CN105845609B - 支撑设备及支撑方法 - Google Patents

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Abstract

一种支撑设备及支撑方法。支撑设备包括：承载基板，用于承载被承载部件，所述承载基板具有面向所述被承载部件的第一主表面以及位于所述第一主表面的相反侧的第二主表面；以及分压板，设置在所述承载基板的第一主表面上并位于所述承载基板和所述被承载部件之间，其中所述分压板构造为可带动所述被承载部件与所述承载基板分离。

Description

支撑设备及支撑方法
技术领域
本发明的实施例涉及一种支撑设备及支撑方法。
背景技术
在显示基板的制备过程中，需要对显示基板进行各种加工处理，例如蒸镀、溅射等。在进行各种加工处理时，通常采用承载基板支撑显示基板。在加工处理结束之后，承载基板与显示基板被一同传送到分离腔室，通过顶销基座将显示基板顶起，以实现显示基板与承载基板的分离。在该分离过程中，由于显示基板与顶销的接触面积较小，显示基板在与顶销接触的位置处承受压力，从而容易损伤显示基板，导致产品缺陷，尤其是对于大尺寸的显示基板而言可能会导致严重的形变量。
发明内容
本发明的一个方面提供了一种支撑设备，包括：承载基板，承载被承载部件，所述承载基板具有面向所述被承载部件的第一主表面以及位于所述第一主表面的相反侧的第二主表面；以及分压板，设置在所述承载基板的第一主表面上并位于所述承载基板和所述被承载部件之间；其中所述分压板构造为可带动所述被承载部件与所述承载基板分离。
在一个实施例中，所述承载基板在其厚度方向上设置贯穿所述第一主表面和所述第二主表面的第一通孔；所述支承装置还包括分离装置，所述分离装置包括第一突出部；并且所述第一突出部可穿过所述第一通孔并将所述分压板顶起。
在一个实施例中，所述分压板的面向所述承载基板的表面上设置有位置与所述第一通孔对应的定位结构和/或结合结构。
在一个实施例中，所述定位结构为从所述分压板的面向所述承载基板的一侧向远离所述承载基板的一侧延伸的盲孔。
在一个实施例中，所述第一突出部上设置有另一结合结构；并且所述分压板上的结合结构和所述第一突出部上的另一结合结构相互结合，以在所述第一突出部将所述分压板顶起的过程中所述第一突出部与所述分压板相互固定。
在一个实施例中，所述分压板上的结合结构和所述第一突出部上的另一结合结构通过磁性吸附力而相互结合。
在一个实施例中，所述承载基板的所述第一主表面上设有支撑结构，该支撑结构支撑所述被承载部件。
在一个实施例中，所述支撑结构设置有粘结部，该粘结部将所述被承载部件粘结至所述承载基板。
在一个实施例中，所述支撑结构在从所述承载基板到所述被承载部件的方向上的尺寸大于所述分压板的厚度。
在一个实施例中，所述承载基板的所述第一主表面上设置有第一固定结构； 所述分压板的面向所述承载基板的表面上设置有位置与所述第一固定结构相对应的第二固定结构；并且所述第一固定结构和所述第二固定结构相互结合以将所述分压板固定到所述承载基板。
在一个实施例中，所述第一固定结构和所述第二固定结构通过磁性吸附力而彼此结合。
在一个实施例中，所述承载基板设有贯穿所述第一主表面和所述第二主表面的第二通孔；所述分压板设置有与所述第二通孔位置相对应的通孔；所述支撑设备还包括转移装置，该转移装置包括第二突出部；并且所述第二突出部可穿过所述第二通孔和所述分压板的所述通孔。
在一个实施例中，所述第二突出部包括设置在其端部的吸附装置。
本发明的另一个方面提供了一种支撑方法，包括：提供承载基板，承载被承载部件，所述承载基板具有面向被承载部件的第一主表面以及位于所述第一主表面的相反侧的第二主表面；提供分压板，设置在所述承载基板的第一主表面上并位于所述承载基板和所述被承载部件之间；使所述分压板向远离所述承载基板的一侧运动，以带动所述被承载部件与所述承载基板分离。
在一个实施例中，所述承载基板在其厚度方向上设置贯穿所述第一主表面和所述第二主表面的第一通孔；并且使所述分压板向远离所述承载基板的一侧运动以带动所述被承载部件与所述承载基板分离包括：提供分离装置，所述分离装置包括第一突出部；并且使所述第一突出部穿过所述第一通孔且将所述分压板顶起，从而所述分压板带动所述被承载部件与所述承载基板分离。
