CN118169440A - 探针模块与测试方法以及待测单元和测试系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种探针模块与测试方法以及待测单元和测试系统，探针模块包含有一探针座，以及至少一包含有排成一行的探针的发散探针单元，其中相距最远的二外侧探针的内延伸部自探针座的一探针发散内侧面呈发散地倾斜延伸而出；待测单元具有排成至少一行的导电接点，其中相距最远的二外侧接点自朝一第一主边缘的一端往朝一第二主边缘的另一端呈发散地倾斜延伸，探针模块检测待测单元时，待测单元的第一主边缘比第二主边缘更靠近探针发散内侧面；至少一发散探针单元的外侧探针的倾斜角度小于待测单元的外侧接点的倾斜角度，此探针模块利于在其探针的安装过程中供一固定装置有效地固定探针。

Description

探针模块与测试方法以及待测单元和测试系统

技术领域

本发明与探针卡的探针模块有关，特别是关于一种用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块与测试方法、待测单元，以及包含探针模块及待测单元的测试系统。

背景技术

请参阅图1，其中显示一具有倾斜导电接点的待测单元10(unit under test；简称UUT)，待测单元10可为未封装的芯片(die)或已封装的芯片(chip)，待测单元10具有排成一或多行的多个用于输出讯号的第一导电接点11，以及排成一行的多个用于输入讯号的第二导电接点12，例如图1所示的待测单元10具有由其一基板13的一第一长边131朝向一第二长边132排列的三行第一导电接点11，以及沿基板13的第二长边132设置的一行第二导电接点12，第一、二导电接点11、12排成多列，每一列的排列方向实质上平行于一垂直于第一、二长边131、132的假想分界轴线L，且靠近假想分界轴线L的列，例如图1中一中间区块14所包含者，其中的第一、二导电接点11、12的长边111、121实质上平行于假想分界轴线L，而距离假想分界轴线L较远的列的第一、二导电接点11、12则为倾斜导电接点，倾斜导电接点较靠近基板13第一长边131的一端(在图1中为上端)是比同一倾斜导电接点较远离基板13第一长边131的一端(在图1中为下端)更靠近假想分界轴线L，即倾斜导电接点以图1的方向来看是由上而下且由内而外地倾斜，且距离假想分界轴线L越远的第一、二导电接点11、12相对于假想分界轴线L的角度越大，例如图1中二外侧区块15、16所包含的第一、二导电接点11、12的长边111、121相对于假想分界轴线L的倾斜角度θ最大。

待测单元10可利用具有悬臂式探针的探针卡进行检测，为简化图式，图1中仅示意性地显示对应外侧区块15、16内第三行第一导电接点11的探针17，实际上探针卡可能设置对应每一导电接点11、12的探针，或者设置对应某一行或数行导电接点11、12的探针。探针17的悬臂段171可自一位于待测单元10的第一长边131外侧上方的探针座18延伸至导电接点上方，使得探针17的一自其悬臂段171末端向下延伸的点触段(图中未示)可点触对应的导电接点。详而言之，探针17的悬臂段171包含有一固定于探针座18的固定部172、一自探针座18往待测单元10延伸的内延伸部173，以及一与内延伸部173延伸方向相反的外延伸部174，点触段自内延伸部173末端向下延伸。探针17的悬臂段171以与其对应的导电接点相同的角度设置，因此设置在最外侧的探针17，其悬臂段171的角度最大。

在将探针17设置于探针座18时，先将探针17摆放成其所需的角度，再利用黑胶固定探针17的悬臂段171的固定部172。在探针17全部设置完成后，黑胶即成为探针座18的一部分。最后，探针17的悬臂段171的外延伸部174可依照其末端所需连接之处弯折成所需角度。然而，前述习用的探针卡的探针配置，实际上会使得将探针17固定于探针座18的程序难以进行，容易发生探针17偏离原先已摆放好的所需位置及角度的问题。

此外，对于微小尺寸的待测单元10而言，其对应的探针17所能分布的范围很小，即同一行探针17中最外侧的探针17之间的距离会很小，而如图1所示的探针17的外延伸部174自探针座18延伸而出后又会逐渐相互靠近，导致探针17的外延伸部174容易会交错及上下重叠，尤其是在探针座18设有高度位置不同的多个行探针17的情况下，探针17的外延伸部174交错及上下重叠的问题更严重，造成在探针卡制造过程的后续阶段因难以判断探针17的排列位置而使得将探针17与电路板电性连接的步骤难以进行。

发明内容

针对上述问题，本发明的主要目的在于提供一种用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，利于在探针的安装过程中供一固定装置有效地固定探针。

更明确地说，请参阅图1，在探针17的安装过程中，当探针17已在探针座18上摆放于其所需的位置及角度但尚未固定时，探针17的外延伸部174会在与探针座18相隔一段距离之处有相互交叉的情况，此时，若能将一固定装置暂时设置在探针17的外延伸部174相互交叉处与探针座18之间，即可有效地暂时固定探针17，然后再利用黑胶固定探针17的固定部172，在探针17固定完成之后再将固定装置移除，如此即可避免探针17偏离原先已摆放好的所需位置及角度。

为达到上述目的，本发明所提供的一种用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，用于检测至少一待测单元，所述待测单元具有一第一主边缘、一第二主边缘、连接所述第一主边缘与所述第二主边缘的二侧边缘，以及多个导电接点，各所述导电接点具有一朝向所述第一主边缘的第一端及一朝向所述第二主边缘的第二端，所述待测单元能定义出一通过所述第一主边缘及所述第二主边缘的中心轴线，所述多个导电接点排成至少一行，同一行导电接点中包含分别最靠近所述二侧边缘的二外侧接点，各所述外侧接点以其第一端比第二端更靠近所述中心轴线的方式相对于所述中心轴线呈倾斜而能定义出一相对于所述中心轴线的倾斜角度；其特征在于所述探针模块包含有：一探针座；至少一探针单元，所述探针单元包含有多个探针，所述多个探针包含相距最远的二外侧探针，各所述探针包含有一悬臂段及一点触段，所述悬臂段包含有一与所述探针座固接的固定部，以及分别连接于所述固定部二端且自所述探针座延伸而出的一内延伸部及一外延伸部，所述内延伸部具有一与所述探针座连接的第一端及一与所述点触段连接的第二端；

