JPWO2007036996A1 - 基板保持構造 - Google Patents

Abstract

【課題】 弾性材料としてゴムを使用しても要求される保持面側の平面度を達成する。【解決手段】 保持面１に複数の空隙部２を分散させて凹設し、これら空隙部２の開口を固定プレート３で夫々覆い、各固定プレート３の略中央に、上記空隙部２の開口よりも小さな弾性材料からなる面受けプレート４を基板Ｄへ向け突出するように取り付けて、これら両者を一体化し、このように分散配置された面受けプレート４を基板Ｄに夫々当接させて平坦状に面受けしながら保持することにより、弾性材料からなる面受けプレート４の厚み寸法にバラツキがあった時には、厚さ寸法の大きい面受けプレート４′が基板Ｄと当接することに伴い、その固定プレート３又は該面受けプレート４′が空隙部２へ向け弾性変形して、この弾性変形を空隙部２に逃がし、それにより厚さ寸法の大きい面受けプレート４′が空隙部２側へ沈み込んで、その他の面受けプレート４と平坦化される。【選択図】 図１

Description

本発明は、例えば液晶ディスプレー（ＬＣＤ）やプラズマディスプレー（ＰＤＰ）などのフラットパネルディスプレーの製造過程において、ＣＦガラスやＴＦＴガラスなどのガラス製基板か又は合成樹脂製基板を粘着保持して貼り合わせる基板貼り合わせ機を含む基板組立装置や、基板を搬送する基板搬送装置などに用いられる基板保持構造に関する。
詳しくは、保持面に対し基板を、分散された複数箇所で面受けして、平坦度を確保しながら保持する基板保持構造に関する。

従来、この種の基板保持構造としては、加圧板とテーブルの保持面に開口を夫々複数個ずつ設け、これら開口内に回転用アクチュエータと上下駆動用アクチュエータを夫々備え、夫々の回転用アクチュエータから伸びた回転軸の先端に粘着部材が取り付けられ、上下駆動用アクチュエータの動作により開口内で各粘着部材を移動して露出させ、基板に接触して粘着保持させ、この保持状態のまま位置決めしながら貼り合わせを行い、粘着部材を各開口内に退行させる時は、粘着部材を基板面に対して回転用アクチュエータにより捻りながら、又は捻ってから上下駆動用アクチュエータにより退行させて、粘着部材を基板から剥がすものがある（例えば、特許文献１参照）。

特開２００３−２７３５０８号公報（第３−５頁、図１−５）

しかし乍ら、このような従来の基板保持構造では、基板に複数の粘着部材を接触させて平坦状に面受けしながら保持することで、２枚の基板の貼り合わせを行っているが、この面受けする保持面側に要求される平面度は、一辺が例えば１０００ｍｍを越える大型の基板であっても±数十μｍの範囲である。
これに対し、面受けする粘着部材の材料としては、確実な粘着を実行するため主にゴムのような弾性材料を使用するが、このゴムの寸法精度は曖昧で±数百μｍである。
従って、面受けする粘着部材の材料としてゴムを使用した場合には、基板を面受けする保持面側のうち、各ゴムの配置部分のみが数百μｍの凹凸となってしまい、要求される平面度（±数十μｍ）を達成できず、その結果として、高精度な基板貼り合わせができないという問題があった。
更に、厚みの薄い粘着部材は基板と接触しない場合もあり、そのため粘着力が不足して基板が位置ズレしたり落下する恐れもあった。

本発明のうち請求項１記載の発明は、弾性材料としてゴムを使用しても要求される保持面側の平面度を達成することを目的としたものである。
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の発明の目的に加えて、面受けプレートの縦方向の弾性変形による倣い性を向上させることを目的としたものである。
請求項３記載の発明は、請求項１または２に記載の発明の目的に加えて、粘着力不足による基板の位置ズレや落下を確実に防止することを目的としたものである。

