KR101278890B1

KR101278890B1 - 프로브카드 홀딩장치 및 프로버

Info

Publication number: KR101278890B1
Application number: KR1020127005015A
Authority: KR
Inventors: 사토시 시바하라
Original assignee: 가부시키가이샤 아드반테스트
Priority date: 2009-07-30
Filing date: 2009-07-30
Publication date: 2013-06-26
Also published as: KR20120048654A; US20120126843A1; WO2011013231A1; TW201105975A; JPWO2011013231A1; TWI393887B

Abstract

프로버(40)에 설치된 프로브카드(20)를 홀딩하는 프로브카드 홀딩장치(60)는 프로브카드(20)에 형성된 클램프헤드(24)를 클램프하는 클램프기구(80)와, 프로버(40)에서 프로브카드(20)가 삽입되는 개구(42)상에 가설된 클램프바(70)와, 클램프바(70)에 설치되고, 클램프기구(80)를 승강시키는 승강기구(90)를 구비하고 있다.

Description

프로브카드 홀딩장치 및 프로버{PROBE CARD HOLDING APPARATUS AND PROBER}

본 발명은 프로브카드를 홀딩하는 프로브카드 홀딩장치 및 그것을 구비한 프로버에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼에 조립된 반도체 집적회로소자 등의 피시험 전자부품(DUT:Device Under Test)의 시험에 사용되는 프로브카드는 홀더를 통하여, 프로버의 톱플레이트에 형성된 개구에 장착된다. 이러한 프로브카드에 있어서, 동시측정수(동시에 시험 가능한 DUT의 수)를 증가시키거나, 시험에 사용되는 릴레이 등의 전자부품의 실장 에어리어를 확대하기 위해서는 프로브카드 자체를 대형화할 필요가 있다.

그렇지만, 프로브카드를 대형화하면, 기존의 프로버에서는 톱플레이트의 개구와 프로브카드의 사이에 홀더를 개재시키는 스페이스를 확보할 수 없는 경우가 있는 문제가 있었다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 기존의 프로버에 대형의 프로브카드를 장착하는 것이 가능한 프로브카드 홀딩장치 및 그것을 구비한 프로버를 제공하는 것이다.

본 발명에 따르면, 프로버에 설치되어 프로브카드를 홀딩하는 프로브카드 홀딩장치로서, 프로브카드에 형성된 돌출부를 클램프하는 클램프기구와, 상기 프로버에서 상기 프로브카드가 삽입되는 개구상에 가설된 빔부재와, 상기 빔부재에 설치되어, 상기 클램프기구를 승강시키는 승강수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 프로브카드 홀딩장치가 제공된다(청구항1 참조).

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 클램프기구는 상기 돌출부를 클램프하고 있는 상태에서, 상기 승강수단에 의해 승강 가능한 것이 바람직하다(청구항2 참조).

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 클램프기구는 상기 승강수단에 의해 상기 개구내까지 하강 가능한 것이 바람직하다(청구항3 참조).

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 클램프기구는, 상기 돌출부에 결합 가능한 결합부를 갖고, 상기 승강수단에 의해 승강하는 제1 통상체(筒狀體)와, 상기 제1 통상체가 축방향으로 이동이 자유롭게 내삽된 제2 통상체를 갖고 있고, 상기 빔부재는 상기 제2 통상체가 축방향으로 이동이 자유롭게 내삽된 오목부를 갖는 것이 바람직하다(청구항4 참조).

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 결합부는, 상기 제2 통상체에 대한 상기 제1 통상체의 상대 이동에 의해, 상기 제1 통상체의 내주면으로부터 상기 돌출부에 형성된 결합홈을 향하여 돌출되는 것이 바람직하다(청구항5 참조).

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 결합부는 상기 제1 통상체의 벽면에 형성된 수용공에 수용된 구체이고, 상기 제2 통상체에 대한 상기 제1 통상체의 상대 이동에 의해, 상기 구체의 일부가 상기 수용공으로부터 상기 홈을 향하여 돌출되는 것이 바람직하다(청구항6 참조).

