TWI704357B - 適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組 - Google Patents

Abstract

一種探針模組，係用以同時檢測側邊緣相鄰之二待測單元，該二待測單元分別有一鄰近其第二主邊緣及相鄰側邊緣之交界接點；該探針模組包含一探針座，以及複數設於該探針座之交界探針，當該探針模組檢測該等待測單元時，各待測單元之第一主邊緣較第二主邊緣更靠近探針座，該等交界探針係以其懸臂段經過待測單元之第一主邊緣上方而延伸至交界接點上方進而以其點觸段點觸交界接點；藉此，該等交界探針可避免彼此過於靠近或相互干涉。

Description

適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組

本發明係與探針卡之探針模組有關，特別是關於一種適用於具有傾斜導電接點之多待測單元(multi-UUT)的探針模組。

請參閱圖1，其中顯示一具有傾斜導電接點之待測單元10(unit under test；簡稱UUT)，該待測單元10可為未封裝之晶片(die)或已封裝之晶片(chip)，該待測單元10具有排成一或多行之複數用於輸出訊號之第一導電接點11，以及排成一行之複數用於輸入訊號之第二導電接點12，例如圖1所示之待測單元10具有由其一基板13之一第一長邊131朝向一第二長邊132排列之三行第一導電接點11，以及沿該基板13之第二長邊132設置的一行第二導電接點12，該等第一、二導電接點11、12排成多列，每一列之排列方向係實質上平行於一垂直於第一、二長邊131、132之假想分界軸線L，且靠近該假想分界軸線L之列，例如圖1中一中間區塊14所包含者，其中之第一、二導電接點11、12的長邊111、121係實質上平行於該假想分界軸線L，而距離該假想分界軸線L較遠之列的第一、二導電接點11、12則為傾斜導電接點，其較靠近基板13第一長邊131之一端亦較靠近該假想分界軸線L，較遠離基板13第一長邊131之一端則亦較遠離該假想分界軸線L，亦即傾斜導電接點以圖1之方向來看是由上而下且由內而外地傾斜，且距離該假想分界軸線L越遠之第一、二導電接點11、12相對於該假想分界軸線L之角度越大，例如圖1中二外側區塊15、16 所包含之第一、二導電接點11、12之長邊111、121相對於該假想分界軸線L之角度θ 1、θ 2最大。

前述之待測單元10可利用具有懸臂式探針的探針卡進行檢測，為簡化圖式，圖1中僅示意性地顯示一對應最左邊之第二導電接點12的探針17，實際上每一導電接點11、12皆對應一探針，該探針17之懸臂段171可自一位於該待測單元10之第二長邊132外側上方的探針座18延伸至導電接點12上方，使得探針17之一自其懸臂段171末端向下延伸的點觸段(圖中未示)可點觸對應之導電接點12。

然而，由於該待測單元10具有傾斜角度不一致之傾斜導電接點，其檢測所需之探針難以配置於探針座上，尤其對於多待測單元之檢測，亦即同時檢測至少二該待測單元10，將會有探針17相互干涉之疑慮，因此目前仍未有適用之檢測裝置。

有鑑於上述缺失，本發明之主要目的在於提供一種探針模組，係適用於類同上述之具有傾斜導電接點之多待測單元的檢測，以避免探針彼此過於靠近或甚至相互干涉。

為達成上述目的，本發明所提供之探針模組係用以同時檢測複數待測單元，各該待測單元具有一第一主邊緣、一第二主邊緣、連接該第一主邊緣及該第二主邊緣之一第一側邊緣及一第二側邊緣，以及複數導電接點，該複數待測單元中包含一第一待測單元及一第二待測單元，該第一待測單元之第二側邊緣係與該第二待測單元之第一側邊緣相鄰，該第一待測單元之導電接點中包含一鄰近該第一待測單元之第二主邊緣及第二側邊緣的第一 交界接點，該第二待測單元之導電接點中包含一鄰近該第二待測單元之第二主邊緣及第一側邊緣的第二交界接點。

該探針模組包含有至少一探針座，以及複數探針，各該探針包含有一懸臂段及一點觸段，該懸臂段具有一與該探針座固接之固定部，以及一連接於該固定部且自該探針座一內側面延伸而出之外露部，該點觸段係連接於該外露部。其中，該至少一探針座中包含一第一探針座，該複數探針中包含複數設置於該第一探針座之交界探針，當該探針模組檢測該等待測單元時，各該待測單元之第一主邊緣係較第二主邊緣更靠近該第一探針座，該探針模組之至少部份交界探針係以其懸臂段經過該等待測單元之第一主邊緣上方而延伸至該第一交界接點及該第二交界接點上方進而以其點觸段點觸該第一交界接點及該第二交界接點。

換言之，本發明係針對相鄰待測單元之相鄰側邊緣鄰近第二主邊緣之處的導電接點，亦即第一、二交界接點，本發明之探針模組係藉由對應待測單元之第一主邊緣的第一探針座所延伸而出之探針跨越較遠之距離而點觸鄰近第二主邊緣之第一、二交界接點。該探針模組用以點觸該等待測單元之其他導電接點的探針配置則不限定。

