CN101165546A - 基板检查装置 - Google Patents

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CN101165546A CNA2007101235502A CN200710123550A CN101165546A CN 101165546 A CN101165546 A CN 101165546A CN A2007101235502 A CNA2007101235502 A CN A2007101235502A CN 200710123550 A CN200710123550 A CN 200710123550A CN 101165546 A CN101165546 A CN 101165546A
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Abstract

本发明提供一种基板检查装置，其借由设置探测器框储料器而防止占据面积的增大。该基板检查装置(1)包括：主室(2)，其在真空状态下进行基板的检查；负载固定室(3)，其在与大气侧之间及与主室之间进行基板的搬入搬出；探测器框储料器(4)，其用于存储与基板进行电气接触并施加检查信号的探测器框(20)；而且，其探测器框储料器(4)配置在负载固定室(3)或主室(2)的上部。借由采用将探测器框储料器(4)配置在负载固定室(3)上或主室(2)上的构成，而使探测器框储料器(4)所需的占据面积，可直接利用负载固定室(3)或主室(2)的占据面积，能够防止占据面积的增大。

Description

基板检查装置
技术领域
本发明是关于一种基板检查装置，特别是关于一种用于基板检查中的治具的探测器框(prober frame)的更换，适用于在LCD的制造时所利用的TFT阵列(array)检查装置。
背景技术
作为将TFT(薄膜晶体管)呈阵列状排列的构成，可列举液晶基板的例子，其在液晶显示器等平板显示器(FPD)等中使用。
利用TFT所构成的液晶显示器的基本构成是一种液晶面板，其在形成有TFT及透明像素(pixel)电极的一玻璃基板和形成有对向电极的另一玻璃基板之间流入液晶。
在形成有TFT及透明像素电极的玻璃基板(以下称作[TFT基板]。)的检查中，已知有一种借由利用电子线的电压对比度技术，而非接触地对基板上的各透明像素的状态进行判定的方法(例如参照专利文献1)。在利用电压对比度技术的TFT阵列检查装置中，受检的TFT基板可借由运送到高真空室内，并在被配置于载台上的状态下施加检查信号，且在此时检测电压状态而进行TFT阵列检查。
这种TFT阵列检查装置包括电子线产生源、二次电子检测器及数据处理装置。电子线产生源对TFT基板的各透明像素照射电子线，且二次电子检测器对向TFT基板的各透明像素照射电子线所产生的二次电子进行检测。而且，二次电子检测器是根据二次电子的检测量而向数据处理装置(计算机系统等)输出信号，其中，该信号表示与透明像素的电压波形相对应的波形。数据处理装置对二次电子检测器的输出信号进行解析，并检查透明像素的状态，特别是透明像素有无缺陷或缺陷的内容。
基板检查是借由向高真空的主室内的载台上运送作为检查对象的基板，并在该基板上载置探测器框，且使基板和探测器框的各电极相接触，以从探测器框向基板施加检查信号而进行。
图15(a)～15(d)为用于说明基板检查装置的习知构成的概略图。基板检查装置101为了将作为检查对象的基板30在主室102内搬入搬出，而与主室102邻接配置负载固定(load lock)室103。关于主室和负载固定室的配置，在例如专利文献2中有所说明。
作为检查对象的基板，其基板尺寸、在基板上所形成的面板的图案的形状或尺寸、在面板上所设置的电极配置等各规格有时并不一样。为了检查这些各种规格的基板，需要与各规格对应的各种探测器框。因此，要准备与这些各种基板相对应的各种探测器框，并预先存储在探测器框储料器104中，且从该探测器框储料器104中取出与检查对象的基板相对应的探测器框，导入到主室中。
在这里，是借由使可存储多个探测器框的探测器框储料器104与主室102邻接配置，并在探测器框储料器104和主室102之间更换探测器框20，而将与检查对象相称的探测器框20向主室内进行导入。