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 제1 통상체는, 상기 돌출부를 수용 가능한 제1 내공을 갖는 제1 통부와, 상기 제1 통부의 상단을 폐쇄하는 제1 윗덮개부를 갖고 있고, 상기 제1 윗덮개부는 상기 돌출부와 맞닿음 가능한 것이 바람직하다(청구항7 참조).

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 승강수단은, 구동샤프트를 신축시키는 액츄에이터와, 상기 구동샤프트의 선단에 설치되고, 캠이 형성된 캠플레이트와, 상기 캠을 추종하는 캠팔로워와, 상기 캠팔로워가 상단에 설치되고, 상기 제1 윗덮개부가 하단에 설치된 연결부재를 갖는 것이 바람직하다(청구항8 참조).

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 제2 통상체는, 상기 제1 통상체를 수용 가능한 제2 내공을 갖는 제2 통부와, 상기 제2 통부의 상단을 폐쇄하는 제2 윗덮개부를 갖고 있고, 상기 제2 윗덮개부에는 상기 연결부재가 삽입된 관통공이 형성되어 있는 것이 바람직하다(청구항9 참조).

또한, 본 발명에 따르면, 상기의 프로브카드 홀딩장치와, 상기 프로브카드가 삽입되는 개구가 형성되고, 상기 프로브카드 홀딩장치가 설치된 톱플레이트를 구비한 것을 특징으로 하는 프로버가 제공된다(청구항10 참조).

본 발명에서는 프로버의 개구상에 가설된 빔부재에 승강수단을 설치하고, 그 승강수단에 의해 클램프기구를 승강시키는 것이 가능하게 되어 있으므로, 홀더를 사용하지 않는 기존의 프로버에 대형의 프로브카드를 장착할 수가 있다.

도1은 본 발명의 실시형태에서의 전자부품 시험장치를 도시한 개략 측면도.
도2는 도1의 II부의 내부 확대도.
도3은 본 발명의 실시형태에서의 프로브카드 및 프로브카드 홀딩장치를 도시한 사시도.
도4는 도3에 도시한 프로브카드 및 프로브카드 홀딩장치를 하방에서 바라본 사시도.
도5는 본 발명의 실시형태에서의 프로브카드 홀딩장치의 단면도.
도6은 도5의 VI부의 확대도.
도7은 본 발명의 실시형태에서의 프로브카드 홀딩장치의 분해 사시도.
도8은 본 발명의 실시형태에서의 프로브카드 홀딩장치의 동작을 도시한 단면도(그의 1).
도9는 도8의 IX부의 확대도.
도10은 본 발명의 실시형태에서의 프로브카드 홀딩장치의 동작을 도시한 단면도(그의 2).
도11은 도10의 XI부의 확대도.
도12는 본 발명의 실시형태에서의 프로브카드 홀딩장치의 동작을 도시한 단면도(그의 3).
도13은 도12의 XIII부의 확대도.
도14는 본 발명의 실시형태에서 프로브카드 홀딩장치가 프로브카드를 홀딩한 상태를 도시한 사시도.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.

도1은 본 발명의 실시형태에서의 전자부품 시험장치를 도시한 개략 측면도, 도2는 도1의 II부의 내부 확대도, 도3은 본 발명의 실시형태에서의 프로브카드 및 프로브카드 홀딩장치를 도시한 사시도, 도4는 도3에 도시한 프로브카드 및 프로브카드 홀딩장치를 하방에서 바라본 사시도, 도5는 본 발명의 실시형태에서의 프로브카드 홀딩장치의 단면도, 도6은 도5의 VI부의 확대도, 도7은 본 발명의 실시형태에서의 프로브카드 홀딩장치의 분해 사시도이다.