藉此，即使第一、二交界接點朝向第二主邊緣之延伸方向係相互靠近，該等交界探針之懸臂段的外露部自第一探針座延伸而出之方向仍可配合第一、二交界接點之延伸方向，以避免探針在點測時意外滑動至非對應的導電接點上，亦即，該等交界探針之懸臂段的外露部係自第一探針座逐漸朝待測單元之相鄰側邊緣(亦即第一待測單元之第二側邊緣與第二待測單元之第一側邊緣)靠近，且僅分別延伸至對應之第一、二交界接點上方，因此該等交界探針不會過於靠近或甚至跨越所述相鄰側邊緣，如此即可避免該等交界探針彼此過於靠近或甚至相互干涉。

有關本發明所提供之適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組的詳細構造、特點、組裝或使用方式，將於後續的實施方式詳細說明中予以描述。然而，在本發明領域中具有通常知識者應能瞭解，該等詳細說明以及實施本發明所列舉的特定實施例，僅係用於說明本發明，並非用以限制本發明之專利申請範圍。

[先前技術]

10:待測單元

11:第一導電接點

111:長邊

12:第二導電接點

121:長邊

13:基板

131:第一長邊

132:第二長邊

14:中間區塊

15、16:外側區塊

17:探針

171:懸臂段

18:探針座

L:假想分界軸線

θ 1、θ 2:角度

A、B:局部

[實施例]

20、20’:探針模組

21:(第一)探針座

211:內側面

212:外側面

22:(第二)探針座

221:內側面

222:外側面

30a~c:(第一)探針

30d:(第二)探針

30e、30f:(交界)探針

30g~j:探針

31:懸臂段

311:固定部

311a:內側區段

311b:外側區段

312:外露部

32:點觸段

40:電路板

41:底面

50A~D:第一~第四待測單元

51:第一主邊緣

52:第二主邊緣

53:第一側邊緣

54:第二側邊緣

55a~c:(第一)導電接點

55d:(第二)導電接點(中間接點)

55e:(第二)導電接點(第一側接點)

55f:(第二)導電接點(第二側接點)

551:第一端

552:第二端

56:上表面

57:中間區塊

58:左側區塊

59:右側區塊

61:第一交界接點

62:第二交界接點

A1:假想分界軸線

A2:水平假想軸線

D1:點觸方向

D2:延伸方向

L1~L3:第一~第三行

P1~P4:假想水平面

L4~L6:第一~第三假想分界線

AR1~AR4:第一~第四區域

圖1為一具有傾斜導電接點之待測單元、一探針及一探針座之頂視示意圖。

圖2為二該待測單元之局部、一探針座之局部及二假想之探針的頂視示意圖。

圖3概為本發明一第一較佳實施例所提供之探針模組、一第一待測單元及一第二待測單元之頂視示意圖，惟未顯示出該探針模組之第一探針。

圖4概為圖3之右視圖，惟其中更顯示出該探針模組之第一探針以及一電路板。

圖5係類同於圖3，惟其中顯示之探針僅為一部份之第一探針。

圖6係類同於圖5，惟其中顯示之探針僅為另一部份之第一探針。

圖7係類同於圖6，惟其中顯示之探針僅為又一部份之第一探針。

圖8係類同於圖3，惟圖8中探針之固定部與外露部呈一直線。

圖9A係類同於圖3，惟圖9A中該第一待測單元之三第一側接點及該第二待測單元之三第二側接點所對應之探針與圖3所示者不同。

圖9B係類同於圖9A，惟圖9B中該第一待測單元之三第二側接點所對應之探針與圖9A所示者不同。

圖9C係類同於圖9A，惟圖9C中該第二待測單元之三第一側接點所對應之探針與圖9A所示者不同。

圖10概為本發明一第二較佳實施例所提供之探針模組以及第一至第四待測單元之頂視示意圖，惟其中顯示之探針僅為一部份之探針。

圖11概為圖10之右視圖，惟其中更顯示出該探針模組之其他探針。

申請人首先在此說明，在以下將要介紹之實施例以及圖式中，相同之參考號碼，表示相同或類似之元件或其結構特徵。需注意的是，圖式中的各元件及構造為例示方便並非依據真實比例及數量繪製，且若實施上為可能，不同實施例的特徵係可以交互應用。

請參閱圖3至圖7，本發明一第一較佳實施例所提供之探針模組20主要包含有一第一探針座21、一第二探針座22，以及複數探針30a~f。

各該探針30a~f係由導電材料(例如金屬)製成之直線針藉由機械加工彎曲而成，如圖4所示，各該探針30a~f包含有一懸臂段31及一點觸段32，該懸臂段31具有一與該第一探針座21或第二探針座22固接之固定部311，以及一連接於該固定部311且自該第一探針座21之一內側面211或第二探針座22之一內側面221延伸而出之外露部312。如圖3及5~7所示，部分之探針30a~f的懸臂段31未經彎折而使其固定部311與外露部312呈一直線，而另一部分之探針30a~f的懸臂段31則經由彎折而使其固定部311與外露部312非呈一直線。如圖4所示，各該探針30a~f之點觸段32係自外露部312末端向下延伸。