前述した目的を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、保持面に複数の空隙部を分散させて凹設し、これら空隙部の開口を弾性変形可能な固定プレートで夫々覆い、各固定プレートの略中央に、上記空隙部の開口よりも小さな弾性材料からなる面受けプレートを基板へ向け突出するように取り付けて、この固定プレート及び面受けプレートを一体化し、これら分散された面受けプレートを基板に夫々当接させて平坦状に面受けしながら保持すると共に、上記空隙部を、一体化された固定プレート及び面受けプレートの弾性変形の逃げ空間として利用したことを特徴とするものである。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明の構成に、前記固定プレートに貫通孔を開穿し、この貫通孔の内部から上記固定プレートの少なくとも基板側表面に沿って面受けプレートを一体的に形成し、該面受けプレートの基板側積層部の圧縮変形を、上記貫通孔を通して反対側へ遊動させた構成を加えたことを特徴とする。
請求項３記載の発明は、請求項１または２に記載の発明の目的に加えて、粘着力不足による基板の位置ズレや落下を確実に防止することを目的としたものである。

本発明のうち請求項１記載の発明は、保持面に複数の空隙部を分散させて凹設し、これら空隙部の開口を固定プレートで夫々覆い、各固定プレートの略中央に、上記空隙部の開口よりも小さな弾性材料からなる面受けプレートを基板へ向け突出するように取り付けて、これら両者を一体化し、このように分散配置された面受けプレートを基板に夫々当接させて平坦状に面受けしながら保持することにより、弾性材料からなる面受けプレートの厚み寸法にバラツキがあった時には、厚さ寸法の大きい面受けプレートが基板と当接することに伴い、その固定プレート又は該面受けプレートが空隙部へ向け弾性変形して、この弾性変形を空隙部に逃がし、それにより厚さ寸法の大きい面受けプレートが空隙部側へ沈み込んで、その他の面受けプレートと平坦化される。
従って、弾性材料としてゴムを使用しても要求される保持面側の平面度を達成することができる。
その結果、基板を面受けする保持面側のうち、各ゴムの配置部分のみが数百μｍの凹凸とならず、高精度な基板貼り合わせができる。

請求項２の発明は、請求項１の発明の効果に加えて、固定プレートに貫通孔を開穿し、この貫通孔の内部から上記固定プレートの少なくとも基板と対向する表面に沿って面受けプレートを形成することにより、面受けプレートの基板側積層部の厚み寸法にバラツキがあった時には、厚さ寸法の大きい面受けプレートの基板側積層部が基板と当接することに伴い、該面受けプレートの基板側積層部自体が圧縮変形し、貫通孔を通って反対側へ遊動させ、それにより厚さ寸法の大きい面受けプレートの基板側積層部が空隙部側へ沈み込んで、その他の面受けプレートの基板側積層部と平坦化される。
従って、面受けプレートの縦方向の弾性変形による倣い性を向上させることができる。
その結果、要求される保持面側の平面度をより確実に達成することができて、更に高精度な基板貼り合わせができる。
また、貫通孔の内部から固定プレートの少なくとも基板側表面に沿って面受けプレートを一体的に形成するため、固定プレートに対する面受けプレートの位置ズレや剥がれなどを防止できる共に、これら固定プレート及び面受けプレートの取り扱いも容易である。

請求項３の発明は、請求項１または２の発明の効果に加えて、面受けプレートの表面に粘着部を設けることにより、これら粘着部が基板に対し確実に接触して粘着保持される。
従って、粘着力不足による基板の位置ズレや落下を確実に防止することができる。

