JP2010271655A - プローバフレーム搬送台車およびプローバフレームハンドリングシステム - Google Patents
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Abstract
【課題】クリーンルーム外におけるプローバフレームの傾斜状態での輸送と、クリーンルーム内におけるプローバフレームの移載とを含む搬送動作を、簡易な機構で行う。
【解決手段】プローバフレームハンドリングシステム10は、プローバフレーム100を搬送するプローバフレーム搬送台車20およびプローバフレーム100を移載するプローバフレーム移載台車30とを備える。プローバフレーム搬送台車20は、プローバフレーム100を支持面21a上に保持する保持部と、保持部を傾斜状態で搬送する支持部とを備える。支持部は支柱23aと第1の昇降機構とを有し、保持部は、一方の端部を支柱23aに対して回動および上下動自在とし、他方の端部を滑動部22により床面に対して滑動自在とする。上下動と滑動とによって、プローバフレーム100は水平状態と傾斜状態との間で姿勢変更を可変とする。
【選択図】図1
【解決手段】プローバフレームハンドリングシステム10は、プローバフレーム100を搬送するプローバフレーム搬送台車20およびプローバフレーム100を移載するプローバフレーム移載台車30とを備える。プローバフレーム搬送台車20は、プローバフレーム100を支持面21a上に保持する保持部と、保持部を傾斜状態で搬送する支持部とを備える。支持部は支柱23aと第1の昇降機構とを有し、保持部は、一方の端部を支柱23aに対して回動および上下動自在とし、他方の端部を滑動部22により床面に対して滑動自在とする。上下動と滑動とによって、プローバフレーム100は水平状態と傾斜状態との間で姿勢変更を可変とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板検査を行うプローバフレームを搬送し、載置位置を変更するプローバフレームハンドリングシステム、および、プローバフレームハンドリングシステムを構成するプローバフレーム搬送台車、並びにプローバフレーム移載台車に関する。
液晶基板や薄膜トランジスタアレイ基板(TFTアレイ基板)は、ガラス基板等の基板上に薄膜トランジスタ(TFT)がマトリックス状に配置されてなるTFTアレイと、この薄膜トランジスタに駆動信号を供給する信号電極とを備え、薄膜トランジスタは走査信号電極端子,映像信号電極端子からの信号により駆動される。
基板に形成されるTFTアレイや液晶基板を検査する装置としてTFTアレイ検査装置や液晶基板検査装置等の基板検査装置が知られている。基板検査装置は、走査信号電極端子,映像信号電極端子と電気的に接続する検査用プローバと検査回路を備える。検査回路は、所定の電圧を検査用プローバに印加し、印加により流れる電流を検出して、ゲート−ソース間の短絡、点欠陥、断線等を調べる。
液晶基板上に形成されるTFTアレイは様々なサイズや仕様があり、それぞれレイアウトが異なり、液晶基板上に形成される駆動用電極もレイアウト毎に異なる。そのため、液晶基板を検査する基板検査装置においても、TFTアレイのレイアウトに応じて検査用プローバ電極の電極位置を設定したものを用意しておき、検査する液晶基板に応じて交換し、検査を行っている。
液晶基板を検査する際には、液晶基板の上方あるいは下方からプローバフレームを重ね、プローバフレームに設けたプローブピンを液晶基板の電極に接触させ、このプローブピンと電極との接触によって液晶基板とプローバとの間の電気的接続を行っている。基板検査はクリーンルーム内に設置した基板検査装置において行われるため、プローバフレームをクリーンルーム内に搬出入する必要がある。
従来、プローバフレームの搬送は台車によって行っている。この台車による搬送では、クレーンや別途用意した吊り下げ機構によって台車に積載し、プローバフレームを積載した台車を人力によって移動させている。