另外，在负载固定室103中，可在与大气侧之间设置门阀111，并在该负载固定室103和主室102之间设置门112，另外，在主室102和探测器框储料器104之间设置门阀113，而且，在主室102、负载固定室103内可设置用于运送基板的运送机构，并在探测器框储料器104内设置用于运送探测器框20的运送机构。
图15(a)～图15(d)所示为探测器框更换的动作例。另外，在这里，所示为将导入到主室内的探测器框，与在探测器框储料器内所存储的其它的探测器框进行更换的例子。图15(a)所示为在主室102内设置探测器框20a，并在探测器框储料器104中存储探测器框20b、20c的状态。
主室102通常处于真空状态，所以在向主室102内导入氮气并形成大气压后，打开门阀113，使探测器框20a移动到探测器储料器104(图15(b))。接着，使探测器框储料器104移动，而使存储有使用的探测器框20b的层和主室102侧位置对合(图15(c))。在使探测器框20b移动到主室102内后，关闭门阀113，然后将主室102内抽成真空而形成可检查的状态(图15(d))。
[专利文献1]美国专利第5,982,190号说明书
[专利文献2]日本专利早期公开的特开2002-252155公报(段落0017、0018、图1)
上述构成为一种将存储有探测器框的探测器框储料器，与主室配置在同一平面上且并列设置的构成，所以存在基板检查装置的占据面积增大出探测器框储料器的设置面积的量的问题。
发明内容
因此，本发明的目的是提供一种解决上述课题的基板检查装置，其借由设置探测器框储料器而防止占据面积的增大。
而且，借由采用将探测器框储料器配置在负载固定室的上部或主室的上部的构成，并在该负载固定室和探测器框储料器之间进行探测器框的更换，而使对主室内的探测器框的更换简单化。
本发明的基板检查装置的第1形态，为一种在真空状态下对基板施加检查信号而进行基板检查的基板检查装置，包括：主室，其在真空状态下进行基板的检查；负载固定室，其在与大气侧之间及与主室之间进行基板的搬入搬出；探测器框储料器，其存储与基板进行电气接触并施加检查信号的探测器框；而且，该基板检查装置采用使其探测器框储料器配置在负载固定室上部的构成。
如利用本发明的基板检查装置的第1形态，则为一种将探测器框储料器配置在负载固定室上的构成，所以探测器框储料器所需的占据面积，可直接利用负载固定室的占据面积。因此，不会因探测器框储料器而使占据面积增加，能够防止占据面积的增大。
在负载固定室的上部配置探测器框储料器的构成中，该负载固定室具有室的上方的开口部分，且在该开口部分上开关自如地安装有顶板。
在该顶板的上部设置有探测器框储料器，另一方面，在顶板的下部，安装有用于运送探测器框的运送机构。因此，该顶板起到负载固定室的开口部分的盖部的作用，且起到对探测器框储料器及运送机构进行支持的基底部分的作用。
另外，顶板、探测器框储料器及运送机构是利用升降机构而自如升降。借由使该升降机构进行上升动作，可使顶板上升而打开负载固定室，形成一种使负载固定室内由运送机构所支持的探测器框可搬出的状态，且借由使探测器框储料器的高度方向的位置对合，可进行使导入到负载固定室中的探测器框被存储的存储位置的选择，及从负载固定室所取出的探测器框在探测器框储料器中被存储的存储位置的选择。
借由利用该升降机构的顶板、探测器框储料器及运送机构的升降动作，和在顶板上所安装的运送机构的运送动作，可在负载固定室和探测器框储料器之间，进行探测器框的更换。
而且，本发明的基板检查装置的第1形态，是在主室的上部具有临时保持探测器框的临时置放部。该临时置放部是在负载固定室和探测器框储料器之间进行探测器框的更换时，临时保持从负载固定室所取出的探测器框，并在此期间利用升降机构进行探测器框储料器的高度方向的位置对合，且选择在探测器框储料器中进行存储的存储位置，而且，临时保持从探测器框储料器所取出的探测器框，且在此期间利用升降机构进行探测器框储料器的高度方向的位置对合，并使顶板的下部所设置的运送机构的高度，与临时置放部的高度相对合。
