량을 방지할 수 있도록 한 평판 표시장치의 제조장치용 기판 가이드 장치에 관한 것이다.
최근에는 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 대두되고 있다. 이러한 평판 표시장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display), 전계방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel) 및 발광 표시장치(Light Emitting Display) 등이 있다.
통상, 액정 표시장치는 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 화상신호에 해당하는 화상을 액정패널 상에 표시하게 된다. 이를 위해, 액정패널은 액정층에 전계를 인가하기 위한 전극들, 액정셀 별로 데이터 공급을 절환하기 위한 박막 트랜지스터, 외부에서 공급되는 데이터를 액정셀들에 공급하는 신호배선 및 박막 트랜지스터의 제어신호를 공급하기 위한 신호배선 등이 형성된 하판과, 컬러필터 등이 형성된 상판과, 상판과 하판 사이에 형성되어 일정한 셀 갭을 확보하는 스페이서와, 스페이서에 의해 상하판 사이에 마련된 공간에 채워진 액정으로 구성된다.
이러한, 액정패널의 상판 및 하판 각각은 유리등의 재질로 이루어지는 투명기판 상에 수 차례에 걸친 박막의 증착공정, 패터닝 공정 및 식각 공정을 통하여 제조된다.
이와 같은 액정패널의 각 제조공정을 진행하는 장치 중 스퍼터링 증착장치, 화학기상증착장치, 건식 식각 및 포토장치 각각은 외부로부터 공정장치로 로딩되는 기판을 공정 플레이트 상에 안착시키기 위한 기판 가이드 장치를 포함하여 구성된다.
도 1은 종래기술에 의한 평판 표시장치의 제조장치용 기판 가이드 장치를 개략적으로 나타낸 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 Ⅰ-Ⅰ'선의 단면을 나타낸 단면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 공정 플레이트(10)와, 공정 플레이트(10)를 관통하여 기판(20)의 배면 중앙부를 지지하는 리프트 핀(30)과, 공정 플레이트(10)를 관통하여 기판(20)의 가장자리를 가이드함과 아울러 지지하는 복수의 가이드 핀(40)과, 복수의 리프트 핀(30)과 복수의 가이드 핀(40)을 상승 및 하강시키기 위한 구동장치(50)를 구비한다.
상기 공정 플레이트(10)는 증착공정, 패터닝 공정 및 식각공정을 진행하기 위한 기판(20)이 안착된다.
상기 복수의 리프트 핀(30)은 구동장치(50)의 구동에 의해 도시하지 않은 로봇 암에 의해 공정 플레이트(10) 상에 로딩된 기판(20)의 배면 중앙부를 지지한다.
또한, 복수의 리프트 핀(30)은 기판(20)의 로딩 후 로봇 암이 외부로 빠져나 갈 수 있도록 로봇 암에 안착된 기판을 들어올린 후 기판(20)을 공정 플레이트(10)에 안착시키거나 공정 플레이트(10)에 안착된 기판(20)을 언로딩 위치로 상승시키는 역할을 한다.
여기서, 상기 복수의 리프트 핀(30)은 기판(20)의 제조 공정에 따라 공정진행시 기판(20)을 상승시킨 상태를 유지할 수 있다.
상기 복수의 가이드 핀(40)은 구동장치(50)에 의해 연동되는 구동축(52)에 나사결합되어 구동장치(50)의 구동에 의해 공정 플레이트(10) 상에 로딩된 기판(20)의 배면 가장자리를 지지함과 아울러 기판(20)의 측면을 가이드한다.
또한, 복수의 가이드 핀(40)은 구동장치(50)에 의해 연동되어 지지됨과 아울러 가이드된 기판(20)을 공정 플레이트(10)에 안착시키거나 공정 플레이트(10)에 안착된 기판(20)을 언로딩 위치로 상승시키는 역할을 한다.
이를 위해, 복수의 가이드 핀(40) 각각은 도 3에 도시한 바와 같이 구동축(52)에 나사결합되고, 기판(20)의 배면 가장자리가 안착되는 기판 안착부(42)와, 기판(20)이 기판 안착부(42)에 안착될 수 있도록 기판(20)의 측면을 가이드하는 경사부(44)을 포함하여 구성된다.
여기서, 복수의 가이드 핀(40) 각각은 세라졸(Cerazole) 재질로 이루어진다.