본 실시형태에서의 전자부품 시험장치(1)는 반도체 웨이퍼(100)에 조립된 DUT의 전기적 특성을 시험하는 장치이고, 도1에 도시한 바와 같이, 테스트헤드(10), 테스터(30) 및 프로버(40)를 구비하고 있다. 상기 전자부품 시험장치(1)에서는, 프로버(40)가 반도체 웨이퍼(100)를 테스트헤드(10)에 장착된 프로브카드(20)에 밀착시키고, 케이블(31)을 통하여 테스트헤드(10)에 접속된 테스터(30)가 DUT에 대하여 테스트신호를 입출력함으로써 DUT의 시험이 실행된다. 게다가, 테스트헤드(10)는 머뉴퓰레이터(50) 및 구동모터(51)에 의해 메인테넌스(Maintenance) 위치(도1에서 파선으로 표시)로부터 프로버(40)의 톱플레이트(41) 위로 반전된다.

도2에 도시한 바와 같이, 반전된 테스트헤드(10)의 하부에는 하이픽스(11)가 장착되어 있고, 상기 하이픽스(11)에는 반도체 웨이퍼(100) 위의 DUT와 전기적으로 접촉하는 프로브카드(20)가 장착되어 있다. 그러므로, 상기 하이픽스(11)의 하면에는 프로브카드(20)의 커넥터(25)(도3 참조)와 결합하는 커넥터(미도시)나, 이들 커넥터를 확실하게 결합시키기 위하여 프로브카드(20)를 하이픽스(11)로 끌어당겨서 고정하는 락기구(12)가 설치되어 있다.

본 실시형태에서의 프로브카드(20)는 도2~도5에 도시한 바와 같이, 프로브침(21)과, 회로기판(22)과, 스티프너(23)와, 클램프헤드(24)를 구비하고 있다.

프로브침(21)은 반도체 웨이퍼(100) 상의 DUT의 입출력 단자에 전기적으로 접촉하기 위한 접촉자이고, 구체적으로는 포고핀이나 니들 등으로 구성되어 있다. 한편, 도4에서는 프로브침(21)의 도시를 생략하고 있다.

본 실시형태에서의 회로기판(22)은 전체로서 직사각 형상을 갖고 있고, 그 하면의 중앙부분에 다수의 프로브침(21)이 실장되어 있다. 한편, 상기 회로기판(22)의 상면에는 틀상의 스티프너(23)가 설치되어 있다. 그리고, 상기 회로기판(22)의 상면에서 스티프너(23)로 둘러쌓인 부분에는 상기 프로브카드(20)를 하이픽스(11)와 전기적으로 접속하기 위한 커넥터(25)(도3 참조)나, DUT의 시험에 사용되는 릴레이 등의 각종 전자부품(26)(도5 참조)이 실장되어 있다.

클램프헤드(24)는 스티프너(23)의 대략 중앙에 설치된 원반 형상의 부재이다. 도6에 도시한 바와 같이, 상기 클램프헤드(24)의 주면 상부에는 프로브카드 홀딩장치(60)가 결합하기 위한 결합홈(241)이 형성되어 있다. 또한, 도3에 도시한 바와 같이, 스티프너(23)의 중앙에는 프로브카드 홀딩장치(60)의 클램프바(70)의 일부가 삽입되는 오목부(231)가 횡단적으로 형성되어 있다.

본 실시형태에서는 회로기판(22)을 직사각 형상으로 함으로써, 보다 많은 프로브침(21)을 실장할 수가 있으므로 동시측정수의 증가에 대응할 수가 있다. 또한, 회로기판(22)을 직사각 형상으로 함으로써, 시험에 필요한 전자부품(26)의 실장 에어리어를 넓게 확보할 수가 있다.

이상 설명한 프로브카드(20)는 프로버(40)의 프로브카드 홀딩장치(60)에 홀딩된 상태에서, 프로버(40)의 톱플레이트(41)에 형성된 개구(42)에 삽입되어 있다.

