JP2003051519A - プローブカード搬送装置及びプローブカード搬送方法 - Google Patents

プローブカード搬送装置及びプローブカード搬送方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 プローブカードの交換頻度は多くても一日に
２回程度に過ぎないため、プローブ装置に付帯するプロ
ーブカード交換装置の稼働率が低い。また、プローブカ
ードの大型化、重量化が進み、プローブカード交換装置
が大型化するため、プローブ装置のクリーンルーム内で
のフットプリントが大きく、コスト高を招く。しかも、
プローブカードの大型化、重量化によりオペレータによ
るプローブカードの持ち運びが難しくなる。 【解決手段】 本発明のプローブカード搬送装置１０
は、プローブカード搬送機構１１と、このプローブカー
ド搬送機構１１が設けられた駆体１２と、この駆体１２
のプローブ装置２０との対峙側の４箇所に設けられ且つ
プローブ装置２０の４箇所の被連結具２２と連結する連
結機構１３とを備え、且つ、プローブカード搬送機構１
１は、プローブカード２１をＹ方向に移送する移送機構
１７と、この移送機構１７を昇降させる昇降機構１８と
を有している。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プローブカード搬
送装置及びプローブカード搬送方法に関し、更に詳しく
は、プローブ装置のフットプリントを削減することがで
きると共に大型化したプローブカードの搬送操作の安全
性を高めることができるプローブカード搬送装置及びプ
ローブカード搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】プローブ装置は被検査体（例えば、ウエ
ハ）の電気的特性検査を行う装置である。プローブ装置
は、通常、Ｘ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能な載置台
と、この載置台の上方に配置されたプローブカードとを
備え、検査時にはウエハを載置した載置台をＸ、Ｙ及び
Ｚ方向に移動させてウエハとプローブカードとを接触さ
せてウエハの電気的特性検査を行っている。また、プロ
ーブカードはプローブ装置内に配置されたクランプ機構
に対して着脱するようになっている。
【０００３】従来のプローブ装置はプローブカードの交
換装置を有している。そして、プローブカードをプロー
ブ装置に着脱する時には、プローブ装置の一面（例え
ば、正面のカバー）を開放し、プローブカード交換装置
をプローブ装置の正面から引き出した後、プローブカー
ド交換装置上にプローブカードを設置する。引き続き、
プローブカード交換装置を操作してプローブ装置内のク
ランプ機構との間でプローブカードを着脱する。プロー
ブカードの着脱後には、プローブカード交換装置をプロ
ーブ装置内に納め、カバーを閉じる。
【０００４】また、プローブカードを搬送する時には、
オペレータが保管棚等からプローブカードを取り出し、
保管棚等からプローブ装置まで持ち運び、プローブカー
ド交換装置に設置する。また、オペレータは交換後のプ
ローブカードをプローブカード交換装置から取り外し、
保管棚等まで持ち運んで収納する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、プロー
ブカードの交換はそう頻繁に行われるわけではなく、交
換頻度は多くても一日に２回程度に過ぎないため、プロ
ーブカード交換装置の稼働率が低いという課題があっ
た。また、ウエハ等の被検査体の大型化、高集積化に伴
ってプローブカードの大型化、重量化が進み、プローブ
カード交換装置が大型化するため、プローブ装置内のプ
ローブカード交換装置の収納空間が大きくなってクリー
ンルーム内でのプローブ装置のフットプリントが大きく