상기 구동장치(50)는 외부로부터 공정 플레이트(10) 상에 기판(20)이 로딩될 경우 상기 복수의 리프트 핀(30) 및 상기 복수의 가이드 핀(40)을 상승시켜 상기 기판(20)을 지지하고, 지지된 기판(20)을 공정 플레이트(10) 상에 안착시키기 위하여 상기 복수의 리프트 핀(30) 및 상기 복수의 가이드 핀(40)을 하강시킨다. 또 한, 상기 구동장치(50)는 공정 플레이트(10) 상에 기판(20)이 언로딩될 경우 로딩과 반대로 상기 복수의 리프트 핀(30) 및 상기 복수의 가이드 핀(40)을 구동시킨다.
그러나 상기와 같은 종래기술에 의한 평판 표시장치의 제조장치용 기판 가이드 장치에 있어서 다음과 같은 문제점이 있었다.
첫째, 기판(20)을 상승 및 하강시 비교적 경질인 복수의 가이드 핀(40)과 기판(20)간의 마찰에 의해 기판(20)이 손상되는 문제점이 있다.
둘째, 복수의 가이드 핀(40)의 마모로 인한 주기적인 교체시 구동축(52)과 가이드 핀(40)의 분리 및 조립을 통해 교체하므로 교체 작업시간이 많이 소요되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판과 가이드 핀간의 마찰에 의한 불량을 방지할 수 있도록 한 기판 가이드 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 평판 표시장치의 제조용 기판 가이드 장치는 기판이 안착되는 공정 플레이트와, 상기 공정 플레이트를 관통하여 상기 기판의 가장자리를 가이드함과 아울러 지지하는 복수의 가이드 핀과, 상기 복수의 가이드 핀에 설치되어 상기 기판의 배면을 지지하는 패드부와, 상기 복수의 가이드 핀을 상승 및 하강시키기 위한 구동장치를 포함하여 구성됨을 특징으 로 한다.
이하에서, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명의 실시 예에 따른 평판 표시장치의 제조용 기판 가이드 장치를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 평판 표시장치의 제조장치용 기판 가이드 장치를 나타낸 도면이고, 도 5는 도 4에 도시된 가이드 핀을 나타낸 도면이다.
도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 공정 플레이트(110)와, 공정 플레이트(110)를 관통하여 기판(120)의 배면 중앙부를 지지하는 리프트 핀(130)과, 공정 플레이트(110)를 관통하여 기판(120)의 가장자리를 가이드함과 아울러 지지하는 복수의 가이드 핀(140)과, 복수의 가이드 핀(140)의 기판 안착부(142)에 설치되어 상기 기판(120)의 배면 가장자리를 지지하는 패드부(145)와, 복수의 리프트 핀(130)과 복수의 가이드 핀(140)을 상승 및 하강시키기 위한 구동장치(150)를 구비한다.
상기 공정 플레이트(110)는 액정 표시장치, 전계방출 표시장치, 플라즈마 표시 패널 및 발광 표시장치를 포함하는 평판 표시장치를 제조 공정 중 증착공정, 패터닝 공정 및 식각공정을 진행하기 위한 기판(120)이 안착된다.
상기 복수의 리프트 핀(130)은 구동장치(150)의 구동에 의해 도시하지 않은 로봇 암에 의해 공정 플레이트(110) 상에 로딩된 기판(120)의 배면 중앙부를 지지한다.
여기서, 복수의 리프트 핀(130)은 알루미늄 재질로 이루어지며, 그 표면은 산화피막처리(Anodizing)되어 형성된다.
또한, 복수의 리프트 핀(130)은 기판(120)의 로딩 후 로봇 암이 외부로 빠져 나갈 수 있도록 로봇 암에 안착된 기판을 들어올린 후 기판(120)을 공정 플레이트(110)에 안착시키거나 공정 플레이트(110)에 안착된 기판(120)을 언로딩 위치로 상승시키는 역할을 한다.
한편, 상기 복수의 리프트 핀(130)은 기판(120)의 제조 공정에 따라 공정진행시 기판(120)을 상승시킨 상태를 유지할 수 있다.
상기 복수의 가이드 핀(140)은 구동장치(150)에 의해 연동되는 구동축(152)에 나사결합되어 구동장치(150)의 구동에 의해 공정 플레이트(110) 상에 로딩된 기판(120)의 배면 가장자리를 지지함과 아울러 기판(120)의 측면을 가이드한다.
또한, 복수의 가이드 핀(140)은 구동장치(150)에 의해 연동되어 지지됨과 아울러 가이드된 기판(120)을 공정 플레이트(110)에 안착시키거나 공정 플레이트(110)에 안착된 기판(120)을 언로딩 위치로 상승시키는 역할을 한다.