在一个实施例中，所述分压板的面向所述承载基板的表面上设置有位置与所述第一通孔对应的定位结构和/或结合结构；所述第一突出部穿过所述第一通孔后通过所述定位结构和/或结合结构与所述分压板结合，以在所述第一突出部将所述分压板顶起的过程中所述第一突出部与所述分压板相互固定。
在一个实施例中，所述承载基板设有贯穿所述第一主表面和所述第二主表面的第二通孔；所述分压板设置有与所述第二通孔位置相对应的通孔；并且所述支撑方法还包括：提供转移装置，该转移装置包括第二突出部；并且在所述第二突出部穿过所述第二通孔和所述分压板的所述通孔之后，所述被承载部件被放置在所述第二突出部上，然后控制第二突出部运动以将放置在其上的被承载部件移动至所述承载基板上。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例，而非对本发明的限制。
图1a为本发明实施例的支撑设备的俯视示意图；
图1b为沿图1a 的A-A1方向的剖视示意图；
图2a为本发明实施例的设有第一通孔的承载基板的结构示意图；
图2b为本发明实施例的分离装置结构示意图；
图3为本发明实施例的将被承载部件与承载基板分离的示意图；
图4a为本发明实施例的分压板设有盲孔的俯视示意图；
图4b为图4a的侧视示意图；
图5a为本发明实施例的第一突出部设有另一结合结构的示意图；
图5b为本发明实施例的分压板设有结合结构的示意图；
图6a为本发明实施例的在承载基板上设置支撑结构的俯视示意图；
图6b为沿图6a的 C-C1方向的剖视示意图；
图7a为本发明实施例的承载基板设置第一固定结构的俯视示意图；
图7b为本发明实施例的分压板设置第二固定结构的俯视示意图；
图8为本发明实施例的转移装置将被承载部件转移至承载基板的示意图；以及
图9为本发明实施例的承载基板上设置多个分压板的俯视示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明的一个方面提供了一种支撑设备，包括：承载基板，承载被承载部件，所述承载基板具有面向所述被承载部件的第一主表面以及位于所述第一主表面的相反侧的第二主表面；以及分压板，设置在所述承载基板上并位于所述承载基板和所述被承载部件之间。分压板构造为可带动所述被承载部件与所述承载基板分离。例如，在分离所述被承载部件与所述承载基板时，所述分压板向远离所述承载基板的方向运动以带动所述被承载部件与所述承载基板分离。在根据本发明实施例的支撑设备中，通过设置分压板，可避免被承载部件在与承载基板分离时受到损伤，提高产品良率；例如，在施加外力以分离被承载部件与承载基板时，该外力可以直接施加在分压板上而不直接施加在被承载部件上，以避免被承载部件收到损伤。例如，被承载部件为显示基板；在此情形下，通过设置分压板，可避免显示基板在与承载基板分离时受到损伤，提高产品良率，尤其是对于大尺寸显示基板而言可以明显降低其在与承载基板分离时的形变量。
下面，将结合附图对根据本发明实施例的支撑设备进行详细的描述。
图1a为本发明实施例的支撑设备的俯视示意图（图中被承载部件遮挡住分压板，为了示意出分压板，被承载部件采用了低可透视度示出）；图1b为沿图1a的 A-A1方向的剖视示意图。参照图1a和图1b，支撑设备包括承载基板1，承载基板具有面向被承载部件2的第一主表面11以及位于第一主表面相反侧的第二主表面12；以及分压板3，分压板3设置于承载基板1的第一主表面上，且位于承载基板1和被承载部件2之间。在分离被承载部件2与承载基板1时，分压板3向远离承载基板1的方向运动，以带动被承载部件2与承载基板1分离。例如，可以通过机械手夹住分压板，并带动分压板3向远离承载基板一侧运动。例如，也可以是通过顶起机构，从分压板3的靠近承载基板1的一侧将分压板顶起。
在一个实施例中，参照图2a，所述承载基板1在其厚度方向上设置贯穿所述第一主表面11和所述第二主表面12的第一通孔13。参照图2b， 所述支撑设备还包括分离装置4，分离装置4包括第一突出部42。在分离所述被承载部件2与所述承载基板1的过程中，所述第一突出部42穿过所述第一通孔13且顶在所述分压板3上以将所述分压板3顶起，从而所述分压板3带动所述被承载部件2与所述承载基板1分离。例如，分离装置4还包括第一基座41，第一突出部42设置在第一基座41上。