該第一探針座21及該第二探針座22係由絕緣材料(例如黑膠)製成，該第一、二探針座21、22係以其內側面211、221相面對地設置，且通 常係固定於一電路板40之底面41(如圖4所示)，使得該電路板40、該第一、二探針座21、22以及該等探針30a~f結合成一探針卡。

在本發明之實施例中，各該探針30a~f之固定部311係位於第一或第二探針座21、22內，其固定方式係利用黑膠同時將同一針層(詳述於下文)之探針設置於探針座上的預定位置，再將黑膠烤乾而使探針固定於探針座上。然而，各該探針30a~f之固定部311亦可藉由黏膠固定於第一或第二探針座21、22之外表面。各該探針30a~f可更具有一自該第一探針座21之一外側面212或第二探針座22之一外側面222延伸而出之連接段(圖中未示)，以藉由該連接段電性連接於該電路板40底面41的導電接點(圖中未示)。

詳而言之，本實施例中的傾斜探針30a~f(外露部312呈傾斜者)之固定部311包含有一與外露部312連接的內側區段311a，以及一自內側區段311a延伸至探針座外側面而與前述之連接段連接之外側區段311b，該內側區段311a係與外露部312成一直線而呈傾斜，該外側區段311b則與前述之連接段成一直線且垂直於探針座之內、外側面(亦即平行於未傾斜之探針)，如此之探針形成傾斜之方式，係先根據所對應之導電接點的延伸方向D2(詳述於下文)將直線針擺放於探針座上並以黑膠固定其固定部311之內側區段311a，以將探針之外露部312固定於所需之角度(亦即平行於對應之導電接點的延伸方向D2)，此時探針已固定於探針座上，再彎折其固定部311而使其外側區段311b連同該連接段垂直於探針座之內、外側面，然後再以黑膠固定外側區段311b，如此之方式可利於彎折作業之進行，並可使探針之彎折角度固定良好而不易回彈。

本發明之探針模組係用以進行多待測單元之檢測，亦即同時檢測複數待測單元，例如，本實施例之探針模組20係用以同時檢測一第一待測單元50A及一第二待測單元50B。本發明之實施例中的待測單元係與先前技術 中所述之待測單元10(如圖1所示)相同，惟為了更明確地描述本發明之特徵，在實施例中以不同的描述方式搭配與圖1中不同的元件標號而更進一步地說明該待測單元。

如圖3及圖4所示，各該待測單元50A、50B之一上表面56具有朝向相反方向之第一、二主邊緣51、52(通常為長邊)、連接第一、二主邊緣51、52且朝向相反方向之第一、二側邊緣53、54(通常為短邊)，以及複數導電接點55a~f，該第一待測單元50A之第二側邊緣54係與該第二待測單元50B之第一側邊緣53相鄰。當該探針模組20檢測該等待測單元50A、50B時，該第一、二探針座21、22係分別位於待測單元50A、50B之第一主邊緣51外側上方及第二主邊緣52外側上方，換言之，各該待測單元50A、50B之第一主邊緣51係較第二主邊緣52更靠近該第一探針座21，各該待測單元50A、50B之第二主邊緣52係較第一主邊緣51更靠近該第二探針座22，該探針模組20係整體(連同前述之電路板40)向下移動進而以該等探針30a~f分別點觸該等導電接點55a~f。

在此須先說明的是，本發明係將探針30a~f之點觸方向D1(如圖4所示)定義為向下，並以此為基準描述其他特徵之方向性(例如上、下、頂、底等用語)，例如，前述各該待測單元50A、50B設有導電接點55a~f之該上表面56即為面向該點觸方向D1之相反方向的表面，前述該電路板40固設第一、二探針座21、22之該底面41即為面向該點觸方向D1之表面。然而，前述之方向性只是描述各特徵是趨於該點觸方向D1(例如向下)或該點觸方向D1之相反方向(例如向上)，而非毫無誤差地符合該點觸方向D1或該點觸方向D1之相反方向，例如，前述各該探針30a~f之點觸段32係自外露部312末端向下延伸，其意思可包含該點觸段32係朝該點觸方向D1延伸，或者，該點觸段32係如圖4所示地趨於該點觸方向D1地相對該點觸方向D1呈傾斜。

在各該待測單元50A、50B中，各該導電接點55a~f具有一朝向該第一主邊緣51之第一端551以及一朝向該第二主邊緣52之第二端552，為簡化圖式，僅在圖5中的三第二導電接點上標示出其第一端551及第二端552，各該導電接點55a~f能定義出一自其第一端551往第二端552之延伸方向D2。如圖3所示，在本實施例中，各該待測單元50A、50B能定義出一假想分界軸線A1，各該待測單元50A、50B之假想分界軸線A1與第一側邊緣53之間的導電接點55a~e之延伸方向D2係平行於該假想分界軸線A1(例如位於圖5所標示之中間區塊57的導電接點)或朝該第一側邊緣53靠近地相對於該假想分界軸線A1呈傾斜(例如位於圖5所標示之左側區塊58的導電接點)，各該待測單元50A、50B之假想分界軸線A1與第二側邊緣54之間的導電接點55a~d、55f之延伸方向D2係平行於該假想分界軸線A1(例如位於圖5所標示之中間區塊57的導電接點)或朝該第二側邊緣54靠近地相對於該假想分界軸線A1呈傾斜(例如位於圖5所標示之右側區塊59的導電接點)。更明確地說，在該假想分界軸線A1附近的導電接點55a~d(位於中間區塊57者)之延伸方向D2係平行於該假想分界軸線A1，距離該假想分界軸線A1越遠的導電接點55a~f，其相對於該假想分界軸線A1傾斜的程度越大。

