CN108732393B

CN108732393B - 探针模块以及探针卡

Info

Publication number: CN108732393B
Application number: CN201810216758.7A
Authority: CN
Inventors: 顾伟正; 魏豪; 周嘉南; 何志浩; 郑仰宏; 王裕文; 许育祯
Original assignee: MJC Probe Inc
Current assignee: MJC Probe Inc
Priority date: 2017-04-25
Filing date: 2018-03-15
Publication date: 2021-11-02
Anticipated expiration: 2038-03-15
Also published as: TWI652482B; TW201839405A; CN108732393A

Abstract

一种探针卡，用以对一待测物进行检测，包括：设有多个线路的电路板；探针模块，其包括有至少一探针，具有悬臂梁、针臂座、针尖座以及针尖，悬臂梁具有两相背对的第一面与第二面，第二面朝向待测物；针臂座设置于第一面，用以与一线路电性连接；针尖座设置于第二面；针尖设置于针尖座背离第二面的表面，所述针尖用以与待测物接触；以及导电框，以导电材料制成，并与另一线路电性连接，传导框环设于至少一探针的周围，传导框与至少一探针保有一间距。

Description

探针模块以及探针卡

技术领域

本发明与检测装置有关；特别是指一种用以对一待测物进行电性检测的探针模块以及探针卡。

背景技术

用以检测电子产品中各个电子组件之间的电性连接是否确实，通常利用一探针模块作为一检测装置与待测电子装置之间的测试接口，通过信号传输以及电性信号分析，来获得待测电子装置的测试结果。

随着电子组件的尺寸逐渐微缩，探针模块用以量测的探针的规格也趋精细发展，探针与探针之间排列间距缩小，其探针之间所产生的串扰效应会影响测试的精准度；尤其，在进行高频信号测试时，其信号传输时所受的干扰以及损耗都较高，而且阻抗匹配的特性也较差，以至于信号传输的完整性不佳。是以，如何获得较佳的传输信号与阻抗匹配的特性，是各业者所亟欲改善的方向之一。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种探针模块以及探针卡，可获得较佳的传输信号以及较佳的阻抗匹配特性。

为了达成上述目的，本发明提供的一种探针模块，其包括有：至少一探针，具有一悬臂梁、一针臂座、一针尖座以及一针尖，所述悬臂梁具有两相背对的一第一面与一第二面；所述针臂座设置于所述第一面；所述针尖座设置于所述第二面；所述针尖设置于所述针尖座背离所述第二面的表面；以及一传导框，以导电材料制成，所述传导框环设于所述至少一探针的周围，所述传导框与所述至少一探针保有一间距。

为了达成上述目的，本发明提供的一种探针卡，用以对一待测物进行电性检测，其包括有：一电路板，设有多个线路；以及一探针模块，所述探针模块包括有至少一探针，具有一悬臂梁、一针臂座、一针尖座以及一针尖，所述悬臂梁具有两相背对的一第一面与一第二面；所述针臂座设置于所述第一面；所述针尖座设置于所述第二面；所述针尖设置于所述针尖座背离所述第二面的表面；以及一传导框，以导电材料制成，所述传导框环设于所述至少一探针的周围，所述传导框与所述至少一探针保有一间距。