なり、コスト高を招くという課題があった。しかも、プ
ローブカードの大型化、重量化によりプローブカードが
２０ｋｇ近くにまで達し、オペレータによるプローブカ
ードの持ち運びが難しくなるという課題があった。
【０００６】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、プローブカードを搬送することができるプ
ローブカード搬送装置及びプローブカード搬送方法を提
供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
のプローブカード搬送装置は、プローブ装置のプローブ
カードを搬送するためのプローブカード搬送機構と、こ
のプローブカード搬送機構が設けられた駆体と、この駆
体のプローブ装置との対峙側の少なくとも３箇所に設け
られ且つ上記プローブ装置の少なくとも３箇所の被連結
具と連結する連結機構とを備えたプローブカード搬送装
置であって、プローブカード搬送機構は、上記プローブ
カードをプローブ室に移送する移送機構と、この移送機
構を昇降させる昇降機構とを備えたことを特徴とするも
のである。
【０００８】本発明の請求項２に記載のプローブカード
搬送装置は、請求項１に記載の発明において、上記連結
機構は、上記被連結具と係合する係合具と、これら両者
を連結する連結具とを有することを特徴とするものであ
る。
【０００９】本発明の請求項３に記載のプローブカード
搬送装置は、請求項２に記載の発明において、上記連結
具を上記被連結具から解除する手段を上記駆体に設けた
ことを特徴とするものである。
【００１０】また、本発明の請求項４に記載のプローブ
カード搬送装置は、請求項１〜請求項３のいずれか１項
に記載の発明において、上記プローブカードの存否を確
認するセンサを上記駆体に設けたことを特徴とするもの
である。
【００１１】また、本発明の請求項５に記載のプローブ
カード搬送方法は、プローブカード搬送装置とプローブ
装置を連結する工程と、上記プローブカード搬送装置の
プローブカード搬送機構を上記プローブ装置内の所定位
置まで挿入する工程と、上記プローブカード搬送機構を
上記所定位置からプローブカードの着脱位置まで上昇さ
せる工程と、上記プローブカード搬送機構を介して上記
プローブ装置内でプローブカードを着脱する工程と、上
記プローブカード搬送機構を上記着脱位置から上記所定
位置まで下降させる工程と、上記上記プローブカード搬
送機構を上記プローブ装置から退避させる工程と、上記
プローブカード搬送装置とプローブ装置の連結を解除す
る工程とを備えたことを特徴とするものである。
【００１２】
【発明に実施の形態】以下、図１〜図５に示す実施形態
に基づいて本発明を説明する。本実施形態のプローブカ
ード搬送装置１０は、図１の（ａ）、（ｂ）に示すよう
に、プローブ装置２０にプローブカード２１（例えば外
径６００ｍｍ、重量２０ｋｇ）を搬送するためのプロー
ブカード搬送機構１１と、このプローブカード搬送機構
１１が設けられた駆体１２と、この駆体１２のプローブ
装置２０との対向側の４箇所に同一面を形成するように
設けられ且つプローブ装置２０の上下左右４箇所の被連
結具２２とそれぞれ連結する上下左右４箇所の連結機構
１３と、プローブカード搬送機構１１を駆動するバッテ
リ（図示せず）とを備え、プローブカード搬送機構１１
上に設置されたプローブカード２１をプローブ装置２０
へ搬送するように構成されている。４箇所の連結機構１
３は、同図に示すように、プローブカード２１を搬送す
る際に、プローブ装置２０の正面に設けられた４箇所の
被連結具２２と連結し、もってプローブカード搬送装置
１０とプローブ装置２０が連結するように構成されてい
る。また、プローブカード搬送装置１０とプローブ装置
２０は互いの対向位置に例えば赤外線通信手段１４、２
３を備え、赤外線通信によりプローブカード搬送機構１
