KR101034713B1 - 포토레지스트의 공정 시스템 - Google Patents

포토레지스트의 공정 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 포토레지스트의 공정 시스템에 대해 개시된다. 본 발명에 따른 포토레지스트의 공정 시스템은, 기판을 반송하는 반송로봇과; 상기 반송로봇에 의해 반송된 기판상에 포토레지스트를 도포한 후, 감압건조시키는 도포건조장치를 포함하고, 상기 반송로봇은 기판을 상기 도포건조장치내로 이송한 후, 다시 상기 도포건조장치로부터 기판을 반송하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 포토레지스트 공정 시스템은, 포토레지스트 공정 시스템의 도포 및 건조 장치를 단일 유닛으로 구성하여 각 공정 단계의 유닛을 줄임으로써 설비를 절감할 수 있다.
도포건조장치, 포토레지스트

Description

포토레지스트의 공정 시스템{PHOTO RESIST PROCESSING SYSTEM}
도 1은 종래에 따른 포토레지스트 공정 시스템을 개략적으로 도시한 도면.
도 2는 종래에 따른 도포장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면.
도 3은 종래에 따른 감압건조장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면.
도 4는 본 발명에 따른 포토레지스트 공정 시스템의 구조를 개략적으로 도시한 도면.
도 5는 본 발명에 따른 도포건조장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
401 --- 반송로봇 402 --- 도포건조장치
501 --- 흡착 테이블 502 --- 기판
503 --- 포토레지스트 504 --- 챔버 커버
505 --- 노즐 지지대 506 --- 슬릿 노즐
본 발명은 포토레지스트 공정 시스템에 관한 것으로, 특히 포토레지스트 공정 시스템의 도포 및 건조 장치를 단일 유닛으로 구성하여 각 공정 단계의 유닛을 줄임으로써 설비를 절감할 수 있는 포토레지스트 공정 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 평판형 표시장치의 하나인 액정디스플레이(LCD)는 음극선관 (CRT)에 비해 시인성이 우수하고 평균소비전력도 같은 화면크기의 CRT에 비해 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 플라즈마표시장치(PDP: Plasma Display Panel)나 전계방출표시장치(FED: Field Emission Display)와 함께 최근에 휴대폰이나 컴퓨터의 모니터, 텔레비젼의 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.
이러한 LCD는 특수하게 표면 처리된 2개의 얇은 유리판 사이에 고체와 액체의 중간물질인 액정물질을 주입해 상하 유리판위의 전극의 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시켜 영상을 표시하는 작동원리를 갖는데, 이 LCD는 문자가 표시되는 패널 스스로 빛을 내지 못하므로 표시내용을 시각적으로 인식할 수 있도록 하기 위하여 램프 등의 광원을 필요로 하게 된다.
통상적으로, 노트북 컴퓨터라 불리는 휴대형 컴퓨터의 화면표시장치로 사용되는 액정표시장치(LCD) 모듈에는 그의 후면에 광원으로서 백라이트(backlight) 어셈블리가 구비된다.
이러한 액정표시장치(Liquid Crystal Display:LCD)는 화소 단위를 이루는 액정셀의 형성 공정을 동반하는 패널 상판 및 하판의 제조공정과, 액정 배향을 위한 배향막의 형성 및 러빙(RUBBING) 공정과, 상판 및 하판의 합착 공정과, 합착된 상판 및 하판 사이에 액정을 주입하고 봉지하는 공정 등의 여러 공정을 거쳐 완성되게 된다.
상기 언급된 상기 상판 및 하판에 의한 패널의 제조 공정, 상판 및 하판의 합착 공정, 합착된 상판 및 하판 사이에 액정을 주입하고 봉지하는 공정등 각 단계의 공정들은 로봇에 의해 미리 셋팅된 정확한 위치에서 반복적으로 수행되어진다.(여기서, 상기 상판 및 하판을 기판(글래스)이라고 칭한다.)
한편, 상기 상판 및 상기 하판의 각 층을 형성하는 공정 단계에서 패턴을 형성하게 되는데, 이때 일반적으로 포토레지스트 공정을 수행하게 된다.
도 1은 종래에 따른 포토레지스트 공정 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, 포토레지스트 공정 시스템은, 기판을 이송하는 제 1 반송 로봇(101)과, 상기 이송된 기판상에 포토레지스트를 도포하는 도포 장치(102)와, 상기 포토레지스트가 도포된 기판을 다음 단계로 이송하는 제 2 반송 로봇(103)과, 상기 포토레지스트가 도포되어 이송된 기판을 건조시키는 건조장치(104)와, 상기 건조된 기판을 다음 단계로 이송하는 제 3 반송 로봇(105)을 포함하여 구성된다.
전공정이 종료된 기판을 상기 제 1 반송로봇(101)에 의해 포토레지스트 공정 시스템으로 반송되어, 포토레지스트가 도포하게 된다.