本发明的效果在于，通过上述的探针结构以及探针模块，在进行高频信号测试时，可获得较佳的传输信号以及较佳的阻抗匹配特性。

附图说明

图1为本发明一优选实施例的探针模块的立体图。

图2为上述优选实施例的探针的侧视图。

图3为本发明另一优选实施例的探针模块的立体图。

图4为本发明另一优选实施例的探针模块的立体图。

图5为上述探针模块的局部上视图。

图6为本发明另一优选实施例的探针模块的立体图。

图7为本发明另一优选实施例的探针模块的立体图。

图8为本发明另一优选实施例的探针模块的立体图，其中一点链线所标示处为透明显示的示意。

图9A为图8的局部上视图

图9B为图9A的A-A方向的剖视图。

图10A为另一实施例的探针模块的局部上视图。

图10B为图10A的B-B方向的剖视图。

图11A为另一实施例的探针模块的局部上视图。

图11B为图11A的C-C方向的剖视图。

图12A为另一实施例的探针模块的局部上视图。

图12B为图12A的D-D方向的剖视图。

图13A为另一实施例的探针模块的局部上视图。

图13B为图13A的E-E方向的剖视图。

图14为本发明一优选实施例的电路板的上视图。

图15为上述优选实施例的电路板的下视图。

图16为上述优选实施例的探针模块的立体图。

图17为上述优选实施例的电路板的下视图，揭露探针模块与电路板结合。

图18为本发明另一优选实施例的探针模块的立体图。

图19为本发明上述优选实施例的探针模块结合在电路板的示意图。

图20A为本发明另一优选实施例的探针卡的立体图。

图20B为图20A的A-A方向的立体剖视图。

图20C为探针卡的侧视示意图。

图21A为上述实施例的同轴线的下视图。

图21B为另一实施例的同轴线的侧视图。

图22为上述优选实施例的探针卡的下视图，揭露单边出针的实施态样。

图23为上述优选实施例的探针卡的下视图，揭露双边出针的实施态样。

图24为上述优选实施例的探针卡的下视图，揭露双边出针且具有多对针组的实施态样。

图25为上述优选实施例的探针卡的下视图，揭露双边出针且传导框相连结的实施态样。

图26为图25的F-F方向剖视示意图。

【附图中本公开实施例主要元件符号说明】

[本发明]

100 探针模块

110 探针

112 悬臂梁 112a 第一面 112b 第二面

114 针臂座 116 针尖座 118 针尖

120 传导框

200 探针模块

210 探针

220 传导框

230 探针

300 探针模块

310 探针 312 针尖座

320 传导框

330 缺口

400 探针模块

410 探针 412 前端 414 后端

416 针尖

420 传导框 422 开放端 424 悬臂部

426 基座部 428 连接部 429 针尖

500 探针模块

510 探针

520 传导框

600 探针模块

610 探针

611 悬臂梁 611a 第一段 611b 第二段

612 针臂座 613 针尖座 614 针尖

620 传导框

622 第一部分 624 第二部分 626 底板600a 探针模块

611a 悬臂梁 626a 底板 627 镂空区

600b 探针模块

628 镂空区

700a 探针模块

711 悬臂梁 720 传导框 722 透空部

700b 探针模块

724 底板 726 镂空区

800 电路板

802 第一面 804 第二面 806 开口

810 第一信号接垫 820 第一接地接垫

830 第二信号接垫 840 第二接地接垫

900 探针模块

912 探针 913 第二面 915 表面

920 传导框 922 接地部

924 第一阶面 926 第二阶面 928 第三阶面

929 针尖

900’探针模块

914 探针

1 探针卡

10 支撑座 10a 开口

12 连结件 12a 开口

20 电路板 22，24 接垫 26 开口

30，30’同轴线

30a 切面 30b 切面 30c 切面

31 接头 32 信号传输部 33 承座

34 接地传输部

40 焊料

50 固定件

52 第一固定部 54 第二固定部

60 探针模块

62 探针 63 针尖

64 传导框 65 接地部 66 针尖

60’探针模块

62’探针 S 针尖

64’传导框 G 针尖

s1 螺栓 s2 螺栓

具体实施方式

为能更清楚地说明本发明，现举优选实施例并配合附图详细说明如后。本发明的探针模块供设置于一电路板，用以与待测物接触进行电性检测，所述探针模块包含有至少一探针以及一传导框。请参图1所示，为本发明一优选实施例的探针模块100，所述探针模块100包含有一探针110以及一传导框120。

请一并配合图2所示，所述探针110具有一悬臂梁112、一针臂座114、一针尖座116以及一针尖118。其中，所述悬臂梁112具有两相背对的一第一面112a与一第二面112b，所述第二面112b朝向待测物；所述针臂座114的一表面与所述第一面112a连接，所述针臂座114的另一表面用以设置于电路板上，例如，通过电镀的方式形成于电路板并与电路板上的一线路电性连接，其中，优选的，所述的电路板采用如多层有机板(MLO)或多层陶瓷板(MLC)，但在其他实施例中，并不以此为限；所述针尖座116的一表面与所述第二面112b连接，所述针尖座116的顶面用以供设置所述针尖118；所述针尖118连接于所述针尖座116背离所述第二面112b的表面，所述针尖118用以与所述待测物接触，由此对待测物进行电性检测。其中，在一实施例中，所述探针110的悬臂梁112、针臂座114以及针尖座116可采微机电制程堆栈同一材料成一体成形的结构，但在其他实际实施上并不以此为限。

