KR20110136042A - 도광판 패턴 습식식각장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 도광판 패턴 습식식각장치에 관한 것으로서, 도광판과 마스크를 함께 지지하는 도광판 지지프레임을 수용하며, 식각액이 공급 및 배출되는 식각조와; 상기 식각조의 하부영역에 위치하여 자력에 의해 상기 마스크를 상기 도광판에 밀착시키는 구동자석을 갖는 자기밀착부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

도광판 패턴 습식식각장치{PATTERN WET ETCHING APPARATUS FOR LIGHT GUIDE PLATE }
본 발명은 식각 챔버에 관한 것으로, 구체적으로는 도광판의 패턴을 가공할 수 있는 도광판 패턴 습식식각 챔버에 관한 것이다.
최근 디스플레이장치의 기술이 발전하면서 평판 표시장치가 소형화되고 경량화되고 있다. 특히, 액정표시장치(LCD)는 기존의 CRT 방식에 비해 박막으로 제조가 가능하여 부피가 작고 전력소비가 적어 기존의 CRT 방식의 브라운관을 대체하는 수단으로 자리잡고 있다.
액정표시장치(LCD)에 사용되는 액정은 스스로 발광하지 못하는 수광소자이므로 액정을 발광시키기 위한 별도의 광원이 요구된다. 액정표시장치에 사용되는 광원은 선광원인 냉음극 형광램프(CCFL)이 사용되었으나 최근 점광원인 LED로 변화되고 있다.
액정표시장치는 디스플레이 전면의 휘도 분포룰 균일하게 하기 위해 도광판이 사용된다. 도광판은 광원에서 입사된 선광원 또는 점광원을 면광원으로 변경한다. 광원으로부터 도광판 내부로 유입된 광은 반사, 전반사, 굴절, 투과 등의 광학적 과정의 반복으로 불균일한 광분포를 가지는데, 이를 균일한 밝기로 유도하고 광손실을 줄이기 위해 2차원적인 광분산 패턴을 이용하여 면광원을 형성한다.
종래 도광판의 패턴을 형성하기 위해서는 패턴이 형성된 사출코어에 사출수지를 주입하여 사출성형하거나, 도광판 패널에 레이져를 이용하여 패턴을 가공하였다.
그러나, 도광판 패널에 패턴을 음각으로 형성할 경우, 사출성형 또는 레이져를 이용한 가공에서 패턴의 정확성과 정밀성이 떨어지는 문제가 있었다.
본 발명의 목적은 상술한 문제를 해결하기 위한 것으로, 도광판에 음각 패턴을 식각을 통해 정확하게 가공할 수 있는 도광판 패턴 습식식각 장치를 제공하는 것이다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일면은 도광판 패턴 습식식각 장치에 관한 것이다. 본 발명의 도광판 패턴 습식식각장치는, 도광판과 마스크를 함께 지지하는 도광판 지지프레임을 수용하며, 식각액이 공급 및 배출되는 식각조와; 상기 식각조의 하부영역에 위치하여 자력에 의해 상기 마스크를 상기 도광판에 밀착시키는 구동자석을 갖는 자기밀착부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
일 실시예에 따르면, 상기 자기밀착부는 상기 구동자석을 이동시켜 상기 마스크로 자력을 작용시키는 자기구동부를 포함한다.
일 실시예에 따르면, 상기 자기구동부는, 상기 구동자석을 수평방향에서 수직방향으로 회전시켜 상기 마스크로 인가되는 자력을 조절한다.
일 실시예에 따르면, 상기 구동자석은 복수개의 자석이 횡방향으로 인접하게 복수의 열로 배치되고, 상기 자기구동부는 상기 복수개의 자석의 극성이 서로 반대되거나 일치되도록 복수의 열의 구동자석을 교호적으로 이동시켜 상기 마스크로 인가되는 자력을 조절한다.
일 실시예에 따르면, 상기 자기구동부는 상기 구동자석을 상하로 이동시켜 상기 마스크로 인가되는 자력을 조절한다.