또한, 도 2는 종래에 따른 도포장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, 상기 도포장치(102)는, 상기 제 1 반송 로봇(101)에 의해 이송된 기판(202)을 안착시키는 흡착 테이블(201)과, 상기 흡착 테이블(201)에 안착된 기판(202)상에 포토레지스트(203)를 도포하는 슬릿 노즐(204)로 구성된다.
상기 흡착 테이블(201)은 상기 기판(202)을 고정되게 흡착한 후, 상기 슬릿 노즐(204)은 포토레지스트(203)를 공급받아 상기 기판(202)상에 포토레지스트(203) 를 도포하면서 좌측 또는 우측으로 이동하게 된다.
이때, 상기 슬릿 노즐(204)에는 갭 센서(미도시)가 부착되어 상기 기판(202)상에 도포되는 포토레지스트(203)가 일정한 두께로 도포될 수 있도록 한다.
그리고, 상기 포토레지스트(203)가 도포된 기판(202)은 상기 제 2 반송로봇(103)에 의해 다음 단계인 상기 감압건조장치(104)로 반송하게 된다.
또한, 도 3은 종래에 따른 감압건조장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, 상기 감압건조장치(104)는 진공챔버로, 상기 제 2 반송 로봇(103)에 의해 이송된 포토레지스트가 도포된 기판을 안착시키는 지지 테이블(301)과, 상기 포토레지스트(203)가 도포된 기판(202)을 건조하기 위해 감압처리를 하는 진공챔버 커버(302)로 구성된다.
상기 포토레지스트(203)가 도포된 기판(202)은 예비 건조를 시키기 위해 상기 감압건조장치(104)로 이송하게 된다.
그리고, 상기 감압건조된 상기 기판(202)은 상기 제 3 반송 로봇(105)에 의해 다음 단계를 수행하기 위해 반송된다.
한편, 상기와 같이 기판(202)상에 포토레지스트(203)를 도포하기 위해서는 먼저 상기 기판(202)을 도포 장치(102)에 이송하고, 도포된 포토레지스트 기판(202)을 다시 감압건조장치(104)로 이송하여 건조시킨 후, 다음 공정 단계로 이송되는 과정을 거쳐야만 된다.
즉, 제 1, 제 2, 제 3 반송로봇에 의해 여러 번의 이송과정을 거침으로써, 설비에 대한 가격 상승 요인과 공간이 효율적으로 이용되지 못한다는 문제점이 발 생된다.
본 발명은 포토레지스트 공정 시스템의 도포 및 건조 장치를 단일 유닛으로 구성하여 각 공정 단계의 유닛을 줄임으로써 설비를 절감할 수 있는 포토레지스트 공정 시스템을 제공함에 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 포토레지스트 공정 시스템은,
기판을 반송하는 반송로봇과;
상기 반송로봇에 의해 반송된 기판상에 포토레지스트를 도포한 후, 감압건조시키는 도포건조장치를 포함하고,
상기 반송로봇은 기판을 상기 도포건조장치내로 이송한 후, 다시 상기 도포건조장치로부터 기판을 반송하는 것을 특징으로 한다.
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여기서, 특히 상기 도포건조장치는, 기판을 안착시키는 흡착 테이블과, 상기 기판상에 포토레지스트를 도포하는 슬릿 노즐과, 상기 슬릿 노즐이 거치되는 노즐 거치대와, 상기 포토레지스트가 도포된 기판을 건조시키기 위한 챔버 커버가 더 포함되는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 상기 슬릿 노즐에는 기판과의 거리를 측정하기 위한 갭 센서가 더 형성되는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 특히 상기 슬릿 노즐이 기판상에 포토레지스트를 도포할 때, 상기 챔버 커버가 열린 상태에서 동작되는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 특히 상기 챔버 커버는 상기 기판상에 도포된 포토레지스트를 건조하기 위해 닫히고, 상기 슬릿 노즐이 상기 노즐 거치대에 안착되는 점에 그 특징이 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 포토레지스트 공정 시스템의 도포 및 건조 장치를 단일 유닛으로 구성하여 각 공정 단계의 유닛을 줄임으로써 설비를 절감할 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 포토레지스트 공정 시스템에 대한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 포토레지스트 공정 시스템의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, 포토레지스트 공정 시스템은, 기판을 반입 및 반송하는 반송로봇(401)과; 상기 반송로봇(401)에 의해 반송된 기판상에 포토레지스트를 도포한 후, 감압건조시키는 도포건조장치(402)를 포함하여 구성된다.
상기 반송로봇(401)은 기판을 상기 도포건조장치(402)내로 진입하여 이송하는 방향과 다시 상기 도포건조장치(402)로부터 기판을 외부로 반송하는 방향으로 동작된다. 즉, 상기 반송로봇(401)을 소정방향으로만 진행되지 않고 양방향으로 진행됨으로써 효율적으로 진행할 수 있게 된다.
상기 반송로봇(401)에 의해 상기 도포건조장치(402)로 진입된 기판은 먼저 포토레지스트가 도포된 후, 감압건조를 하게 된다.