其中，所述探针模块能定义出一参考中心轴线，同一探针单元的探针的点触段垂直于所述参考中心轴线地排成一行，用于点触同一待测单元的同一行导电接点；所述探针座具有一探针发散内侧面，当所述探针模块检测所述待测单元时，所述待测单元的第一主边缘比第二主边缘更靠近所述探针发散内侧面；所述至少一探针单元包含至少一发散探针单元，所述发散探针单元的探针的内延伸部第一端与所述探针发散内侧面连接，所述发散探针单元的外侧探针的内延伸部以其第一端比第二端更靠近所述参考中心轴线的方式相对于所述参考中心轴线呈倾斜而具有一相对于所述参考中心轴线的倾斜角度，至少一所述发散探针单元的外侧探针的倾斜角度小于所述待测单元的外侧接点的倾斜角度。

由此，在将探针设置于探针座的过程中，当探针的悬臂段的外延伸部仍与固定部及内延伸部角度相同时，发散探针单元的外侧探针因具有所述倾斜角度而会有外延伸部相互交叉的情况，但其倾斜角度小于待测单元的外侧接点的倾斜角度，可使得交叉位置距离探针座较远，以提供足够的距离而将一固定装置设置于交叉位置与探针座之间，从而有效地固定探针。

针对上述问题，本发明的另一目的在于提供一种用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，其可避免探针的外延伸部交错及上下重叠而造成难以判断探针排列位置的问题。

为达到上述另一目的，本发明所提供的用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，包含有一探针座，以及多个探针单元，各所述探针单元包含有多个探针，所述多个探针包含相距最远的二外侧探针，各所述探针包含有一悬臂段及一点触段，所述悬臂段包含有一与所述探针座固接的固定部，以及分别连接于所述固定部二端且自所述探针座延伸而出的一内延伸部及一外延伸部，所述内延伸部具有一与所述探针座连接的第一端及一与所述点触段连接的第二端；其中，所述探针模块能定义出一参考中心轴线，同一探针单元的探针的点触段垂直于所述参考中心轴线地排成一行；所述探针座具有一探针发散内侧面，所述多个探针单元包含二发散探针单元，各所述发散探针单元的探针的内延伸部第一端与所述探针发散内侧面连接，各所述发散探针单元的外侧探针的内延伸部以其第一端比第二端更靠近所述参考中心轴线的方式相对于所述参考中心轴线呈倾斜而具有一相对于所述参考中心轴线的倾斜角度；所述二发散探针单元包含一低层发散探针单元及一位置高于所述低层发散探针单元的高层发散探针单元，所述高层发散探针单元的探针的点触段长度大于所述低层发散探针单元的探针的点触段长度；各所述探针的外延伸部具有一与所述探针座连接的内端，各所述探针单元能以其所述二外侧探针的外延伸部内端的距离定义为一外延伸部距离，所述低层发散探针单元的外延伸部距离大于所述高层发散探针单元的外延伸部距离。

由此，低层发散探针单元的外延伸部距离较大，不但利于固定装置的设置，更可改善探针的外延伸部交错及上下重叠的问题，如此可在后续将探针的外延伸部与电路板电性连接时较容易判断探针的排列位置。

上述本发明的技术方案中，所述探针座包含有一座体，以及自所述座体的一下表面沿一垂直轴向依序堆叠设置的一高层胶体及一低层胶体；所述探针模块的发散探针单元包含一受所述低层胶体固定的低层发散探针单元，以及一位置高于所述低层发散探针单元且受所述高层胶体固定的高层发散探针单元，所述高层发散探针单元的探针的点触段长度大于所述低层发散探针单元的探针的点触段长度；所述低层胶体能定义出一平行于所述参考中心轴线的低层胶体幅宽；对于位于所述参考中心轴线同一侧的外侧探针，所述低层发散探针单元的外侧探针的内延伸部第一端与所述高层发散探针单元的外侧探针的内延伸部第二端之间能定义出一平行于所述参考中心轴线的参考距离，所述低层胶体幅宽小于所述参考距离。

所述探针模块的发散探针单元包含一低层发散探针单元，以及一位置高于所述低层发散探针单元的高层发散探针单元，所述高层发散探针单元的探针的点触段长度大于所述低层发散探针单元的探针的点触段长度；各所述探针的外延伸部具有一与所述探针座连接的内端，各所述探针单元能以其所述二外侧探针的外延伸部内端的距离定义为一外延伸部距离；所述低层发散探针单元的外延伸部距离大于所述高层发散探针单元的外延伸部距离。

所述探针模块的发散探针单元包含一低层发散探针单元，以及一位置高于所述低层发散探针单元的高层发散探针单元，所述高层发散探针单元的探针的点触段长度大于所述低层发散探针单元的探针的点触段长度，所述低层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度大于或等于所述高层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度。

所述探针座具有一与所述探针发散内侧面相对的探针收敛内侧面，当所述探针模块检测所述待测单元时，所述待测单元的第二主边缘比第一主边缘更靠近所述探针收敛内侧面；所述至少一探针单元包含至少一收敛探针单元，所述收敛探针单元的探针的内延伸部第一端与所述探针收敛内侧面连接，所述收敛探针单元的外侧探针的内延伸部以其第二端比第一端更靠近所述参考中心轴线的方式相对于所述参考中心轴线呈倾斜而具有一相对于所述参考中心轴线的倾斜角度，所述收敛探针单元的外侧探针的倾斜角度与所述发散探针单元的外侧探针的倾斜角度相同。

由此，探针模块可设有高、低层发散探针单元，用于对应不同待测单元或同一待测单元的不同行导电接点。由于参考距离是根据待测单元而定，低层胶体幅宽小于参考距离，使得高层胶体对应地会有比习用者小的幅宽，而为了避免高、低层胶体过度凸出于座体而导致对探针的支撑力不足，座体幅宽通常仅略小于高层胶体幅宽，因此，通过前述特征，座体幅宽可比习用者小并仍可避免对探针支撑力不足的问题。而且，通过前述特征使得高、低层胶体的幅宽比习用者小，会使得探针的外延伸部自胶体延伸而出之处的距离比习用者大，如此可改善探针的外延伸部交错及上下重叠的问题，并且胶体幅宽的缩减也可增加探针的外延伸部的交叉位置与探针座的距离，更利于固定装置的设置。

更佳地，座体能定义出一平行于参考中心轴线的座体幅宽，以及一沿垂直轴向的座体厚度，座体幅宽小于或等于座体厚度的二分的一。藉此，由于座体厚度是配合测试机台而定，且高、低层胶体幅宽与座体幅宽需相互配合以对探针产生良好支撑力，因此，座体幅宽缩小至小于或等于座体厚度的二分的一，可在对探针有足够支撑力的前提下更缩减高、低层胶体幅宽，使得探针的外延伸部自胶体延伸而出的处的距离更大，进而更加改善探针的外延伸部交错及上下重叠的问题，亦更利于固定装置的设置。