液晶用ガラス基板の大型化に伴い、プローバフレームのサイズも大型化し、重量も重くなってきている。例えば、G8以上のガラス基板検査に用いるプローバフレームはサイズが2m角以上であり、重量も100kgを越えるものとなる。このような大型サイズのプローバフレームを搬送するには、輸送路のスペースの制約から傾斜させた状態に積載することが望ましい。ここで、輸送路は、プローバフレームの製造箇所からプローバフレームを使用する装置までの経路であり、屋内に限らず交通路等の屋外を含むものである。
しかしながら、大型のプローバフレームを水平状態から傾斜状態に積載する作業を人力によって実施する場合には、例えば10人以上の多人数の作業者が必要となる。
人力に代えてクレーン等の吊り下げ機構を用いる場合には、斜め方向の吊り上げ吊り下げを行うには、プローバフレームを保持する専用の治具が必要となり、作業も熟練を要する。また、プローバフレームを吊り上げた際、フレーム剛性が弱い箇所に荷重がかかると、フレームが変形するおそれがある。
このため、プローバフレームを水平位置から傾斜位置に積載し、また、傾斜位置から水平位置に戻す動作を簡易に行うことができる機構が求められている。
また、プローバフレームをクリーンルーム内に搬入した後、プローバフレームを検査装置等の装置やストッカーに移載するには、クリーンルーム内に別途クレーンを用いる必要がある。しかしながら、クリーンルーム内でのクレーンの操作には熟練を要し、プローバフレームやクリーンルーム内に設置した装置や機構を損傷させるおそれがある。
このため、クリーンルーム内においてプローバフレームの載置位置を簡易に行うことができる移載機構が求められている。
したがって、本発明は上記した課題を解決して、クリーンルーム外におけるプローバフレームの傾斜状態での輸送と、クリーンルーム内におけるプローバフレームの移載とを含む搬送動作を、簡易な機構で行うことができるプローバフレームハンドリングシステムを形成することを目的とし、当該プローバフレームハンドリングシステムを構成するプローバフレーム搬送台車、並びにプローバフレーム移載台車を形成することを目的とする。
本発明は、プローバフレームを搬送し移載するプローバフレームハンドリングシステムは、プローバフレームを搬送するプローバフレーム搬送台車、およびプローバフレームを移載するプローバフレーム移載台車とから構成される。
本発明のプローバフレーム搬送台車は、プローバフレームを支持面上に保持する保持部と、保持部を傾斜状態で搬送する支持部とを備える。
支持部は、垂直に設置された支柱と第1の昇降機構とを有する。保持部は、一方の端部が支柱に対して回動および上下動自在であり、他方の端部が滑動部により床面に対して滑動自在である。
昇降機構は、保持部の一方の端部を支柱に対して上下動させる。保持部は、昇降機構による上下動に伴って一方の端部が支柱に対して回動し、他方の端部は滑動部によって床面上に対して滑動する。この上下動と滑動とによって、プローバフレームは水平状態と傾斜状態との間で可変となる。
また、プローバフレーム搬送台車は、傾斜状態の前記保持部と支柱との間にストッパを着脱自在に備える。ストッパは保持部と支柱との間に装着することによって保持部の傾斜状態を所定の傾斜角に保持する。このストッパによってプローバフレームを傾斜状態のまま安定して搬送することができる。
本発明のプローバフレーム移載台車は、プローバフレームを水平状態で保持する保持部と、保持部を上下方向に移動する第2の昇降機構と、保持部からプローバフレームを水平方向に移動するコロ搬送機構とを備える。
このプローバフレーム移載台車において、プローバフレームをプローバフレーム搬送台車から保持部に移動させて載置し、第2の昇降機構はプローバフレームを載置した保持部を上下動させて移動先の装置やストッカーの高さに合わせる。コロ搬送機構は、保持部に載置したプローバフレームを水平方向に移動させ、装置やストッカーに載置する。
本発明のプローバフレームハンドリングシステムは、クリーンルーム内においてプローバフレームを搬送し移載するプローバフレームハンドリングシステムであり、プローバフレーム搬送台車とプローバフレーム移載台車とを備える。プローバフレーム搬送台車は、クリーンルームの外部においてプローバフレームを傾斜状態で搬送し、プローバフレーム移載台車は、クリーンルーム内部においてプローバフレームを載置位置間において水平状態で移載する。