如利用本发明的基板检查装置的第1形态，则借由将用于存储探测器框的探测器框储料器设置在负载固定室的上部，可减小占据面积。另外，借由使负载固定室的顶板和该顶板上所固定的探测器框储料器及运送机构，利用一个升降机构而自如升降，可进行探测器框对负载固定室的导入导出，和探测器框对探测器框储料器的存储位置的选择。
而且，借由形成在主室上设置临时置放部的形态，可使在负载固定室和探测器框储料器之间所进行的探测器框的更换容易进行。
本发明的基板检查装置的第2形态为一种在真空状态下对基板施加检查信号并进行基板检查的基板检查装置，包括：主室，其在真空状态下进行基板的检查；负载固定室，其在与大气侧之间及与主室之间进行基板的搬入搬出；探测器框储料器，其存储与基板进行电气接触并施加检查信号的探测器框；而且，该基板检查装置采用使其探测器框储料器配置在主室的上部的构成。
如利用本发明的基板检查装置的第2形态的构成，则为一种将探测器框储料器配置在主室上的构成，所以探测器框储料器所需的占据面积可直接利用主室的占据面积。因此，不会因探测器储料器而使占据面积增加，能够防止占据面积的增大。
在这种于主室的上部配置探测器框储料器的构成中，负载固定室具有室部的上方的开口部分，且在该开口部分上开关自如地安装有顶板。
在该顶板的下部安装有用于运送探测器框的运送机构。因此，该顶板起到负载固定室开口部分的盖部的作用，且起到对运送机构进行支持的基底部分的作用。
另外，顶板及运送机构是利用升降机构而自如升降。借由使该升降机构进行上升动作，可使顶板上升而打开负载固定室，形成一种使负载固定室内由运送机构所支持的探测器框可搬出的状态，且借由对探测器框储料器使高度方向的位置对合，可进行使导入到负载固定室中的探测器框被存储的存储位置的选择，及从负载固定室所取出的探测器框在探测器框储料器中被存储的存储位置的选择。
借由利用该升降机构的顶板及运送机构的升降动作，和在顶板上所安装的运送机构的运送动作，可在负载固定室和探测器框储料器之间，进行探测器框的更换。而且，如利用本发明的基板检查装置的第2形态，则可不需要第1形态的临时置放部，而在负载固定室和探测器框储料器之间进行探测器框的更换。
如利用本发明的基板检查装置的第2形态，则借由将用于存储探测器框的探测器框储料器设置在主室的上部，可减小占据面积。另外，借由使负载固定室的顶板和运送机构，利用一个升降机构而自如升降，可进行探测器框对负载固定室的导入导出，和探测器框对探测器框储料器的存储位置的选择。
如利用本发明的基板检查装置的各形态，则是在负载固定室和探测器框储料器之间进行探测器框的更换，且探测器框对主室的导入导出是在与负载固定室之间进行，所以可使负载固定室为真空状态，并在与主室之间进行探测器框的更换。借此，主室可在使室内保持真空状态的情况下，进行探测器框的更换。
另外，因为没有必要返回大气压状态，所以不需要为了形成大气压状态而停止电子枪等的电源，且不需要因停止电源而再从初期状态到驱动状态所需的所谓热机时间，能够防止检查时间的长时间化。
如利用本发明的基板检查装置，则在基板检查装置中，可防止因设置探测器框储料器而导致的占据面积的增大。
附图说明
图1(a)、图1(b)所示为用于说明本发明的基板检查装置的第1形态的概略图。
图2(a)、2(b)所示为用于说明本发明的基板检查装置的第1形态的概略图。
图3(a)～3(c)为用于说明在本发明的基板检查装置的第1形态中的，探测器框的移动动作例子的动作图。
图4(a)～4(c)为用于说明在本发明的基板检查装置的第1形态中的，探测器框的移动动作例子的动作图。
图5(a)～5(c)为用于说明在本发明的基板检查装置的第1形态中的，探测器框的移动动作例子的动作图。
图6(a)、6(b)为用于说明在本发明的基板检查装置的第1形态中的，探测器框的移动动作例子的动作图。
图7为用于说明在本发明的基板检查装置的第1形态中的，探测器框的移动动作例子的流程图。
图8为用于说明在本发明的基板检查装置的第1形态中的，探测器框的移动动作例子的流程图。
图9(a)、9(b)所示为用于说明本发明的基板检查装置的第2形态的概略图。
图10(a)、10(b)所示为用于说明本发明的基板检查装置的第2形态的概略图。
图11(a)～11(c)为用于说明在本发明的基板检查装置的第2形态中的，探测器框的移动动作例子的动作图。