如圖3所示，在各該待測單元50A、50B中，該等導電接點55a~f係區分為鄰近於第一主邊緣51的第一導電接點55a~c，以及鄰近於第二主邊緣52的第二導電接點55d~f，其中，第一導電接點55a係實質上平行於一水平假想軸線A2地沿該第一主邊緣51排成一第一行L1(如圖5所示)，第一導電接點55b係實質上平行於該水平假想軸線A2地排成一緊鄰該第一行L1之第二行L2(如圖6所示)，第一導電接點55c係實質上平行於該水平假想軸線A2地排成一緊鄰該第二行L2之第三行L3(如圖7所示)，該第一至第三行L1~L3係依序自該第一主邊緣51朝該第二主邊緣52之方向排列。如圖3所示，各該待測單元50A、 50B之第二導電接點55d~f係實質上平行於該水平假想軸線A2地沿該第二主邊緣52排成一行，其中包含距離第一、二側邊緣53、54較遠之複數中間接點55d、位於該等中間接點55d與該第一側邊緣53之間的三個第一側接點55e，以及位於該等中間接點55d與該第二側邊緣54之間的三個第二側接點55f。由於該第一待測單元50A之第二側邊緣54係與該第二待測單元50B之第一側邊緣53相鄰，該第一待測單元50A之第二側接點55f係定義為第一交界接點61，該第二待測單元50B之第一側接點55e係定義為第二交界接點62。

請參閱圖2，其中顯示該第一、二待測單元50A、50B設有該等第一、二交界接點61、62的部分、該第二探針座22之局部及二假想之探針63，如圖2所示，該等第一交界接點61及第二交界接點62所對應之探針63若設置於該第二探針座22，會有探針63彼此過於靠近甚至相互干涉之疑慮，本實施例係設定最靠近各第一、二側邊緣53、54的三個第二導電接點可能產生此疑慮，因此各待測單元50A、50B之第一、二側接點55e、55f各有三個，然而，各待測單元50A、50B之第一、二側接點54e、55f的數量可分別為至少一個，其餘之第二導電接點則皆為中間接點55d，換言之，第一、二交界接點61、62的數量亦可分別為至少一個。

該探針模組20之探針30a~f係區分為設置於第一探針座21且用以點觸該等第一導電接點55a~c之第一探針30a~c(如圖5至圖7所示)、設置於第二探針座22且用以點觸該等中間接點55d之第二探針30d(如圖3所示)，以及設置於第一探針座21且用以點觸該等第一、二側接點55e、55f之交界探針30e、30f(如圖3所示)。如圖4及圖5所示，該等第一探針30a係以實質上對應該等第一導電接點55a之排列方式在一假想水平面P1上排成一行。如圖4及圖6所示，該等第一探針30b係以實質上對應該等第一導電接點55b之排列方式在一高於假想水平面P1之假想水平面P2上排成一行。如圖4及圖7所示，該等第 一探針30c係以實質上對應該等第一導電接點55c之排列方式在一高於假想水平面P2之假想水平面P3上排成一行。換言之，該等第一探針30a~c係排成三行(與第一導電接點55a~c行數相同)，其順序係由下而上地對應第一導電接點55a~c之第一至第三行L1~L3的順序。如圖4所示，該等交界探針30e、30f係位於一高於假想水平面P3之假想水平面P4上，亦即高於該等第一探針30a~c。

換言之，該第一探針座21係設置分別位於假想水平面P1~P4之四針層，位置越高之針層的探針係用以點觸距離該第一探針座21越遠的導電接點，且位置越高之針層的探針之懸臂段越長，因此由下而上數來第一至三針層(依序位於假想平面P1~P3)的探針係分別對應第一至第三行L1~L3的第一導電接點55a~c，該等交界探針30e~f係位於該第一探針座21最高之針層，用以點觸距離該第一探針座21最遠的一行導電接點55d~f中的第一、二交界接點55e~f，而與該等第一、二交界接點55e~f同一行的導電接點55d則由該第二探針座22所設置之一針層的探針30d點觸。

當該探針模組20檢測該等待測單元50A、50B時，該等第一探針30a係以其懸臂段31經過該等待測單元50A、50B之第一主邊緣51上方而延伸至該等第一導電接點55a上方(如圖5所示)進而以其點觸段32點觸該等第一導電接點55a，該等第一探針30b係以其懸臂段31經過該等待測單元50A、50B之第一主邊緣51上方而延伸至該等第一導電接點55b上方(如圖6所示)進而以其點觸段32點觸該等第一導電接點55b，該等第一探針30c係以其懸臂段31經過該等待測單元50A、50B之第一主邊緣51上方而延伸至該等第一導電接點55c上方(如圖7所示)進而以其點觸段32點觸該等第一導電接點55c，該等第二探針30d係以其懸臂段31經過該等待測單元50A、50B之第二主邊緣52上方而延伸至該等中間接點55d上方(如圖3所示)進而以其點觸段32點觸該等中間接點55d，該等交界探針30e、30f係以其懸臂段31經過該等待測單元50A、50B 之第一主邊緣51上方而延伸至該等第一、二側接點55e、55f上方(如圖3所示)進而以其點觸段32點觸該等第一、二側接點54e、54f。