更佳地，低层胶体幅宽小于3毫米。如此的尺寸设计可在高、低层胶体对探针有足够支撑力的前提下，使得探针的外延伸部自胶体延伸而出的处的距离大，进而可更加改善探针的外延伸部交错及上下重叠的问题，亦更利于固定装置的设置。

较佳地，探针模块的发散探针单元包含一低层发散探针单元，以及一位置高于低层发散探针单元的高层发散探针单元，高层发散探针单元的探针的点触段长度大于低层发散探针单元的探针的点触段长度；各探针的外延伸部具有一与探针座连接的内端，各探针单元能以其所述二外侧探针的外延伸部内端的距离定义为一外延伸部距离；低层发散探针单元的外延伸部距离大于高层发散探针单元的外延伸部距离。藉此，低层发散探针单元的外延伸部距离较大，可改善前述探针的外延伸部交错及上下重叠的问题，亦更利于固定装置的设置。

较佳地，探针模块的发散探针单元包含一低层发散探针单元，以及一位置高于低层发散探针单元的高层发散探针单元，高层发散探针单元的探针的点触段长度大于低层发散探针单元的探针的点触段长度，低层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度大于或等于高层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度。

相较于低层发散探针单元，高层发散探针单元的外侧探针的固定部与内延伸部的总长会较长，使得外延伸部会在较靠近探针座的处交叉。藉由前述特征，高层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度可小于待测单元的外侧接点的倾斜角度，以达到前述的在探针安装过程中供固定装置有效地固定探针的功效。而在可供固定装置有效地固定探针的前提下，低层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度可较大，例如与待测单元的外侧接点的倾斜角度相同，或介于其与高层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度的间，或者，低层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度亦可与高层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度相同，藉以达到针痕一致的特性。

更佳地，低层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度与高层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度有一差值，所述差值小于或等于6度。更进一步而言，高层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度可为12度，低层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度可大于或等于12度且小于或等于18度。如此的尺寸设计更利于在探针的安装过程中供固定装置有效地固定探针。

本发明探针座具有一与探针发散内侧面相对的探针收敛内侧面，当探针模块检测待测单元时，待测单元的第二主边缘比第一主边缘更靠近探针收敛内侧面；所述至少一探针单元包含至少一收敛探针单元，收敛探针单元的探针的内延伸部第一端与探针收敛内侧面连接，收敛探针单元的外侧探针的内延伸部以其第二端比第一端更靠近参考中心轴线的方式相对于参考中心轴线呈倾斜而具有一相对于参考中心轴线的倾斜角度，收敛探针单元的外侧探针的倾斜角度与发散探针单元的外侧探针的倾斜角度相同。

藉此，探针模块可设有自探针座的二相对内侧面朝相反方向延伸至待测单元的发散探针单元及收敛探针单元，用以对应不同待测单元或同一待测单元的不同行导电接点，藉以避免探针集中在探针座同一侧而容易产生交叉及上下相迭的问题，而发散探针单元及收敛探针单元的探针倾斜角度相同，更可达到针痕一致的特性。

较佳地，同一探针单元的探针在探针座形成位于不同高度的多个针层，同一探针单元的不同针层的探针的点触段自内延伸部的第二端尺寸渐缩地向下延伸不同的长度至同一高度位置，同一探针单元的每二相邻的探针属于不同的针层。藉此，同一探针单元的每二相邻的探针，其点触段的长度会不相同且又是呈渐缩状，此特征使得相邻探针的距离可较小，进而可满足细微间距(fine pitch)的测试需求。

更佳地，同一探针单元的每二相邻的探针非属于相邻的针层。由此，同一探针单元的每二相邻的探针并非仅相差一个针层的高度，而是相差至少两个针层的高度，此特征使得相邻探针的距离可更小，而更可满足细微间距的测试需求。

本发明更提供一种用于具有倾斜导电接点的待测单元的测试方法，其步骤包含有：

提供如前述的探针模块；

提供至少一如前述的待测单元；

使探针模块的探针接触所述至少一待测单元的导电接点，使探针模块与所述至少一待测单元电性连接。

本发明更提供一种测试系统，包含有一承载台及一探针卡，承载台用于承载至少一如前述的待测单元，探针卡包含有如前述的探针模块，用于通过探针模块的探针接触所述至少一待测单元的导电接点而使探针卡与所述至少一待测单元电性连接。

有关本发明所提供的用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块与测试方法以及待测单元和测试系统的详细构造、特点、组装或使用方式，将于后续的实施方式详细说明中予以描述。然而，在本发明领域中具有通常知识者应能了解，详细说明以及实施本发明所列举的特定实施例，仅用于说明本发明，并非用以限制本发明的专利申请范围。

附图说明

图1是一具有倾斜导电接点的待测单元、一探针座及多根探针的顶视示意图；

图2是一探针座、多个探针及一固定装置的顶视示意图；

图3是本发明一第一较佳实施例所提供的探针模块的顶视示意图；

图4是本发明第一较佳实施例所提供的探针模块的剖视示意图；

图5是本发明第一较佳实施例所提供的探针模块以及二待测单元的顶视示意图；

图6是本发明一第二较佳实施例所提供的探针模块以及四待测单元的顶视示意图；

图7是本发明第二较佳实施例所提供的探针模块的顶视示意图；

图8是本发明第二较佳实施例所提供的探针模块的剖视示意图；

图9是本发明第二较佳实施例所提供的探针模块的一探针座的立体示意图；

图10是本发明的探针模块的针层示意图；

图11是本发明的探针模块的部分探针与一待测单元的部分导电接点的示意图；

图12是本发明一测试系统与一待测单元的示意图。

具体实施方式

申请人首先在此说明，在以下将要介绍的实施例以及图式中，相同的参考号码，表示相同或类似的元件或其结构特征。需注意的是，图式中的各元件及构造为例示方便并非依据真实比例及数量绘制，且若实施上为可能，不同实施例的特征可以交互应用。

请先参阅图3及图4，本发明一第一较佳实施例所提供的探针模块20包含有一探针座30，以及二探针单元40A、40B，探针单元40A、40B分别包含有多个探针50(包含外侧探针50A、50B)。