图12(a)～12(c)为用于说明在本发明的基板检查装置的第2形态中的，探测器框的移动动作例子的动作图。
图13为用于说明在本发明的基板检查装置的第2形态中的，探测器框的移动动作例子的动作图。
图14为用于说明在本发明的基板检查装置的第2形态中的，探测器框的移动动作例子的流程图。
图15(a)～15(d)为用于说明基板检查装置的习知构成的概略图。
1：基板检查装置                  2：主室
3、3a：负载固定室                4：探测器储料器
5：第1运送机构                   6：第2运送机构
7：第3运送机构                   8：临时置放部
11：第1门阀                      12：第2门阀
20、20a、20b、20c：探测器框      30：基板
101：基板检查装置                102：主室
103：负载固定室                  104：探测器框储料器
111：门阀                        112：门
113：门阀
具体实施方式
以下，对本发明的实施形态参照图示详细地进行说明。另外，作为基板检查装置的检查对象的基板，除了液晶基板等TFT基板以外，还可应用于有机EL的基板、半导体基板等各种基板。
以下，对本发明的基板检查的第1形态利用图1(a)、1(b)～图8进行说明，对第2形态利用图9(a)、9(b)～图14进行说明。这里，第1形态为将探测器框储料器配置在负载固定室的上部的构成，第2形态为将探测器框储料器配置在主室的上部的构成。
首先，对本发明的基板检查装置的第1形态进行说明。图1(a)、1(b)、图2(a)、2(b)为用于说明本发明的基板检查装置的第1形态的概略说明图。另外，图1(a)所示为在本发明的基板检查装置的第1形态中，使顶板及探测器框储料器上升的状态，图1(b)所示为使顶板及探测器框储料器下降的状态。而且，图2(a)所示为在探测器框储料器和临时置放部之间所进行的探测器框的移动状态，图2(b)所示为在顶板上设置的运送机构和临时置放部之间所进行的探测器框的移动状态。
本发明的基板检查装置1是在真空状态下，利用探测器框20在基板(未进行图示)上施加检查信号以进行基板检查。在图1(a)、1(b)中，基板检查装置1包括：负载固定室3，其在与大气侧之间，及与在真空状态下进行基板检查的主室2之间，进行基板的搬入搬出；探测器框储料器4，其用于存储对基板施加检查信号的探测器框20。
主室2为在真空状态下进行基板检查的室部，包括例如电子线产生源、二次电子检测器及数据处理装置。另外，在图1(a)、1(b)中，并未图示电子线产生源、二次电子检测器及数据处理装置。
对主室2内的载台(未进行图示)，通过负载固定室3运送作为检查对象的基板及探测器框20，并利用探测器框20而对基板施加检查信号，且从电子线产生源照射电子线。利用电子线的照射，而从基板发出与其电压状态相对应的二次电子。二次电子检测器对该二次电子进行检测。因为二次电子量和电压状态具有关联性，所以从所检测的二次电子量求取电压波形，并对所检测的电压波形，和在正常状态下施加检查信号时所检测到的电压波形进行比较。借由比较该电压波形，可进行基板的缺陷检查。
负载固定室3除了在与大气侧之间以及在与主室2之间，进行基板的负载及卸载以外，还在与主室2之间进行探测器框的更换。这些基板及探测器框的室部间的移动，可借由在各室部中所设置的运送机构而进行。另外，在负载固定室3和大气侧之间设置有第1门阀11，而且，在负载固定室3和主室2之间设置有第2门阀12，且借由控制这些门阀的开关，而利用在各室部的真空抽吸或氮等的导入以进行向大气压的压力控制。
另外，在图1(a)、1(b)、图2(a)、2(b)所示的用于对主室2及负载固定室3进行真空抽吸的真空泵等中，省略了排气机构或用于向各室部内导入氮气以返回大气压的气体导入机构而未进行图示。
探测器框储料器4为用于存储并支持多种探测器框20的部分，并利用第2运送机构6而进行探测器框20的搬入搬出。
在本发明的基板检查装置1中，是将主室2和负载固定室3配置在同一平面上，并在负载固定室3的上部配置探测器框储料器4，且在主室2的上部配置临时置放部8。另外，临时置放部8是在负载固定室2和探测器框储料器4之间，以探测器框20进行更换时，使探测器框20被临时保持，并在该期间使探测器框储料器4沿高度方向移动而进行位置对合。