需要说明的是，第一基座41和第一突出部42的具体结构不限于图中所示的结构，只要保证第一突出部42可以穿过第一通孔13并顶起分压板3及位于分压板3上方的被承载部件2即可。例如，第一突出部42在穿过第一通孔13后，穿出的部分可以顶在分压板3上，从而带动分压板3将被承载部件与承载基板分离。因此，第一突出部42的长度例如大于第一通孔13的长度。例如，第一基座41可以为板形结构，第一突出部42垂直设置于第一基座41的面向承载基板1的表面上且与承载基板1上的第一通孔13一一对应。例如，第一通孔13沿承载基板的厚度方向垂直设置。通过垂直设置第一突出部及第一通孔，可以提高分离过程的可靠性，避免损伤基板。
图3示出了被承载部件与承载基板分离的示意图。如图3所示，沿着朝向承载基板1的方向移动分离装置4，使分离装置4的第一突出部42首先穿过第一通孔13并接触分压板3；然后，继续移动分离装置，将分压板3顶起，进而分压板带动位于其上方的被承载部件2运动以使被承载部件2与承载基板1彼此分离。例如，如图3所示，第一突出部42 与第一通孔13可以一一对应。通过设置分压板，可以使受力点位于分压板上，避免被承载部件直接受力而造成损伤。在被承载部件2与承载基板1彼此分离之后，可以采用输送装置（例如，机械手）将被承载部件2输送到下一个工序位置，并且分离装置4沿着远离承载基板1的方向移动以使得第一突出部42退出第一通孔13且将分压板3重新放置在承载基板1上。
在一个实施例中，所述分压板3的面向所述承载基板1的表面上设置有位置与所述第一通孔13对应的定位结构31和/或结合结构32，从而第一突出部42在穿过第一通孔13后，可通过定位结构31和/或结合结构32定位，防止承载基板1与被承载部件2分离过程中，第一突出部41与分压板3发生相对滑动，确保分离的稳定性。
例如，参照图4a和图4b，定位结构31可以为从分压板3的靠近承载基板1的一侧向远离承载基板1的一侧延伸的盲孔。“盲孔”是指从分压板3的靠近承载基板1的一侧向远离承载基板1的一侧延伸而未穿通分压板3的孔。通过设置盲孔，例如分离装置4的第一突出部41在穿过第一通孔13后可以顶在这些盲孔中，避免第一突出部41与分压板3相对运动，从而提高分离过程的稳定性。需要说明的是，图4a和图4b中示意出了两行共六个定位盲孔，但本发明实施例对此不作限制。例如，盲孔的数量和位置可以与第一通孔的数量和位置对应。
在一个实施例中，参照图5a和图5b，所述第一突出部42上设置有另一结合结构43。所述分压板3上的结合结构32和所述第一突出部42上的另一结合结构43相互结合，以在所述第一突出部42将分压板3顶起的过程中第一突出部42与分压板3相互固定，确保分离的稳定性。分压板3的结合结构32例如与第一突出部42上的结合结构43一一对应。
例如，分压板3上的结合结构31和第一突出部42上的另一结合结构43通过磁性吸附力而相互结合，这样可以在第一突出部42退出第一通孔13时容易地将第一突出部42和分压板3分离。例如，第一突出部42上的另一结合结构43为磁铁，分压板3上的结合结构32为铁磁性材料；或者分压板3的结合结构32为磁铁，第一突出部42上的另一结合结构43为铁磁性材料；或者第一突出部42上的另一结合结构43与分压板3上的结合结构32为彼此吸引的磁铁，即至少二者相接触的部分的磁性相反。通过使第一突出部42上的另一结合结构43与分压板3的结合结构32通过磁性吸附力相互结合，可以使被承载部件与承载基板的分离更加稳定。
例如，可以在分压板3上设置定位结构31和结合结构32二者。进一步地，例如，可以在分压板3上设置盲孔31，同时在盲孔31底部设置磁铁或铁磁性材料；相应的，将第一突出部42上的另一结合结构43设置为铁磁性材料或磁铁；从而使第一突出部42穿过第一通孔13之后，限制在盲孔内并通过磁力与分压板彼此吸附，进一步提高分离过程的稳定性。也就是说，在该实施例中，同时结合了定位结构的定位作用以及结合结构的结合作用，从而使被承载部件与承载基板的分离过程更加稳定。