일 실시예에 따르면, 상기 자기구동부는 상기 구동자석과 상기 식각조 사이로 자기차폐판을 삽입 및 분리시켜 상기 마스크로 인가되는 자력을 조절한다.
일 실시예에 따르면, 상기 자기밀착부는 상기 구동자석과 이격되게 배치되는 제2구동자석을 더 포함하고, 상기 제2구동자석을 상하로 승강시켜 상기 구동자석과의 간격을 조절하여 상기 마스크로 인가되는 자력을 조절한다.
한편, 본 발명의 목적은 도광판 패턴 습식식각 방법에 의해 달성될 수도 있다. 본 발명에 따른 도광판 패턴 습식식각 방법은, 식각조에 도광판을 로딩하는 단계와; 상기 도광판 상부에 마스크를 적재하고, 자력에 의해 마스크를 상기 도광판에 밀착시키는 단계와; 식각액을 공급하여 도광판에 패턴을 식각하고, 식각액을 배출하는 단계와; 자력을 해지하여 마스크를 도광판으로부터 분리하는 단계와; 패턴이 형성된 도광판을 식각조로부터 언로딩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 도광판 패턴 습식 식각 장치는 식각액에 의해 식각하여 음각형상의 패턴을 빠르고 정밀하게 형성할 수 있다.
그리고, 자력에 의해 마스크를 도광판 상에 밀착시켜 원하지 않는 부분이 식각되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 도광판 패턴 습식식각장치의 구성을 개략적으로 도시한 개략도,
도 2와 도3은 본 발명의 도광판 패턴 습식식각장치에 사용되는 도광판의 다양한 실시예의 단면구성을 개략적으로 도시한 단면도,
도 4는 본 발명의 도광판 패턴 습식식각장치에 사용되는 마스크의 단면구성을 도시한 단면도,
도 5 내지 도8은 본 발명의 도광판 패턴 습식식각 장치에 사용되는 마스크의 다양한 실시예를 도시한 평면도,
도 9 내지 도14는 본 발명의 도광판 패턴 습식식각장치의 자기결합 구동부의 다양한 실시예를 도시한 예시도,
도 15a 내지 16b은 본 발명의 도광판 패턴 습식식각장치의 패턴형성과정을 도시한 예시도,
도 17은 본 발명의 도광판 패턴 습식식각장치의 패턴형성과정을 도시한 흐름도,
도 18과 19는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도광판 패턴 습식식각장치의 작동과정을 도시한 개략도이다.
본 발명을 충분히 이해하기 위해서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상세히 설명하는 실시예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공 되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어 표현될 수 있다. 각 도면에서 동일한 부재는 동일한 참조부호로 도시한 경우가 있음을 유의하여야 한다. 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.
도1은 본 발명에 따른 도광판 패턴 습식식각 장치(100)의 구성을 개략적으로 도시한 개략도이다.
도시된 바와 같이 도광판 패턴 습식식각 장치(100)는 내부에 도광판(121)이 로딩 및 언로딩되며 식각액이 공급 및 배출되는 식각조(110)와, 식각조(110)의 내부에 배치되며 도광판(121)과 마스크(123)를 지지하는 도광판 지지프레임(120)과, 식각조(110)의 하부영역에 배치되며 자력을 작용시켜 마스크(123)를 도광판(121)에 밀착시키는 자기밀착부(130)와, 식각조(110)로 식각액을 공급 및 배출시키는 습식식각액 공급부(140) 및 습식식각액 배출부(150)와, 습식식각에 의해 발생된 이물질을 배출시키는 초음파 진동부(160)와, 자기밀착부(130)를 구동하는 자기결합 구동부(170)와, 각 구성들을 제어하는 시스템제어부(180)를 포함한다.
식각조(110)는 도광판(121)을 수용할 수 있는 수용공간을 갖도록 형성된다. 식각조(110)는 도면에 도시되지 않았으나 습식식각액 공급부(140)로부터 식각액이 공급되는 공급구(미도시)와 습식식객액 배출부(150)로 식각액이 배출되는 배출구(미도시)를 구비한다.