本发明的探针模块可用于检测单一或多个待测单元，例如本实施例的探针模块20用于同时检测二待测单元60，如图5所示。本发明的实施例中的待测单元60与先前技术中所述的待测单元10(如图1所示)相同，但为了更明确地描述本发明的特征，在实施例中以不同的描述方式搭配与图1中不同的元件标号而更进一步地说明待测单元60。

如图5所示，各待测单元60具有朝向相反方向的第一、二主边缘61、62(通常为长边，在本实施例中是沿X轴)、连接第一、二主边缘61、62且朝向相反方向的二侧边缘63、64(通常为短边，在本实施例中是沿Y轴)，以及多个导电接点65(包含外侧接点65a)，各导电接点65具有一朝向第一主边缘61的第一端651，以及一朝向第二主边缘62的第二端652。待测单元60能定义出一沿Y轴地通过第一、二主边缘61、62的中心轴线66，同一待测单元60的导电接点65排成至少一行，同一行导电接点65沿X轴排列，本发明的图式中的每一待测单元的导电接点排成四行。同一行导电接点65中包含分别最靠近侧边缘63、64的二外侧接点65a，各外侧接点65a以其第一端651比第二端652更靠近中心轴线66的方式相对于中心轴线66呈倾斜而能定义出一相对于中心轴线66的倾斜角度θ1。

为了简化图式并便于说明，图3及图5中仅以一长方形框体示意性地表示探针座30，图4所示的探针座30的结构及尺寸比例与实际者较为相近。如图4所示，本实施例的探针座30包含有一呈长方形框体状的座体31，以及一设于座体31的一下表面312且亦呈长方形框体状的胶体32，探针50受胶体32固定于座体31。详而言之，将探针50固定于座体31的方式，是先将同一针层(详述于下文)的探针50摆放在预定位置且摆放成预定角度，再以俗称黑胶的熔融状黏胶固定探针50，然后将黑胶烤干而形成局部的胶体32，以此方式一层一层地将全部探针50设置完成之后，全部针层的黑胶即构成胶体32。

各探针50由导电材料(例如金属)制成的直线针通过机械加工弯曲而成，各探针50包含有一悬臂段51及一点触段52，悬臂段51包含有一固定于胶体32内的固定部511、一连接于固定部511一端且自探针座30往其内部通道33延伸而出的内延伸部512，以及一连接于固定部511另一端且自探针座30往其外部延伸而出的外延伸部513，内延伸部512具有一与探针座30连接的第一端514，以及一相对于第一端514的第二端515，点触段52连接于内延伸部512的第二端515。在图4中，探针50的点触段52以相同的角度自内延伸部512的第二端515倾斜向下延伸(也可不倾斜而垂直向下延伸)，因此同一探针单元的探针50的点触段52在图4中相互重叠。在图3及图5中，各探针50的悬臂段51的内延伸部512、固定部511与外延伸部513呈一直线，此为探针50在前述安装过程中的状态，在探针50全部设置完成且胶体32已完整形成并烤干之后，各探针50的悬臂段51的外延伸部513可(但不限于)朝所需方向弯折(内延伸部512与固定部511仍呈一直线)，使得外延伸部513的自由端(图中未示)可电性连接至一电路板81(如图12所示)的导电接点(图中未示)，所述电路板81与探针模块20构成一探针卡80。

如图3及图5所示，探针模块20能定义出一参考中心轴线22，同一探针单元40A、40B的探针50的内延伸部512第二端515垂直于参考中心轴线22地排成一行，因此同一探针单元40A、40B的探针50的点触段52也垂直于参考中心轴线22地排成一行，用于点触同一待测单元60的同一行导电接点65。如同先前技术中所述，距离待测单元60的中心轴线66越远的导电接点65相对于中心轴线66的倾斜角度越大，因此探针单元40A、40B的探针50的内延伸部512与固定部511的角度也随之变化，距离探针模块20的参考中心轴线22越远的探针50，其内延伸部512与固定部511相对于参考中心轴线22的倾斜角度越大。

值得一提的是，本发明中所述“同一探针单元的探针的点触段垂直于参考中心轴线地排成一行”，并不限于同一探针单元的探针的点触段必须在微观上完美地排成一直线，而是指同一探针单元的探针的点触段，其末端对应于同一行导电接点的范围内，因此巨观上是垂直于参考中心轴线地排成一行。

举例而言，请参阅图11，为了简化图式并便于说明，图11示意性地显示同一待测单元的同一行导电接点65中的六个导电接点65，以及点触所述六个导电接点65的探针的点触段52末端。在同一探针单元的探针所需的中心间距太小而难以排在同一高度的情况下，同一探针单元的探针可能会交错排列成上下两排，但其点触段52的末端仍会对应到同一待测单元的同一行导电接点65的范围内，如图11所示。由于待测单元的导电接点65实际上非常小，对应的探针实际上非常细，因此，同一探针单元的探针的点触段52末端只要对应于同一待测单元的同一行导电接点65的范围内，在巨观上同一探针单元的探针的点触段52就会垂直于参考中心轴线地排成一行，即属于本发明中所述“同一探针单元的探针的点触段垂直于参考中心轴线地排成一行”所包含的形态。

更进一步而言，本实施例的探针座30具有一探针发散内侧面34，以及一与探针发散内侧面34相对的探针收敛内侧面35，当探针模块20检测待测单元60时，同一探针单元40A、40B的探针50的点触段52位于同一待测单元60的同一行导电接点65上方，如图5所示，此时各待测单元60的第一主边缘61比第二主边缘62更靠近探针发散内侧面34，各待测单元60的第二主边缘62比第一主边缘61更靠近探针收敛内侧面35。探针单元40A的探针50的内延伸部512自探针座30的探针发散内侧面34延伸而出，并配合待测单元60的导电接点65倾斜，而形成自探针发散内侧面34逐渐发散的形态，因此探针单元40A也称为发散探针单元。相对地，探针单元40B的探针50的内延伸部512自探针座30的探针收敛内侧面35延伸而出，并配合待测单元60的导电接点65倾斜，而形成自探针收敛内侧面35逐渐收敛的形态，因此探针单元40B也称为收敛探针单元。