프로버(40)는 상기 프로브카드 홀딩장치(60)에 더하여, 도2에 도시한 바와 같이, 반도체 웨이퍼(100)를 흡착 홀딩하는 흡착스테이지(43)와, 상기 흡착스테이지(43)를 XYZ방향으로 이동시키는 동시에 Z축을 중심으로 하여 회전시키는 반송아암(44)과, 톱플레이트(41)의 개구(42)에 위치하는 프로브카드(20)를 교환하는 교환아암(45)(도8 참조)을 구비하고 있다.

시험에 즈음하여, 반송아암(44)은 흡착스테이지(43)에 홀딩된 반도체 웨이퍼(100)를, 개구(42)를 통하여 프로버(40)내로 향하고 있는 프로브카드(20)에 대향시켜, 해당 웨이퍼(100)를 프로브카드(20)에 밀착시켜, DUT의 입출력단자에 프로브침(21)을 전기적으로 접촉시킨다. 이 상태에서, DUT에 대하여 테스터(30)가 테스트헤드(10)를 통하여 시험신호를 입력하는 동시에, 해당 DUT로부터의 응답신호를 수신하고, 이 응답신호를 소정의 기대치와 비교함으로써, DUT의 전기적 특성을 평가한다.

본 실시형태에서의 프로브카드 홀딩장치(60)는 도5에 도시한 바와 같이, 톱플레이트(41)의 개구(42) 상에 가설된 클램프바(70)와, 프로브카드(20)의 클램프헤드(24)를 클램프하는 클램프기구(80)와, 클램프바(70)에 설치되어, 클램프기구(80)를 승강시키는 승강장치(90)를 구비하고 있다.

프로브카드 홀딩장치(60)의 클램프바(70)는 프로브카드(20)가 삽입되는 개구(42)상을 통과하도록 프로버(40)의 톱플레이트(41)에 설치된 대략 판상의 빔부재이다. 한편, 특별히 도시하지 않지만, 상기 클램프바(70)는 그 양단에서 톱플레이트(41)에서의 개구(42) 주연에 볼트 등으로 고정되어 있다.

도4~도6에 도시한 바와 같이, 클램프바(70)의 하면의 대략 중앙에는 클램프기구(80)를 수용하는 단면원형의 오목부(71)가 형성되어 있다. 또한, 도5 및 도7에 도시한 바와 같이, 클램프바(70)의 상면과 오목부(71)의 사이에는 승강장치(90)의 연결부재(95)가 삽입되는 관통공(72)이 형성되어 있다.

프로브카드 홀딩장치(60)의 클램프기구(80)는 도5~도7에 도시한 바와 같이, 윗덮개를 갖는 통 형상의 제1 통체(筒體:81)와, 동일하게 윗덮개를 갖는 통 형상의 제2 통체(82)를 구비하고 있다.

제1 통체(81)는 제1 내공(812)을 갖는 제1 통부(811)와, 제1 통부(811)의 상단을 폐쇄하는 제1 윗덮개부(816)를 갖고 있다.

제1 통부(811)의 제1 내공(812)내에는 프로브카드(20)의 클램프헤드(24)를 수용하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 상기 제1 통부(811)에는 둘레방향을 따라 실질적으로 등간격으로 8개의 수용공(813)이 형성되어 있고, 각각의 수용공(813)에는 강구(83)가 수용되어 있다. 한편, 제1 통부(811)에 형성되는 수용공(813)의 수는 특별히 한정되지 않는다. 또한, 도5 및 도6에서는, 수용공(81) 자체를 보기 쉽게 하기 위하여, 도면 중 좌측에 위치하는 수용공(81)에는 강구(83)를 도시하고 있지 않다.

도6에 도시한 바와 같이, 각각의 수용공(813)은 제1 내공(812)으로 개구하는 내측개구(814)와, 외측을 향하여 (제2 통체(82)를 향하여) 개구하는 외측개구(815)를 갖고 있다.