１及びプローブ装置２０内のクランプ機構（図示せず）
が駆動する。
【００１３】また、上記プローブカード搬送装置１０
は、図１の（ａ）、（ｂ）に示すように、駆体１２の下
端四隅に取り付けられたキャスタ１５と、駆体１２の上
部後端に取り付けられたハンドル１６とを備えている。
従って、プローブカード２１を交換する場合には、オペ
レータはプローブカード搬送装置１０にプローブカード
２１を設置した後、ハンドル１６を握ってプローブカー
ド搬送装置１０を目標のプローブ装置２０まで移動させ
ることができるため、プローブカード２１が大型化、重
量化しても従来のようにオペレータはプローブカード２
１を直接持ち運ぶ必要がない。また、このハンドル１６
は後述の移送機構を操作する時のハンドルを兼ねてい
る。
【００１４】而して、上記プローブカード搬送機構１１
は、図１の（ａ）、（ｂ）に示すように、プローブカー
ド２１を駆体１２の上部で前後方向（Ｙ方向）（同図で
は左右方向）に二段階で移送する移送機構１７と、この
移送機構１７を駆体１２の上面において上下方向（Ｚ方
向）に昇降させる昇降機構１８とを備えている。
【００１５】上記移送機構１７は、図１の（ａ）、
（ｂ）に示すように、昇降機構１８の左右に前後して固
定されたガイド部材１７Ａと、左右のガイド部材１７Ａ
に従ってＹ方向に一体的に移動可能に係合する左右一対
のガイドレール１７Ｂと、左右一対のガイドレール１７
Ｂに従ってＹ方向に移動可能に係合部材１７Ｃを介して
係合するアーム１７Ｄと、このアーム１７Ｄにナット部
材（図示せず）を介して連結されたＹ方向ボールネジ
（図示せず）と、このＹ方向ボールネジを駆動させるモ
ータ（図示せず）と、このモータを操作するようにハン
ドル１６近傍に付設されたスイッチ（図示せず）とを備
えている。係合部材１７Ｃはアーム１７Ｄ裏面の後端部
の左右に前後して固定されている。従って、移送機構１
７は、図１の（ｂ）に白抜きの矢印で示すように、アー
ム１７Ｄが駆体１２上からその前方へ二段階で進出して
プローブカード２１をプローブ装置内へ移送するように
なっている。即ち、第一段階ではハンドル１６の操作に
より左右一対のガイドレール１７Ｂが駆体１２上から前
方へ進出し、第二段階ではスイッチ操作により駆動する
モータ及びＹ方向ボールネジを介してアーム１７Ｄがガ
イドレール１７Ｂ上からその前方へ進出する。アーム１
７Ｄの進出端はセンサ（図示せず）によって検出する。
アーム１７Ｄはセンサの検出信号に基づいて進出端で停
止する。この進出端におけるアーム１７Ｄ上のプローブ
カード２１の中心はそのクランプ機構（図示せず）の中
心と一致するようになっている。また、左右一対のガイ
ドレール１７Ｂには後退端位置及び進出端位置でロック
するロック機構（図示せず）が設けられていると共に、
駆体１２にはロック機構を操作するスイッチ（図示せ
ず）が設けられている。このスイッチはハンドル１６を
握った状態で操作できるようになっている。従って、ス
イッチ操作によりロック機構を解除した後、ガイドレー
ル１７Ｂをプローブ装置２０内へ挿入し、進出端ではロ
ックを掛けてガイドレール１７Ｂを固定する。また、ア
ーム１７Ｄ上にはプローブカード２１の位置決め部材
（図示せず）が設けられ、この位置決め部材を介してア
ーム１７Ｄ上でプローブカード２１を位置決めする。更
に、移送機構１７にはアーム１７Ｄ上のプローブカード
２１の存否を確認するセンサ（図示せず）が設けられて
いる。
【００１６】上記昇降機構１８は、図１の（ａ）、
（ｂ）に示すように、駆体１２の前面の左右にＺ方向に
向けて固定された一対のガイドレール１８Ａと、左右一
対のガイドレール１８Ａに従って上下方向（Ｚ方向）に
昇降可能に係合部材１８Ｂを介して係合する昇降体１８
Ｃと、この昇降体１８Ｃにナット部材（図示せず）を介
して連結されたＺ方向ボールネジ（図示せず）と、この