本発明の基板保持構造Ａが、液晶ディスプレー（ＬＣＤ）パネルなどのガラス基板を粘着保持して貼り合わせる基板貼り合わせ装置に配備された場合を示す。
この基板貼り合わせ機は、図１〜図６に示す如く、上下に配置された保持板Ｂ，Ｃの平行に対向する保持面１，１に二枚のガラス製基板Ｄ，Ｄを夫々保持させ、それらの周囲に区画形成された閉空間Ｓ内が所定の真空度に達してから、上下保持板Ｂ，Ｃを相対的にＸＹθ方向（水平方向）へ調整移動し、基板Ｄ，Ｄ同士の位置合わせが行われ、その後、上保持板Ｂの保持面１から上基板Ｄを強制的に剥離して下基板Ｄ上の環状接着剤（シール材）Ｅへ瞬間的に圧着することにより、両者間を封止して重ね合わせ、その後は、両基板Ｄ，Ｄの内外に生じる気圧差で両基板Ｄ，Ｄの間を所定のギャップまで加圧するものである。

詳しく説明すれば、上下保持板Ｂ，Ｃが昇降手段（図示せず）でＺ方向（上下方向）へ相対的に移動可能に支持され、これら上下保持板Ｂ，Ｃを上下方向へ離した状態で、夫々の保持面１，１に基板Ｄ，Ｄがセットされ、その後、この昇降手段の作動により上下保持板Ｂ，Ｃを接近させることにより閉空間Ｓが区画形成される。

そして、この閉空間Ｓから吸気手段（図示せず）の作動により、空気を抜いて所定の真空度に達したところで、水平移動手段（図示せず）の作動により、上下保持板Ｂ，Ｃのどちらか一方を他方に対しＸＹθ方向へ調整移動させることで、それらに保持された基板Ｄ，Ｄ同士の位置合わせ（アライメント）として粗合わせと微合わせが順次行われる。

これらの位置合わせが完了して上下基板Ｄ，Ｄを重ね合わせた後は、閉空間Ｓ内に空気や窒素を供給して、該閉空間Ｓ内の雰囲気を大気圧に戻すことにより、両基板Ｄ，Ｄの内外に生じる気圧差で均等に加圧され、液晶が封入された状態で所定のギャップまで押し潰れて製品を完成させている。

更に、上下保持板Ｂ，Ｃの基板側である保持面１，１には、弾性材料からなる複数の面受け部を分散配置し、これら面受け部を上下基板Ｄ，Ｄに当接させて平坦状に面受けしながら着脱自在に保持すれば、該保持面１に対して基板Ｄの裏面Ｄ１がＸＹθ方向へ位置ズレ（横ズレ）するのを防止できると共に、これら面受け部の表面を粘着部材で形成すれば、基板Ｄの粘着保持が可能となる。

しかし、上記面受け部の弾性材料としてゴム材を用いた場合には、該ゴムの寸法精度が±数百μｍであるため、保持面１全体のうちゴムの配置部分のみが数百μｍの凹凸となってしまい、基板貼り合わせ装置の保持板Ｂ，Ｃの保持面１として要求される平面度（±数十μｍ）を達成できなかった。

そこで、このような問題を解決するために、少なくとも上下保持板Ｂ，Ｃの基板側である保持面１，１のどちらか一方か又は両方に、本発明の基板保持構造Ａを備える。
本発明の基板保持構造Ａは、図１及び図２に示す如く、基板Ｄの裏面Ｄ１と対向する保持面１に、複数の空隙部２を分散させて凹設し、これら空隙部２の開口を、例えばステンレスやそれ以外の金属などの弾性変形可能な材料又は弾性変形し難い材料からなる固定プレート３で夫々覆い、夫々の固定プレート３の略中央には、上記空隙部２の開口面積よりも小さくてゴム又はそれに類似する弾性材料で形成された面受けプレート４を基板Ｄの裏面Ｄ１へ向け突出するように取り付けることで、これら固定プレート３及び面受けプレート４を一体化している。

これら空隙部２、固定プレート３及び面受けプレート４はユニット化され、上記保持面１に対し多数のユニットＵを等間隔毎に分散配置して、基板Ｄの裏面Ｄ１に各ユニットＵの面受けプレート４を夫々面接触させて平坦状に面受けしながら保持すると共に、上記空隙部２を、一体化された固定プレート３及び面受けプレート４が弾性変形した時の逃げ空間として利用している。
その具体例を挙げれば、ＸＹ方向寸法が例えば1500×1800ｍｍの保持面１に対して、上記ユニットＵを約100ｍｍ程度のピッチで約200組程度配置する。
以下、本発明の各実施例を図面に基づいて説明する。