在本實施例中，各該探針30a~f之外露部312自探針座21、22延伸而出之方向係實質上對應其所屬探針30a~f將點觸之導電接點55a~f的延伸方向D2，此處所稱「實質上對應」，係指外露部312自探針座21、22延伸而出之方向不一定要與對應之導電接點55a~f的延伸方向D2相同或相反，而是從上往下看時(亦即圖3及5~7之方向)，外露部312係概與其對應之導電接點55a~f的延伸方向D2平行，如此可避免探針30a~f之點觸段32在進行點觸時偏離至對應的導電接點55a~f之外而產生點觸不確實之問題。

換言之，該等探針30a~f之外露部312的傾斜角度配置係類同於該等導電接點55a~f之傾斜角度配置。詳而言之，各該探針座21、22能定義出垂直於其內、外側面211、212、221、222之一第一假想分界線L4，以及分別位於該第一假想分界線L4之一第一側(左側)及一第二側(右側)之一第二假想分界線L5(與第一待測單元50A之假想分界軸線A1重合)及一第三假想分界線L6(與第二待測單元50B之假想分界軸線A1重合)，該第一假想分界線L4係將各該探針座21、22劃分成一對應第一待測單元50A的部分(左半部)以及一對應第二待測單元50B的部分(右半部)，該第二假想分界線L5及該第三假想分界線L6則分別為該左半部及該右半部之探針的傾斜角度配置之分界，例如，如圖3所示，該第二假想分界線L5將該第一探針座21之左半部區分成一未鄰接該第一假想分界線L4的第一區域AR1以及一鄰接該第一假想分界線L4的第二區域AR2，該第三假想分界線L6將該第一探針座21之右半部區分成一鄰接該第一假想分界線L4的第三區域AR3以及一未鄰接該第一假想分界線L4的第四區域AR4。更進一步而言，對於設置在第一探針座21之左半部(亦即第一區域AR1及第二區域AR2)的探針，其外露部312自內側面211延伸而出 之方向係平行於該第二假想分界線L5(例如對應圖5所標示之中間區塊57的探針)或遠離該第二假想分界線L5地相對於該第二假想分界線L5呈傾斜(例如對應圖5所標示之左、右側區塊58、59的探針)；對於設置在第一探針座21之右半部(亦即第三區域AR3及第四區域AR4)的探針，其外露部312自內側面211延伸而出之方向係平行於該第三假想分界線L6(例如對應圖5所標示之中間區塊57的探針)或遠離該第三假想分界線L6地相對於該第三假想分界線L6呈傾斜(例如對應圖5所標示之左、右側區塊58、59的探針)。相反地，對於設置在第二探針座22之左半部的探針，其外露部312自內側面221延伸而出之方向係平行於該第二假想分界線L5(例如對應圖5所標示之中間區塊57的探針)或朝該第二假想分界線L5靠近地相對於該第二假想分界線L5呈傾斜(例如對應圖5所標示之左、右側區塊58、59的探針)；對於設置在第二探針座22之右半部的探針，其外露部312自內側面221延伸而出之方向係平行於該第三假想分界線L6(例如對應圖5所標示之中間區塊57的探針)或朝該第三假想分界線L6靠近地相對於該第三假想分界線L6呈傾斜(例如對應圖5所標示之左、右側區塊58、59的探針)。

藉由本發明之探針模組的探針配置，可在將如此繁多之探針以適當間距配置於探針座的前提下，仍可達到前述之確保探針點觸確實之功效。此外，在本實施例中，該等探針30a~f之固定部311的外側區段311b係實質上相互平行，如此係較方便於將探針配置於探針座；然而，藉由本發明之探針模組的探針配置，亦可便於將固定部311與外露部312實質上呈一直線之探針(例如圖8所示之探針30d~f)配置於探針座，如此更可簡化探針之彎折加工程序。

更重要的是，如圖3所示，雖然該等第一交界接點61之延伸方向D2係朝該第一待測單元50A之第二側邊緣54靠近地呈相當程度之傾斜，該 等第二交界接點62之延伸方向D2亦朝該第二待測單元50B之第一側邊緣53靠近地呈相當程度之傾斜，但本發明之探針模組20係藉由自第一探針座21延伸而出之交界探針30e、30f點觸第一、二交界接點61、62，即使用以點觸第一、二交界接點61、62之交界探針30e、30f的外露部312自第一探針座21延伸而出之方向係配合對應的第一、二交界接點61、62之延伸方向D2，該等交界探針30e、30f之懸臂段31的外露部312係自第一探針座21逐漸朝待測單元之相鄰側邊緣(亦即第一待測單元50A之第二側邊緣54與第二待測單元50B之第一側邊緣53)靠近，且僅延伸至對應之第一、二交界接點61、62上方，因此該等交界探針30e、30f不會過於靠近或甚至跨越所述相鄰側邊緣，如此即可避免該等交界探針30e、30f彼此過於靠近或甚至相互干涉。