如图3所示，发散探针单元40A的探针50的内延伸部512第一端514与探针发散内侧面34连接，发散探针单元40A的探针50中相距最远的二外侧探针50A的内延伸部512以其第一端514比第二端515更靠近参考中心轴线22的方式相对于参考中心轴线22呈倾斜，而具有一相对于参考中心轴线22的倾斜角度θ2，此倾斜角度θ2为探针单元40A中最大的倾斜角度。收敛探针单元40B的探针50的内延伸部512第一端514与探针收敛内侧面35连接，收敛探针单元40B的探针50中相距最远的二外侧探针50B的内延伸部512以其第二端515比第一端514更靠近参考中心轴线22的方式相对于参考中心轴线22呈倾斜，而具有一相对于参考中心轴线22的倾斜角度θ3，此倾斜角度θ3为探针单元40B中最大的倾斜角度。

值得一提的是，本实施例的探针模块20以探针单元40A、40B同时分别检测二待测单元60的第四行导电接点65，探针模块20整体连同电路板81(如图12所示)沿Z轴地与待测单元60相对移动，进而以探针50的点触段52末端点触所述导电接点65。然而，本发明的探针模块可用于检测单一或多个待测单元60，因此，本发明的探针模块可仅包含有单一探针单元，用于检测单一待测单元60的单一行导电接点65。即使本发明的探针模块包含有多个探针单元，也可分别用于检测单一待测单元60的多行导电接点65。换言之，本发明的探针模块的探针单元数量及所检测的待测单元数量并无限制，只要依照要检测的待测单元的导电接点行数设置相同数量的探针单元即可。

本发明的主要技术特征是针对发散探针单元40A，发散探针单元40A的外侧探针50A的倾斜角度θ2(如图3所示)小于待测单元60的外侧接点65a的倾斜角度θ1(如图5所示)。实际上，待测单元60的外侧接点65a的倾斜角度θ1为18度，因此发散探针单元40A的外侧探针50A的倾斜角度θ2小于18度，为了确保探针稳定点触导电接点、避免探针点触于导电接点时滑移至导电接点外，倾斜角度θ2又以大于或等于12度为较佳设计，更佳地，倾斜角度θ2为12度，更可最佳程度地达到下段所述的功效。而收敛探针单元40B的外侧探针50B的倾斜角度θ3可与θ2相同，以达到针痕一致的特性。

如图3所示，在将探针50设置于探针座30的过程中，当探针50的悬臂段51的外延伸部513仍是与固定部511及内延伸部512角度相同时，发散探针单元40A的探针50的外延伸部513呈现自探针座30的外侧面36逐渐收敛的形态，因此会有如图2所示的外延伸部513相互交叉的情况，而外侧探针50A的倾斜角度θ2小于待测单元60的外侧接点65a的倾斜角度θ1，使得本发明的发散探针单元40A的交叉位置42(如图2所示)距离探针座30的外侧面36较远，因此交叉位置42与探针座30之间可有足够的距离设置一如图2所示的固定装置70。图2仅为简图，用于示意性地显示前述交叉的情况以及固定装置70的作用，其中各构件尺寸及彼此的相对尺寸或距离并未对应实际比例，也未对应图3的比例。在将探针50设置于探针座30的过程中，是先以固定装置70暂时固定探针50的外延伸部513，再利用黑胶固定探针50的固定部511，以避免探针50在固定过程中偏离原先已摆放好的所需位置及角度，在探针50全部设置完成后，固定装置70则会移除。固定装置70设置在探针的交叉位置42与探针座30之间，可对探针50达到良好的固定效果。换言之，本发明的探针模块20利于在探针50的安装过程中供固定装置70有效地固定探针50。

请参阅图6至图8，本发明一第二较佳实施例所提供的探针模块20’类同于前述的探针模块20，其主要差异在于探针模块20’包含有用于检测四待测单元60的四探针单元，其中包含二发散探针单元40A、40A’，以及二收敛探针单元40B、40B’。

为了简化图式并便于说明，图6及图7仅以一长方形框体示意性地表示探针座30，图8所示的探针座30的结构及尺寸比例与实际产品较为相近。如同第一较佳实施例，本实施例的探针座30也包含有一呈长方形框体状的座体31，如图9所示，座体31的下表面312沿垂直轴向(即Z轴)依序堆叠设置一高层胶体37及一低层胶体38，其形成方式及其作用类同于第一较佳实施例中的胶体32。

探针模块20’的发散探针单元包含一受高层胶体37固定的高层发散探针单元40A，以及一受低层胶体38固定的低层发散探针单元40A’。探针模块20’的收敛探针单元包含一受高层胶体37固定的高层收敛探针单元40B，以及一受低层胶体38固定的低层收敛探针单元40B’。相较于低层发散探针单元40A’及低层收敛探针单元40B’，高层发散探针单元40A及高层收敛探针单元40B的位置较高。相较于低层发散探针单元40A’及低层收敛探针单元40B’，高层发散探针单元40A及高层收敛探针单元40B的探针50的悬臂段51的固定部511与内延伸部512的总长较长，以更往探针座30的内部通道33中央延伸，高层发散探针单元40A及高层收敛探针单元40B的探针50的点触段52也较长，如此高、低层发散探针单元40A、40A’及收敛探针单元40B、40B’的探针50的点触段52末端才会在相同高度。

在此需说明的是，本发明所述的高、低层发散或收敛探针单元，其中高层及低层的用语用于不同的探针单元，而不同的探针单元用于检测不同行的导电接点65。而上文中提及针层的用语为用于同一探针单元，即用于检测同一行导电接点65的同一探针单元可(但不限于)分成多个针层，例如在第一及第二较佳实施例中，同一探针单元的探针50在探针座30形成七个不同高度的针层71～77，如图8及图10所示，同一探针单元的不同针层71～77的探针50的点触段52自内延伸部512的第二端515尺寸渐缩地向下延伸不同的长度至同一高度位置，使得探针50的点触段52末端都在相同高度。

图10显示同一探针单元的七根相邻的探针50，此七根探针50分别位于针层71～77，但并非依照针层71～77的顺序排列，每二相邻的探针50非属于相邻的针层，即每二相邻的探针50的悬臂段51相差至少两个针层的高度。例如，从左边数来第二根探针50位于第三个针层73，而与第二根探针50相邻的第一及第三根探针50都不是位于与第三个针层73相邻的第二及第四个针层72、74，而是位于与第三个针层73相差三层及四层的第六及第七个针层76、77。由此，每二相邻探针50中，位于较低针层的探针50的悬臂段51在Z轴上的高度位置对应于位于较高针层的探针50的点触段52的相对较窄处，使得相邻探针50的距离可较小，进而可满足细微间距的测试需求。此功效不限于通过图10所示的形态来达成，同一探针单元不一定要分成七个针层，且相邻探针50的悬臂段51不一定要相差至少两个针层的高度，只要同一探针单元分成至少二个针层，每二相邻的探针50属于不同的针层，即可某程度地达到缩减探针50的中心间距的功效。