도광판 지지프레임(120)은 식각조(110) 내부에 배치되며 도광판(121)이 습식식각이 진행되는 동안 위치가 고정되도록 지지한다. 도광판 지지프레임(120)은 도광판(121)의 형상에 대응되는 형상으로 구비되며, 도광판(121)의 높이와 마스크(123)의 높이를 합한 높이보다 높게 구비되는 것이 바람직하다.
도광판(121)은 도광판 지지프레임(120) 내부에 로딩되어 식각액에 의해 패턴형상(a)이 습식식각되고, 도광판 지지프레임(120) 외부로 언로딩된다. 도2와 도3은 본 발명에 따른 도광판(121)의 실시예를 도시한 예시도이다. 도광판(121)은 일정 두께를 갖도록 구비되며 도2에 도시된 바와 같이 상면에 보호필름(121a)이 구비될 수 있다. 이러한 보호필름(121a)은 도3에 도시된 바와 같이 도광판(121)의 하부영역(121b)에도 구비될 수 있다.
도4는 마스크(133)의 단면구성을 도시한 단면도이다. 도시된 바와 같이 마스크(123)의 판면에는 도광판(A)의 패턴에 대응하는 패턴형상(123a)이 관통형성된다. 마스크(123)는 금속재질로 구비되어 자기밀착부(130)의 자력에 의해 도광판(121) 표면에 밀착된다.
마스크(123)의 하부에는 금속층(124)이 구비될 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이 마스크(123)가 금속재질로 구비될 경우 자기밀착부(130)에 의해 도광판(121)에 밀착될 수 있으나, 마스크(123)가 비금속재질로 구비될 경우 자력이 미치지 못하므로 마스크(123)가 도광판(121)에 밀착될 수 없다. 따라서, 마스크(123)의 하부에 금속층(124)을 결합시켜 자기밀착부(130)의 자력이 미치도록 한다.
도5 내지 도8은 마스크(123)의 다양한 평면구성을 도시한 실시예들이다. 도5에 도시된 바와 같이 바람직한 실시예에 따른 마스크(123)는 패턴형상(123a)이 전 영역에 걸쳐 균일한 크기로 일정 간격으로 배치된다.
반면, 도6에 도시된 제1실시예에 따른 마스크(123')는 판면에 패턴형상(123a')이 서로 다른 크기로 구비된다. 즉, 패턴형상(123a')이 마스크(123')의 가운데 영역으로 갈수록 크기가 점차 커지도록 구비된다. 이러한 패턴형상(123a')은 도광판(A)과 광원과의 거리에 따른 암부가 발생되는 것을 감소시킬 수 있다.
한편, 도7에 도시된 제2실시예에 따른 마스크(123")는 패턴형상(123a")이 일정 길이를 갖는 장공 형태로 구비될 수 있다. 또한, 이러한 장공 형상은 도8에 도시된 바와 같이 복수개로 분할된 패턴형상(123a''')으로 구현될 수도 있다.
마스크(123)의 패턴형상(123a)은 상술한 실시예 외에도 광원의 형태 및 형상에 따라 단면형상, 크기, 배치간격 등이 다양하게 구비될 수 있다.
자기밀착부(130)는 도광판(121)에 마스크(123)가 적재된 상태로 습식식각공정이 진행될 때 마스크(123)가 도광판(121)에 밀착되도록 자력을 발생시킨다. 습식식각공정이 진행되는 동안 마스크(123)와 도광판(121) 사이에 미세한 틈이 존재하는 경우, 틈을 통해 식각액이 유입되어 원하지 않는 부위가 식각되는 문제가 발생될 수 있다. 따라서, 자기밀착부(130)는 식각공정이 진행되는 동안 자력을 이용하여 마스크(123)를 도광판(121)의 판면에 밀착시켜 표면에 틈이 발생되지 않도록 한다.
