CN111141938B - 适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，用于同时检测侧边缘相邻的二待测单元，所述二待测单元分别有一邻近其第二主边缘及相邻侧边缘的交界接点；所述探针模块包含一探针座，以及多个设于所述探针座的交界探针，当所述探针模块检测所述等待测单元时，各待测单元的第一主边缘较第二主边缘更靠近探针座，各所述交界探针以其悬臂段经过待测单元的第一主边缘上方而延伸至交界接点上方进而以其点触段点触交界接点；由此，各所述交界探针可避免彼此过于靠近或相互干涉。

Description

适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块

技术领域

本发明与探针卡的探针模块有关，特别是指一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元(multi-UUT)的探针模块。

背景技术

请参阅图1，其中显示一具有倾斜导电接点的待测单元10(unit under test；简称UUT)，待测单元10可为未封装的芯片(die)或已封装的芯片(chip)，待测单元10具有排成一或多行的多个用于输出讯号的第一导电接点11，以及排成一行的多个用于输入讯号的第二导电接点12，例如图1所示的待测单元10具有由其一基板13的一第一长边131朝向一第二长边132排列的三行第一导电接点11，以及沿基板13的第二长边132设置的一行第二导电接点12，各第一、二导电接点11、12排成多列，每一列的排列方向为实质上平行于一垂直于第一、二长边131、132的假想分界轴线L，且靠近假想分界轴线L之列，例如图1中一中间区块14所包含的，其中的第一、二导电接点11、12的长边111、121实质上平行于假想分界轴线L，而距离假想分界轴线L较远的列的第一、二导电接点11、12则为倾斜导电接点，其较靠近基板13第一长边131的一端也较靠近假想分界轴线L，较远离基板13第一长边131的一端则也较远离假想分界轴线L，即倾斜导电接点以图1的方向来看是由上而下且由内而外地倾斜，且距离假想分界轴线L越远的第一、二导电接点11、12相对于假想分界轴线L的角度越大，例如图1中二外侧区块15、16所包含的第一、二导电接点11、12的长边111、121相对于假想分界轴线L的角度θ1、θ2最大。

待测单元10可利用具有悬臂式探针的探针卡进行检测，为简化图式，图1中仅示意性地显示一对应最左边的第二导电接点12的探针17，实际上每一导电接点11、12均对应一探针，探针17的悬臂段171可自一位于待测单元10的第二长边132外侧上方的探针座18延伸至导电接点12上方，使得探针17的一自其悬臂段171末端向下延伸的点触段(图中未示)可点触对应的导电接点12。

然而，由于待测单元10具有倾斜角度不一致的倾斜导电接点，其检测所需的探针难以配置于探针座上，尤其对于多待测单元的检测，也就是同时检测至少二待测单元10，将会有探针17相互干涉的疑虑，因此目前仍未有适用的检测装置。

发明内容

针对上述问题，本发明的主要目的在于提供一种探针模块，其适用于类同上述的具有倾斜导电接点的多待测单元的检测，以避免探针彼此过于靠近或甚至相互干涉。

为达到上述目的，本发明所提供的一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，用于同时检测多个待测单元，其特征在于：各所述待测单元具有一第一主边缘、一第二主边缘、连接所述第一主边缘及所述第二主边缘的一第一侧边缘及一第二侧边缘，以及多个导电接点，所述多个待测单元中包含一第一待测单元及一第二待测单元，所述第一待测单元的第二侧边缘与所述第二待测单元的第一侧边缘相邻，所述第一待测单元的导电接点中包含一邻近所述第一待测单元的第二主边缘及第二侧边缘的第一交界接点，所述第二待测单元的导电接点中包含一邻近所述第二待测单元的第二主边缘及第一侧边缘的第二交界接点；所述探针模块包含有：至少一探针座；多个探针，各所述探针包含有一悬臂段及一点触段，所述悬臂段具有一与所述探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述探针座一内侧面延伸而出的外露部，所述点触段连接于所述外露部；其中，所述至少一探针座中包含一第一探针座，所述多个探针中包含多个设置于所述第一探针座的交界探针，当所述探针模块检测各所述待测单元时，各所述待测单元的第一主边缘比第二主边缘更靠近所述第一探针座，所述探针模块的至少部份交界探针以其悬臂段经过各所述待测单元的第一主边缘上方而延伸至所述第一交界接点及所述第二交界接点上方进而以其点触段点触所述第一交界接点及所述第二交界接点。

上述本发明的技术方案中，各所述待测单元的导电接点中包含多个邻近于所属待测单元的第一主边缘的第一导电接点；所述探针模块的探针中包含多个设置于所述第一探针座的第一探针，当所述探针模块检测各所述待测单元时，各所述第一探针以其悬臂段经过各所述待测单元的第一主边缘上方而延伸至各所述第一导电接点上方进而以其点触段点触各所述第一导电接点；各所述交界探针位于各所述第一探针上方。

各所述待测单元的第一导电接点实质上平行于一水平假想轴线地沿所述第一主边缘排成一行；各所述第一探针以实质上对应各所述第一导电接点的排列方式在一假想水平面上排成一行；各所述交界探针位于另一假想水平面上。

各所述待测单元的第一导电接点实质上平行于一水平假想轴线地排成多个行，其顺序自所述第一主边缘朝所述第二主边缘的方向排列；各所述第一探针以实质上对应各所述第一导电接点的排列方式在多个假想水平面上排成多个行，其顺序为由下而上地对应第一导电接点的所述多个行的顺序；各所述交界探针位于另一假想水平面上。