本发明的负载固定室3的上端具有开口部，且该开口部利用顶板3a而自如开关。另外，在利用顶板3a而关闭负载固定室3的上端开口部的情况下，该顶板3a作为关闭负载固定室3的盖部而发挥作用。在该顶板3a的上部设置有探测器框储料器4，另一方面，在顶板3a的下部设置有用于运送探测器框20的第1运送机构5。另外，在顶板3a关闭负载固定室3的状态下，第1运送机构5被收纳在负载固定室3内。
在顶板3a的上部所设置的探测器框储料器4及在顶板3a的下部所设置的第1运送机构5，都被安装在顶板3a上，且利用升降机构(未进行图示)而一体进行升降动作。
图1(a)所示为利用升降机构(未进行图示)而使顶板3a、探测器框储料器4及第1运送机构5上升的状态，图1(b)所示为利用升降机构(未进行图示)而使顶板3a、探测器框储料器4及第1运送机构5下降，并利用顶板3a而关闭负载固定室3的状态。
在图1(a)所示的状态下，顶板3a是利用未图示的升降机构而从负载固定室3脱离并上升，使负载固定室3打开，且使在顶板3a的下部所设置的第1运送机构5，于负载固定室3的上方露出。另外，在负载固定室3内处于真空状态的情况下，在使顶板3a上升之前，预先向负载固定室3内导入氮气等，使负载固定室3内的压力形成大气压。
而且，利用顶板3a的上升，第1运送机构5形成一种在负载固定室3的上方位置露出的状态，借此，可将探测器框20在负载固定室3内和大气侧之间进行搬入搬出。
另一方面，在图1(b)所示的状态下，顶板3a是利用未图示的升降机构下降，并与负载固定室3的上端开口部抵接而关闭负载固定室3，且将在顶板3a的下部所设置的第1运送机构5导入到负载固定室3内。在使该顶板3a下降而关闭负载固定室3后，借由对负载固定室3内进行真空排气以形成真空状态，并打开第2门阀12，可在与真空状态的主室2之间进行探测器框20的更换。另外，运送机构可利用例如滚子运送机构。
图2(a)所示为在探测器框储料器和临时置放部之间所进行的探测器框的移动状态。在图2(a)中，是利用升降机构(未进行图示)而使第1升降机构5与顶板3a一起升降，并使第1运送机构5的高度，与主室2上所配置的临时置放部8在高度方面相对合。另外，临时置放部8可具有用于使探测器框移动的第3运送机构。
借由使该第1运送机构5和临时置放部8的高度对合，可使探测器框20从第1运送机构5向临时置放部8，或者相反地从临时置放部8向第1运送机构5进行移动。另外，该高度对合可借由利用未图示的控制装置对升降机构实施控制而进行。
图2(b)所示为在顶板上所设置的运送机构和临时置放部之间所进行的探测器框的移动状态。
在图2(b)中，是利用升降机构使探测器框储料器4与顶板3a一起升降，并使探测器框储料器4的规定层的高度，与主室2上所配置的临时置放部8的高度相对合。另外，所说的探测器框储料器4的规定层，在例如从探测器框储料器4所存储的探测器框中选择取出基板检查所用的探测器框的情况下，为存储该探测器框的层，另一方面，在使基板检查所用的探测器框从负载固定室3进行移动，并返回到探测器框储料器4的情况下，是该探测器框20所返回的探测器框储料器的层。
借由使该探测器框储料器4的规定层和临时置放部8的高度对合，可使探测器框20从探测器框储料器4的规定层向临时置放部8，或者相反地从临时置放部8向探测器框储料器4的规定层进行移动。另外，关于该高度对合，也可利用未图示的控制装置而对升降机构进行控制。
下面，在本发明的基板检查装置1中，对探测器框的移动动作例子，利用图3(a)～3(c)～图6(a)、6(b)的动作图及图7、图8的流程图进行说明。
另外，在这里，是对主室2处于真空状态，负载固定室3处于大气压状态，并将在主室2中所使用的探测器框与在探测器框储料器中所存储的其它探测器框进行更换的动作加以说明。在图示的例子中，是将从主室2所取出的探测器框作为探测器框20a(图中的黑色部分所示)，将所更换的探测器框作为探测器框20b(图中的花纹部分所示)。