내측개구(814)는 강구(83)의 직경보다도 작은 내경을 갖고 있고, 강구(83)의 일부만이 내측개구(814)로부터 돌출 가능하게 되어 있다. 한편, 외측개구(815)는 강구(83)의 직경보다도 큰 내경을 갖고 있다. 그러므로, 강구(83)의 일부는 외측개구(815)로부터 제2 통체(82)의 테이퍼부(823)로 퇴피 가능하게 되어 있다.

또한, 제1 윗덮개부(816)에는 승강장치(90)의 연결부재(95)의 하단이 고정되어 있고, 승강장치(90)에 의해 제1 통체(92)가 승강 가능하게 되어 있다. 상기 제1 윗덮개부(816)는 클램프헤드(24)가 제1 내공(812)내에 수용된 때에, 해당 클램프헤드(24)의 상면에 밀착된다. 그러므로, 프로브카드(20)에 반도체 웨이퍼(100)가 밀착된 때에, 그 압압력에 따른 프로브카드(20)의 변형이 억제된다.

제2 통체(82)는 제2 내공(822)을 갖는 제2 통부(821)와, 상기 제2 통부(821)의 상단을 폐쇄하는 제2 윗덮개부(824)를 갖고 있고, 클램프바(70)의 오목부(71)내에 축방향으로 이동이 자유롭게 수용되어 있다.

제2 통부(821)의 제2 내공(822)내에는 제1 통체(81)가 축방향으로 이동이 자유롭게 수용되어 있다. 또한, 도6에 도시한 바와 같이, 제2 통부(821)의 내주 하단에는 경사면 또는 곡면 모양으로 넓은 테이버부(823)가 전 둘레에 걸쳐 형성되어 있고, 제2 내공(822)의 내경이 개구를 따라 넓혀져 있다. 한편, 제1 통체(81)의 수용공(813)에 대응한 위치에만 테이퍼부(823)를 형성하여도 좋다.

제2 윗덮개부(824)에는 승강장치(90)의 연결부재(95)가 축방향으로 이동이 자유롭게 삽입된 관통공(825)이 형성되어 있고, 제1 통체(81)와 제2 통체(82)가 크기의 차례대로 포개 넣을 수 있게 만든 것의 형상으로 상하 이동하는 것이 가능하게 되어 있다.

즉, 제1 및 제2 윗덮개부(816,824)가 비접촉된 상태에서는 제1 통체(81)는 제2 통체(82)에 대하여 상대적으로 승강하는 것이 가능하게 되어 있다(도8 및 도9 참조). 한편, 제1 및 제2 윗덮개부(816,824)가 접촉된 상태에서 승강장치(90)가 승강하면, 제1 통체(81)와 제2 통체(82)가 일체적으로 승강하는 것이 가능하게 되어 있다(도10 및 도11 참조).

또한, 제1 통체(81)가 제2 통체(82)에 대하여 상대적으로 상승하면, 테이퍼부(823)로 퇴피하고 있던 강구(83)가 제2 통체(82)의 내경의 축소에 따라 내측으로 밀려 들어가서, 수용공(813)의 내측개구(814)로부터 부분적으로 돌출된다. 그리고, 상기 강구(83)가 프로브카드(20)의 클램프헤드(24)의 결합홈(241)에 결합함으로써, 클램프기구(80)에 의해 클램프헤드(24)가 클램프된다.

프로브카드 홀딩장치(60)의 승강장치(90)는 도5 및 도7에 도시한 바와 같이, 액츄에이터(91)와, 한쌍의 캠플레이트(92)와, 리니어가이드(93)과, 캠팔로워(94)와, 연결부재(95)를 구비하고 있다. 이러한 승강장치(90)는 클램프바(70)상에 설치되어 있고, 도7에 도시한 커버부재(61)로 덮여 있다.

액츄에이터(91)는 구동샤프트(911)를 신축시키는 에어실린더로 구성되어 있다. 상기 액츄에이터(91)는 구동샤프트(911)가 클램프바(70)의 대략 중앙을 향하도록 클램프바(70)상에 설치되어 있다. 상기 구동샤프트(911)의 선단에는 블록부재(922)를 개재하여 한쌍의 캠플레이트(92)가 설치되어 있다. 한편, 승강장치의 액츄에이터를 예를 들면 모터 및 볼나사기구 등으로 구성하여도 좋다.

