JP5788767B2 - プローブブロックとそれを備えるプローブカード並びにプローブ装置 - Google Patents
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Description
<信号用プローブ材>
・プローブ材:タングステン合金(直径0.038mm)
・プローブ全長:25mm
・プローブ先端部の長さ:1.0mm
・誘電体:フッ素樹脂(誘電体外径:0.11mm)
<グランド用プローブ材>
・プローブ材:タングステン合金(直径0.038mm)
・プローブ全長:25mm
・プローブ先端部の長さ:1.0mm
・プローブ材:タングステン合金(直径0.13mm)
・プローブ全長:25mm
・プローブ先端部の長さ:3.2〜3.7mm
・誘電体:フッ素樹脂(誘電体外径:0.42mm)
下記測定装置を用いて、下記要領で、インサーションロス(S21)を測定した。
・測定装置:ネットワーク・アナライザ(米国 アジレント テクノロジーズ社(Agilent Technologies)製 型式:E8364B(〜50GHzネットワークアナライザ))
<測定要領>
製作された本発明のプローブブロックを構成する1本の信号用プローブ材(S)の針先と後端部との間のインサーションロス(S21)を測定した。従来から使用されている同軸プローブについては、先端部と後端部間のインサーションロス(S21)を同様に測定した。
2a、2b 第一の溝
3a〜3c 第二の溝
4a〜4d 信号用プローブ材
5a〜5c グランド用プローブ材
6 誘電体
7a〜7c、8a〜8d 中心
9 底面
10 カバー部材
11 突起
12 プローブカード
13 プローブ
14 プローブ固定部材
d1、d2 溝深さ
D1、D2 外径
w1、w2 溝幅
PB プローブブロック
Claims (8)
- 第一の溝が設けられた導電性のベース部材と;誘電体被覆を有し、前記第一の溝内にその誘電体被覆を密着させて互いに平行に配置された2本一対の信号用プローブ材と;前記ベース部材と接触するグランド用プローブ材とを備え、前記信号用プローブ材の前記ベース部材よりも被測定デバイス側に突出した先端部は前記誘電体被覆を有さず信号用プローブ針を形成し、前記グランド用プローブ材の前記ベース部材よりも被測定デバイス側に突出した先端部はグランド用プローブ針を形成しており、前記2本一対の信号用プローブは前記誘電体被覆の外周を前記第一の溝の内壁と接触させた状態で前記第一の溝内に配置されているプローブブロック。
- 前記第一の溝内に配置された前記2本一対の信号用プローブ材の上面を覆う導電性のカバー部材を備えている請求項1記載のプローブブロック。
- 前記ベース部材には第二の溝が設けられており、前記グランド用プローブ材が前記第二の溝内に配置されている請求項1又は2記載のプローブブロック。
- 前記第二の溝よりも前記第一の溝の深さが深く、前記信号用プローブ材及び前記グランド用プローブ材の長手方向に垂直な断面における中心の前記ベース部材の底面からの高さが、少なくとも前記ベース部材の被測定デバイス側の先端部において同じであり、前記信号用プローブ材及び前記グランド用プローブ材の前記ベース部材よりも被測定デバイス側に突出した先端部の長さが同じである請求項1〜3のいずれかに記載のプローブブロック。
- 前記2本一対の信号用プローブ材がその誘電体被覆を密着させて互いに平行に配置された前記第一の溝を複数備え、前記2本一対の信号用プローブ材の各対間が導電性の前記ベース部材及び/又は導電性の前記カバー部材で隔てられている請求項1〜4のいずれかに記載のプローブブロック。
- 前記信号用プローブ材及び前記グランド用プローブ材の前記ベース部材よりも被測定デバイス側に突出した先端部が、前記ベース部材内にある前記信号用プローブ材及び前記グランド用プローブ材に対して曲折しており、プローブブロック内における前記信号用プローブ材及び前記グランド用プローブ材の間隔と異なるパッド間隔を有する被測定デバイスに対応している請求項1〜5のいずれかに記載のプローブブロック。
- 請求項1〜6のいずれかに記載のプローブブロックを1又は複数個、備えているプローブカード。
- 請求項1〜6のいずれかに記載のプローブブロックと、前記プローブブロックに接続された高周波用基板及び高周波用コネクタとを備えているプローブ装置。
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