所述传导框120以导电材料制成，并环设于所述探针110的周围，并与所述探针110保有一间隔，并与所述探针110彼此不电性接触，所述传导框120供与电路板上的另一线路电性连接，用以与所述探针110进行阻抗匹配。

举例而言，在一实施例中，当前述的探针110是与一信号电路电性连接时，所述传导框120可供与一接地线路电性连接，用以与所述探针110进行阻抗匹配。此外，在一实施例中，在所述传导框120上可设置有一针尖，由此，所述传导框120也可通过所述针尖点触待测物对应的接垫，以进行接地信号的传输。

请参图3所示，为本发明另一实施例的探针模块200，其结构与前述实施例的探针模块100大致相同，不同的地方在于，所述探针模块200还包含有另一探针230，设置于所述探针210以及所述传导框220的一侧，所述探针230与探针210的结构大致相同，但不以此为限。其中，因应待测物接垫的形式可分为信号走线及接地走线两类。以此架构而言，信号走线为探针210、接地走线为探针230，在一情况中，由于信号走线距离接地走线较远，因此，考虑阻抗匹配，故设计有所述传导框220与信号走线进行阻抗匹配。

请参图4所示，为本发明另一实施例的探针模块300，所述探针模块300与前述探针模块100或探针模块200的结构大致相同，不同的处在于，其传导框320的内缘向内凹陷形成有一缺口330，其缺口330主要设计目的为考虑对探针310进行阻抗匹配。而其探针310的针尖座312位于所述缺口330中。另外，请参图5所示，在一实施例中，位于缺口330的针尖座312与传导框320之间的间隔较小，也即，其间隔小于所述探针310不在所述缺口330中的部位与传导框320之间的间隔。

请参图6所示，为本发明另一实施例的探针模块400，其包括有一探针410以及一传导框420，所述探针410的结构与前述探针110的结构大致相同，在此不再赘述，所述探针410的悬臂梁具有相对的一前端412以及一后端414，其针臂座设置于靠近其悬臂梁的后端414处，其针尖座设置于其悬臂梁的前端412处，所述针尖座的顶面用以供设置针尖416；所述针尖416用以与所述待测物接触，由此对待测物进行电性检测。所述传导框420一端形成有一开放端422，所述开放端对应于所述悬臂梁的后端414。所述传导框420包含有一悬臂部424、一基座部426以及一连接部428，所述悬臂部424与所述探针410的悬臂梁相对应；所述基座部426连接于所述悬臂部424的底部表面，用以与一线路电性连接，且所述基座部426与所述探针410的针臂座相对应；所述连接部428连接于所述悬臂部424的顶部表面，且所述连接部428与所述探针410的针尖座相对应，所述连接部428设置于所述传导框420的另外一端，即对应所述开放端422的另外一端，所述连接部428为一封闭端，所述封闭端对应设置在所述悬臂梁的前端412向前延伸的部位。在本实施例当中，所述传导框420的悬臂部424、基座部426以及连接部428可为采微机电制程堆栈同一材料成一体成形的结构，但在其他实施例中，并不以此为限。其中，在所述传导框420的连接部428上可设置有针尖429，由此，使得所述传导框420除了可与探针410进行阻抗匹配之外，还可另外通过所述针尖429点触如待测物的接垫等部位，据以进行电性传输或电性检测。值得一提的是，在本实施例中，所述的传导框420的针尖429的数量为二，且分别位于所述探针410的针尖416的两侧，其中，探针410可作为信号走线，传导框420可作为接地走线，由此，通过探针410以及传导框420的针尖排列型态，可构成有GSG架构的探针架构。特别的是，由于所述传导框420也是采取类同探针410的悬臂式设计，所述传导框420在做为接地探针使用时，其悬臂部424还可因应待测物的接垫高低不一的状况产生相对应程度的弹性微变形量，而可获得针尖平面度较佳化的效果。