この実施例１は、図１（ａ）及び（ｂ）に示す如く、前記保持面１に対して空隙部２を円板状に凹設し、それより大径な円板状の弾性変形可能な固定プレート３で空隙部２の全体を覆うように配置すると共に、その周縁部を保持面１に対してネジなどで取り付け、この固定プレート３の略中央に、上記空隙部２の開口面積よりも小さい円板状に形成されたゴム製の面受けプレート４を接着剤なとで一体的に固着し、これら面受けプレート４を基板Ｄに夫々当接させて平坦状に面受けしながら保持したものである。

そして、このような空隙部２、固定プレート３及び面受けプレート４からなるユニットＵを保持面１に対して分散配置した状態で、そのうちいくつかの面受けプレート４の厚さ寸法が、その他の面受けプレート４の厚さ寸法よりも厚い場合には、図１（ｃ）に示す如く、この厚さ寸法の大きい面受けプレート４′が基板Ｄの裏面Ｄ１と当接することに伴い、それを支持する固定プレート３が空隙部２へ向け弾性変形することで、この弾性変形を空隙部２に逃がし、それにより厚さ寸法の大きい面受けプレート４′が空隙部２側へ沈み込んで、その他のユニットＵの面受けプレート４と平坦化される。

それにより、面受けプレート４の材料として、その寸法精度が±数百μｍのゴムを使用しても、要求される保持面１の平面度、数十μｍを達成でき、その結果として高精度な基板貼り合わせが可能となる。

この実施例２は、図２（ａ）〜（ｃ）に示す如く、前記保持面１に対して空隙部２を矩形板状に凹設し、それにより大きな矩形板状の固定プレート３で空隙部２を部分的に覆うように配置すると共に、その両端部を保持面１に対してネジなどで取り付け、この固定プレート３の略中央には、上記空隙部２の開口面積よりも小さい矩形板状に形成されたゴム製の面受けプレート４を接着剤なとで一体的に固着した構成が、前記図１に示した実施例１とは異なり、それ以外の構成は実施例１と同じものである。

従って、図２に示す実施例２も、上述した実施例１と同様な作用効果が得られる。

この実施例３は、図３（ａ）〜（ｃ）に示す如く、前記保持面１に凹設された空隙部２を、弾性変形し難い材料からなる固定プレート３で覆い、この固定プレート３にはその厚さ方向へ複数の貫通孔３ａを適宜間隔毎に開穿し、これら貫通孔３ａの内部から上記固定プレート３の少なくとも基板側表面に沿って弾性材料（ゴム）製の面受けプレート４を一体的に形成すると共に、該面受けプレート４の基板側積層部（表面側積層部）４ａの圧縮変形を、上記貫通孔３ａを通して反対側４ｂへ遊動（流動）させることで空隙部２に逃がした構成が、前記図１に示した実施例１や図２に示した実施例２とは異なり、それ以外の構成は実施例１や実施例２と同じものである。

図示例では、上記空隙部２、固定プレート３及び面受けプレート４を、前記図１に示した実施例１と同じ円板状にすると共に、貫通孔３ａとして丸孔を開穿し、これら貫通孔３ａを通って該固定プレート３の表裏両面沿いに一体成形することにより、基板側積層部４ａと裏面側積層部４ｂが同時に形成された場合を示している。
それ以外の例として図示せぬが、前記図２に示した実施例２と同じ矩形板状にしたり、貫通孔３ａとして例えば角孔など、丸孔以外の形状の孔を開穿することも可能である。