각각의 캠플레이트(92)는 리니어가이드(93)를 개재하여 클램프바(70)에 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 리니어가이드(93)는 클램프바(70)의 관통공(72)에 끼워지도록 X방향을 따라 설치된 한쌍의 가이드레일(931)과, 상기 가이드레일(931) 상을 슬라이드 가능한 슬라이드블록(932)으로 구성되어 있다. 캠플레이트(92)는 슬라이드블록(932)에 고정되어 있고, 슬라이드블록(932)이 가이드레일(931)상을 슬라이드함으로써, 캠플레이트(92)가 액츄에이터(91)의 구동방향을 따라 이동 가능하게 되어 있다.

상기 캠플레이트(92)에는 캠팔로워(94)가 추종하는 캠(921)이 각각 형성되어 있다. 한편, 캠팔로워(94)는 연결부재(95)의 양측면에 회전이 자유롭게 설치되어 있다. 연결부재(95)는 한쌍의 캠플레이트(92)의 사이에 끼워져 있고, 2개의 캠팔로워(94)는 모든 캠(921)에 홀딩되어 있다.

연결부재(95)는 상술한 바와 같이, 클램프바(70)의 관통공(72)에 상하 이동이 자유롭게 삽입되어 있고, 그 하단에는 클램프기구(80)의 제2 통체(82)가 고정되어 있다.

다음에, 본 실시형태에서의 프로브카드 홀딩장치(60)에 의한 프로브카드(20)의 홀딩동작에 대하여 설명한다.

도8~도13은 본 발명의 실시형태에서의 프로브카드 홀딩장치의 동작을 도시한 단면도, 도14는 본 발명의 실시형태에서 프로브카드 홀딩장치가 프로브카드를 홀딩한 상태를 도시한 사시도이다.

도8에 도시한 바와 같이, 프로버(40)의 교환아암(45)에 의해 프로브카드(20)가 소정높이까지 로딩되면, 먼저 승강장치(90)의 에어실린더(91)가 구동샤프트(911)를 단축시킴으로써, 클램프기구(80)를 하한까지 하강시킨다. 즉, 제2 통체(82)를 클램프바(70)의 오목부(71)로부터 최대한으로 돌출시키는 동시에, 제1 통체(81)를 제2 통체(82)의 제2 내공(822)으로부터 최대한으로 돌출시킨다.

이 상태에서, 제1 통체(81)는 톱플레이트(41)의 개구(42)내까지 하강하여 있고, 제1 통체(81)의 제1 통부(811)내에 클램프헤드(24)가 수용된다. 게다가, 이 상태에서는 도9에 도시한 바와 같이, 강구(83)는 제2 통체(82)의 테이퍼부(823)에 부분적으로 퇴피하여 있고, 수용공(813)의 내측개구(814)로부터는 돌출되어 있지 않다.

다음에서, 도10에 도시한 바와 같이, 승강장치(90)의 에어실린더(91)가 구동샤프트(911)를 신장시킴으로써, 제1 통체(81)가 제2 통체(82)에 대하여 상대적으로 상승하고, 제1 통체(81)가 제2 내공(822)내에 완전히 수용된다. 이때, 도11에 도시한 바와 같이, 강구(83)가 제2 통체(82)에 의해 밀려 들어가서, 수용공(813)의 내측개구(814)로부터 부분적으로 돌출된다. 이에 따라, 강구(83)의 일부가 프로브카드(20)의 클램프헤드(24)의 결합홈(241)으로 들어감으로써, 클램프헤드(24)가 클램프기구(80)에 의해 클램프되어, 프로브카드(20)의 클램프헤드(24)의 상면이 제1 윗덮개부(816)에 밀착된다.