如前所述，本发明的主要技术特征是针对发散探针单元，请参阅图6及图7，在本实施例中，低层发散探针单元40A’的外侧探针50A’的倾斜角度θ2’与高层发散探针单元40A的外侧探针50A的倾斜角度θ2相等，即倾斜角度θ2、θ2’均小于待测单元60的外侧接点65a的倾斜角度θ1(如图5所示)。由此，在将探针50设置于探针座30的过程中，高层发散探针单元40A及低层发散探针单元40A’均可在其探针50的外延伸部513的交叉位置与探针座30之间提供足够的距离，以设置一如图2所示的固定装置70而有效地固定探针50。

如图6及图7所示，各探针50的外延伸部513具有一与探针座30连接的内端516，各探针单元能以其外侧探针的外延伸部内端的距离定义为一外延伸部距离，例如低层发散探针单元40A’的外延伸部距离d1为其外侧探针50A’的外延伸部513的内端516之间的距离，高层发散探针单元40A的外延伸部距离d2为其外侧探针50A的外延伸部513的内端516之间的距离。在本实施例中，d1大于d2，因此，相较于高层发散探针单元40A，低层发散探针单元40A’的探针50的交叉位置会较远离探针座30的外侧面36，由此，在可供如图2所示的固定装置70有效地固定探针50的前提下，低层发散探针单元40A’的外侧探针50A’的倾斜角度θ2’可大于高层发散探针单元40A的外侧探针50A的倾斜角度θ2，甚至可与待测单元60的外侧接点65a的倾斜角度θ1相同。实际上，待测单元60的外侧接点65a的倾斜角度θ1为18度，因此高层发散探针单元40A的外侧探针50A的倾斜角度θ2小于18度，又以12度为最佳设计，可在确保探针稳定点触导电接点的前提下，最佳程度地达到供固定装置有效地固定探针50的功效。低层发散探针单元40A’的外侧探针50A’的倾斜角度θ2’与θ2的差值以小于或等于6度为佳，θ2’大于或等于12度且小于或等于18度。然而，如本实施例的形态，θ2’等于θ2，可达到针痕一致的特性。此外，本实施例中，高、低层收敛探针单元40B、40B’的外侧探针50B、50B’的倾斜角度θ3、θ3’也都等于θ2，可达到针痕一致的特性。

如图8所示，低层胶体38能定义出一平行于参考中心轴线22(即沿Y轴)的低层胶体幅宽W1，高层胶体37能定义出一平行于参考中心轴线22的高层胶体幅宽W2。对于位于参考中心轴线22同一侧的外侧探针，低层发散探针单元40A’的外侧探针50A’的内延伸部512第一端514与高层发散探针单元40A的外侧探针50A的内延伸部512第二端515之间能定义出一平行于参考中心轴线22的参考距离D，即参考距离D是以图6及图7中最左边的外侧探针50A、50A’为基准而定义，或者是以图6及图7中最右边的外侧探针50A、50A’为基准而定义，在图8中假定前述作为基准的外侧探针50A位于探针单元40A位置最低的针层77而标示出参考距离D。如前述定义及图8所示，参考距离D并非外侧探针50A’第一端514与外侧探针50A第二端515的实际距离，而是所述实际距离平行于参考中心轴线22的分量(即在Y轴上的分量)。此外，座体31能定义出一平行于参考中心轴线22的座体幅宽W3，以及一沿垂直轴向(Z轴)的座体厚度T。本发明中所述的低层胶体幅宽W1、高层胶体幅宽W2及座体幅宽W3并非指整个低层胶体38、高层胶体37或座体31的宽度，而是指低层胶体38、高层胶体37或座体31对应于单一探针单元的固定部511的有效实体宽度，即仅指对探针50有支撑效果的实体部分而不包含内部通道33。

由于参考距离D是根据待测单元60而定，低层胶体幅宽W1小于参考距离D，对应地会有比习用者小的高层胶体幅宽W2，而为了避免高、低层胶体37、38过度凸出于座体30而导致对探针50的支撑力不足，座体幅宽W3通常仅略小于高层胶体幅宽W2。在本实施例中，低层胶体幅宽W1小于参考距离D，由此，座体幅宽W3可比习用者小并仍可避免对探针50支撑力不足的问题。而且，对于微小尺寸的待测单元60而言，其对应的探针模块的外侧探针之间的距离很小，而发散探针单元40A、40A’的探针50的外延伸部513自探针座30延伸而出之处的距离(即外延伸部距离d1、d2)又更小，导致探针50的外延伸部513容易会交错及上下重叠，造成在探针卡制造过程之后续阶段因难以判断探针50的排列位置而使得将探针50与电路板81(如图12所示)电性连接的步骤难以进行，而通过前述特征使得高、低层胶体幅宽W2、W1比习用者小，会使得外延伸部距离d1、d2比习用者大，如此可改善探针50的外延伸部513交错及上下重叠的问题，并且高、低层胶体幅宽W2、W1的缩减也可增加探针50的外延伸部513的交叉位置与探针座30的距离，更利于固定装置70的设置。此外，外延伸部距离d1大于d2的特征，也使得低层发散探针单元40A’较无探针50的外延伸部513交错及上下重叠的问题。

更进一步而言，低层胶体幅宽W1小于3毫米为更加良好的设计，如此的尺寸设计可在高、低层胶体37、38对探针50有足够支撑力的前提下，使得探针50的外延伸部513自高、低层胶体37、38延伸而出之处的距离(即外延伸部距离d1、d2)大，进而可更加改善探针50的外延伸部513交错及上下重叠的问题，也更利于固定装置的设置。

再者，在本实施例中，座体幅宽W3小于或等于座体厚度T的二分之一。由此，由于座体厚度T是配合测试机台而定，且高、低层胶体幅宽W2、W1与座体幅宽W3需相互配合以对探针50产生良好支撑力，因此，座体幅宽W3缩小至小于或等于座体厚度T的二分之一，可在对探针50有足够支撑力的前提下更缩减高、低层胶体幅宽W2、W1，使得探针50的外延伸部513自高、低层胶体37、38延伸而出之处的距离(即外延伸部距离d1、d2)更大，进而更加改善探针50的外延伸部513交错及上下重叠的问题，也更利于固定装置的设置。