そして、このような空隙部２、固定プレート３及び面受けプレート４からなるユニットＵを保持面１に分散配置した状態で、そのうちいくつかの面受けプレート４の基板側積層部４ａの厚さ寸法が、その他の面受けプレート４の基板側積層部４ａの厚さ寸法よりも厚い場合が考えられる。
この場合には、図３（ｃ）に示す如く、この厚さ寸法の大きい面受けプレート４′の基板側積層部４ａ′が基板Ｄの裏面Ｄ１と当接すると、該面受けプレート４′の基板側積層部４ａ′自体が圧縮変形し、その弾性材料（ゴム）が貫通孔３ａを通って反対側４ｂへ遊動（流動）することで、この圧縮変形を空隙部２に逃がし、それにより厚さ寸法の大きい面受けプレート４′の基板側積層部４ａ′が空隙部２側へ沈み込んで、その他のユニットＵの面受けプレート４の基板側積層部４ａと平坦化される。

従って、図３に示す実施例３も、上述した実施例１や実施例２と同様な作用効果が得られ、更に加えて実施例１のような固定プレート３を弾性変形させて他の面受けプレート４と平坦化するものに比べ、弾性材料（ゴム）製の面受けプレート４の基板側積層部４ａ′は基板Ｄとの当接力が小さくても容易に弾性変形するため、面受けプレート４の縦方向（Ｚ方向）の弾性変形による倣い性が向上して、平坦化のための作動がスムーズでしかも確実であり、要求される保持面１の平面度をより確実に達成でき、その結果として更に高精度な基板貼り合わせが可能となるという利点がある。

また、貫通孔３ａの内部から固定プレート３の少なくとも基板側表面に沿って面受けプレート４が一体的に形成されるため、固定プレート３に面受けプレート４を固着して一体化する実施例１に比べ、固定プレート３に対する面受けプレート４の位置ズレや剥がれなどを防止できる共に、これら固定プレート３及び面受けプレート４の取り扱いも容易であり、特に図示例のように貫通孔３ａを通って固定プレート３の表裏両面沿いに面受けプレート４を一体成形した場合には更に向上するという利点もある。

また更に、固定プレート３に面受けプレート４を固着して一体化する実施例１に比べ、固定プレート３の基板側表面に形成される面受けプレート４の基板側積層部４ａの厚さを薄く形成できると共に、この基板側積層部４ａの圧縮変形時に水平方向（ＸＹθ方向）へ膨張せずに反対側４ｂへ遊動（流動）するため、面受けプレート４を相互に接近させて配備した際に悪影響を与えることがないというという利点もある。

この実施例４は、図４（ａ）（ｂ）に示す如く、前記基板Ｄの粘着保持を可能とするために、円板状又は矩形板状に形成されるゴム製の面受けプレート４の表面に粘着部４ｃを設けると共に、この粘着部４ｃと基板Ｄとの剥離手段としてリフトピン５を配設し、このリフトピン５の伸長移動によって、該粘着部４ｃから基板Ｄの裏面Ｄ１を強制的に押し剥がす構成が、前記図１に示した実施例１や図２に示した実施例２や図３に示した実施例３とは異なり、それ以外の構成は実施例１や実施例２や実施例３と同じものである。

上記粘着部４ｃは、後述するリフトピン５と接近して配置することが好ましく、図示例では後述する通孔５ａの周囲に沿って環状となるように部分的に配設している。
この配設方法としては、ゴム材からなる面受けプレート４を表面処理するか、又はそれに類似する加工を行うことで、その表面の所望箇所のみに粘着部４ｃを、該面受けプレート４の表面と面一状に一体形成するか或いは一体的に形成している。

上記リフトピン５は、基板搬送用ロボット（図示せず）から上下保持板Ｂ，Ｃへ基板Ｄを受け渡す際に使用されるもので、前記保持面１の空隙部２から固定プレート３及び面受けプレート４に亘って直線状に貫通する通孔５ａが開穿され、この通孔５ａの内部で基板Ｄへ向けて往復動自在に配設している。