请参图7所示，为本发明另一实施例的探针模块500，其结构与前述的探针模块400大致相同，不同之处在于，所述探针模块500具有两个探针510，而所述二探针510皆设置于所述传导框520中，并为所述传导框520所围绕。由此，所述传导框520可对所述二探针510达到良好的阻抗匹配效果。其中，因应待测物接垫的形式分为信号走线及接地走线两类，在应用上，探针510可作为信号走线使用，传导框520可作为接地走线使用，在所述传导框520上设置有二针尖522，位于所述二探针510的针尖512的两侧，由此，通过探针510以及传导框520的针尖排列型态，可构成有GSSG架构的探针模块，可供量测差动信号。

由上述图6、图7所示的实施例可见，本发明提供的探针模块的探针数量可为一根(如图6所示)或两根(如图7所示)，但不以此为限，在其他应用上，也可设计有三根或三根以上的探针皆设置于一传导框中的实施可能。

请参图8及图9A、9B所示，为本发明另一实施例的探针模块600，其包含有一探针610以及一传导框620，所述探针610与前述的探针110的结构大致相同，皆具有一悬臂梁611、针臂座612、针尖座613以及一针尖614，所述悬臂梁611具有相连接的一第一段611a以及一第二段611b，所述第一段611a设置有所述针臂座612，所述第二段611b设置有所述针尖座613。所述传导框620具有相连接的一第一部分622以及一第二部分624，所述第一部分622环绕所述针臂座612以及所述悬臂梁611的第一段611a，且所述第一部分622具有一开放端与探针610的后端(与图6的探针410的后端414相同)相对应；所述第二部分624环绕所述悬臂梁611的第二段611b，且所述第二部分624还具有一底板626，所述底板626面对所述悬臂梁611的第一面，也即，所述底板626面对所述悬臂梁611的第二段611b背离所述针尖座613及所述针尖614的表面，而使得所述悬臂梁611的第二段611b的三个表面受到所述传导框620的第二部分624所包围，如图8所示，上述的第二段611b的三个表面是指除了设置针尖614的表面之外的其余三个表面。

请参图10A、10B所示，为本发明另一实施例之探针模块600a，所述探针模块600a与前述的探针模块600的结构大致相同，其不同之处在于：所述探针模块600a的底板626a具有一镂空区627，而使得悬臂梁611a的第一面的部份未受底板626a所遮蔽。

请参图11A、11B所示，为本发明另一实施例的探针模块600b，所述探针模块600b与前述探针模块600a的结构大致相同，其不同之处在于：所述探针模块600b具有多个镂空区628，且各所述镂空区628彼此相间隔排列。

请参图12A、12B所示，为本发明另一实施例的探针模块700a，所述探针模块700a的结构与前述探针模块600大致相同，不同之处在于：其传导框720的第二部分的左侧设置有一透空部722，所述透空部722正对其悬臂梁711的第二段，而使得所述悬臂梁711的第二段的左侧未受所述传导框720遮蔽而呈开放状。在一实施例中，所述的透空部722可由图8所示的传导框620将一点链线所圈选出的部分去除后所形成，但不以此为限。另外，在一实施例中，所述传导框720的第一部分的左侧也可设置有另一透空部，而使得所述悬臂梁711的第一段的左侧未受遮蔽而呈开放状。如此一来，通过上述设计，可使得所述传导框720仅包围并遮蔽悬臂梁711的两个表面(如下表面、右表面)，而悬臂梁711的另外两表面(如上表面、左表面)则未受遮蔽而呈开放状。

请参图13A、13B所示，为本发明另一实施例的探针模块700b，所述探针模块700b的结构与前述探针模块700a的结构大致相同，不同之处在于：所述探针模块700b的底板724形成有至少一镂空区726，举例而言，可形成有一个镂空区726或多个彼此相间隔的镂空区726。

请参图14至图17所示，为本发明一优选实施例的探针卡，所述探针卡包含有一电路板800以及一探针模块900，在本实施例当中，所述电路板800可采用多层有机板(MLO)或多层陶瓷板(MLC)，其内部设有多个条线路(例如包括有多条信号线路以及多条接地线路)，所述电路板800具有相背对的一第一面802与一第二面804以及贯穿所述第一面802与所述第二面804的一开口806。在所述第一面802设有一第一信号接垫810以及二第一接地接垫820，所述第一信号接垫810位于所述二第一接地接垫820之间；在所述第二面804设有一第二信号接垫830以及二第二接地接垫840，所述第二信号接垫830位于所述二第二接地接垫840之间。其中，一所述第一信号接垫810通过一所述信号线路而与一所述第二信号接垫830电性连接，所述二第一接地接垫820分别通过一所述接地线路而与一所述第二接地接垫840电性连接。其中，在本实施例当中，上述接垫可通过焊接的方式与同轴线电性连接，但在其他实施上，并不以此为限。