如前所述，本发明所提供的探针模块20、20’是应用于探针卡80，如图12所示，用于对待测单元60进行一测试程序，因此本发明更提供一种测试系统，包含有如前述的探针卡80，以及用于承载至少一待测单元60的承载台83，通过探针模块20、20’的探针50接触待测单元60的导电接点65而使探针卡80与待测单元60电性连接，进而进行测试程序。此外，本发明更提供一种用于具有倾斜导电接点的待测单元的测试方法，包含有以下步骤a)至步骤c)。

a)提供如前述的探针模块20、20’。

b)提供至少一如前述的待测单元60。

为了简化图式并便于说明，图12中各元件仅简化地示意绘制，探针模块20、20’的结构及待测单元60的结构如前所述及如图1至图11所示，故在此不再重复赘述。

c)使探针模块20、20’的探针50接触待测单元60的导电接点65，以使探针模块20、20’与待测单元60电性连接。

详而言之，探针模块20、20’是与电路板81组成探针卡80，待测单元60设于承载台83上，承载台83及/或探针卡80受一移动装置(图中未示)带动，即可为待测单元60不动而探针卡80移动，或是探针卡80不动而待测单元60移动，或者两者皆移动，先使得探针50的点触段52的末端位置沿垂直轴向地对应于待测单元60的导电接点65，再使探针卡80与待测单元60沿垂直轴向地相互靠近，进而使探针50的点触段52的末端接触待测单元60的导电接点65，使得待测单元60的导电接点65与探针模块20、20’的探针50电性连接。探针卡80的电路板81用于电性连接至一测试机(图中未示)，测试机所提供的测试信号通过电路板80及探针50而传送至待测单元60的导电接点65，再从待测单元60的导电接点65通过探针50及电路板81而回传至测试机，如此即可对待测单元60进行测试。

最后，必须再次说明，本发明在前述实施例中所揭示的构成元件，仅为举例说明，并非用来限制本案的专利保护范围，其他等效元件的替代或变化，也应被本案的专利保护范围所涵盖。

Claims (20)

1.一种用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，用于检测至少一待测单元，所述待测单元具有一第一主边缘、一第二主边缘、连接所述第一主边缘与所述第二主边缘的二侧边缘，以及多个导电接点，各所述导电接点具有一朝向所述第一主边缘的第一端及一朝向所述第二主边缘的第二端，所述待测单元能定义出一通过所述第一主边缘及所述第二主边缘的中心轴线，所述多个导电接点排成至少一行，同一行导电接点中包含分别最靠近所述二侧边缘的二外侧接点，各所述外侧接点以其第一端比第二端更靠近所述中心轴线的方式相对于所述中心轴线呈倾斜而能定义出一相对于所述中心轴线的倾斜角度；其特征在于所述探针模块包含有：

一探针座；

至少一探针单元，所述探针单元包含有多个探针，所述多个探针包含相距最远的二外侧探针，各所述探针包含有一悬臂段及一点触段，所述悬臂段包含有一与所述探针座固接的固定部，以及分别连接于所述固定部二端且自所述探针座延伸而出的一内延伸部及一外延伸部，所述内延伸部具有一与所述探针座连接的第一端及一与所述点触段连接的第二端；

其中，所述探针模块能定义出一参考中心轴线，同一探针单元的探针的点触段垂直于所述参考中心轴线地排成一行，用于点触同一待测单元的同一行导电接点；所述探针座具有一探针发散内侧面，当所述探针模块检测所述待测单元时，所述待测单元的第一主边缘比第二主边缘更靠近所述探针发散内侧面；所述至少一探针单元包含至少一发散探针单元，所述发散探针单元的探针的内延伸部第一端与所述探针发散内侧面连接，所述发散探针单元的外侧探针的内延伸部以其第一端比第二端更靠近所述参考中心轴线的方式相对于所述参考中心轴线呈倾斜而具有一相对于所述参考中心轴线的倾斜角度，至少一所述发散探针单元的外侧探针的倾斜角度小于所述待测单元的外侧接点的倾斜角度。

2.如权利要求1所述的用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，其特征在于：所述探针座包含有一座体，以及自所述座体的一下表面沿一垂直轴向依序堆叠设置的一高层胶体及一低层胶体；所述探针模块的发散探针单元包含一受所述低层胶体固定的低层发散探针单元，以及一位置高于所述低层发散探针单元且受所述高层胶体固定的高层发散探针单元，所述高层发散探针单元的探针的点触段长度大于所述低层发散探针单元的探针的点触段长度；所述低层胶体能定义出一平行于所述参考中心轴线的低层胶体幅宽；对于位于所述参考中心轴线同一侧的外侧探针，所述低层发散探针单元的外侧探针的内延伸部第一端与所述高层发散探针单元的外侧探针的内延伸部第二端之间能定义出一平行于所述参考中心轴线的参考距离，所述低层胶体幅宽小于所述参考距离。

3.如权利要求1所述的用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，其特征在于：所述探针模块的发散探针单元包含一低层发散探针单元，以及一位置高于所述低层发散探针单元的高层发散探针单元，所述高层发散探针单元的探针的点触段长度大于所述低层发散探针单元的探针的点触段长度；各所述探针的外延伸部具有一与所述探针座连接的内端，各所述探针单元能以其所述二外侧探针的外延伸部内端的距离定义为一外延伸部距离；所述低层发散探针单元的外延伸部距离大于所述高层发散探针单元的外延伸部距离。

4.如权利要求1所述的用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，其特征在于：所述探针模块的发散探针单元包含一低层发散探针单元，以及一位置高于所述低层发散探针单元的高层发散探针单元，所述高层发散探针单元的探针的点触段长度大于所述低层发散探针单元的探针的点触段长度，所述低层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度大于或等于所述高层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度。

5.如权利要求1所述的用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，其特征在于：所述探针座具有一与所述探针发散内侧面相对的探针收敛内侧面，当所述探针模块检测所述待测单元时，所述待测单元的第二主边缘比第一主边缘更靠近所述探针收敛内侧面；所述至少一探针单元包含至少一收敛探针单元，所述收敛探针单元的探针的内延伸部第一端与所述探针收敛内侧面连接，所述收敛探针单元的外侧探针的内延伸部以其第二端比第一端更靠近所述参考中心轴线的方式相对于所述参考中心轴线呈倾斜而具有一相对于所述参考中心轴线的倾斜角度，所述收敛探针单元的外侧探针的倾斜角度与所述发散探针单元的外侧探针的倾斜角度相同。