이와 같이, 본 실시형태에서는 교환아암(45)에 의해 소정높이까지 공급된 프로브카드(20)를, 프로브카드 홀딩장치(60)의 클램프기구(80)가 클램프하고나서, 그 클램프장치(80)를 승강장치(90)에 의해 개구(42)로 상승시킴으로써, 프로버(40)에 프로브카드(20)를 홀딩시키는 홀더가 불필요하게 되어 있다.

다음에서, 도12에 도시한 바와 같이, 승강장치(90)의 에어실린더(91)가 구동샤프트(911)를 더 신장시킨다. 이에 따라, 클램프기구(80)가 프로브카드(20)를 클램프하고 있는 상태로, 승강장치(90)에 의해 상승하여, 도13에 도시한 바와 같이, 제2 통체(82)가 오목부(71)내에 완전히 수용되는 동시에, 플로팅 상태로 되어 있는 하이픽스(11)가 약간 밀려 올라간다.

다음에서, 하이픽스(11)의 락기구(2)를 잠그면, 하이픽스(11)가 프로브카드(20)를 향하여 끌어 당겨져서 커넥터끼리 결합하여, 도14에 도시한 바와 같이, 프로브카드 홀딩장치(60)에 의해 프로브카드(20)가 홀딩된다. 한편, 하이픽스(11)에 락기구(2)를 설치하지 않고, 승강장치(90)에 의한 클램프기구(80)의 승강을 이용하여, 하이픽스(11)의 커넥터와 프로브카드(20)의 커넥터(25)를 결합시켜도 좋다.

이상과 같이, 본 실시형태에서는 프로버(40)의 개구(42)상에 가설된 클램프바(70)에 승강장치(90)를 설치하고, 그 승강장치(90)에 의해 클램프기구(80)를 승강시킴으로써, 홀더를 이용하지 않고 기존의 프로버에 대형의 프로브카드를 장착할 수가 있다.

특히, 본 실시형태에서는 클램프바(70)가 개구(42)상을 통과하도록 톱플레이트(4)에 설치되어 있으므로, 반도체 웨이퍼(10)의 누름 시의 프로브카드(20)의 변형을 억제할 수가 있다.

또한, 본 실시형태에서는 클램프바(70)의 오목부(71)와, 클램프기구(80)의 제1 및 제2 통체(81,82)가 크기의 차례대로 포개 넣을 수 있게 만든 구조로 되어 있으므로, 프로브카드 홀딩시의 프로브카드 홀딩장치(60)의 총두께를 얇게 할 수가 있다.

또한, 이와 같이 크기의 차례대로 포개 넣을 수 있게 만든 구조에 의해, 제1 및 제2 통체(81,82)가 클램프바(70)의 오목부(71)내에 완전히 수용되면, 클램프바(71)의 하면이 프로브카드(20)의 스티프너(23)에 밀착된다. 그러므로, 반도체 웨이퍼(100)의 누름 시에, 그 압압력을 클램프바(71) 전체에서 받아낼 수가 있으므로, 프로브카드(20)의 변형을 더 억제할 수가 있다.

또한, 본 실시형태에서는 하나의 액츄에이터(91)에 의해, 클램프기구(80)의 클램프와, 상기 클램프기구(80)의 승강을 수행하고 있으므로, 프로브카드 홀딩장치(60)의 구조의 간소화를 도모하고 있다.

한편, 이상 설명한 실시 형태는 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해 기재된 것으로서, 본 발명을 한정하기 위해 기재된 것은 아니다. 따라서, 상기 실시 형태에 개시된 각 요소는 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계 변경이나 균등물을 포함하는 취지이다.