クリーンルーム内に設ける装置は基板検査装置とすることができる、液晶ディスプレイや有機ELディスブレイなどに使われる液晶基板の検査に使用する液晶基板検査装置に適用することができる。
本発明によれば、クリーンルーム外におけるプローバフレームの傾斜状態での輸送と、クリーンルーム内におけるプローバフレームの移載とを含む搬送動作を、簡易な機構で行うことができる。
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
図1は本発明のプローバフレームハンドリングシステムの概略構成を説明するための図である。図1において、プローバフレームハンドリングシステム10は、クリーンルーム40の外部においてプローバフレーム100を搬送するプローバフレーム搬送台車20と、クリーンルーム40の内部において、プローバフレーム100の載置先の入れ替えを行うプローバフレーム移載台車30とを備える。
図1は本発明のプローバフレームハンドリングシステムの概略構成を説明するための図である。図1において、プローバフレームハンドリングシステム10は、クリーンルーム40の外部においてプローバフレーム100を搬送するプローバフレーム搬送台車20と、クリーンルーム40の内部において、プローバフレーム100の載置先の入れ替えを行うプローバフレーム移載台車30とを備える。
プローバフレーム搬送台車20は、プローバフレーム100を支持面21a上に保持する保持部21と、保持部21を傾斜状態で搬送する支持部23とを備える。
支持部23は、垂直に設置された支柱23aと第1の昇降機構23bとを備える。支柱23aおよび第1の昇降機構23bは、保持部21の一端を回動させながら上下動させて、保持部21の姿勢を水平状態と傾斜状態との間で姿勢を変更する。
保持部21の姿勢を傾斜状態とすることによって、大型のプローバフレーム100であっても、広い輸送スペースを確保することなく搬送することができる。
保持部21は、一方の端部に設けた支持軸部21bによって支柱23aに対して回動および上下動自在に取り付けられている。保持部21の他方の端部には、車輪等の滑動部22が設けられ、床面に対して滑動自在としている。滑動部22は、第1の昇降機構23bによって保持部21の一方の端部が上下動する際に、保持部21の他方の端部を床面上で滑動させることによって、保持部21が水平状態と傾斜状態との間で姿勢変更を円滑に行わせる。
プローバフレーム搬送台車20は、保持部21の傾斜状態を所定角度に保持するためにストッパ24を備える。ストッパ24は保持部21の底面に設置されている。保持部21を水平状態から傾斜させていくと、保持部21に設けたストッパ24の底面は支柱23aの側面に当接して保持部21の傾斜状態は所定角度に止まり、保持部21は自重によって所定角度の傾斜状態で保持される。ストッパ24を用いることによって、格別な駆動源を要することなく保持部21の傾斜状態を保持することができる。
プローバフレーム移載台車30は、クリーンルーム40内においてプローバフレーム100の載置位置を変更するために用いる台車であり、プローバフレーム11を水平状態で保持する保持部31と、この保持部31を上下方向に移動する第2の昇降機構32と、保持部31上に載置したプローバフレーム100を水平方向に移動するコロ搬送機構33とを備える。コロ搬送機構33で移動されたプローバフレーム100は、クリーンルーム40内の装置(図示していない)やストッカー60に移動して載置することができる。
ストッカー60の一構成例は、枠体61に複数の支持部62を上下方向に配置して形成することができる。各支持部62にはコロ搬送機構33との間の移動においてプローバフレーム100を案内するガイド部63が設け、これによってプローバフレーム100の移動を円滑とすることができる。
第2の昇降機構32は、ストッカー60において載置する支持部62の高さまで保持部31を昇降して、保持部31と支持部62との高さを調整し、プローバフレーム100の移動を可能とする。
次に、図2のフローチャートおよび図3〜図7の動作図を用いて本発明のプローバフレームハンドリングシステムの動作について説明する。図3はプローバフレームのプローバフレーム搬送台車への載置動作を説明するための図であり、図4はプローバフレーム搬送台車における保持部の傾斜動作を説明するための図であり、図5はプローバフレーム搬送台車の移動を説明するための図であり、図6、図7はプローバフレーム移載台車の動作を説明するための図である。
