JP2005265658A - 複数種のテスタに対応可能なプローブ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のプローブ装置10は、複数種のテスタ専用のポゴリング15及びプローブカード17に対応可能なインサートリング14及びベースカードホルダ13を備え、プローブカード17専用のカードホルダ20より大径に形成されたベースカードホルダ13と、このベースカードホルダ13にプローブカード17を装着する際にそのカードホルダ20とベースカードホルダ13との接続を中継する変換リング16とを備えている。
【選択図】図1
Description
13 ベースカードホルダ
14 インサートリング
15 ポゴリング(接続リング)
16、116 変換リング
17 プローブカード
18、118 インナーリング
20、120 カードホルダ
20B、120C 張り出し部
21、121 ワンタッチ固定機構
21A、121A 押さえ部材
21B、121B 軸部材
21C、121C コイルスプリング
21D 突起部(位置決め手段)
21E、21F 第1凹部(位置決め手段)
123 第2位置決め機構(位置決め機構)
Claims (7)
- 複数種のテスタ専用の接続リング及びプローブカードに対応可能なインサートリング及びベースカードホルダを備えたプローブ装置であって、上記各プローブカード専用のカードホルダより大径に形成されたベースカードホルダと、このベースカードホルダに上記各プローブカードを装着する際にそれぞれのカードホルダと上記ベースカードホルダとの接続を中継する変換リングとを備えたことを特徴とするプローブ装置。
- 上記変換リングは、上記カードホルダ周囲に形成された複数の張り出し部を固定するワンタッチ固定機構を複数有することを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
- 上記ワンタッチ固定機構は、上記張り出し部を押さえる押さえ部材と、この押さえ部材を回転自在に支持する軸部材と、を有することを特徴とする請求項2に記載のプローブ装置。
- 上記ワンタッチ固定機構は、上記押さえ部材を下方に付勢する弾性部材を有することを特徴とする請求項3に記載のプローブ装置。
- 上記ワンタッチ固定機構は、上記押さえ部材の固定位置を決める位置決め手段を有することを特徴とする請求項3または請求項4に記載のプローブ装置。
- 上記各テスタ専用の接続リングを上記インサートリングに装着するためのインナーリングを備えたことを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 上記インナーリングは、上記各テスタ専用のプローブカードの上下方向の位置決めをする位置決め機構を有することを特徴とする請求項6に記載のプローブ装置。
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