자기밀착부(130)는 내부에 포함된 구동자석(131)이 마스크(123)로 인가하는 자력을 조절하여 마스크(123)를 도광판(121)에 밀착 또는 분리시킨다. 여기서, 구동자석(131)이 마스크(123)로 인가하는 자력은 자기결합 구동부(170)에 의해 조절된다.
도9 내지 도14는 본 발명에 따른 자기결합 구동부(170)의 다양한 실시예들을 도시한 예시도들이다.
도9에 도시된 본 발명의 제1실시예에 따른 자기결합 구동부(170a)는 서로 인접하게 배치된 복수개의 구동자석(131)의 배치방향을 변화시켜 마스크(123)로 인가되는 자력을 조절한다.
구동자석(131)은 자석커버(133) 내에 서로 다른 극성이 자석이 복수개가 배치된 상태로 복수개의 열로 구비된다. 자기결합 구동부(170a)는 도9a에 도시된 바와 같이 구동자석(131)이 수평한 상태로 배치된 경우 구동자석(131)의 자력이 상측에 위치한 식각조(110)를 통해 마스크(123)로 인가되도록 한다. 이에 의해 마스크(123)를 도광판(121)에 밀착시킨다.
반면, 자기결합 구동부(170a)는 구동자석(131)을 도9b에 도시된 바와 같이 수직한 방향으로 회전시킨 경우 구동자석(131)의 자력이 상대적으로 인접하게 배치된 구동자석을 향해 작용되므로 마스크(123)로 인가되는 자력은 약해진다. 이에 의해 마스크(123)가 도광판(121)으로부터 분리시킨다.
이를 위해 자기결합 구동부(170a)는 구동모터(171)와, 구동모터(171)와 복수개의 구동축(175)을 연결시키는 구동벨트(173)을 포함한다. 구동모터(171)의 회전시 구동벨트(173)가 회전되며 구동축(175)을 회전시킨다. 이에 의해 구동자석(131)이 수평방향에서 수직방향으로 방향이 전환되며 마스크(123)로 인가되는 자력이 조절된다.
도10에 도시된 본 발명의 제2실시예에 따른 자기결합 구동부(170b)는 서로 인접하게 복수개의 연로 배치된 구동자석(131)을 수평방향으로 이동시켜 자력이 인가되는 방향을 조절하여 마스크(123)로 인가되는 자력을 조절한다.
즉, 도10a에 도시된 바와 같이 이웃하는 열의 구동자석(131)이 서로 다른 전극으로 배치된 경우 구동자석(131) 간에 인력이 작용하므로 상대적으로 마스크(123)로 인가되는 자력은 약해진다.
반대로 도10b에 도시된 바와 같이 이웃하는 열의 구동자석(131)이 서로 동일한 전극으로 배치된 경우 구동자석(131) 간에 척력이 작용하므로 상대적으로 마스크(123)로 인가되는 자력이 커지므로 마스크(123)가 도광판(121) 표면에 밀착된다.
자기결합 구동부(170b)는 홀수열에 배치된 구동자석(131)을 짝수열에 배치된 구동자석(132)에 대해 위치를 이동시켜 자력을 조절한다. 이를 위해 홀수열에 배치된 구동자석(131)에 구동축(175a)를 결합시켜 좌우로 이동시키고, 전극의 방향을 조절한다.
도11에 도시된 본 발명의 제3실시예에 따른 자기결합 구동부(170c)는 자기밀착부(130a)가 식각조(110)와 같는 물리적인 간격을 조절하여 자력을 조절한다. 즉, 자기결합 구동부(170c)는 도11에 도시된 바와 같이 구동원(171b)과 결합된 승강축( 175b)에 의해 자기밀착부(130a)가 상하로 이동하며 자력을 조절한다. 자기밀착부(130a)가 아래에 위치한 경우 마스크(123)로 인가되는 자력이 상대적으로 약해지므로 마스크(123)가 도광판(121)으로부터 분리되고, 자기밀착부(130a)가 위로 상승한 경우 마스크(123)로 인가되는 자력이 커지므로 마스크(123)가 도광판(121)에 밀착된다.