はじめに、プローバフレーム搬送台車20を門型リフター50に移動し(S1)、門型リフター50によってプローバフレーム100を降下させ、プローバフレーム搬送台車20の保持部21の支持面21a上に載置する。図3(a)はこの載置動作を示している。なお、プローバフレーム100を保持部21に降下させるリフターは門型リフターに限られるものではない(S2)。
プローバフレーム100を保持部21の支持面21a上に載置した後、第1の昇降機構23bによって保持部21の一端の支持軸部21bを支柱23aに沿って上昇させる図3(b)はこの動作開始時の状態を示している(S3)。
第1の昇降機構23bが保持部21の支持軸部21bを支柱23aに沿って上昇させると、この上昇に従って保持部21は傾斜する。この傾斜に伴って、保持部21の他端の滑動部22は床面に沿って水平方向に移動する。この滑動部22は、保持部21が大きく傾斜した状態では床面から離れる。図4(a)はこの傾斜動作の途中の状態を示し、図4(b)は保持部21が大きく傾斜して、他端が床面から離れた状態を示している (S4)。
保持部21をストッパ24の下面が支柱23aの側面に当接するまで傾斜動作を行う。ストッパ24の底面が支柱23aの側面に当接すると保持部21の傾斜動作は停止し、ストッパ24の底面と、保持部21への設置面とのが成す所定角度の傾斜した状態で保持される。この傾斜の所定角度は、プローバフレームを搬送する状況等に応じて予め定めておくことができ、ストッパ24の角度はこの所定角度に応じて定めることができる(S5)。
プローバフレーム搬送台車20は、プローバフレーム100を傾斜させた状態でクリーンルームまで搬送する。図5(a)はこの状態を示している(S6)。クリーンルーム40まで搬送した後、第1の昇降機構23bによって保持部21の支持軸部21bを支柱23aに沿って下降させる(S7)。この下降動作によって、保持部21の傾斜角は緩やかとなり、途中の段階において保持部21の他端の滑動部22は床面と接触して床面に沿って移動する。図5(b)はこの状態を示している(S8)。
次に、プローバフレーム100をプローバフレーム搬送台車20の保持部21からクリーンルーム40内のプローバフレーム移載台車30に移動して載置する。このとき、プローバフレーム100はプローバフレーム移載台車30のコロ搬送機構33によって移動される(S9)。
プローバフレーム移載台車30に載置されたプローバフレーム100の、クリーンルーム40内での移載先を選択する。移載先は、例えば、検査装置等の装置やプローバフレームを保管しておくストッカーがある(S10)。
移載先としてストッカーを選択した場合には(S11)、プローバフレーム移載台車30からストッカーにプローバフレームを移載する。図6はプローバフレーム移載台車30からストッカー60への移載動作を示す図である。プローバフレーム100をプローバフレーム移載台車30からストッカー60へ移置するには、第2の昇降機構32によって保持部31を上昇あるいは下降させてストッカー60の移載先の支持部62の高さに合わせ、その後、コロ搬送機構33によってプローバフレーム100をプローバフレーム移載台車30からストッカー60へ移動させる。ストッカー60側では、ガイド部63によって案内されて支持部62に載置される(S12)。
移載先として装置を選択した場合には(S11)、プローバフレーム移載台車30から装置70にプローバフレームを移載する。
図7はプローバフレーム移載台車30から装置70への移載動作を示す図である。プローバフレーム100をプローバフレーム移載台車30から装置70へ移置するには、第2の昇降機構32によって保持部31を上昇あるいは下降させて装置70の移載先の高さに合わせ、その後、コロ搬送機構33によってプローバフレーム100をプローバフレーム移載台車30から装置70へ移動させる。装置70側では、ストッカーと同様にガイド部を設け、これによってプローバフレーム100を案内して載置することができる(S13)。