Ｚ方向ボールネジを駆動させるモータ（図示せず）と、
このモータを駆動操作するようにハンドル１６近傍に付
設されたスイッチ（図示せず）とを備えている。この係
合部材１８Ｂは昇降体１８Ｃ外面の左右に上下して固定
されている。従って、昇降機構１８は、スイッチ操作に
より移送機構１７の進出端においてアーム１７Ｄが下降
端位置（ダウン位置）からクランプ機構によるクランプ
位置（アップ位置）まで上昇するようになっている。ダ
ウン位置及びアップ位置はそれぞれセンサ（図示せず）
によって検出され、これらのセンサの検出信号に基づい
てアーム１７Ｄはダウン位置及びアップ位置で停止す
る。この昇降距離は同一種のプローブ装置２０では常に
一定であるため、オペレータが制御装置に対して昇降距
離をソフト的に設定することができる。
【００１７】また、上記連結機構１３は、図２に示すよ
うに、マスター治具３０を用いてプローブカード搬送装
置１０に取り付ける。このマスター治具３０は、枠体か
らなる矩形状の治具本体３１と、この治具本体３１に固
定された左右上下４箇所の被連結具３２と、プローブ装
置２０のクランプ機構の中心相当位置に配置された基準
ピン３３とを備え、各被連結具３２と基準ピン３３はプ
ローブ装置２０の被連結具２２とクランプ機構の中心位
置が一致する関係にある。
【００１８】即ち、上記連結機構１３は、図３の
（ａ）、（ｂ）に拡大して示すように、係合具１３Ａ及
び連結具１３Ｂを有し、位置調整のために駆体１２に対
して例えばＸ、Ｙ、Ｚ方向にそれぞれ所定寸法だけ移動
可能に取り付けられている。また、被連結具３２は、治
具本体３１から水平に突出する平面形状が矩形の水平突
出部３２Ａと、この水平突出部３２Ａのやや前方で幅方
向中央から垂直上方に突出する柱状の垂直突出部３２Ｂ
から形成されている。水平突出部３２Ａの先端上面及び
垂直突出部３２Ｂの上端外周にはそれぞれテーパ面が形
成され、連結機構１３との連結が円滑に行われるように
なっている。
【００１９】ここで、上記連結機構１３について更に詳
述する。この連結機構１３の係合具１３Ａは、駆体１２
から水平に突出する平面形状が矩形の部材からなり、そ
の先端下面にはテーパ面が形成されていると共にその先
端の幅方向中央には切欠部１３Ｃが形成されている。切
欠部１３Ｃは、同図の（ａ）に示すように、被連結具３
２の垂直突出部３２Ｂと係合する矩形状の係合部と、こ
の係合部から前端に向けて徐々に幅広になるガイド部に
よって形成されている。また、連結具１３Ｂは、同図の
（ｂ）に示すように、平面形状が矩形の厚肉状に形成さ
れ、その基端部が回転軸１３Ｅを介して係合具１３Ａの
基端部のやや上で軸支されている。従って、連結具１３
Ｂは回転軸１３Ｅを中心に上下に揺動自在になってい
る。この連結具１３Ｂの先端下面にはテーパ面が形成さ
れ、テーパ面の下端からやや基端部寄りに被連結具３２
の垂直突出部３２Ｂが嵌入する孔１３Ｄが形成されてい
る。また、回転軸１３Ｅには例えばペダル（図示せず）
が連結され、ペダル操作により連結具１３Ｂを反時計方
向へ回転させて被連結具３２との連結を解除できるよう
にしてある。
【００２０】そして、プローブカード搬送装置１０の駆
体１２に連結機構１３を取り付ける場合には、予め連結
機構１３を駆体１２の前面にＸ、Ｙ及びＺ方向に移動可
能に取り付けておく。そして、図３の（ａ）、（ｂ）に
示すようにプローブカード搬送装置１０をマスター治具
３０に押し付け、４箇所の連結機構１３をそれぞれＸ、
Ｙ及びＺ方向に移動させ、これらと対応する４箇所の被
連結具３２と位置合わせを行う。位置合わせ後、図４の
（ａ）、（ｂ）に示すようにプローブカード搬送装置１
０をマスター治具３０に向けて更に押し付けると、各連
結機構１３の係合具１３Ａがテーパ面を介して被連結具
３２の水平突出部３２Ａ上に乗り上げると共に、連結具
１３Ｂが垂直突出部３２Ｂを乗り上げ、最終的には図５