各所述待测单元的导电接点中包含多个邻近于所属待测单元的第二主边缘的第二导电接点，各所述第二导电接点中包含多个中间接点、至少一位于各所述中间接点与所述第一侧边缘之间的第一侧接点，以及至少一位于各所述中间接点与所述第二侧边缘之间的第二侧接点，所述第一待测单元的第一交界接点为所述第二侧接点，所述第二待测单元的第二交界接点为所述第一侧接点；所述探针模块的至少一探针座中更包含一第二探针座，所述探针模块的探针中包含多个设置于所述第二探针座的第二探针，当所述探针模块检测各所述待测单元时，各所述待测单元的第二主边缘比第一主边缘更靠近所述第二探针座，所述探针模块的至少部分第二探针以其悬臂段经过所述第一待测单元及第二待测单元的第二主边缘上方而延伸至所述第一待测单元及第二待测单元的中间接点上方进而以其点触段点触所述第一待测单元及第二待测单元的中间接点。

当所述探针模块检测各所述待测单元时，所述探针模块的部分第二探针以其悬臂段经过所述第一待测单元及第二待测单元的第二主边缘上方而延伸至所述第一待测单元的第一侧接点及第二待测单元的第二侧接点上方进而以其点触段点触所述第一待测单元的第一侧接点及第二待测单元的第二侧接点。

当所述探针模块检测各所述待测单元时，所述探针模块的部份交界探针以其悬臂段经过各所述待测单元的第一主边缘上方而延伸至所述第一待测单元的第一侧接点及第二待测单元的第二侧接点上方进而以其点触段点触所述第一待测单元的第一侧接点及第二待测单元的第二侧接点。

所述第二探针座能定义出垂直于其内侧面的一第一假想分界线、一第二假想分界线及一第三假想分界线，所述第二假想分界线及所述第三假想分界线分别位于所述第一假想分界线的一第一侧及一第二侧，位于所述第一假想分界线第一侧的探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第二假想分界线或朝所述第二假想分界线靠近地相对于所述第二假想分界线呈倾斜，位于所述第一假想分界线第二侧的探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第三假想分界线或朝所述第三假想分界线靠近地相对于所述第三假想分界线呈倾斜。

所述第一探针座能定义出垂直于其内侧面的一第一假想分界线、一第二假想分界线及一第三假想分界线，所述第二假想分界线及所述第三假想分界线分别位于所述第一假想分界线的一第一侧及一第二侧，位于所述第一假想分界线第一侧的探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第二假想分界线或远离所述第二假想分界线地相对于所述第二假想分界线呈倾斜，位于所述第一假想分界线第二侧的探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第三假想分界线或远离所述第三假想分界线地相对于所述第三假想分界线呈倾斜。

各所述探针的固定部与外露部实质上呈一直线。

各所述探针的固定部包含有一内侧区段及一外侧区段，各所述探针的固定部的内侧区段与外露部连接且与外露部实质上呈一直线，各所述探针的固定部的外侧区段实质上相互平行。

所述多个待测单元中更包含一第三待测单元及一第四待测单元，所述第三待测单元的第二主边缘与所述第一待测单元的第一主边缘相邻，所述第四待测单元的第二主边缘与所述第二待测单元的第一主边缘相邻；当所述探针模块检测各所述待测单元时，所述第三待测单元及第四待测单元的导电接点全部由设置于所述第一探针座的探针点触。

所述第一探针座由下而上地设置多个针层，位置越高的针层的探针用于点触距离所述第一探针座越远的导电接点，且位置越高的针层的探针的悬臂段越长，位置最高的针层的探针为各所述交界探针。

所述至少一探针座中更包含一第二探针座，当所述探针模块检测各所述待测单元时，各所述待测单元的第二主边缘比第一主边缘更靠近所述第二探针座，所述第二探针座设置至少一针层，用于点触邻近所述第二探针座的至少一行导电接点。

为达到本发明的发明目的，本发明还提供了另一技术方案，一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，用于同时检测一第一待测单元及一第二待测单元，其特征在于：所述第一待测单元及所述第二待测单元分别具有一第一主边缘、一第二主边缘、连接所述第一主边缘及所述第二主边缘的一第一侧边缘及一第二侧边缘，以及多个导电接点，所述第一待测单元的第二侧边缘与所述第二待测单元的第一侧边缘相邻，所述第一待测单元及所述第二待测单元的导电接点中包含邻近其第二主边缘的一行导电接点，该行导电接点中包含一邻近所述第一待测单元的第二侧边缘的第一交界接点以及一邻近所述第二待测单元的第一侧边缘的第二交界接点；所述探针模块包含有：一第一探针座及一第二探针座；多个探针，设置于所述第一探针座及所述第二探针座，并于所述第一探针座形成多个针层且于所述第二探针座形成至少一针层，其中位于所述第一探针座最高的针层的探针用于点触所述第一交界接点及所述第二交界接点，位于所述第二探针座的一所述针层的探针用于点触与所述第一交界接点及所述第二交界接点同一行的导电接点。

其中，各所述探针包含有一悬臂段，所述悬臂段具有一自所述第一探针座的一内侧面或所述第二探针座的一内侧面延伸而出的外露部，各所述针层至少其中之一有部分探针的外露部垂直于其伸出的内侧面且有部分探针的外露部非垂直于其伸出的内侧面而呈倾斜。