更に図示例では、上記空隙部２、固定プレート３及び面受けプレート４を、前記図１に示した実施例１と同じ円板状にした場合を示している。
それ以外の例として図示せぬが、前記図２に示した実施例２と同じ矩形板状にすることも可能であり、また前記図３に示した実施例３と同様に、固定プレート３に貫通孔３ａを開穿し、この貫通孔３ａを通って該固定プレート３の表裏両面沿いに面受けプレート４を一体成形することも可能である。

このような構造の基板保持構造Ａを備えた基板貼り合わせ装置によって、保持した基板Ｄ，Ｄ同士が貼り合わされる工程を図５（ａ）（ｂ）に示す。

図５（ａ）に示した例では、下方の保持板Ｃの台座１ａに上述した構造のユニットＵを多数組み込んで、下基板Ｄの裏面Ｄ１を粘着保持すると共に、上方の保持板Ｂに組み込まれた静電チャック６により上基板Ｄの裏面Ｄ１を移動不能に保持している。
それ以外の変形例として、上方の保持板Ｂの静電チャック６に代えて、上述した構造のユニットＵを多数組み込んで、上基板Ｄの裏面Ｄ１を粘着保持することも可能である。

その後、これら上下保持板Ｂ，Ｃが接近移動して両者間に閉空間Ｓを区画形成してから、上下保持板Ｂ，ＣがＸＹθ方向へ調整移動して、基板Ｄ，Ｄ同士の位置合わせを行い、その後、図５（ｂ）に示す如く、上保持板Ｂの保持面１から上基板Ｄを強制的に剥離して下基板Ｄ上の環状接着剤（シール材）Ｅへ瞬間的に圧着することにより、両者間を封止して重ね合わせ、その後は、両基板Ｄ，Ｄの内外に生じる気圧差で両基板Ｄ，Ｄの間を所定のギャップまで加圧している。

従って、図４及び図５に示す実施例４も、上述した実施例１や実施例２や実施例３と同様な作用効果が得られ、更に加えて下保持板Ｃに保持面１に配備した多数の粘着部４ｃが基板Ｄの裏面Ｄ１に対し確実に接触して粘着保持でき、それにより粘着力不足による基板Ｄの位置ズレを確実に防止できるという利点がある。

この実施例５は、図６（ａ）（ｂ）に示す如く、前記粘着部４ｃと基板Ｄとの剥離手段として、保持面１に対し昇降自在な台座１ｂと、それに凹設された空隙部２、固定プレート３及び面受けプレート４とからなる昇降ユニットＵ″を多数、夫々保持面１に対して基板Ｄと接近又は離隔するように上下方向へ往復動自在に配設し、これらの面受けプレート４の表面に設けられる粘着部４ｃを含む昇降ユニットＵ″全体を、アクチュエーター７の駆動によって、基板Ｄの裏面Ｄ１から強制的に押し剥がす構成が、前記図４（ａ）（ｂ）及び図５（ａ）（ｂ）に示した実施例４とは異なり、それ以外の構成は実施例４と同じものである。

図示例では、図５（ａ）（ｂ）に示した実施例４の上方の保持板Ｂに組み込まれた静電チャック６に代えて、上述した構造の昇降ユニットＵ″を多数往復動自在に組み込んでおり、それ以外の構成は実施例３と同じものである。
その他の変形例としては、上下保持板Ｂ，Ｃの保持面１，１の両方に上述した構造の昇降ユニットＵ″を夫々多数往復動自在に組み込むことも可能である。

従って、図６に示す実施例５は、上述した実施例４に比べ、上下保持板Ｂ，Ｃに保持面１，１の両方において、夫々に配備した多数の粘着部４ｃが上下基板Ｄ，Ｄの裏面Ｄ１，Ｄ１に対し確実に接触して粘着保持でき、それにより粘着力不足による基板Ｄの位置ズレや落下を確実に防止できるという作用効果が得られる。
更に加えて、上下保持板Ｂ，Ｃに保持面１，１の両方において、夫々の面受けプレート４の材料に、その寸法精度が±数百μｍのゴムを使用しても、要求される保持面１の平面度、数十μｍを達成でき、その結果として高精度な基板貼り合わせが可能となる作用効果が得られるという利点がある。