도 5는 본 발명에 따른 도포건조장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, 상기 도포건조장치(402)는, 기판을 안착시키는 흡착 테이블(501)과, 상기 기판상에 포토레지스트(503)를 도포하는 슬릿 노즐(506)과, 상기 슬릿 노즐(506)이 거치되는 노즐 거치대(505)와, 상기 포토레지스트(503)가 도포된 기판(502)을 건조시키기 위한 챔버 커버(504)를 포함하여 구성된다.
상기 흡착 테이블(501)은 상면이 수평면으로 되어 있고, 기판의 지지면으로 되어 있다.
그리고, 상기 지지면은 다수의 진공흡착구가 분포되어 있어, 기판상(502)에 포토레지스트(503)의 도포 및 감압건조를 처리하는 사이, 상기 기판(502)을 흡착함으로써, 상기 기판(502)을 소정의 수평위치에 지지하게 된다.
상기 슬릿 노즐(506)은 포토레지스트(503)를 공급하는 배관이나 포토레지스트용 펌프를 포함하는 토출기구(미도시)가 형성되어 있다.
상기 슬릿 노즐(506)은 포토레지스트용 펌프에 의해 포토레지스트액이 보내지면, 상기 기판(502)의 소정 영역상에 포토레지스트(503)를 토출하게 된다.
이때, 상기 챔버 커버(504)는 열린 상태로 상기 슬릿 노즐(506)이 작동할 수 있도록 한다.
또한, 상기 슬릿 노즐(506)에는 갭 센서(미도시)가 부착되어 있어 상기 기판(502)과의 사이의 갭을 측정한다. 구체적으로, 상기 슬릿 노즐(506)의 갭 센서는 하부에 레이저광을 조사하는 발광소자와, 하부로부터 반사된 반사광을 수광하는 수광소자가 형성되어 있다.
여기서, 상기 반사광을 수광하여 하부에 존재하는 물체와의 거리를 측정하여 도포된 포토레지스트(503)의 두께가 일정한지를 검출하게 된다.
상기 챔버 커버(504)는 상기 포토레지스트(503)가 도포된 기판(502)을 별도의 이송과정없이 바로 예비 건조시키기 위한 감압건조장치로 구동하기 위해 닫히게 된다.
이때, 상기 도포건조장치(402)의 상기 챔버 커버(504)는 상기 흡착 테이블(501)의 지지면상에 상기 포토레지스트(503)가 도포된 기판(502)이 감압건조되도록 진공 챔버로 작동하기 위해 닫히고 압력을 조절하게 된다.
상기 노즐 거치대(505)는 상기 흡착 테이블(501) 외부 영역에 형성되어 상기 슬릿 노즐(506)이 포토레지스트(503)를 도포하지 않을 때 안착되거나, 상기 챔버 커버(504)가 닫힐 때 상기 슬릿 노즐(506)이 놓이도록 한다.
한편, 상기 기판(502)상에 도포된 포토레지스트(503)의 감압건조가 수행된 후, 다음 공정을 진행하기 위해서 상기 기판(502)은 상기 반송로봇(401)에 의해 이송된다.
상기와 같이 본 발명은 하나의 도포감압건조장치에 의해 기판의 이송없이 포토레지스트를 도포하게 되고, 상기 도포된 포토레지스트 기판을 예비 건조할 수 있게 된다.
본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이 다.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 포토레지스트 공정 시스템은, 포토레지스트 공정 시스템의 도포 및 건조 장치를 단일 유닛으로 구성하여 각 공정 단계의 유닛을 줄임으로써 설비를 절감할 수 있다.

Claims (6)

  1. 기판을 반송하는 반송로봇과;
    상기 반송로봇에 의해 반송된 기판상에 포토레지스트를 도포한 후, 감압건조시키는 도포건조장치를 포함하고,
    상기 반송로봇은 기판을 상기 도포건조장치내로 이송한 후, 다시 상기 도포건조장치로부터 기판을 반송하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 공정 시스템.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 도포건조장치는, 기판을 안착시키는 흡착 테이블과, 상기 기판상에 포토레지스트를 도포하는 슬릿 노즐과, 상기 슬릿 노즐이 거치되는 노즐 거치대와, 상기 포토레지스트가 도포된 기판을 건조시키기 위한 챔버 커버가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 공정 시스템.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 슬릿 노즐에는 기판과의 거리를 측정하기 위한 갭 센서가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 공정 시스템.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 슬릿 노즐이 기판상에 포토레지스트를 도포할 때, 상기 챔버 커버가 열린 상태에서 동작되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 공정 시스템.
  6. 제 3항에 있어서,
    상기 챔버 커버는 기판상에 도포된 포토레지스트를 건조하기 위해 닫히고, 상기 슬릿 노즐은 상기 노즐 거치대에 안착되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 공정 시스템.
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