10…테스트헤드
11…하이픽스
20…프로브카드
24…클램프헤드(돌출부)
241…결합홈
40…프로버
41…톱플레이트
42…개구
60…프로브카드 홀딩장치
61…커버부재
70…클램프바(빔부재)
71…오목부
80…클램프기구
81…제1 통체
811…제1 통부
816…제1 윗덮개부
82…제2 통체
821…제2 통부
823…테이퍼부
824…제2 윗덮개부
83…강구
90…승강장치
91…에어실린더
911…구동샤프트
92…캠플레이트
94…캠팔로워
95…연결부재

Claims

프로버에 설치되어 프로브카드를 홀딩하는 프로브카드 홀딩장치로서,
프로브카드에 형성된 돌출부를 클램프하는 클램프기구와,
상기 프로버에서 상기 프로브카드가 삽입되는 개구상에 가설된 빔부재와,
상기 빔부재에 설치되어, 상기 클램프기구를 승강시키는 승강수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 프로브카드 홀딩장치.
청구항 1에 있어서,
상기 클램프기구는 상기 돌출부를 클램프하고 있는 상태에서, 상기 승강수단에 의해 승강 가능한 것을 특징으로 하는 프로브카드 홀딩장치.
청구항 1에 있어서,
상기 빔부재는 상기 클램프기구를 수용가능한 오목부를 갖고,
상기 클램프기구는 상기 승강수단에 의해 상기 오목부로부터 상기 개구내까지 하강 가능한 것을 특징으로 하는 프로브카드 홀딩장치.
청구항 1에 있어서,
상기 클램프기구는,
상기 돌출부에 결합 가능한 결합부를 갖고, 상기 승강수단에 의해 승강하는 제1 통상체와,
상기 제1 통상체가 축방향으로 이동이 자유롭게 내삽된 제2 통상체를 갖고 있고,
상기 빔부재는 상기 제2 통상체가 축방향으로 이동이 자유롭게 내삽된 오목부를 갖는 것을 특징으로 하는 프로브카드 홀딩장치.
청구항 4에 있어서,
상기 결합부는, 상기 제2 통상체에 대한 상기 제1 통상체의 상대 이동에 의해, 상기 제1 통상체의 내주면으로부터 상기 돌출부에 형성된 결합홈을 향하여 돌출되는 것을 특징으로 하는 프로브카드 홀딩장치.
청구항 5에 있어서,
상기 결합부는 상기 제1 통상체의 벽면에 형성된 수용공에 수용된 구체이고,
상기 제2 통상체에 대한 상기 제1 통상체의 상대 이동에 의해, 상기 구체의 일부가 상기 수용공으로부터 상기 홈을 향하여 돌출되는 것을 특징으로 하는 프로브카드 홀딩장치.
청구항 4에 있어서,
상기 제1 통상체는,
상기 돌출부를 수용 가능한 제1 내공을 갖는 제1 통부와,
상기 제1 통부의 상단을 폐쇄하는 제1 윗덮개부를 갖고 있고,
상기 제1 윗덮개부는 상기 돌출부와 맞닿음 가능한 것을 특징으로 하는 프로브카드 홀딩장치.
청구항 7에 있어서,
상기 승강수단은,
구동샤프트를 신축시키는 액츄에이터와,
상기 구동샤프트의 선단에 설치되고, 캠이 형성된 캠플레이트와,
상기 캠을 추종하는 캠팔로워와,
상기 캠팔로워가 상단에 설치되고, 상기 제1 윗덮개부가 하단에 설치된 연결부재를 갖는 것을 특징으로 하는 프로브카드 홀딩장치.
청구항 8에 있어서,
상기 제2 통상체는,
상기 제1 통상체를 수용 가능한 제2 내공을 갖는 제2 통부와,
상기 제2 통부의 상단을 폐쇄하는 제2 윗덮개부를 갖고 있고,
상기 제2 윗덮개부에는 상기 연결부재가 삽입된 관통공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브카드 홀딩장치.
청구항 1 내지 9 중 어느 한 항에 기재된 프로브카드 홀딩장치와,
상기 프로브카드가 삽입되는 개구가 형성되고, 상기 프로브카드 홀딩장치가 설치된 톱플레이트를 구비한 것을 특징으로 하는 프로버.