为达到上述目的，本发明还提供了再一技术方案：一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于包含有：至少一探针座；多个探针，设置于所述至少一探针座，各所述探针包含有一悬臂段，所述悬臂段具有一自所述探针座一内侧面延伸而出的外露部；其中，所述至少一探针座中包含一第一探针座，所述第一探针座能定义出垂直于其内侧面的一第一假想分界线、一第二假想分界线及一第三假想分界线，所述第二假想分界线及所述第三假想分界线分别位于所述第一假想分界线的一第一侧及一第二侧，所述第二假想分界线将所述第一探针座位于所述第一假想分界线第一侧的部分区分成一未邻接所述第一假想分界线的第一区域以及一邻接所述第一假想分界线的第二区域，位于所述第一区域及所述第二区域的探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第二假想分界线或远离所述第二假想分界线地相对于所述第二假想分界线呈倾斜，所述第三假想分界线将所述第一探针座位于所述第一假想分界线第二侧的部分区分成一邻接所述第一假想分界线的第三区域以及一未邻接所述第一假想分界线的第四区域，位于所述第三区域及所述第四区域的探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第三假想分界线或远离所述第三假想分界线地相对于所述第三假想分界线呈倾斜，所述第二区域及所述第三区域至少其中之一所设置的探针中包含有至少一交界探针，所述至少一交界探针的悬臂段的外露部长度大于其余探针的悬臂段的外露部长度。

其中，所述第一探针座由下而上地设置多个针层，位置越高的针层的探针的悬臂段的外露部越长，位置最高的针层的探针为所述至少一交界探针。

所述第二区域及所述第三区域都设有交界探针，且各所述交界探针以所述第一假想分界线为对称轴而呈对称设置。

所述至少一探针座中更包含一第二探针座，所述第二探针座能定义出垂直于其内侧面的一第一假想分界线、一第二假想分界线及一第三假想分界线，所述第二假想分界线及所述第三假想分界线分别位于所述第一假想分界线的一第一侧及一第二侧，位于所述第一假想分界线第一侧的探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第二假想分界线或朝所述第二假想分界线靠近地相对于所述第二假想分界线呈倾斜，位于所述第一假想分界线第二侧的探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第三假想分界线或朝所述第三假想分界线靠近地相对于所述第三假想分界线呈倾斜。

采用上述技术方案，本发明针对相邻待测单元的相邻侧边缘邻近第二主边缘的处的导电接点，即第一、二交界接点，本发明的探针模块通过对应待测单元的第一主边缘的第一探针座所延伸而出的探针跨越较远的距离而点触邻近第二主边缘的第一、二交界接点。即使第一、二交界接点朝向第二主边缘的延伸方向相互靠近，各交界探针的悬臂段的外露部自第一探针座延伸而出的方向仍可配合第一、二交界接点的延伸方向，以避免探针在点测时意外滑动至非对应的导电接点上，即，各交界探针的悬臂段的外露部自第一探针座逐渐朝待测单元的相邻侧边缘(即第一待测单元的第二侧边缘与第二待测单元的第一侧边缘)靠近，且仅分别延伸至对应的第一、二交界接点上方，因此各交界探针不会过于靠近或甚至跨越所述相邻侧边缘，如此即可避免各交界探针彼此过于靠近或甚至相互干涉。

附图说明

图1是一具有倾斜导电接点的待测单元、一探针及一探针座的顶视示意图；

图2是二待测单元的局部、一探针座的局部及二假想的探针的顶视示意图；

图3是本发明一第一较佳实施例所提供的探针模块、一第一待测单元及一第二待测单元的顶视示意图，但未显示出探针模块的第一探针；

图4是图3的右视图，其中更显示出探针模块的第一探针以及一电路板；

图5类同于图3，其中显示的探针仅为一部份的第一探针；

图6类同于图5，其中显示的探针仅为另一部份的第一探针；

图7类同于图6，其中显示的探针仅为又一部份的第一探针；

图8类同于图3，但图8中探针的固定部与外露部呈一直线；

图9A类同于图3，但图9A中第一待测单元的三第一侧接点及第二待测单元的三第二侧接点所对应的探针与图3所示不同；

图9B类同于图9A，但图9B中第一待测单元的三第二侧接点所对应的探针与图9A所示不同；

图9C类同于图9A，但图9C中第二待测单元的三第一侧接点所对应的探针与图9A所示不同；

图10是本发明一第二较佳实施例所提供的探针模块以及第一至第四待测单元的顶视示意图，但其中显示的探针仅为一部份的探针；

图11是图10的右视图，其中更显示出探针模块的其他探针。

具体实施方式

现举以下实施例并结合附图对本发明的结构及功效进行详细说明。

申请人首先在此说明，在以下将要介绍的实施例以及图式中，相同的参考号码，表示相同或类似的元件或其结构特征。需注意的是，图式中的各元件及构造为例示方便并非依据真实比例及数量绘制，且若实施上为可能，不同实施例的特征可以交互应用。

如图3至图7所示，本发明一第一较佳实施例所提供的探针模块20主要包含有一第一探针座21、一第二探针座22，以及多个探针30a～f。

各探针30a～f由导电材料(例如金属)制成的直线针通过机械加工弯曲而成，如图4所示，各探针30a～f包含有一悬臂段31及一点触段32，悬臂段31具有一与第一探针座21或第二探针座22固接的固定部311，以及一连接于固定部311且自第一探针座21的一内侧面211或第二探针座22的一内侧面221延伸而出的外露部312。如图3及图5～图7所示，部分的探针30a～f的悬臂段31未经弯折而使其固定部311与外露部312呈一直线，而另一部分的探针30a～f的悬臂段31则经由弯折而使其固定部311与外露部312非呈一直线。如图4所示，各探针30a～f的点触段32自外露部312末端向下延伸。

第一探针座21及第二探针座22由绝缘材料(例如黑胶)制成，第一、二探针座21、22以其内侧面211、221相面对地设置，且通常为固定于一电路板40的底面41(如图4所示)，使得电路板40、第一、二探针座21、22以及各探针30a～f结合成一探针卡。