首先，在图3(a)中，对负载固定室3进行真空排气(S1)，并打开主室2和负载固定室3之间的第2门阀12(S2)，使探测器框20a从主室2向负载固定室3内移动(S3)，且关闭第2门阀12(S4)。利用这些S1～S4的动作，可不使主室2返回大气压，而将主室2中所使用的探测器框20a移动到负载固定室3。
接着，在图3(b)中，向负载固定室3内导入氮气并形成大气压后(S5)，使负载固定室3的顶板3a上升，并使第1运送机构5的高度与临时置放部8的第3运送机构7的高度对合(S6)。
在图3(c)中，利用第1运送机构5及第3运送机构7，使探测器框20a移动到临时置放部8(S7)。
接着，在图4(a)中，使探测器框储料器4进行升降(在图4(a)中是下降)，并使探测器框储料器4的空闲位置(空闲层)的高度与临时置放部8的高度相对合。此时，探测器框20a形成一种在临时置放部8上被保持的状态(S8)。
在图4(b)中，是利用第3运送机构7及第2运送机构6，使临时置放部8上所保持的探测器框20a移动到探测器框储料器4的空闲位置(空闲层)。借此，将使用的探测器框20a收纳在探测器框储料器4中(S9)。
在图4(c)中，是利用升降机构使探测器框储料器4升降，并使用于存储接着要使用的探测器框20b的层与临时置放部8的高度对合(S10)。
接着，在图5(a)中，利用第2运送机构6及第3运送机构7，使接着要使用的探测器框20b移动到临时置放部8(S11)。
在图5(b)中，使探测器框储料器4升降(在图5(b)中是上升)，并使第1运送机构5的高度与临时置放部8的高度对合。此时，探测器框20b形成一种在临时置放部8上被保持的状态(S12)。
在图5(c)中，利用第3运送机构7，使下一探测器框20b从临时置放部移动到第1运送机构5(S13)。
接着，在图6(a)中，使负载固定室3的顶板3a下降，将下一探测器框20b导入到负载固定室3内。此时，探测器框20b是在由第1运送机构5被保持的状态下而进行导入(S14)。
在图6(b)中，是在利用顶板3a关闭负载固定室3后，对负载固定室3内进行真空排气，以与主室2内形成相同的压力(S15)，然后，打开第2门阀12(S16)，使探测器框20b移动到主室2内，并载置在被置放于载台上的基板上(S17)，且关闭第2门阀12。借此，完成探测器框20b的更换，并可利用更换了的探测器框20b进行基板检查(S18)。
另外，在利用其它的探测器框进行基板检查的情况下，借由反复变换前述的动作，可取代主室内所设置的探测器框，而更换为在探测器框储料器中所存储的其它的探测器框，并利用更换了的其它的探测器框进行基板检查。
另外，当更换作为检查对象的基板时，是在使负载固定室3的顶板3a下降而关闭负载固定室，且关闭第1门阀11的状态下进行真空排气，并打开第2门阀12而将基板30从主室2向负载固定室3侧移动且取出，并关闭第2门阀12，然后使负载固定室3内形成大气压，且打开第1门阀11而将基板30向外部输入取出。
接着，将作为新的检查对象的基板从第1门阀11导入到负载固定室3内，并关闭第1门阀11，且对负载固定室3内进行真空排气，并打开第2门阀12，将导入到负载固定室3内的基板再导入到主室2内并载置在载台上，且关闭第2门阀12。利用上述动作，可在主室2内更换基板。
接着，对本发明的基板检查装置的第2形态进行说明。图9(a)、9(b)、图10(a)、10(b)为用于说明的本发明的基板检查装置的第2形态的概略说明图。另外，图9(a)所示为在本发明的基板检查装置的第2形态中的，使顶板上升的状态，图9(b)所示为使顶板下降的状态。而且，图10(a)、(b)所示为在探测器框储料器和顶板3a上设置的运送机构之间所进行的探测器框的移动状态。
第2形态中的基板检查装置的构成，与利用图1(a)、1(b)、图2(a)、2(b)所说明的第1形态相同，所以这里省略说明。
在第2形态的基板检查装置1中，是将主室2和负载固定室3配置在同一平面上，并在主室2的上部配置探测器框储料器4。另外，在第2形态中，是利用顶板3a上所设置的第1运送机构5，而在与探测器框储料器之间进行探测器框20的更换。因此，可不需要第1形态中的临时置放部8。