6.一种用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，包含有：

一探针座；

多个探针单元，各所述探针单元包含有多个探针，所述多个探针包含相距最远的二外侧探针，各所述探针包含有一悬臂段及一点触段，所述悬臂段包含有一与所述探针座固接的固定部，以及分别连接于所述固定部二端且自所述探针座延伸而出的一内延伸部及一外延伸部，所述内延伸部具有一与所述探针座连接的第一端及一与所述点触段连接的第二端；

其中，所述探针模块能定义出一参考中心轴线，同一探针单元的探针的点触段垂直于所述参考中心轴线地排成一行；所述探针座具有一探针发散内侧面，所述多个探针单元包含二发散探针单元，各所述发散探针单元的探针的内延伸部第一端与所述探针发散内侧面连接，各所述发散探针单元的外侧探针的内延伸部以其第一端比第二端更靠近所述参考中心轴线的方式相对于所述参考中心轴线呈倾斜而具有一相对于所述参考中心轴线的倾斜角度；所述二发散探针单元包含一低层发散探针单元及一位置高于所述低层发散探针单元的高层发散探针单元，所述高层发散探针单元的探针的点触段长度大于所述低层发散探针单元的探针的点触段长度；各所述探针的外延伸部具有一与所述探针座连接的内端，各所述探针单元能以其所述二外侧探针的外延伸部内端的距离定义为一外延伸部距离，所述低层发散探针单元的外延伸部距离大于所述高层发散探针单元的外延伸部距离。

7.如权利要求6所述的用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，其特征在于：所述探针座包含有一座体，以及自所述座体的一下表面沿一垂直轴向依序堆叠设置的一高层胶体及一低层胶体，所述低层发散探针单元受所述低层胶体固定，所述高层发散探针单元受所述高层胶体固定，所述低层胶体能定义出一平行于所述参考中心轴线的低层胶体幅宽；对于位于所述参考中心轴线同一侧的外侧探针，所述低层发散探针单元的外侧探针的内延伸部第一端与所述高层发散探针单元的外侧探针的内延伸部第二端之间能定义出一平行于所述参考中心轴线的参考距离，所述低层胶体幅宽小于所述参考距离。

8.如权利要求2或7所述的用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，其特征在于：所述座体能定义出一平行于所述参考中心轴线的座体幅宽，以及一沿所述垂直轴向的座体厚度，所述座体幅宽小于或等于所述座体厚度的二分之一。

9.如权利要求2或7所述的用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，其特征在于：所述低层胶体幅宽小于3毫米。

10.如权利要求6所述的用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，其特征在于：所述低层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度大于所述高层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度。

11.如权利要求6所述的用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，其特征在于：所述探针座具有一与所述探针发散内侧面相对的探针收敛内侧面，所述至少一探针单元包含至少一收敛探针单元，所述收敛探针单元的探针的内延伸部第一端与所述探针收敛内侧面连接，所述收敛探针单元的外侧探针的内延伸部以其第二端比第一端更靠近所述参考中心轴线的方式相对于所述参考中心轴线呈倾斜而具有一相对于所述参考中心轴线的倾斜角度，所述收敛探针单元的外侧探针的倾斜角度与所述发散探针单元的外侧探针的倾斜角度相同。

12.如权利要求1或6所述的用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，其特征在于：同一探针单元的探针在所述探针座形成位于不同高度的多个针层，同一探针单元的不同针层的探针的点触段自内延伸部的第二端尺寸渐缩地向下延伸不同的长度至同一高度位置，同一探针单元的每二相邻的探针属于不同的针层。

13.如权利要求12所述的用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，其特征在于：同一探针单元的每二相邻的探针非属于相邻的针层。

14.如权利要求2、3、4或6所述的用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，其特征在于：所述低层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度与所述高层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度有一差值，所述差值小于或等于6度。

15.如权利要求14所述的用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，其特征在于：所述高层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度为12度，所述低层发散探针单元的外侧探针的倾斜角度大于或等于12度且小于或等于18度。

16.如权利要求1或6所述的用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，其特征在于：至少一所述发散探针单元的外侧探针的倾斜角度大于或等于12度且小于18度。

17.如权利要求16所述的用于具有倾斜导电接点的待测单元的探针模块，其特征在于：至少一所述发散探针单元的外侧探针的倾斜角度为12度。

18.一种用于具有倾斜导电接点的待测单元的测试方法，其特征在于包括以下步骤：

提供一如权利要求1所述的探针模块；

提供至少一待测单元，所述待测单元具有一第一主边缘、一第二主边缘、连接所述第一主边缘与所述第二主边缘的二侧边缘，以及多个导电接点，各所述导电接点具有一朝向所述第一主边缘的第一端及一朝向所述第二主边缘的第二端，所述待测单元能定义出一通过所述第一主边缘及所述第二主边缘的中心轴线，各所述导电接点排成至少一行，同一行导电接点中包含分别最靠近所述二侧边缘的二外侧接点，各所述外侧接点以其第一端比第二端更靠近所述中心轴线的方式相对于所述中心轴线呈倾斜而能定义出一相对于所述中心轴线的倾斜角度，所述待测单元的外侧接点的倾斜角度大于所述探针模块的至少一所述发散探针单元的外侧探针的倾斜角度；

使所述探针模块的探针接触所述至少一待测单元的导电接点，使所述探针模块与所述至少一待测单元电性连接。

19.一种待测单元，利用如权利要求1所述的探针模块进行一测试程序，其特征在于：所述待测单元具有一第一主边缘、一第二主边缘、连接所述第一主边缘与所述第二主边缘的二侧边缘，以及多个导电接点，各所述导电接点具有一朝向所述第一主边缘的第一端及一朝向所述第二主边缘的第二端，所述待测单元能定义出一通过所述第一主边缘及所述第二主边缘的中心轴线，各所述导电接点排成至少一行，同一行导电接点中包含分别最靠近所述二侧边缘的二外侧接点，各所述外侧接点以其第一端比第二端更靠近所述中心轴线的方式相对于所述中心轴线呈倾斜而能定义出一相对于所述中心轴线的倾斜角度，所述待测单元的外侧接点的倾斜角度大于所述探针模块的至少一所述发散探针单元的外侧探针的倾斜角度。

20.一种测试系统，用于测试至少一待测单元，其特征在于所述测试系统包括：

一承载台，用于承载所述至少一待测单元；

一探针卡，包含有权利要求1至17中任一权利要求所述的探针模块，通过所述探针模块的探针接触所述至少一待测单元的导电接点而使所述探针卡与所述至少一待测单元电性连接。