在本发明的实施例中，各探针30a～f的固定部311位于第一或第二探针座21、22内，其固定方式是利用黑胶同时将同一针层(详述于下文)的探针设置于探针座上的预定位置，再将黑胶烤干而使探针固定于探针座上。然而，各探针30a～f的固定部311也可通过黏胶固定于第一或第二探针座21、22的外表面。各探针30a～f可更具有一自第一探针座21的一外侧面212或第二探针座22的一外侧面222延伸而出的连接段(图中未示)，以通过连接段电性连接于电路板40底面41的导电接点(图中未示)。

详而言之，本实施例中的倾斜探针30a～f(外露部312呈倾斜状)的固定部311包含有一与外露部312连接的内侧区段311a，以及一自内侧区段311a延伸至探针座外侧面而与前述的连接段连接的外侧区段311b，内侧区段311a与外露部312成一直线而呈倾斜，外侧区段311b则与前述的连接段成一直线且垂直于探针座的内、外侧面(即平行于未倾斜的探针)，如此的探针形成倾斜的方式，先根据所对应的导电接点的延伸方向D2(详述于下文)将直线针摆放于探针座上并以黑胶固定其固定部311的内侧区段311a，以将探针的外露部312固定于所需的角度(即平行于对应的导电接点的延伸方向D2)，此时探针已固定于探针座上，再弯折其固定部311而使其外侧区段311b连同连接段垂直于探针座的内、外侧面，然后再以黑胶固定外侧区段311b，如此的方式可利于弯折作业的进行，并可使探针的弯折角度固定良好而不易回弹。

本发明的探针模块用于进行多待测单元的检测，即同时检测多个待测单元，例如，本实施例的探针模块20用于同时检测一第一待测单元50A及一第二待测单元50B。本发明的实施例中的待测单元与先前技术中所述的待测单元10(如图1所示)相同，但为了更明确地描述本发明的特征，在实施例中以不同的描述方式搭配与图1中不同的元件标号而更进一步地说明待测单元。

如图3及图4所示，各待测单元50A、50B的一上表面56具有朝向相反方向的第一、二主边缘51、52(通常为长边)、连接第一、二主边缘51、52且朝向相反方向的第一、二侧边缘53、54(通常为短边)，以及多个导电接点55a～f，第一待测单元50A的第二侧边缘54与第二待测单元50B的第一侧边缘53相邻。当探针模块20检测各待测单元50A、50B时，第一、二探针座21、22分别位于待测单元50A、50B的第一主边缘51外侧上方及第二主边缘52外侧上方，换言之，各待测单元50A、50B的第一主边缘51比第二主边缘52更靠近第一探针座21，各待测单元50A、50B的第二主边缘52比第一主边缘51更靠近第二探针座22，探针模块20为整体(连同前述的电路板40)向下移动进而以各探针30a～f分别点触各导电接点55a～f。

在此须先说明的是，本发明将探针30a～f的点触方向D1(如图4所示)定义为向下，并以此为基准描述其他特征的方向性(例如上、下、顶、底等用语)，例如，前述各待测单元50A、50B设有导电接点55a～f的上表面56即为面向点触方向D1的相反方向的表面，电路板40固设第一、二探针座21、22的底面41即为面向点触方向D1的表面。然而，前述的方向性只是描述各特征是趋于点触方向D1(例如向下)或点触方向D1的相反方向(例如向上)，而非毫无误差地符合点触方向D1或点触方向D1的相反方向，例如，各探针30a～f的点触段32自外露部312末端向下延伸，其意思可包含点触段32朝点触方向D1延伸，或者，点触段32为如图4所示地趋于点触方向D1地相对点触方向D1呈倾斜。

在各待测单元50A、50B中，各导电接点55a～f具有一朝向第一主边缘51的第一端551以及一朝向第二主边缘52的第二端552，为简化图式，仅在图5中的三第二导电接点上标示出其第一端551及第二端552，各导电接点55a～f能定义出一自其第一端551往第二端552的延伸方向D2。如图3所示，在本实施例中，各待测单元50A、50B能定义出一假想分界轴线A1，各待测单元50A、50B的假想分界轴线A1与第一侧边缘53之间的导电接点55a～e的延伸方向D2为平行于假想分界轴线A1(例如位于图5所标示的中间区块57的导电接点)或朝第一侧边缘53靠近地相对于假想分界轴线A1呈倾斜(例如位于图5所标示的左侧区块58的导电接点)，各待测单元50A、50B的假想分界轴线A1与第二侧边缘54之间的导电接点55a～d、55f的延伸方向D2为平行于假想分界轴线A1(例如位于图5所标示的中间区块57的导电接点)或朝第二侧边缘54靠近地相对于假想分界轴线A1呈倾斜(例如位于图5所标示的右侧区块59的导电接点)。更明确地说，在假想分界轴线A1附近的导电接点55a～d(位于中间区块57)的延伸方向D2平行于假想分界轴线A1，距离假想分界轴线A1越远的导电接点55a～f，其相对于假想分界轴线A1倾斜的程度越大。

如图3所示，在各待测单元50A、50B中，各导电接点55a～f区分为邻近于第一主边缘51的第一导电接点55a～c，以及邻近于第二主边缘52的第二导电接点55d～f，其中，第一导电接点55a为实质上平行于一水平假想轴线A2地沿第一主边缘51排成一第一行L1(如图5所示)，第一导电接点55b为实质上平行于水平假想轴线A2地排成一紧邻第一行L1的第二行L2(如图6所示)，第一导电接点55c为实质上平行于水平假想轴线A2地排成一紧邻第二行L2的第三行L3(如图7所示)，第一至第三行L1～L3为依序自第一主边缘51朝第二主边缘52的方向排列。如图3所示，各待测单元50A、50B的第二导电接点55d～f实质上平行于水平假想轴线A2地沿第二主边缘52排成一行，其中包含距离第一、二侧边缘53、54较远的多个中间接点55d、位于各中间接点55d与第一侧边缘53之间的三个第一侧接点55e，以及位于各中间接点55d与第二侧边缘54之间的三个第二侧接点55f。由于第一待测单元50A的第二侧边缘54与第二待测单元50B的第一侧边缘53相邻，第一待测单元50A的第二侧接点55f定义为第一交界接点61，第二待测单元50B的第一侧接点55e定义为第二交界接点62。