在一个实施例中，所述承载基板的所述第一主表面上设有支撑结构，该支撑结构支撑所述被承载部件。参照图6a，承载基板1在第一主表面11上设置有支撑结构14。该支撑结构14例如沿承载基板1的边缘均匀设置。
在一个实施例中，所述支撑结构设置有粘结部，该粘结部将所述被承载部件与所述承载基板彼此粘结。例如，粘接部设置于支撑结构14的远离第一主表面11一侧。通过设置粘结部，可以将被承载部件更加稳固地放置在承载基板上。
在一个实施例中，所述支撑结构在从所述承载基板到所述被承载部件的方向上的尺寸大于所述分压板的厚度。图6b为本发明实施例的支撑设备中承载基板上设置支撑结构的俯视示意图。参照图6b，支撑结构14从承载基板1到被承载部件2的方向上的尺寸h1大于分压板3的厚度h2。也就是说，支撑结构14在承载基板1的厚度方向的尺寸大于分压板3的厚度，从而在承载基板1承载被承载部件时，被承载部件2放置在支撑结构14上。例如，如图6b所示，在承载基板1承载被承载部件时，被承载部件2并不与分压板3接触。
在一个实施例中，参照图7 a和图7b，所述承载基板1的所述第一主表面11上设置有第一固定结构15；所述分压板3的面向所述承载基板1的表面上设置有位置与所述第一固定结构15相对应的第二固定结构33；并且所述第一固定结构15和所述第二固定结构33相互结合以将所述分压板3固定到所述承载基板。
例如，所述第一固定结构15和所述第二固定结构33通过磁性吸附力而彼此结合，这样可以容易分离分压板3和承载基板1。例如第一固定结构15为铁磁材料，第二固定结构33为磁铁；或者第一固定结构15为磁铁，第二固定结构33为铁磁材料；或者第一固定结构15和第二固定结构33为彼此吸引的磁铁，即第一固定结构15与第二固定结构33彼此接触的部分的磁铁极性相反。通过使分压板3与承载基板1通过第一固定结构15和所述第二固定结构33彼此结合，可以在分压板3放置在承载基板1上时使分压板3与承载基板1彼此固定。另外，在所述第一固定结构15和所述第二固定结构33通过磁性吸附力而彼此结合的情形下，可以在分离的过程中容易地将分压板3与承载基板1分离开。
在一个实施例中，参照图8，承载基板还设有贯穿第一主表面和第二主表面的第二通孔16；分压板设置有与第二通孔16位置相对应的通孔34；支撑设备还包括转移装置5，该转移装置5包括第二突出部52。参照图8，在将被承载部件2放置在承载基板1上的过程中，第二突出部52穿过所述第二通孔16和分压板3的通孔34，将被承载部件2放置在所述第二突出部52上，然后控制第二突出部52向下运动以将被承载部件2移动至承载基板1上。在被承载部件2移动至承载基板1上之后，继续向下移动第二突出部52以将第二突出部52移出第二通孔16和分压板3的通孔34。例如，转移装置5还包括第二基座51，第二突出部52设置在第二基座51上。
例如，第二基座51可以为板状结构，第二突出部52可以设置于该板状结构的面向承载基板1的表面上。第二突出部52在位置上与分压板3上的通孔34和承载基板1上的第二通孔16相对应对应。第二突出部52可以同时穿过第二通孔16和分压板3上的通孔34，即第二突出部52的长度大于第二通孔16的深度与分压板3上的通孔34的深度之和，以在穿过第二通孔16和分压板3对应通孔34之后，将被承载部件2移动至承载基板1上。继续参照图8，例如，承载基板1上的第二通孔16沿其厚度方向垂直设置，例如分压板3上的通孔34沿分压板3的厚度方向垂直设置，且第二突出部垂直于第二基座51设置，从而第二突出部52可以更加容易的穿过第二通孔16和分压板3上的通孔34，进而将被承载部件2转移至承载基板1上。
在一个实施例中，所述第二突出部52包括设置在其端部的吸附装置。该吸附头例如可以为真空吸附头，以有效的将被承载部件（例如显示基板）吸附并移动到承载基板上。
需要说明的是，设置于被承载部件和承载基板之间的分压板例如可以为一个或多个，也就是说，对应于一个被承载部件可以设置一个或多个分压板。参照图9，例如，分压板可以是沿承载基板的第一主表面均匀布置（图中示出了6个分压板）。本发明实施例对分压板的数量不作限制。
本发明的另一个方面提供了一种支撑方法，包括：提供承载基板和分压板，所述承载基板具有面向被承载部件的第一主表面以及位于所述第一主表面的相反侧的第二主表面；其中，所述分压板设置于所述第一主表面上，被承载部件设置于所述分压板的上方；使所述分压板向远离所述承载基板的一侧运动，以带动所述被承载部件与所述承载基板分离。