所述探针模块900包含有一探针912以及一传导框920，所述探针912的结构与前述实施例的探针110的结构大致相同，在此不再赘述。所述传导框920以导电材料制成，并环设于所述探针912的周围，并与所述探针912保有一间隙而不互相接触。所述传导框920的一端形成开放端而呈开放状，并形成有二接地部922，所述二接地部922分别与一所述第二接地接垫840电性连接，在本实施例中，通过电镀的方式将所述二接地部922分别设置于所述二第二接地接垫840上。另外，所述传导框920与所述探针912的第二面913同侧的表面呈阶梯状，依序有一第一阶面924、第二阶面926以及一第三阶面928，所述第一阶面924与所述第二面913齐平，所述第二阶面926高于所述第一阶面924但低于所述第三阶面928，所述第三阶面928与所述探针912的针尖座设有针尖的表面915齐平。其中，所述传导框920除了作为与探针912作信号匹配之外，根据测试上的需求，在一实施例中，可在所述第三阶面928上设有一针尖929，供馈入接地信号之用。

由此，本发明所提供的探针卡通过其探针的悬臂式设计，以及供探针做阻抗匹配的传导框也采类同于探针的悬臂式设计，可获得针尖平面度较佳化的效果，而所述传导框除了供阻抗匹配使用之外，基于其他量测上的需求，还可设置有针尖，而可供进行对待测物的点测，或是如针痕测试等其他应用。另外，上述探针卡所使用的探针模块并不以探针模块900为限，在其他应用上，也可配合采用前述各实施例中所载的探针模块(例如探针模块100～700b的其中一者或其组合)。

另外，关于探针数量的设计，会根据待测物需要接触测试的接垫数量进行调整，或者根据使用需求进行增减，例如需进行针痕位置的判断时，也可另行增加探针的数量，举例而言，请参图18及图19所示，为本发明另一优选实施例的探针卡，其探针卡与前述实施例的探针卡大致相同，其不同之处在于：所述探针卡的探针模块900’另包含有二探针914，所述二探针914的结构与前述探针912的结构相同，并可供与所述第二接地垫840电性连接，而与接地线路电性连接。而增加的探针914便可供进行待测物针痕位置的判断之用，但不以此为限，也可作为接地信号的测试之用。

请参图20A至图20C所示，为本发明另一实施例的探针卡1，用以对一待测物进行电性检测，其包括有：一支撑座10、一链接件12、一电路板20、一同轴线30为例的电传输件、一固定件50以及一探针模块60。

所述支撑座10中央挖空而具有一开口10a。所述连结件12设置于所述支撑座10上，例如可通过如螺孔处的螺栓s1等扣件将连结件12固定于所述支撑座10上，且所述连结件12具有一开口12a与所述支撑座10的开口10a相对应。

所述电路板20通过所述固定件50以及所述连结件12而设置于所述支撑座10的开口10a中。在本实施例中，所述固定件50设置于所述支撑座10的开口10a中，其包括有一第一固定部52以及一第二固定部54，所述电路板20承靠于所述第一固定部52以及所述第二固定部54之间，进一步来说，所述第一固定部52以及所述第二固定部54是用于箝制固定所述电路板20的位置，所述第一固定部52再通过如螺栓s2等扣件固定于所述连结件12上，从而将所述电路板20稳固地定位在支撑座10的开口10a中。所述电路板20的上下表面分别设置有多个接垫，所述多个接垫与所述电路板20内部的导线电性连接，并构成有多条信号线路以及多条接地线路，但在其他应用上，并不以此为限。所述支撑座10及所述固定件50位于所述连结件12的同一表面上。