请参阅图2所示，其中显示第一、二待测单元50A、50B设有各第一、二交界接点61、62的部分、第二探针座22的局部及二假想的探针63，如图2所示，各第一交界接点61及第二交界接点62所对应的探针63若设置于第二探针座22，会有探针63彼此过于靠近甚至相互干涉的疑虑，本实施例设定最靠近各第一、二侧边缘53、54的三个第二导电接点可能产生此疑虑，因此各待测单元50A、50B的第一、二侧接点55e、55f各有三个，然而，各待测单元50A、50B的第一、二侧接点55e、55f的数量可分别为至少一个，其余的第二导电接点则均为中间接点55d，换言之，第一、二交界接点61、62的数量也可分别为至少一个。

探针模块20的探针30a～f区分为设置于第一探针座21且用于点触各第一导电接点55a～c的第一探针30a～c(如图5至图7所示)、设置于第二探针座22且用于点触各中间接点55d的第二探针30d(如图3所示)，以及设置于第一探针座21且用以点触各第一、二侧接点55e、55f的交界探针30e、30f(如图3所示)。如图4及图5所示，各第一探针30a以实质上对应各第一导电接点55a的排列方式在一假想水平面P1上排成一行。如图4及图6所示，各第一探针30b以实质上对应各第一导电接点55b的排列方式在一高于假想水平面P1的假想水平面P2上排成一行。如图4及图7所示，各第一探针30c以实质上对应各第一导电接点55c的排列方式在一高于假想水平面P2的假想水平面P3上排成一行。换言之，各第一探针30a～c排成三行(与第一导电接点55a～c行数相同)，其顺序是由下而上地对应第一导电接点55a～c的第一至第三行L1～L3的顺序。如图4所示，各交界探针30e、30f位于一高于假想水平面P3的假想水平面P4上，即高于各第一探针30a～c。

换言之，第一探针座21设置分别位于假想水平面P1～P4的四针层，位置越高的针层的探针用于点触距离第一探针座21越远的导电接点，且位置越高的针层的探针的悬臂段越长，因此由下而上数来第一至三针层(依序位于假想平面P1～P3)的探针分别对应第一至第三行L1～L3的第一导电接点55a～c，各交界探针30e～f位于第一探针座21最高的针层，用于点触距离第一探针座21最远的一行导电接点55d～f中的第一、二交界接点55e～f，而与各第一、二交界接点55e～f同一行的导电接点55d则由第二探针座22所设置的一针层的探针30d点触。

当探针模块20检测各待测单元50A、50B时，各第一探针30a以其悬臂段31经过各待测单元50A、50B的第一主边缘51上方而延伸至各第一导电接点55a上方(如图5所示)进而以其点触段32点触各第一导电接点55a，各第一探针30b以其悬臂段31经过各待测单元50A、50B的第一主边缘51上方而延伸至各第一导电接点55b上方(如图6所示)进而以其点触段32点触各第一导电接点55b，各第一探针30c以其悬臂段31经过各待测单元50A、50B的第一主边缘51上方而延伸至各第一导电接点55c上方(如图7所示)进而以其点触段32点触各第一导电接点55c，各第二探针30d以其悬臂段31经过各待测单元50A、50B的第二主边缘52上方而延伸至各中间接点55d上方(如图3所示)进而以其点触段32点触各中间接点55d，各交界探针30e、30f以其悬臂段31经过各待测单元50A、50B的第一主边缘51上方而延伸至各第一、二侧接点55e、55f上方(如图3所示)进而以其点触段32点触各第一、二侧接点55e、55f。

在本实施例中，各探针30a～f的外露部312自探针座21、22延伸而出的方向是实质上对应其所属探针30a～f将点触的导电接点55a～f的延伸方向D2，此处所称“实质上对应”，指外露部312自探针座21、22延伸而出的方向不一定要与对应的导电接点55a～f的延伸方向D2相同或相反，而是从上往下看时(即图3及图5～图7的方向)，外露部312概与其对应的导电接点55a～f的延伸方向D2平行，如此可避免探针30a～f的点触段32在进行点触时偏离至对应的导电接点55a～f之外而产生点触不确实的问题。