이를 위해, 복수의 가이드 핀(140) 각각은 구동축(152)에 나사결합되고, 기판(120)의 배면 가장자리가 안착되는 기판 안착부(142)와, 기판(120)이 기판 안착부(142)에 안착될 수 있도록 기판(120)의 측면을 가이드하는 경사부(144)과, 기판 안착부(142)에 형성되어 패드부(143)가 설치되는 나사홈(143)을 포함하여 구성된다.
상기 복수의 가이드 핀(140) 각각은 금속재질로 이루어지며, 그 표면은 산화피막처리(Anodizing)되어 형성된다. 여기서, 복수의 가이드 핀(140) 각각은 패드부(145)에 의해 기판(20)과 직접 접촉되지 않기 때문에 산화피막처리된 금속재질을 사용함으로써 부품 비용을 감소시킬 수 있다. 바람직하게 복수의 가이드 핀(140) 각각은 알루미늄 재질로 이루어진다.
상기 패드부(145)는 기판(120)의 배면 가장자리를 지지하는 패드(147)와, 패드(147)의 배면에 돌출되어 복수의 가이드 핀(140)에 형성된 나사홈(143)에 체결되는 나사형 돌기(146)를 포함하여 구성된다.
패드(147)는 테프론(Teflon) 재질로 이루어진다. 나사형 돌기(146)는 복수의 가이드 핀(140)의 기판 안착부(142)에 형성된 나사홈(143)에 체결됨으로써 패드(147)를 가이드 핀(140)에 고정한다.
상기 구동장치(150)는 외부로부터 공정 플레이트(110) 상에 기판(120)이 로딩될 경우 상기 복수의 리프트 핀(130) 및 상기 복수의 가이드 핀(140)을 상승시켜 상기 기판(120)을 지지하고, 지지된 기판(120)을 공정 플레이트(110) 상에 안착시키기 위하여 상기 복수의 리프트 핀(130) 및 상기 복수의 가이드 핀(140)을 하강시킨다. 또한, 상기 구동장치(150)는 공정 플레이트(110) 상에 기판(120)이 언로딩될 경우 로딩과 반대로 상기 복수의 리프트 핀(130) 및 상기 복수의 가이드 핀(140)을 구동시킨다.
한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의한 평판 표시장치의 제조장치용 기 판 가이드 장치는 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 복수의 가이드 핀의 기판 안착부에 패드부를 이용하여 기판을 가이드함으로써 기판의 상승 및 하강시 기판과 패드부가 접촉되어 정전기로 인한 기판의 불량을 방지할 수 있다.
둘째, 패드부로 기판을 지지하기 때문에 기판의 상승 및 하강시 충격으로 인한 기판의 손상을 방지할 수 있다.
셋째, 가이드 핀의 주기적인 교체시 패드부만을 교체하기 때문에 교체 작업이 용이하고 교체시간을 단축시킬 수 있다.

Claims (7)

  1. 기판이 안착되는 공정 플레이트와,
    상기 공정 플레이트를 관통하여 상기 기판의 가장자리를 가이드함과 아울러 지지하는 복수의 가이드 핀과,
    상기 복수의 가이드 핀에 설치되어 상기 기판의 배면을 지지하는 패드부와,
    상기 복수의 가이드 핀을 상승 및 하강시키기 위한 구동장치를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판 표시장치의 제조용 기판 가이드 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 복수의 가이드 핀 각각은,
    상기 패드부가 설치되는 기판 안착부와,
    상기 기판이 상기 기판 안착부에 안착될 수 있도록 가이드하는 경사부와,
    상기 기판 안착부에 형성되어 상기 패드부가 설치되는 나사홈을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판 표시장치의 제조용 기판 가이드 장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 복수의 가이드 핀 각각은 금속재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 제조용 기판 가이드 장치.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 복수의 가이드 핀 각각의 표면에는 산화피막처리된 금속재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 제조용 기판 가이드 장 치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 패드부는,
    상기 기판을 지지하는 패드와,
    상기 패드로부터 돌출되어 상기 나사홈에 체결되는 나사형 돌기를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판 표시장치의 제조용 기판 가이드 장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 패드는 테프론(Teflon) 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 제조용 기판 가이드 장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 구동장치에 의해 구동되어 상기 공정 플레이트를 관통하여 상기 기판의 배면 중앙부를 지지하는 복수의 리프트 핀을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판 표시장치의 제조용 기판 가이드 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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