在一个实施例中，所述承载基板在其厚度方向上设置贯穿所述第一主表面和所述第二主表面的第一通孔；使所述分压板向远离所述承载基板的一侧运动，以带动所述被承载部件与所述承载基板分离包括：提供分离装置；所述分离装置包括设置于所述第一基座上的的第一突出部；并且使所述第一突出部穿过所述第一通孔且顶在所述分压板上以将所述分压板顶起，从而所述分压板带动所述被承载部件与所述承载基板分离。
在一个实施例中，所述分压板的面向所述承载基板的表面上设置有位置与所述第一通孔对应的定位结构和/或结合结构；所述第一突出部穿过所述第一通孔后通过所述定位结构和/或结合结构与所述分压板结合，以在所述第一突出部将所述分压板顶起的过程中所述第一突出部与所述分压板相互固定。通过在分压板上设置与第一突出部对应的定位结构和/或结合结构，可以使被承载部件与承载基板的分离更加稳定。
在一个实施例中，所述定位结构为从所述分压板的面向所述承载基板的一侧向远离所述承载基板的一侧延伸的盲孔。例如，第一突出部在穿过承载基板的第一通孔之后，可以顶住盲孔的顶部，从而避免第一突出部与分压板之间在分离过程中发生彼此滑动，进一步提高分离过程的稳定性。
在一个实施例中，所述第一突出部上设置有另一结合结构；并且所述分压板上的结合结构和所述第一突出部上的另一结合结构相互结合，以在所述第一突出部将所述分压板顶起的过程中所述第一突出部与所述分压板相互固定。通过在分压板上设置结合结构并在第一突出部上设置另一结合结构，可以使第一突出部与分压板彼此固定的效果更好，提高分离过程的稳定性。
在一个实施例中，所述分压板上的结合结构和所述第一突出部上的另一结合结构通过磁性吸附力而相互结合。通过采用磁性吸附力彼此吸引的方式使分压板与第一突出部彼此结合，不仅结构简单，而且能够快速的实现分压板与第一突出部的彼此定位，提高了分离效率。
在一个实施例中，所述承载基板的所述第一主表面上设有支撑结构，该支撑结构支撑所述被承载部件。
在一个实施例中，所述支撑结构设置有粘结部，该粘结部将所述被承载部件粘结至所述承载基板。通过在支撑结构上设置粘结部，可以将被承载部件稳定地放置在承载基板上。
在一个实施例中，所述支撑结构在从所述承载基板到所述被承载部件的方向上的尺寸大于所述分压板的厚度。通过限定支撑结构与分压板的尺寸，可以在承载基板承载被承载部件时使被承载部件通过支撑结构支撑。
在一个实施例中，所述承载基板设有贯穿所述第一主表面和所述第二主表面的第二通孔；所述分压板设置有与所述第二通孔位置相对应的通孔；并且所述支撑方法还包括：提供转移装置，该转移装置包括第二突出部；并且在所述第二突出部穿过所述第二通孔和所述分压板的所述通孔之后，所述被承载部件被放置在所述第二突出部上，然后控制第二突出部运动以将放置在其上的被承载部件移动至所述承载基板上。
另外，以上有关分压板、承载基板的结构的各种变形，均可在本发明实施例的支撑方法中采用，并具有相应的技术效果。本发明实施例在此不作赘述。
在本文中，诸如“第一”、“第二”等术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何关系或者顺序。术语“包括”、“包含”这些表述为开放式的，并不排除所包括的过程、方法、物品，还存在其他要素。还需要说明的是， “上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
以上所述仅是本发明的示范性实施方式，而非用于限制本发明的保护范围，本发明的保护范围由所附的权利要求确定。

Claims (14)

1.一种支撑设备，包括：
承载基板，承载被承载部件，所述承载基板具有面向所述被承载部件的第一主表面以及位于所述第一主表面的相反侧的第二主表面；以及
分压板，设置在所述承载基板的第一主表面上并位于所述承载基板和所述被承载部件之间，
其中所述分压板构造为可带动所述被承载部件与所述承载基板分离；
所述承载基板的所述第一主表面上设置有第一固定结构，所述分压板的面向所述承载基板的表面上设置有位置与所述第一固定结构相对应的第二固定结构，所述第一固定结构和所述第二固定结构相互结合以将所述分压板固定到所述承载基板；