本発明のプローバフレームハンドリングシステムは、液晶基板に限らず半導体基板の搬送に適用することができる。
10…プローバフレームハンドリングシステム、11…プローバフレーム、20…プローバフレーム搬送台車、21…保持部、21a…支持面、21b…支持軸部、22…滑動部、23…支持部、23a…支柱、23b…昇降機構、24…ストッパ、30…プローバフレーム移載台車、31…保持部、32…昇降機構、33…コロ搬送機構、40…クリーンルーム、50…門型リフター、60…ストッカー、61…枠体、62…支持部、63…ガイド部、70…装置、100…プローバフレーム。
Claims (4)
- プローバフレームを支持面上に保持する保持部と、
前記保持部を傾斜状態で搬送する支持部とを備え、
前記支持部は、垂直に設置された支柱と第1の昇降機構を有し、
前記保持部は、一方の端部が前記支柱に対して回動および上下動自在であり、他方の端部が滑動部により床面に対して滑動自在であり、
前記保持部は、前記昇降機構によって保持部の一方の端部が支柱に対して回動しながら上下動し、他方の端部が前記滑動部によって床面上に対して滑動し、前記プローバフレームを水平状態と傾斜状態との間で可変とすることを特徴とする、プローバフレーム搬送台車。 - 傾斜状態の前記保持部と支柱との間に着脱自在のストッパを備え、
前記ストッパは前記保持部と支柱との間に装着することによって前記保持部の傾斜状態を所定の傾斜角に保持することを特徴とする請求項1に記載のプローバフレーム搬送台車。 - プローバフレームを水平状態で保持する保持部と、
前記保持部を上下方向に移動する第2の昇降機構と、
前記保持部からプローバフレームを水平方向に移動するコロ搬送機構とを備えたことを特徴とする、プローバフレーム移載台車。 - クリーンルーム内においてプローバフレームを搬送し移載するプローバフレームハンドリングシステムであって、
請求項1又は請求項2に記載のプローバフレーム搬送台車と請求項3に記載のプローバフレーム移載台車とを備え、
前記プローバフレーム搬送台車は、前記クリーンルームの外部において前記プローバフレームを搬送し、
前記プローバフレーム移載台車は、前記クリーンルーム内部において前記プローバフレームを載置位置間で移載することを特徴とする、プローバフレームハンドリングシステム。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107200053A (zh) * | 2017-05-23 | 2017-09-26 | 浙江大学 | 一种翼肋存放装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002059841A (ja) * | 2000-08-23 | 2002-02-26 | Ryokeiso Kk | キャリヤー |
JP2003051519A (ja) * | 2001-08-07 | 2003-02-21 | Tokyo Electron Ltd | プローブカード搬送装置及びプローブカード搬送方法 |
JP2008102017A (ja) * | 2006-10-19 | 2008-05-01 | Shimadzu Corp | 基板検査装置 |
-
2009
- 2009-05-25 JP JP2009125612A patent/JP2010271655A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2003051519A (ja) * | 2001-08-07 | 2003-02-21 | Tokyo Electron Ltd | プローブカード搬送装置及びプローブカード搬送方法 |
JP2008102017A (ja) * | 2006-10-19 | 2008-05-01 | Shimadzu Corp | 基板検査装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107200053A (zh) * | 2017-05-23 | 2017-09-26 | 浙江大学 | 一种翼肋存放装置 |
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