本发明的负载固定室3在上端具有开口部，且该开口部利用顶板3a而自如地开关。另外，在利用顶板3a而关闭负载固定室3的上端开口部的情况下，该顶板3a是作为关闭负载固定室3的盖部而发挥作用。在该顶部3a的下部，设置有用于运送探测器框20的第1运送机构5。另外，在顶板3a关闭负载固定室3的状态下，第1运送机构5被收纳在负载固定室3内。在顶板3a的下部所设置的第1运送机构5是利用升降机构(未进行图示)，而与顶板3a一起一体地进行升降动作。
图9(a)所示为利用升降机构(未进行图示)使顶板3a及第1运送机构5上升的状态，图9(b)所示为利用升降机构(未进行图示)使顶板3a及第1运送机构5下降，并利用顶板3a而关闭负载固定室3的状态。
在图9(a)所示的状态中，顶板3a利用未图示的升降机构而从负载固定室3脱离并上升，使负载固定室3打开，且使在顶板3a的下部所设置的第1运送机构5，于负载固定室3的上方露出。另外，在负载固定室3内处于真空状态的情况下，在使顶板3a上升之前，预先向负载固定室3内导入氮气等，使负载固定室3内的压力形成大气压。
而且，利用顶板3a的上升，第1运送机构5形成一种在负载固定室3的上方位置露出的状态，借此，可将探测器框20在负载固定室3内和大气侧之间进行搬入搬出。
另一方面，在图9(b)所示的状态下，顶板3a是利用未图示的升降机构下降，并与负载固定室3的上端开口部抵接而关闭负载固定室3，且将在顶板3a的下部所设置的第1运送机构5导入到负载固定室3内。在使该顶板3a下降而关闭负载固定室3后，借由对负载固定室3内进行真空排气以形成真空状态，并打开第2门阀12，可在与真空状态的主室2之间进行探测器框20的更换。另外，运送机构可利用例如滚子运送机构。
图10(a)所示为在顶板3a上所设置的第1运送机构5和探测器框储料器4之间所进行的探测器框的移动状态。在图10(a)中，是利用升降机构(未进行图示)而使第1升降机构5与顶板3a一起升降，并使第1运送机构5的高度，与主室2上所配置的探测器框储料器4的规定层在高度方面相对合。另外，探测器框储料器4可具有用于使探测器框移动的第2运送机构6。
借由使该第1运送机构5和探测器框储料器4的规定层的高度对合，可使探测器框20从第1运送机构5向探测器框储料器4的规定层，或者相反地从探测器框储料器4的规定层向第1运送机构5进行移动。另外，该高度对合可借由利用未图示的控制装置对升降机构实施控制而进行。
图10(b)所示为使顶板上所设置的第1运送机构5与探测器框储料器4的其它的规定层进行位置对合的探测器框的移动状态。
在图10(b)中，是利用升降机构使第1运送机构5与顶板3a一起升降，并与探测器框储料器4的其它的规定层的高度进行对合。另外，所说的探测器框储料器4的规定层，在例如从探测器框储料器4所存储的探测器框中选择取出基板检查所用的探测器框的情况下，为存储该探测器框的层，另一方面，在使基板检查所用的探测器框从负载固定室3进行移动，并返回到探测器框储料器4的情况下，是该探测器框20所返回的探测器框储料器4的层。
借由该探测器框储料器4的规定层和第1运送机构5的高度对合，可使探测器框20从探测器框储料器4的规定层向第1运送机构5，或者相反地从第1运送机构5向探测器框储料器4的规定层进行移动。另外，关于该高度对合，也可利用未图示的控制装置而对升降机构进行控制。
下面，在第2形态的基板检查装置1中，对探测器框的移动动作例子，利用图11(a)～11(c)～图13的动作图及图14的流程图进行说明。
另外，在这里，是对主室2处于真空状态，负载固定室3处于大气压状态，并将在主室2中所使用的探测器框与在探测器框储料器中所存储的其它探测器框进行更换的动作加以说明。在图示的例子中，是将从主室2所取出的探测器框作为探测器框20a(图中的黑色部分所示)，将所更换的探测器框作为探测器框20b(图中的花纹部分所示)。
首先，在图11(a)中，对负载固定室3进行真空排气(S21)，并打开主室2和负载固定室3之间的第2门阀12(S22)，使探测器框20a从主室2向负载固定室3内移动(S23)，且关闭第2门阀12(S24)。利用这些S21～S24的动作，可不使主室2返回大气压，而将主室2中所使用的探测器框20a移动到负载固定室3。
接着，在图11(b)中，向负载固定室3内导入氮气并形成大气压后(S25)，使负载固定室3的顶板3a上升，并使第1运送机构5的高度与探测器框储料器4的空闲位置(空闲层)的第2运送机构6的高度对合(S26)。