所述承载基板的所述第一主表面上设有支撑结构，所述支撑结构使所述被承载部件在被承载时不与所述分压板接触，所述支撑结构设置有粘结部，该粘结部将所述被承载部件粘结至所述承载基板。
2.根据权利要求1所述的支撑设备，其中，
所述承载基板在其厚度方向上设置贯穿所述第一主表面和所述第二主表面的第一通孔；
所述支撑设备还包括分离装置，所述分离装置包括第一突出部；并且
所述第一突出部可穿过所述第一通孔并将所述分压板顶起。
3.根据权利要求2所述的支撑设备，其中，所述分压板的面向所述承载基板的表面上设置有位置与所述第一通孔对应的定位结构和/或结合结构。
4.根据权利要求3所述的支撑设备，其中，所述定位结构为从所述分压板的面向所述承载基板的一侧向远离所述承载基板的一侧延伸的盲孔。
5.根据权利要求3所述的支撑设备，其中，
所述第一突出部上设置有另一结合结构；并且
所述分压板上的结合结构和所述第一突出部上的另一结合结构相互结合，以在所述第一突出部将所述分压板顶起的过程中所述第一突出部与所述分压板相互固定。
6.根据权利要5所述的支撑设备，其中，所述分压板上的结合结构和所述第一突出部上的另一结合结构通过磁性吸附力而相互结合。
7.根据权利要求1所述的支撑设备，其中，所述支撑结构在从所述承载基板到所述被承载部件的方向上的尺寸大于所述分压板的厚度。
8.根据权利要求1所述的支撑设备，其中，所述第一固定结构和所述第二固定结构通过磁性吸附力而彼此结合。
9.根据权利要求1至6任一项所述的支撑设备，其中，
所述承载基板设有贯穿所述第一主表面和所述第二主表面的第二通孔；
所述分压板设置有与所述第二通孔位置相对应的通孔；
所述支撑设备还包括转移装置，该转移装置包括第二突出部；并且
所述第二突出部可穿过所述第二通孔和所述分压板的所述通孔。
10.根据权利要求9所述的支撑设备，其中，所述第二突出部包括设置在其端部的吸附装置。
11.一种支撑方法，包括：
提供承载基板，承载被承载部件，所述承载基板具有面向被承载部件的第一主表面以及位于所述第一主表面的相反侧的第二主表面；
提供分压板，设置在所述承载基板的第一主表面上并位于所述承载基板和所述被承载部件之间；
使所述分压板向远离所述承载基板的一侧运动，以带动所述被承载部件与所述承载基板分离，
其中，
所述承载基板的所述第一主表面上设置有第一固定结构，所述分压板的面向所述承载基板的表面上设置有位置与所述第一固定结构相对应的第二固定结构，所述第一固定结构和所述第二固定结构相互结合以将所述分压板固定到所述承载基板；
所述承载基板的所述第一主表面上设有支撑结构，所述支撑结构使所述被承载部件在被承载时不与所述分压板接触，所述支撑结构设置有粘结部，该粘结部将所述被承载部件粘结至所述承载基板。
12.根据权利要求11所述的支撑方法，其中，
所述承载基板在其厚度方向上设置贯穿所述第一主表面和所述第二主表面的第一通孔；并且
使所述分压板向远离所述承载基板的一侧运动以带动所述被承载部件与所述承载基板分离包括：
提供分离装置，所述分离装置包括第一突出部；并且
使所述第一突出部穿过所述第一通孔且将所述分压板顶起，从而所述分压板带动所述被承载部件与所述承载基板分离。
13.根据权利要求12所述的支撑方法，其中，所述分压板的面向所述承载基板的表面上设置有位置与所述第一通孔对应的定位结构和/或结合结构；所述第一突出部穿过所述第一通孔后通过所述定位结构和/或结合结构与所述分压板结合，以在所述第一突出部将所述分压板顶起的过程中所述第一突出部与所述分压板相互固定。
14.根据权利要求11至13任一项所述的支撑方法，其中，
所述承载基板设有贯穿所述第一主表面和所述第二主表面的第二通孔；
所述分压板设置有与所述第二通孔位置相对应的通孔；并且
所述支撑方法还包括：
提供转移装置，该转移装置包括第二突出部；并且
在所述第二突出部穿过所述第二通孔和所述分压板的所述通孔之后，所述被承载部件被放置在所述第二突出部上，然后控制第二突出部运动以将放置在其上的被承载部件移动至所述承载基板上。
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