の（ａ）、（ｂ）に示すように垂直突出部３２Ｂが係合
具１３Ａの係合部１３Ｃと係合すると共に連結具１３Ｂ
の孔１３Ｄ内に嵌入して両者１３、３２が連結し、ひい
てはプローブカード搬送装置１０がマスター治具３０と
連結する。次いで、移送機構１７をマスター治具本体３
１内へ挿入し更にアーム１７Ｄが進出端まで挿入した
後、プローブカード搬送装置１０をＸ、Ｙ方向に微移動
させながら基準ピン３３がアーム１７Ｄ上面にある基準
穴に入るように４箇所の連結機構１３を駆体１２におい
てＸ、Ｙ方向に微移動させて調整する。基準ピン３３が
アーム１７Ｄの基準穴に円滑に入るようになった時点で
連結機構１３を駆体１２に固定する。この一連の操作に
よって連結機構１３の位置が決まる。連結機構１３を固
定した後、ペダル操作により連結機構１３と被連結具３
２間の連結を解除し、プローブカード搬送装置１０をマ
スター治具３０から切り離す。
【００２１】プローブカード搬送装置１０の連結機構１
３を固定した後、出荷前のプローブ装置２０の正面４箇
所に被連結具２２をＸ、Ｙ及びＺ方向に移動可能に取り
付ける。そして、プローブカード搬送装置１０をプロー
ブ装置２０に近づけ、図６の（ａ）、（ｂ）の矢印で示
すように被連結具２２を微移動させてプローブカード搬
送装置１０の連結機構１３に対する位置合わせを行う。
引き続き、プローブカード搬送装置１０をプローブ装置
２０に押し付け、各連結機構１３と対応する被連結具２
２とを連結させた後、例えばプローブカード２１の基準
穴がプローブカード着脱機構の基準ピンに入るように調
整する。位置合わせ終了後にプローブ装置２０の各被連
結具２２を固定する。この一連の操作によって被連結具
２２を固定うる。このプローブ装置２０を納入すれば、
後は納入先においてプローブ装置２０にプローブカード
２１を着脱する場合には、プローブカード搬送装置１０
を用いて簡単にプローブカード２１を着脱することがで
きる。尚、プローブ装置２０の被連結具２２はマスター
治具３０の被連結具３２に準じて形成されている。
【００２２】次いで、上記プローブカード搬送装置１０
を用いてプローブ装置２０にプローブカード２１を装着
する方法について図１の（ａ）、（ｂ）及び図３〜図５
を参照しながら説明する。まず、オペレータがプローブ
装置１０のオペレーションパネル２４をタッチ操作して
使用するプローブカード２１を選択する。この操作によ
りプローブ装置２０内の載置台２５が同図の（ａ）に示
すクランプ機構の下方から同図の（ｂ）に示す位置まで
退避する。そして、オペレーションパネル２４にはプロ
ーブカード２１を装着するまでの手順及び確認ボタンが
表示される。更に、オペレータが例えば使用すべきプロ
ーブカード２１を保管棚から取り出し、プローブカード
搬送装置１０のアーム１７Ｄ上にそのプローブカード２
１を設置した後、図１の（ａ）に示すようにプローブカ
ード搬送装置１０を押してプローブカード２１を目標の
プローブ装置２０まで搬送する。
【００２３】然る後、オペレーションパネル２４の手順
に従ってプローブカード２１の装着を行う。即ち、オペ
レータがプローブ装置２０の正面扉を開放した後、ハン
ドル１６を介してプローブカード搬送装置１０を押し、
図１の（ａ）及び図３の（ａ）、（ｂ）に示すように連
結機構１３とプローブ装置２０の被連結具２２の位置合
わせを行う。引き続き、オペレータがプローブカード搬
送装置１０をプローブ装置２０に押し付けると、連結機
構１３の係合具１３Ａが被連結具２２の水平突出部２２
Ａ上に乗り上げると共に連結機構１３の連結具１３Ｂが
垂直突出部２２Ｂ上に乗り上げる。更にオペレータがプ
ローブカード搬送装置１０を押すと、図１の（ｂ）及び
図５の（ａ）、（ｂ）に示すように係合具１３Ａと垂直
突出部２２Ｂが係合すると共に連結具１３Ｂの孔１３Ｄ
に垂直突出部２２Ｂが嵌入して連結機構１３と被連結具
２２が連結される。これら一連の操作でプローブカード