도12에 도시된 본 발명의 제4실시예에 따른 자기결합 구동부(170d)는 자기밀착부(130)와 식각조(110) 사이에 자기차폐판(177)을 삽입 및 분리하여 자력을 조절한다. 자기결합 구동부(170d)는 금속재질의 자기차폐판(177)을 자기밀착부(130)와 식각조(110) 사이에 삽입할 경우 자기차폐판(177)으로 자력이 작용하므로 상대적으로 마스크(123)로 인가되는 자력이 약해진다. 반면, 자기차폐판(177)을 분리할 경우 자기밀착부(130)의 자력이 마스크(123)로 모두 인가되므로 마스크(123)가 도광판(121)에 밀착될 수 있다.
자기차폐판(177)은 구동축(176)에 의해 좌우로 이동되며 위치가 조절된다.
도13에 도시된 본 발명의 제5실시예에 따른 자기결합 구동부(170e)는 자기흡착부(130)에 평행하게 제2구동자석(178)을 구비하고, 승강축(178a)에 의해 제2구동자석(178)을 상하로 승강시켜 자력을 조절한다.
즉, 도13a에 도시된 바와 같이 제2구동자석(178)이 아래로 이동한 경우 구동자석(131)의 자력에 간섭이 발생되지 않으므로 마스크(123)로 자력이 인가된다. 이에 의해 마스크(123)가 도광판(121)에 흡착된다.
반면, 도13b에 도시된 바와 같이 제2구동자석(178)이 위로 상승한 경우 구동자석(131)과 제2구동자석(178) 간에 인력이 작용하므로 상대적으로 마스크(123)로 작용되는 자력이 감소된다. 이에 의해 마스크(123)가 도광판(121)으로부터 분리된다.
한편, 도14는 본 발명의 제6실시예에 따른 자기결합 구동부(170f)의 구성을 도시한 개략도이다. 도시된 바와 같이 제6실시예에 따른 자기결합 구동부(170f)는 전자석에 의해 자력을 인가한다. 즉, 스위치(179b)의 연결 여부에 따라 전원(179a)이 선택적으로 공급되며 전자석의 자력이 발생된다. 이에 의해 마스크(123)의 밀착여부가 조절된다.
이러한 구성을 갖는 본 발명에 따른 도광판 패턴 습식식각장치(100)의 도광판 패턴 형성과정을 도15 내지 도17을 참조하여 설명한다.
먼저, 도15a에 도시된 바와 같이 식각조(110)의 도광판 지지프레임(120)에 도광판(121)을 로딩한다(S110). 그리고, 도15b에 도시된 바와 같이 도광판(121) 상에 마스크(123)를 적재하고, 자기밀착부(130)를 구동시켜 마스크(123)를 도광판(121)에 밀착시킨다(S120).
그리고, 도16a에 도시된 바와 같이 식각조(110)에 식각액을 공급하여 도광판(121)에 패턴형상(a)을 습식식각한다(S130). 이 때, 초음파 진동부(150)는 패턴형상(a)을 식각할 때 발생되는 이물질이 진동에 의해 빠르게 외부로 배출되도록 초음파 진동을 발생한다.
패턴형상(a)의 식각이 완료되면 식각액을 습식 식각액 배출부(150)를 통해 배출한다. 식각액 배출이 완료되면 도16b에 도시된 바와 같이 자기결합을 해지하여 마스크(123)를 도광판(121)으로부터 분리한다(S140). 마스크(123) 분리가 완료되면 패턴형상(a)이 식각된 도광판(121)을 도광판 지지프레임(120)으로부터 분리하여 공정을 완료한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 도광판 패턴 습식 식각 장치는 식각액에 의해 식각하여 음각형상의 패턴을 빠르고 정밀하게 형성할 수 있다.
그리고, 자력에 의해 마스크를 도광판 상에 밀착시켜 원하지 않는 부분이 식각되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 도18과 19는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도광판 패턴 습식 식각장치(100a)의 작동과정을 개략적으로 도시한 개략도이다.