换言之，各探针30a～f的外露部312的倾斜角度配置类同于各导电接点55a～f的倾斜角度配置。详而言之，各探针座21、22能定义出垂直于其内、外侧面211、212、221、222的一第一假想分界线L4，以及分别位于第一假想分界线L4的一第一侧(左侧)及一第二侧(右侧)的一第二假想分界线L5(与第一待测单元50A的假想分界轴线A1重合)及一第三假想分界线L6(与第二待测单元50B的假想分界轴线A1重合)，第一假想分界线L4将各探针座21、22划分成一对应第一待测单元50A的部分(左半部)以及一对应第二待测单元50B的部分(右半部)，第二假想分界线L5及第三假想分界线L6则分别为左半部及右半部的探针的倾斜角度配置的分界，例如，如图3所示，第二假想分界线L5将第一探针座21的左半部区分成一未邻接第一假想分界线L4的第一区域AR1以及一邻接第一假想分界线L4的第二区域AR2，第三假想分界线L6将第一探针座21的右半部区分成一邻接第一假想分界线L4的第三区域AR3以及一未邻接第一假想分界线L4的第四区域AR4。更进一步而言，对于设置在第一探针座21的左半部(即第一区域AR1及第二区域AR2)的探针，其外露部312自内侧面211延伸而出的方向为平行于第二假想分界线L5(例如对应图5所标示的中间区块57的探针)或远离第二假想分界线L5地相对于第二假想分界线L5呈倾斜(例如对应图5所标示的左、右侧区块58、59的探针)；对于设置在第一探针座21的右半部(即第三区域AR3及第四区域AR4)的探针，其外露部312自内侧面211延伸而出的方向平行于第三假想分界线L6(例如对应图5所标示的中间区块57的探针)或远离第三假想分界线L6地相对于第三假想分界线L6呈倾斜(例如对应图5所标示的左、右侧区块58、59的探针)。相反地，对于设置在第二探针座22的左半部的探针，其外露部312自内侧面221延伸而出的方向平行于第二假想分界线L5(例如对应图5所标示的中间区块57的探针)或朝第二假想分界线L5靠近地相对于第二假想分界线L5呈倾斜(例如对应图5所标示的左、右侧区块58、59的探针)；对于设置在第二探针座22的右半部的探针，其外露部312自内侧面221延伸而出的方向平行于第三假想分界线L6(例如对应图5所标示的中间区块57的探针)或朝第三假想分界线L6靠近地相对于第三假想分界线L6呈倾斜(例如对应图5所标示的左、右侧区块58、59的探针)。

通过本发明的探针模块的探针配置，可在将如此繁多的探针以适当间距配置于探针座的前提下，仍可达到前述的确保探针点触确实的功效。此外，在本实施例中，各探针30a～f的固定部311的外侧区段311b为实质上相互平行，如此较方便于将探针配置于探针座；然而，通过本发明的探针模块的探针配置，也可便于将固定部311与外露部312实质上呈一直线的探针(例如图8所示的探针30d～f)配置于探针座，如此更可简化探针的弯折加工程序。

更重要的是，如图3所示，虽然各第一交界接点61的延伸方向D2朝第一待测单元50A的第二侧边缘54靠近地呈相当程度的倾斜，各第二交界接点62的延伸方向D2也朝第二待测单元50B的第一侧边缘53靠近地呈相当程度的倾斜，但本发明的探针模块20通过自第一探针座21延伸而出的交界探针30e、30f点触第一、二交界接点61、62，即使用于点触第一、二交界接点61、62的交界探针30e、30f的外露部312自第一探针座21延伸而出的方向配合对应的第一、二交界接点61、62的延伸方向D2，各交界探针30e、30f的悬臂段31的外露部312自第一探针座21逐渐朝待测单元的相邻侧边缘(即第一待测单元50A的第二侧边缘54与第二待测单元50B的第一侧边缘53)靠近，且仅延伸至对应的第一、二交界接点61、62上方，因此各交界探针30e、30f不会过于靠近或甚至跨越所述相邻侧边缘，如此即可避免各交界探针30e、30f彼此过于靠近或甚至相互干涉。

可想而知，在第一待测单元50A的第一侧边缘53及第二待测单元50B的第二侧边缘54也与其他待测单元相邻的情况下(即有四个并排的待测单元)，最左侧的三交界探针30e及最右侧的三交界探针30f也可发挥前述的功效。而在第一待测单元50A的第一侧边缘53及第二待测单元50B的第二侧边缘54未与其他待测单元相邻的情况下，第一待测单元50A的第一侧接点55e及第二待测单元50B的第二侧接点55f也可通过第二探针座22延伸而出的第二探针进行点测，即如图9A所示，第一探针座21未设置图3中最左侧的三交界探针30e及最右侧的三交界探针30f，而是由第二探针座22的最左侧及最右侧所分别增设的三第二探针30d来点触第一待测单元50A的第一侧接点55e及第二待测单元50B的第二侧接点55f。此外，本发明的探针模块不限于如图3及图9A所示地在第一探针座21的第二区域AR2及第三区域AR3设有以第一假想分界线L4为对称轴而呈对称设置的交界探针30e、30f，例如可为图9B所示的形态，第一探针座21仅第三区域AR3设有交界探针30e，用于点测邻近第二待测单元50B的第一侧边缘53的第二交界探针62，而邻近第一待测单元50A的第二侧边缘54的第一交界探针61则由第二探针座22延伸而出的第二探针30d进行点测，或者可为图9C所示的形态，第一探针座21仅第二区域AR2设有交界探针30f，用于点测邻近第一待测单元50A的第二侧边缘54的第一交界探针61，而邻近第二待测单元50B的第一侧边缘53的第二交界探针62则由第二探针座22延伸而出的第二探针30d进行点测。

请参阅图10及图11所示，本发明一第二较佳实施例所提供的探针模块20’用于同时检测呈矩阵排列的第一至第四待测单元50A～D，其中，针对图10中左下及右下的第一、二待测单元50A、50B，探针模块20’采用如同第一较佳实施例的探针模块20的探针配置，为简化图式，图10中未显示此部分的探针。而对于图10中左上及右上的第三、四待测单元50C、50D，由于第三待测单元50C的第二主边缘52与第一待测单元50A的第一主边缘51相邻，第四待测单元50D的第二主边缘52与第二待测单元50B的第一主边缘51相邻，第三、四待测单元50C、50D的导电接点55a～f全部都比第一、二待测单元50A、50B的第一导电接点55a～c更靠近第一探针座21，因此，第三、四待测单元50C、50D的导电接点55a～f可全部都由设置于第一探针座21的探针30g～j点触，也就是可在第一探针座21增设四行探针30g～j，如图11所示，四行探针30g～j位于用于点触第一、二待测单元50A、50B的第一探针30a～c下方，且依由上而下的顺序分别用于点触第三、四待测单元50C、50D的第二导电接点55d～f以及第一导电接点55a～c的第三至第一行L3～L1。为了简化图式，图10中仅显示用于点触第三、四待测单元50C、50D的第二导电接点55d～f的探针30g。