尚、本発明の基板保持構造Ａが、液晶ディスプレー（ＬＣＤ）パネルなどのガラス基板を粘着保持して貼り合わせる基板貼り合わせ装置に配備される場合を示したが、これに限定されず、この基板貼り合わせ装置以外の基板組立装置や、基板を搬送する基板搬送装置に配備したり、ＬＣＤパネル用ガラス基板以外の基板を粘着保持しても良い。

更に、真空中で上下基板Ｄ，Ｄを貼り合わせる基板貼り合わせ装置を説明したが、これに限定されず、大気中で基板Ｄ，Ｄを貼り合わせる基板貼り合わせ装置でも良く、この場合でも、上述した真空貼り合わせ装置と同じ作用効果が得られる。

（ａ）が本発明の基板保持構造の実施例１を示す部分的な平面図であり、（ｂ）が縦断正面図であり、（ｃ）が弾性変形時を示す縦断正面図である。 （ａ）が本発明の基板保持構造の実施例２を示す部分的な平面図であり、（ｂ）が縦断正面図であり、（ｃ）が弾性変形時を示す縦断正面図である。 （ａ）が本発明の基板保持構造の実施例３を示す部分的な平面図であり、（ｂ）が縦断正面図であり、（ｃ）が弾性変形時を示す縦断正面図である。 （ａ）が本発明の基板保持構造の実施例４を示す部分的な平面図であり、（ｂ）が縦断正面図である。 実施例４の基板保持構造を基板貼り合わせ装置に組み込んだ縮小縦断正面図であり、その作動工程を（ａ）（ｂ）に示している。 本発明の基板保持構造を基板貼り合わせ装置に組み込んだ実施例５を示す縮小縦断正面図であり、その作動工程を（ａ）（ｂ）に示している。

符号の説明

Ａ 基板保持構造 Ｂ 上方の保持板
Ｃ 下方の保持板 Ｃ１ 台座
Ｄ 基板 Ｄ１ 裏面
Ｅ 環状接着剤（シール材） Ｓ 閉空間
Ｕ ユニット Ｕ″ 昇降ユニット
１ 保持面 １ａ，１ｂ 台座
２ 空隙部 ３ 固定プレート
３ａ 貫通孔 ４ 面受けプレート
４′ 厚い面受けプレート ４ａ 基板側積層部（表面側積層部）
４ｂ 反対側（裏面側積層部） ４ｃ 粘着部
５ リフトピン ５ａ 通孔
６ 静電チャック ７ アクチュエーター

Claims (3)

1. 保持面（１）に対し基板（Ｄ）を、分散された複数箇所で面受けして、平坦度を確保しながら保持する基板保持構造において、
   前記保持面（１）に複数の空隙部（２）を分散させて凹設し、これら空隙部（２）の開口を固定プレート（３）で夫々覆い、各固定プレート（３）の略中央に、上記空隙部（２）の開口よりも小さな弾性材料からなる面受けプレート（４）を基板（Ｄ）へ向け突出するように取り付けて、この固定プレート（３）及び面受けプレート（４）を一体化し、これら分散された面受けプレート（４）を基板（Ｄ）に夫々当接させて平坦状に面受けしながら保持すると共に、上記空隙部（２）を、一体化された固定プレート（３）及び面受けプレート（４）の弾性変形の逃げ空間として利用したことを特徴とする基板保持構造。
2. 前記固定プレート（３）に貫通孔（３ａ）を開穿し、この貫通孔（３ａ）の内部から上記固定プレート（３）の少なくとも基板側表面に沿って面受けプレート（４）を一体的に形成し、該面受けプレート（４）の基板側積層部（４ａ）の圧縮変形を、上記貫通孔（３ａ）を通して反対側（４ｂ）へ遊動させた請求項１記載の基板保持構造。
3. 前記面受けプレート（４）の表面に粘着部（４ｃ）を設けた請求項１または２記載の基板保持構造。

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