可想而知，在該第一待測單元50A之第一側邊緣53及第二待測單元50B之第二側邊緣54亦與其他待測單元相鄰的情況下(亦即有四個並排之待測單元)，最左側之三交界探針30e及最右側之三交界探針30f亦可發揮前述之功效。而在該第一待測單元50A之第一側邊緣53及第二待測單元50B之第二側邊緣54未與其他待測單元相鄰的情況下，該第一待測單元50A之第一側接點55e及第二待測單元50B之第二側接點55f亦可藉由第二探針座22延伸而出之第二探針進行點測，亦即如圖9A所示，該第一探針座21未設置圖3中最左側之三交界探針30e及最右側之三交界探針30f，而是由第二探針座22之最左側及最右側所分別增設之三第二探針30d來點觸第一待測單元50A之第一側接點55e及第二待測單元50B之第二側接點55f。此外，本發明之探針模組不限於如圖3及圖9A所示地在該第一探針座21之第二區域AR2及第三區域AR3設有以該第一假想分界線L4為對稱軸而呈對稱設置之交界探針30e、30f，例如可為圖9B所示之態樣，該第一探針座21僅第三區域AR3設有交界探針30e，用以點測鄰近第二待測單元50B之第一側邊緣53的第二交界接點62，而鄰近第一待測單元 50A之第二側邊緣54的第一交界接點61則由第二探針座22延伸而出之第二探針30d進行點測，或者可為圖9C所示之態樣，該第一探針座21僅第二區域AR2設有交界探針30f，用以點測鄰近第一待測單元50A之第二側邊緣54的第一交界接點61，而鄰近第二待測單元50B之第一側邊緣53的第二交界接點62則由第二探針座22延伸而出之第二探針30d進行點測。

請參閱圖10及圖11，本發明一第二較佳實施例所提供之探針模組20’係用以同時檢測呈矩陣排列之第一至第四待測單元50A~D，其中，針對圖10中左下及右下之第一、二待測單元50A、50B，該探針模組20’係採用如同第一較佳實施例之探針模組20的探針配置，為簡化圖式，圖10中未顯示此部分之探針。而對於圖10中左上及右上之第三、四待測單元50C、50D，由於該第三待測單元50C之第二主邊緣52係與該第一待測單元50A之第一主邊緣51相鄰，該第四待測單元50D之第二主邊緣52係與該第二待測單元50B之第一主邊緣51相鄰，第三、四待測單元50C、50D之導電接點55a~f全部都較第一、二待測單元50A、50B之第一導電接點55a~c更靠近第一探針座21，因此，第三、四待測單元50C、50D之導電接點55a~f可全部皆由設置於該第一探針座21之探針30g~j點觸，亦即可在第一探針座21增設四行探針30g~j，如圖11所示，該四行探針30g~j係位於用以點觸第一、二待測單元50A、50B之第一探針30a~c下方，且依由上而下之順序係分別用以點觸第三、四待測單元50C、50D之第二導電接點55d~f以及第一導電接點55a~c之第三至第一行L3~L1。為了簡化圖式，圖10中僅顯示用以點觸第三、四待測單元50C、50D之第二導電接點55d~f的探針30g。

最後，必須再次說明，本發明於前揭實施例中所揭露的構成元件，僅為舉例說明，並非用來限制本案之範圍，其他等效元件的替代或變化，亦應為本案之申請專利範圍所涵蓋。

20:探針模組

21:(第一)探針座

211:內側面

212:外側面

22:(第二)探針座

221:內側面

222:外側面

30d:(第二)探針

30e、30f:(交界)探針

311:固定部

311a:內側區段

311b:外側區段

312:外露部

50A、50B:第一、二待測單元

51:第一主邊緣

52:第二主邊緣

53:第一側邊緣

54:第二側邊緣

55a~c:(第一)導電接點

55d:(第二)導電接點(中間接點)

55e:(第二)導電接點(第一側接點)

55f:(第二)導電接點(第二側接點)

61:第一交界接點

62:第二交界接點

A1:假想分界軸線

D2:延伸方向

L4~L6:第一~第三假想分界線

AR1~AR4:第一~第四區域

Claims (20)