最后，必须再次说明，本发明在前述实施例中所揭示的构成元件，仅为举例说明，并非用来限制本案的专利保护范围，其他等效元件的替代或变化，均应被本案的专利保护范围所涵盖。

Claims (20)

1.一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，用于同时检测多个待测单元，其特征在于：各所述待测单元具有一第一主边缘、一第二主边缘、连接所述第一主边缘及所述第二主边缘的一第一侧边缘及一第二侧边缘，以及多个导电接点，所述多个待测单元中包含一第一待测单元及一第二待测单元，所述第一待测单元的第二侧边缘与所述第二待测单元的第一侧边缘相邻，所述第一待测单元的导电接点中包含一邻近所述第一待测单元的第二主边缘及第二侧边缘的第一交界接点，所述第二待测单元的导电接点中包含一邻近所述第二待测单元的第二主边缘及第一侧边缘的第二交界接点；所述探针模块包含有：

至少一探针座；

多个探针，各所述探针包含有一悬臂段及一点触段，所述悬臂段具有一与所述探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述探针座一内侧面延伸而出的外露部，所述点触段连接于所述外露部；

其中，所述至少一探针座中包含一第一探针座，所述多个探针中包含多个设置于所述第一探针座的交界探针，当所述探针模块检测各所述待测单元时，各所述待测单元的第一主边缘比第二主边缘更靠近所述第一探针座，所述探针模块的至少部份交界探针以其悬臂段经过各所述待测单元的第一主边缘上方而延伸至所述第一交界接点及所述第二交界接点上方进而以其点触段点触所述第一交界接点及所述第二交界接点。

2.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述待测单元的导电接点中包含多个邻近于所述待测单元的第一主边缘的第一导电接点；所述探针模块的探针中包含多个设置于所述第一探针座的第一探针，当所述探针模块检测各所述待测单元时，各所述第一探针以其悬臂段经过各所述待测单元的第一主边缘上方而延伸至各所述第一导电接点上方进而以其点触段点触各所述第一导电接点；各所述交界探针位于各所述第一探针上方。

3.如权利要求2所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述待测单元的第一导电接点实质上平行于一水平假想轴线地沿所述第一主边缘排成一行；各所述第一探针以实质上对应各所述第一导电接点的排列方式在一假想水平面上排成一行；各所述交界探针位于另一假想水平面上。

4.如权利要求2所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述待测单元的第一导电接点实质上平行于一水平假想轴线地排成多个行，其顺序自所述第一主边缘朝所述第二主边缘的方向排列；各所述第一探针以实质上对应各所述第一导电接点的排列方式在多个假想水平面上排成多个行，其顺序为由下而上地对应第一导电接点的所述多个行的顺序；各所述交界探针位于另一假想水平面上。

5.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述待测单元的导电接点中包含多个邻近于所述待测单元的第二主边缘的第二导电接点，各所述第二导电接点中包含多个中间接点、至少一位于各所述中间接点与所述第一侧边缘之间的第一侧接点，以及至少一位于各所述中间接点与所述第二侧边缘之间的第二侧接点，所述第一待测单元的第一交界接点为所述第二侧接点，所述第二待测单元的第二交界接点为所述第一侧接点；所述探针模块的至少一探针座中更包含一第二探针座，所述探针模块的探针中包含多个设置于所述第二探针座的第二探针，当所述探针模块检测各所述待测单元时，各所述待测单元的第二主边缘比第一主边缘更靠近所述第二探针座，所述探针模块的至少部分第二探针以其悬臂段经过所述第一待测单元及第二待测单元的第二主边缘上方而延伸至所述第一待测单元及第二待测单元的中间接点上方进而以其点触段点触所述第一待测单元及第二待测单元的中间接点。

6.如权利要求5所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：当所述探针模块检测各所述待测单元时，所述探针模块的部分第二探针以其悬臂段经过所述第一待测单元及第二待测单元的第二主边缘上方而延伸至所述第一待测单元的第一侧接点及第二待测单元的第二侧接点上方进而以其点触段点触所述第一待测单元的第一侧接点及第二待测单元的第二侧接点。

7.如权利要求5所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：当所述探针模块检测各所述待测单元时，所述探针模块的部份交界探针以其悬臂段经过各所述待测单元的第一主边缘上方而延伸至所述第一待测单元的第一侧接点及第二待测单元的第二侧接点上方进而以其点触段点触所述第一待测单元的第一侧接点及第二待测单元的第二侧接点。

8.如权利要求5所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述第二探针座能定义出垂直于其内侧面的一第一假想分界线、一第二假想分界线及一第三假想分界线，所述第二假想分界线及所述第三假想分界线分别位于所述第一假想分界线的一第一侧及一第二侧，位于所述第一假想分界线第一侧的探针的外露部自所述第二探针座的内侧面延伸而出的方向平行于所述第二假想分界线或朝所述第二假想分界线靠近地相对于所述第二假想分界线呈倾斜，位于所述第一假想分界线第二侧的探针的外露部自所述第二探针座的内侧面延伸而出的方向平行于所述第三假想分界线或朝所述第三假想分界线靠近地相对于所述第三假想分界线呈倾斜。

9.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述第一探针座能定义出垂直于其内侧面的一第一假想分界线、一第二假想分界线及一第三假想分界线，所述第二假想分界线及所述第三假想分界线分别位于所述第一假想分界线的一第一侧及一第二侧，位于所述第一假想分界线第一侧的探针的外露部自所述第一探针座的内侧面延伸而出的方向平行于所述第二假想分界线或远离所述第二假想分界线地相对于所述第二假想分界线呈倾斜，位于所述第一假想分界线第二侧的探针的外露部自所述第一探针座的内侧面延伸而出的方向平行于所述第三假想分界线或远离所述第三假想分界线地相对于所述第三假想分界线呈倾斜。