搬送装置１０とプローブ装置２０を連結することができ
る。
【００２４】次いで、オペレータがプローブカード搬送
機構１１を操作する。即ち、スイッチ操作により移送機
構１７のガイドレール１７Ｂのロックを解除した後、オ
ペレータがハンドル１６を押して一対のガイドレール１
７Ｂをプローブ装置２０内へ挿入し、その進出端でスイ
ッチ操作によりロックを掛けてガイドレール１７Ｂを進
出端で固定する。引き続き、スイッチ操作によりモータ
及びボールネジを駆動させアーム１７Ｄを一対のガイド
レール１７Ｂに従って進出端まで進める（図１の（ｂ）
参照）。アーム１７Ｄが進出端に達するとセンサが働
き、停止する。更に、オペレータがスイッチ操作を行う
と昇降機構１８のモータ及びボールネジを駆動し昇降体
１８Ｃを介してアーム１７Ｄがダウン位置から上昇する
と、センサが働いてアーム１７Ｂがアップ位置で停止す
る。この時、オペレーションパネル２４の確認ボタンを
タッチすると、アップ位置ではプローブ装置２０内のセ
ンサ（図示せず）がプローブカード２１を検出し、この
検出信号に基づいてクランプ機構が駆動してプローブカ
ード２１を挟持し固定する。
【００２５】プローブカード２１を固定すると、オペレ
ーションパネル２４にはプローブカード搬送装置１０を
プローブカードから切り離し、プローブ装置２０の扉を
閉めるまでの手順及び確認ボタンが表示される。更に、
プローブ装置２０とプローブカード搬送装置１０間の赤
外線通信により昇降機構１８が駆動してアーム１７Ｄが
下降し、ダウン位置に達するとセンサが働き昇降機構１
８が停止する。引き続き、アーム１７Ｄがモータ及びボ
ールネジを介して一対のガイドレール１７Ｂ上に後退す
る。更に、オペレータがハンドル１６を操作して一対の
ガイドレール１７Ｂをプローブ装置２０内から引き出
す。そして、オペレータのペダル操作により連結機構１
３と被連結具２２の連結を解除した後、プローブカード
搬送装置１０をプローブ装置２０から切り離し、プロー
ブ装置２０の扉を閉める。その後、オペレーションパネ
ル２４の確認ボタンをタッチすると、プローブカード２
１の装着を終了する。
【００２６】また、プローブカード２１を次のプローブ
カード２１と交換する時には、オペレーションパネル２
４の表示中からプローブカード交換を選択すると、載置
台２５が図１の（ａ）に示す位置から同図の（ｂ）に示
す位置まで退避する。そして、オペレーションパネル２
４にはアーム１７Ｄをプローブ装置２０内のアップ位置
に達するまでの手順及び確認ボタンが表示される。次い
で、空のプローブカード搬送装置１０を上述の要領でプ
ローブ装置２０に連結し、赤外線通信を介してプローブ
カード搬送装置１０からプローブ装置１０へプローブカ
ード２１の交換を通知する。そして、オペレータが移送
機構１７のアーム１７Ｄをプローブ装置２０内の進出端
位置まで挿入した後、スイッチ操作により昇降機構１８
を介してアーム１７Ｄをダウン位置からアップ位置まで
上昇させる。その後確認ボタンをタッチすると、クラン
プ機構が解除されてプローブカード２１をクランプ機構
から開放し、移送機構１７のアーム１７Ｄ上にプローブ
カード２１を引き渡す。プローブカード搬送装置１０で
はセンサを介してアーム１７Ｄ上にプローブカード２１
が載ったか否かを確認し、プローブカード２１の確認を
終えると、オペレーションパネル２４には次のプローブ
カード２１をアーム１７Ｄ上に載せてアップ位置に運ぶ
までの手順及び確認ボタンが表示される。引き続き、上
述した要領でアーム１７Ｄがアップ位置からダウン位置
に下降した後、プローブ装置２０内からプローブ装置２
０外へ退避する。更に、プローブカード搬送装置１０を
保管棚まで搬送し、アーム１７Ｄ上のプローブカード２
１を次のプローブカード２１と交換した後、このプロー
ブカード２１をプローブ装置２０まで搬送する。後は、