在图11(c)中，利用第1运送机构5及第2运送机构6，使探测器框20a移动到探测器框储料器4的规定层(S27)。
接着，在图12(a)中，使探测器框储料器4进行升降(在图12(a)中是上升)，并使第1升降机构5进行升降，且与用于存储接着要使用的探测器框20b的层的高度相对合(S28)。
接着，在图12(b)中，利用第2运送机构6而使接着要使用的探测器框20b移动到第1运送机构5(S29)。
接着，在图12(c)中，使负载固定室3的顶板3a下降，将下一探测器框20b导入到负载固定室3内。此时，探测器框20b是在由第1运送机构5被保持的状态下而进行导入(S30)。
在图13中，是在利用顶板3a关闭负载固定室3后，对负载固定室3内进行真空排气，以与主室2内形成相同的压力(S31)，然后，打开第2门阀12(S32)，使探测器框20b移动到主室2内，并载置在被置放于载台上的基板上(S33)，且关闭第2门阀12。借此，完成探测器框20b的更换，并可利用更换了的探测器框20b进行基板检查(S34)。
另外，在利用其它的探测器框进行基板检查的情况下，借由反复变换前述的动作，可取代主室内所设置的探测器框，而更换为在探测器框储料器中所存储的其它的探测器框，并利用更换了的其它的探测器框进行基板检查。
另外，更换作为检查对象的基板，可与第1形态所说明的动作同样地进行。
在上述的本发明的探测器框的更换及基板的更换的任一者中，主室2内都可保持真空状态，能够不使电子枪等的电源停止而维持驱动状态。因此，可节省因停止电源而使装置再度驱动所需要的所谓的热机时间，能够缩短探测器框更换时的装置的停机时间。
本发明的基板检查装置并不限于液晶的TFT基板的检查，可应用于在真空下进行的检查装置，而且，还可适用于利用电子线或离子束的曝光装置，以及电子显微镜等利用真空处理室及负载固定室的装置。

Claims (7)

1.一种基板检查装置，为一种在真空状态下对基板施加检查信号而进行基板检查的基板检查装置，其特征在于包括：
主室，在真空状态下进行基板的检查；
负载固定室，在与大气侧之间及与前述主室之间进行基板的搬入搬出；
探测器框储料器，存储与基板进行电气接触并施加检查信号的探测器框；
其中前述探测器框储料器配置在前述负载固定室的上部。
2.如权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于其中，
前述负载固定室具有开关自如的顶板；
前述顶板在上部设置有前述探测器框储料器，在下部设置有运送前述探测器框的运送机构；
该基板检查装置还具备使前述顶板和前述探测器框储料器自如升降的升降机构；
该基板检查装置是利用前述升降机构的升降动作和前述运送机构的运送动作，在负载固定室和探测器框储料器之间进行探测器框的更换。
3.如权利要求2所述的基板检查装置，其特征在于其中，
在前述主室的上部具有临时保持探测器框的临时置放部；
前述运送机构是通过前述临时置放部而进行与探测器框储料器之间的探测器框的更换。
4.如权利要求3所述的基板检查装置，其特征在于其中，
前述升降机构利用升降动作而进行前述探测器框储料器和前述临时置放部的位置对合。
5.一种基板检查装置，为一种在真空状态下对基板施加检查信号并进行基板检查的基板检查装置，其特征在于包括：
主室，在真空状态下进行基板的检查；
负载固定室，在与大气侧之间及与前述主室之间进行基板的搬入搬出；
探测器框储料器，存储与基板进行电气接触并施加检查信号的探测器框；
其中前述探测器框储料器配置在前述主室的上部。
6.如权利要求5所述的基板检查装置，其特征在于其中，
前述负载固定室具有开关自如的顶板；
前述顶板在下部安装有运送前述探测器框的运送机构；
该基板检查装置还具有使前述顶板自如升降的升降机构；
该基板检查装置是利用前述升降机构的升降动作和前述运送机构的运送动作，在负载固定室和探测器框储料器之间进行探测器框的更换。
7.如权利要求6所述的基板检查装置，其特征在于其中，前述升降机构利用升降动作而进行前述探测器框储料器和前述运送机构的位置对合。
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