앞서 설명한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 도광판 패턴 습식 식각장치(100)가 자기밀착부(130)에 의해 마스크(123)를 도광판(121)에 밀착시킨 반면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 도광판 패턴 습식 식각장치(100a)는 가압핀(193)의 가압에 의해 마스크(123)를 밀착시킨다.
즉, 마스크가압부(190)는 가압헤드(191) 상에 결합된 복수개의 가압핀(193)이 도19에 도시된 바와 같이 마스크(123) 상으로 하강하며 개별적으로 가압하여 마스크(123)와 도광판(121)을 밀착시킨다. 가압헤드(191)는 구동실린더(195)에 결합된 승강축(194)이 상하로 이동하여 위치가 조절된다. 가압헤드(191)는 고정헤드구동부(197)의 구동에 의해 위치가 조절될 수 있다.
이상에서 설명된 본 발명의 도광판 패턴 습식 식각장치의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
100 : 도광판 습식식각장치 110 : 식각조
120 : 도광판 지지프레임 121 : 도광판
123 : 마스크 125 : 완충금속판
130 : 자기밀착부 131 : 구동자석
140 : 습식식각액 공급부 150 : 습식식각액 배출부
160 : 초음파 진동부 170 : 자기결합 구동부
180 : 시스템제어부

Claims (8)

  1. 도광판 패턴 습식식각장치에 있어서,
    도광판과 마스크를 함께 지지하는 도광판 지지프레임을 수용하며, 식각액이 공급 및 배출되는 식각조와;
    상기 식각조의 하부영역에 위치하여 자력에 의해 상기 마스크를 상기 도광판에 밀착시키는 구동자석을 갖는 자기밀착부를 포함하는 것을 특징으로 도광판 패턴 습식식각장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 자기밀착부는 상기 구동자석을 이동시켜 상기 마스크로 자력을 작용시키는 자기구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 도광판 패턴 습식식각장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 자기구동부는,
    상기 구동자석을 수평방향에서 수직방향으로 회전시켜 상기 마스크로 인가되는 자력을 조절하는 것을 특징으로 하는 도광판 패턴 습식식각장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 구동자석은 복수개의 자석이 횡방향으로 인접하게 복수의 열로 배치되고,
    상기 자기구동부는 상기 복수개의 자석의 극성이 서로 반대되거나 일치되도록 복수의 열의 구동자석을 교호적으로 이동시켜 상기 마스크로 인가되는 자력을 조절하는 것을 특징으로 하는 도광판 패턴 습식식각장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 자기구동부는 상기 구동자석을 상하로 이동시켜 상기 마스크로 인가되는 자력을 조절하는 것을 특징으로 하는 도광판 패턴 습식식각장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 자기구동부는 상기 구동자석과 상기 식각조 사이로 자기차폐판을 삽입 및 분리시켜 상기 마스크로 인가되는 자력을 조절하는 것을 특징으로 하는 도광판 패턴 습식식각장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 자기밀착부는 상기 구동자석과 이격되게 배치되는 제2구동자석을 더 포함하고, 상기 제2구동자석을 상하로 승강시켜 상기 구동자석과의 간격을 조절하여 상기 마스크로 인가되는 자력을 조절하는 것을 특징으로 하는 도광판 패턴 습식식각장치.
  8. 도광판 패턴 습식식각 방법에 있어서,
    식각조에 도광판을 로딩하는 단계와;
    상기 도광판 상부에 마스크를 적재하고, 자력에 의해 마스크를 상기 도광판에 밀착시키는 단계와;
    식각액을 공급하여 도광판에 패턴을 식각하고, 식각액을 배출하는 단계와;
    자력을 해지하여 마스크를 도광판으로부터 분리하는 단계와;
    패턴이 형성된 도광판을 식각조로부터 언로딩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 도광판 패턴 습식식각 방법.
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CN112802739A (zh) * 2020-12-30 2021-05-14 杭州电子科技大学 一种基于超声波磁场耦合作用硅基刻蚀高深宽比结构及其研究方法

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