上述した要領でプローブカード搬送装置１０をプローブ
装置２０に連結し、アーム１７Ｄ上のプローブカード２
１をプローブ装置２０内のクランプ機構に装着した後、
アーム１７Ｄをプローブ装置２０外へ退避させ、プロー
ブカード搬送装置１０をプローブ装置２０から切り離
す。そして、確認ボタンをタッチして一連の交換作業を
終える。
【００２７】以上説明したように本実施形態によれば、
プローブカード搬送装置１０は、プローブカード搬送機
構１１と、このプローブカード搬送機構１１が設けられ
た駆体１２と、この駆体１２のプローブ装置２０との対
峙側の４箇所に設けられ且つプローブ装置２０の４箇所
の被連結具２２と連結する連結機構１３とを備え、且
つ、プローブカード搬送機構１１は、プローブカード２
１をＹ方向に移送する移送機構１７と、この移送機構１
７を昇降させる昇降機構１８とを有し、プローブカード
２１を搬送するようにしてあるため、プローブカード交
換装置を持たないプローブ装置に対して、プローブカー
ド搬送装置１０の連結機構１３とプローブ装置２０の被
連結具２２とを連結した後、プローブカード搬送装置１
０の移送機構１７をプローブ装置２０内のダウン位置ま
で移動させ、更にプローブカード搬送装置１０の昇降機
構１８を介して移送機構１７のアーム１７Ｄをダウン位
置からアップ位置まで上昇させ、この位置でプローブカ
ードを着脱した後、プローブカード搬送装置１０の昇降
機構１８を介して移送機構１７のアーム１７Ｄをアップ
位置からダウン位置まで下降させ、更に上記プローブカ
ード搬送装置１０の移送機構１７をプローブ装置２０か
ら退避させた後、連結機構１３と被連結具２２の連結を
解除するだけで、プローブカード２１を半自動的に交換
することができ、しかもプローブカード２１が大型化、
重量化してもオペレータに負担を掛けることなくプロー
ブカード搬送装置１０を介して目標のプローブ装置２０
まで安全且つ簡単に搬送することができる。また、プロ
ーブカード搬送装置１０が複数のプローブ装置１０にお
いて共用できるプローブカード搬送機構１１を具備して
いるため、従来のプローブ装置２０に装備されたプロー
ブカード搬送機構を省略してクリーンルームにおけるフ
ットプリントを削減することができ、ひいてはプローブ
装置２０自体のコスト低減を図ることができる。
【００２８】また、本実施形態によれば、連結機構１３
は、プローブ装置２０の被連結具２２と係合する係合具
１３Ａと、これら両者２２、１３Ａを連結する連結具１
３Ｂとを有するため、プローブカード２１の着脱時にプ
ローブカード搬送装置１０とプローブ装置２０とを常に
一定の位置関係を持って連結することができ、プローブ
カード２１を確実に行うことができる。また、連結具１
３Ｂを被連結具２２から解除するペダルを駆体１２に設
けたため、ペダル操作をするだけでプローブカード搬送
装置１０をプローブ装置２０から簡単に切り離すことが
できる。更に、プローブカード２１の存否を確認するセ
ンサを駆体１２に設けたため、プローブカード２１の着
脱ミスを確実に防止することができる。
【００２９】尚、本発明は上記実施形態に何等制限され
るものではない。例えば、プローブカード搬送機構１１
は必要に応じて半自動から更に自動化あるいは手動化を
進めることができる。また、上記実施形態のプローブカ
ード搬送装置１０に設けられた複数のセンサについては
図示してないが、これらのセンサとしては例えば従来公
知の光学センサを用いることができる。
【００３０】
【発明の効果】本発明の請求項１〜請求項５に記載の発
明によれば、プローブカードを搬送することができるプ
ローブカード搬送装置及びプローブカード搬送方法を提
供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のプローブカード搬送装置の一実施形態
を示す図で、（ａ）はプローブカード搬送装置とプロー