1. 一種適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，係用以同時檢測複數待測單元，各該待測單元具有一第一主邊緣、一第二主邊緣、連接該第一主邊緣及該第二主邊緣之一第一側邊緣及一第二側邊緣，以及複數導電接點，該複數待測單元中包含一第一待測單元及一第二待測單元，該第一待測單元之第二側邊緣係與該第二待測單元之第一側邊緣相鄰，該第一待測單元之導電接點中包含一鄰近該第一待測單元之第二主邊緣及第二側邊緣的第一交界接點，該第二待測單元之導電接點中包含一鄰近該第二待測單元之第二主邊緣及第一側邊緣的第二交界接點；該探針模組包含有： 至少一探針座；以及 複數探針，各該探針包含有一懸臂段及一點觸段，該懸臂段具有一與該探針座固接之固定部，以及一連接於該固定部且自該探針座一內側面延伸而出之外露部，該點觸段係連接於該外露部； 其中，該至少一探針座中包含一第一探針座，該複數探針中包含複數設置於該第一探針座之交界探針，當該探針模組檢測該等待測單元時，各該待測單元之第一主邊緣係較第二主邊緣更靠近該第一探針座，該探針模組之至少部份交界探針係以其懸臂段經過該等待測單元之第一主邊緣上方而延伸至該第一交界接點及該第二交界接點上方進而以其點觸段點觸該第一交界接點及該第二交界接點。
2. 如申請專利範圍第1項所述之適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，其中各該待測單元之導電接點中包含複數鄰近於所屬待測單元之第一主邊緣的第一導電接點；該探針模組之探針中包含複數設置於該第一探針座之第一探針，當該探針模組檢測該等待測單元時，該等第一探針係以其懸臂段經過該等待測單元之第一主邊緣上方而延伸至該等第一導電接點上方進而以其點觸段點觸該等第一導電接點；該等交界探針係位於該等第一探針上方。
3. 如申請專利範圍第2項所述之適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，其中各該待測單元之第一導電接點係實質上平行於一水平假想軸線地沿該第一主邊緣排成一行；該等第一探針係以實質上對應該等第一導電接點之排列方式在一假想水平面上排成一行；該等交界探針係位於另一假想水平面上。
4. 如申請專利範圍第2項所述之適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，其中各該待測單元之第一導電接點係實質上平行於一水平假想軸線地排成複數行，其順序係自該第一主邊緣朝該第二主邊緣之方向排列；該等第一探針係以實質上對應該等第一導電接點之排列方式在複數假想水平面上排成複數行，其順序係由下而上地對應第一導電接點之該複數行的順序；該等交界探針係位於另一假想水平面上。
5. 如申請專利範圍第1項所述之適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，其中各該待測單元之導電接點中包含複數鄰近於所屬待測單元之第二主邊緣的第二導電接點，該等第二導電接點中包含複數中間接點、至少一位於該等中間接點與該第一側邊緣之間的第一側接點，以及至少一位於該等中間接點與該第二側邊緣之間的第二側接點，該第一待測單元之第一交界接點為所述第二側接點，該第二待測單元之第二交界接點為所述第一側接點；該探針模組之至少一探針座中更包含一第二探針座，該探針模組之探針中包含複數設置於該第二探針座之第二探針，當該探針模組檢測該等待測單元時，各該待測單元之第二主邊緣係較第一主邊緣更靠近該第二探針座，該探針模組之至少部分第二探針係以其懸臂段經過該第一待測單元及第二待測單元之第二主邊緣上方而延伸至該第一待測單元及第二待測單元之中間接點上方進而以其點觸段點觸該第一待測單元及第二待測單元之中間接點。
6. 如申請專利範圍第5項所述之適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，其中當該探針模組檢測該等待測單元時，該探針模組之部分第二探針係以其懸臂段經過該第一待測單元及第二待測單元之第二主邊緣上方而延伸至該第一待測單元之第一側接點及第二待測單元之第二側接點上方進而以其點觸段點觸該第一待測單元之第一側接點及第二待測單元之第二側接點。
7. 如申請專利範圍第5項所述之適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，其中當該探針模組檢測該等待測單元時，該探針模組之部份交界探針係以其懸臂段經過該等待測單元之第一主邊緣上方而延伸至該第一待測單元之第一側接點及第二待測單元之第二側接點上方進而以其點觸段點觸該第一待測單元之第一側接點及第二待測單元之第二側接點。
8. 如申請專利範圍第5項所述之適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，其中該第二探針座能定義出垂直於其內側面之一第一假想分界線、一第二假想分界線及一第三假想分界線，該第二假想分界線及該第三假想分界線係分別位於該第一假想分界線之一第一側及一第二側，位於該第一假想分界線第一側之探針的外露部自該內側面延伸而出之方向係平行於該第二假想分界線或朝該第二假想分界線靠近地相對於該第二假想分界線呈傾斜，位於該第一假想分界線第二側之探針的外露部自該內側面延伸而出之方向係平行於該第三假想分界線或朝該第三假想分界線靠近地相對於該第三假想分界線呈傾斜。
9. 如申請專利範圍第1項所述之適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，其中該第一探針座能定義出垂直於其內側面之一第一假想分界線、一第二假想分界線及一第三假想分界線，該第二假想分界線及該第三假想分界線係分別位於該第一假想分界線之一第一側及一第二側，位於該第一假想分界線第一側之探針的外露部自該內側面延伸而出之方向係平行於該第二假想分界線或遠離該第二假想分界線地相對於該第二假想分界線呈傾斜，位於該第一假想分界線第二側之探針的外露部自該內側面延伸而出之方向係平行於該第三假想分界線或遠離該第三假想分界線地相對於該第三假想分界線呈傾斜。