10.如权利要求9所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述探针的固定部与外露部实质上呈一直线。

11.如权利要求9所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述探针的固定部包含有一内侧区段及一外侧区段，各所述探针的固定部的内侧区段与外露部连接且与外露部实质上呈一直线，各所述探针的固定部的外侧区段实质上相互平行。

12.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述多个待测单元中更包含一第三待测单元及一第四待测单元，所述第三待测单元的第二主边缘与所述第一待测单元的第一主边缘相邻，所述第四待测单元的第二主边缘与所述第二待测单元的第一主边缘相邻；当所述探针模块检测各所述待测单元时，所述第三待测单元及第四待测单元的导电接点全部由设置于所述第一探针座的探针点触。

13.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述第一探针座由下而上地设置多个针层，位置越高的针层的探针用于点触距离所述第一探针座越远的导电接点，且位置越高的针层的探针的悬臂段越长，位置最高的针层的探针为各所述交界探针。

14.如权利要求13所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述至少一探针座中更包含一第二探针座，当所述探针模块检测各所述待测单元时，各所述待测单元的第二主边缘比第一主边缘更靠近所述第二探针座，所述第二探针座设置至少一针层，用于点触邻近所述第二探针座的至少一行导电接点。

15.一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，用于同时检测一第一待测单元及一第二待测单元，其特征在于：所述第一待测单元及所述第二待测单元分别具有一第一主边缘、一第二主边缘、连接所述第一主边缘及所述第二主边缘的一第一侧边缘及一第二侧边缘，以及多个导电接点，所述第一待测单元的第二侧边缘与所述第二待测单元的第一侧边缘相邻，所述第一待测单元及所述第二待测单元的导电接点中包含邻近其第二主边缘的一行导电接点，该行导电接点中包含一邻近所述第一待测单元的第二侧边缘的第一交界接点以及一邻近所述第二待测单元的第一侧边缘的第二交界接点；所述探针模块包含有：

一第一探针座及一第二探针座；

多个探针，设置于所述第一探针座及所述第二探针座，并于所述第一探针座形成多个针层且于所述第二探针座形成至少一针层，其中位于所述第一探针座最高的针层的探针用于点触所述第一交界接点及所述第二交界接点，位于所述第二探针座的一所述针层的探针用于点触与所述第一交界接点及所述第二交界接点同一行的导电接点。

16.如权利要求15所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述探针包含有一悬臂段，所述悬臂段具有一自所述第一探针座的一内侧面或所述第二探针座的一内侧面延伸而出的外露部，各所述针层至少其中之一有部分探针的外露部垂直于其伸出的内侧面且有部分探针的外露部非垂直于其伸出的内侧面而呈倾斜。

17.一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于包含有：

至少一探针座；

多个探针，设置于所述至少一探针座，各所述探针包含有一悬臂段，所述悬臂段具有一自所述探针座一内侧面延伸而出的外露部；

其中，所述至少一探针座中包含一第一探针座，所述第一探针座能定义出垂直于其内侧面的一第一假想分界线、一第二假想分界线及一第三假想分界线，所述第二假想分界线及所述第三假想分界线分别位于所述第一假想分界线的一第一侧及一第二侧，所述第二假想分界线将所述第一探针座位于所述第一假想分界线第一侧的部分区分成一未邻接所述第一假想分界线的第一区域以及一邻接所述第一假想分界线的第二区域，位于所述第一区域及所述第二区域的探针的外露部自所述第一探针座的内侧面延伸而出的方向平行于所述第二假想分界线或远离所述第二假想分界线地相对于所述第二假想分界线呈倾斜，所述第三假想分界线将所述第一探针座位于所述第一假想分界线第二侧的部分区分成一邻接所述第一假想分界线的第三区域以及一未邻接所述第一假想分界线的第四区域，位于所述第三区域及所述第四区域的探针的外露部自所述第一探针座的内侧面延伸而出的方向平行于所述第三假想分界线或远离所述第三假想分界线地相对于所述第三假想分界线呈倾斜，所述第二区域及所述第三区域至少其中之一所设置的探针中包含有至少一交界探针，所述至少一交界探针的悬臂段的外露部长度大于其余探针的悬臂段的外露部长度。

18.如权利要求17所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述第一探针座由下而上地设置多个针层，位置越高的针层的探针的悬臂段的外露部越长，位置最高的针层的探针为所述至少一交界探针。

19.如权利要求17所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述第二区域及所述第三区域都设有交界探针，且各所述交界探针以所述第一假想分界线为对称轴而呈对称设置。

20.如权利要求17所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述至少一探针座中更包含一第二探针座，所述第二探针座能定义出垂直于其内侧面的一第一假想分界线、一第二假想分界线及一第三假想分界线，所述第二探针座的第二假想分界线及所述第二探针座的第三假想分界线分别位于所述第二探针座的第一假想分界线的一第一侧及一第二侧，位于所述第二探针座的第一假想分界线第一侧的探针的外露部自所述第二探针座的内侧面延伸而出的方向平行于所述第二探针座的第二假想分界线或朝所述第二探针座的第二假想分界线靠近地相对于所述第二探针座的第二假想分界线呈倾斜，位于所述第二探针座的第一假想分界线第二侧的探针的外露部自所述第二探针座的内侧面延伸而出的方向平行于所述第二探针座的第三假想分界线或朝所述第二探针座的第三假想分界线靠近地相对于所述第二探针座的第三假想分界线呈倾斜。

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