ブ装置が連結する直前の状態を示す動作説明図、（ｂ）
はプローブカード搬送装置のプローブカード搬送機構を
プローブ装置内へ挿入した状態を示す動作説明図であ
る。
【図２】図１に示すプローブカード搬送装置の連結機構
をマスター治具に倣って取り付け調整する状態を示す側
面図である。
【図３】図１に示すプローブカード搬送装置を用いてプ
ローブ装置の被連結具の位置調整を説明するための動作
説明図で、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその側面図で
ある。
【図４】プローブ装置の被連結具をプローブカード搬送
装置の連結機構に倣って位置調整した後、連結機構を被
連結具に連結する直前の状態を示す図で、（ａ）はその
平面図、（ｂ）はその側面図である。その側面図であ
る。
【図５】プローブ装置の被連結具とプローブカード搬送
装置の連結機構が連結した状態を示す図で、（ａ）はそ
の平面図、（ｂ）はその側面図である。
【図６】プローブカード搬送装置の連結機構を用いてプ
ローブ装置の被連結具の取付位置を調整する状態を示す
動作説明図で、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその側面
図である。
【符号の説明】
１０ プローブカード搬送装置 １１ プローブカード搬送機構 １２ 駆体 １３ 連結機構 １３Ａ 係合具 １３Ｂ 連結具 １７ 移送機構 １８ 昇降機構 ２０ プローブ装置 ２１ プローブカード ２２ 被連結具

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 プローブ装置のプローブカードを搬送す
    るためのプローブカード搬送機構と、このプローブカー
    ド搬送機構が設けられた駆体と、この駆体のプローブ装
    置との対峙側の少なくとも３箇所に設けられ且つ上記プ
    ローブ装置の少なくとも３箇所の被連結具と連結する連
    結機構とを備えたプローブカード搬送装置であって、プ
    ローブカード搬送機構は、上記プローブカードをプロー
    ブ室に移送する移送機構と、この移送機構を昇降させる
    昇降機構とを備えたことを特徴とするプローブカード搬
    送装置。
  2. 【請求項２】 上記連結機構は、上記被連結具と係合す
    る係合具と、これら両者を連結する連結具とを有するこ
    とを特徴とする請求項１に記載のプローブカード搬送装
    置。
  3. 【請求項３】 上記連結具を上記被連結具から解除する
    手段を上記駆体に設けたことを特徴とする請求項２に記
    載のプローブカード搬送装置。
  4. 【請求項４】 上記プローブカードの存否を確認するセ
    ンサを上記駆体に設けたことを特徴とする請求項１〜請
    求項３のいずれか１項に記載のプローブカード搬送装
    置。
  5. 【請求項５】 プローブカード搬送装置とプローブ装置
    を連結する工程と、上記プローブカード搬送装置のプロ
    ーブカード搬送機構を上記プローブ装置内の所定位置ま
    で挿入する工程と、上記プローブカード搬送機構を上記
    所定位置からプローブカードの着脱位置まで上昇させる
    工程と、上記プローブカード搬送機構を介して上記プロ
    ーブ装置内でプローブカードを着脱する工程と、上記プ
    ローブカード搬送機構を上記着脱位置から上記所定位置
    まで下降させる工程と、上記上記プローブカード搬送機
    構を上記プローブ装置から退避させる工程と、上記プロ
    ーブカード搬送装置とプローブ装置の連結を解除する工
    程とを備えたことを特徴とするプローブカード搬送方
    法。
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