10. 如申請專利範圍第9項所述之適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，其中各該探針之固定部與外露部係實質上呈一直線。
11. 如申請專利範圍第9項所述之適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，其中各該探針之固定部包含有一內側區段及一外側區段，各該探針之固定部的內側區段係與外露部連接且與外露部實質上呈一直線，該等探針之固定部的外側區段係實質上相互平行。
12. 如申請專利範圍第1項所述之適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，其中該複數待測單元中更包含一第三待測單元及一第四待測單元，該第三待測單元之第二主邊緣係與該第一待測單元之第一主邊緣相鄰，該第四待測單元之第二主邊緣係與該第二待測單元之第一主邊緣相鄰；當該探針模組檢測該等待測單元時，該第三待測單元及第四待測單元之導電接點全部由設置於該第一探針座之探針點觸。
13. 如申請專利範圍第1項所述之適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，其中該第一探針座由下而上地設置複數針層，位置越高之針層的探針係用以點觸距離該第一探針座越遠的導電接點，且位置越高之針層的探針之懸臂段越長，位置最高之針層的探針為該等交界探針。
14. 如申請專利範圍第13項所述之適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，其中該至少一探針座中更包含一第二探針座，當該探針模組檢測該等待測單元時，各該待測單元之第二主邊緣係較第一主邊緣更靠近該第二探針座，該第二探針座設置至少一針層，用以點觸鄰近該第二探針座之至少一行導電接點。
15. 一種適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，係用以同時檢測一第一待測單元及一第二待測單元，該第一待測單元及該第二待測單元分別具有一第一主邊緣、一第二主邊緣、連接該第一主邊緣及該第二主邊緣之一第一側邊緣及一第二側邊緣，以及複數導電接點，該第一待測單元之第二側邊緣係與該第二待測單元之第一側邊緣相鄰，該第一待測單元及該第二待測單元之導電接點中包含鄰近其第二主邊緣之一行導電接點，該行導電接點中包含一鄰近該第一待測單元之第二側邊緣的第一交界接點以及一鄰近該第二待測單元之第一側邊緣的第二交界接點；該探針模組包含有： 一第一探針座及一第二探針座；以及 複數探針，係設置於該第一探針座及該第二探針座，並於該第一探針座形成複數針層且於該第二探針座形成至少一針層，其中位於該第一探針座最高之針層的探針係用以點觸該第一交界接點及該第二交界接點，位於該第二探針座之一該針層的探針係用以點觸與該第一交界接點及該第二交界接點同一行的導電接點。
16. 如申請專利範圍第15項所述之適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，其中各該探針包含有一懸臂段，該懸臂段具有一自該第一探針座之一內側面或該第二探針座之一內側面延伸而出之外露部，該等針層至少其中之一係有部分探針之外露部垂直於其伸出之內側面且有部分探針之外露部非垂直於其伸出之內側面而呈傾斜。
17. 一種適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，包含有： 至少一探針座；以及 複數探針，係設置於該至少一探針座，各該探針包含有一懸臂段，該懸臂段具有一自該探針座一內側面延伸而出之外露部； 其中，該至少一探針座中包含一第一探針座，該第一探針座能定義出垂直於其內側面之一第一假想分界線、一第二假想分界線及一第三假想分界線，該第二假想分界線及該第三假想分界線係分別位於該第一假想分界線之一第一側及一第二側，該第二假想分界線將該第一探針座位於該第一假想分界線第一側的部分區分成一未鄰接該第一假想分界線的第一區域以及一鄰接該第一假想分界線的第二區域，位於該第一區域及該第二區域之探針的外露部自該內側面延伸而出之方向係平行於該第二假想分界線或遠離該第二假想分界線地相對於該第二假想分界線呈傾斜，該第三假想分界線將該第一探針座位於該第一假想分界線第二側的部分區分成一鄰接該第一假想分界線的第三區域以及一未鄰接該第一假想分界線的第四區域，位於該第三區域及該第四區域之探針的外露部自該內側面延伸而出之方向係平行於該第三假想分界線或遠離該第三假想分界線地相對於該第三假想分界線呈傾斜，該第二區域及該第三區域至少其中之一所設置之探針中包含有至少一交界探針，該至少一交界探針之懸臂段的外露部長度大於其餘探針之懸臂段的外露部長度。
18. 如申請專利範圍第17項所述之適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，其中該第一探針座由下而上地設置複數針層，位置越高之針層的探針之懸臂段的外露部越長，位置最高之針層的探針為該至少一交界探針。
19. 如申請專利範圍第17項所述之適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，其中該第二區域及該第三區域皆設有交界探針，且該等交界探針係以該第一假想分界線為對稱軸而呈對稱設置。
20. 如申請專利範圍第17項所述之適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組，其中該至少一探針座中更包含一第二探針座，該第二探針座能定義出垂直於其內側面之一第一假想分界線、一第二假想分界線及一第三假想分界線，該第二假想分界線及該第三假想分界線係分別位於該第一假想分界線之一第一側及一第二側，位於該第一假想分界線第一側之探針的外露部自該內側面延伸而出之方向係平行於該第二假想分界線或朝該第二假想分界線靠近地相對於該第二假想分界線呈傾斜，位於該第一假想分界線第二側之探針的外露部自該內側面延伸而出之方向係平行於該第三假想分界線或朝該第三假想分界線靠近地相對於該第三假想分界線呈傾斜。

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