所述同轴线30的一端与电路板20上的所述多个电路电性连接，另一端与一检测机台(图未示)电性连接，例如通过一接头31与检测机台连接，从而传递检测机台与电路板20的线路的电信号，接头31为一同轴结构的接头，例如SMA接头。此外，为定位所述接头31的位置，更可设置有一承座33，供固定所述接头31，所述承座33可设置于所述第一固定部52上。其中，所述同轴线30具有相电性隔离的一信号传输部以及一接地传输部，所述信号传输部用以供与一所述电路(例如信号线路)电性连接，所述接地传输部用以供与另一所述线路(例如接地线路)电性连接。优选的，请配合图21A，所述同轴线30具有两个切面30a、30b，其中，切面30a与切面30b相连接并夹设有一角度，例如在本实施例当中，所述的角度概呈90度，所述信号传输部32以及所述接地传输部34自所述切面30a露出，由此，所述同轴线30可以所述切面30a抵靠于电路板20的表面，而使得信号传输部32以及接地传输部34分别与电路板20上的信号线路及接地线路电性连接，接着，便可通过焊料40将同轴线30焊接连接于所述电路板20上而定位；另外，所述同轴线30通过另一切面30b可抵靠于所述电路板20的边缘，由此，便可通过所述同轴线30的两切面30a、30b抵靠于电路板20的边缘，从而达到稳固定位所述同轴线30于电路板20上的位置的效果。

另外，在一实施例中，所述的电传输件并不以同轴线为例，也可采用如软性电路板或多芯绞线等其他种类的传输件。

另外，在一实施例中，所述的同轴线并不以两个切面为限，请参图2lB所示，所述同轴线30’也可设置有单一的斜切面30c，而其信号传输部以及接地传输部可自所述斜切面30c露出，由此，所述同轴线30’便可通过所述斜切面30c抵贴于电路板上，而使得其信号传输部及接地传输部与对应的接垫电性连接。

所述探针模块60设置于图中所述电路板20的下方，并与所述电路板20上的线路电性连接。请一并配合图22所示，所述探针模块60包含有一探针62以及一传导框64，所述探针62的结构与前述探针110的结构大致相同，其不同的地方在于，在探针62中段形成有一渐缩段，所述探针62的针臂座设置于电路板20的接垫22上而与所述接垫22电性连接，进而与电路板20上的信号线路电性连接。所述传导框64围设于所述探针62的周围，其中所述传导框64的结构与前述传导框420的结构大致相同，其一端形成有开放端而形成有二接地部65，所述二接地部65分别与另一接垫24电性连接，进而与电路板20上的接地线路电性连接，所述传导框64的另一端形成有一封闭端，其不同的地方在于，所述传导框64在其中段形成有一渐缩段，而使得所述探针62与其中一侧传导框64的所述封闭端的间距(pitch)小于所述探针62与其中一侧传导框64的所述开放端的间距，如此一来，通过上述设计，本发明的传导框64除了可做与探针的阻抗匹配之用以外，还可达到空间转换器的效果，而使得探针的间距进行微缩。另外，所述传导框64的封闭端还可依据使用上的需求设置有针尖66，而可进行待测物的电性检测或是探针的针痕测试，但不以此为限。其中，在一实施例当中，所述电路板20具有一开口26，而所述探针62以及所述传导框64设置有针尖的一端延伸至所述开口26的正投影范围中，如此一来，便可通过所述开口26观测探针62及传导框64的位置，更进一步地，可观测设置于其上的针尖位置及下针角度，据以便于使用者或检测机台对探针模块60进行控制。

值得一提的是，除了上述图22单边出针的探针模块的设计之外，在其他应用上，也可采用双边出针的探针模块的设计，举例而言，请参图23所示，在一实施例中，在前述探针卡1的架构下，可设置有二探针模块60，其中，所述二探针模块60相对设置。其中，所述二探针模块60的探针62可作为信号走线使用，所述二探针模块60的传导框64可作为接地走线使用，由此，通过所述二探针62的针尖63与所述二传导框64的针尖66排列型态，可构成有SGGS架构的探针架构。另外，在其他应用上并不以此为限，上述的探针模块60也可交错地设置。

另请参图24所示，在一实施例中，在上述探针卡1的架构下，也可设置有两组以上的探针模块60，而各所述探针模块60可两两对称设置，但不以此为限，在其他应用上，也可交错设置，如此一来，便可达到同时对一个待测物的多个接垫或对多个待测物进行测试的效果。

另请参图25及图26所示，在一实施例中，在上述探针卡1的架构下，也可设置有两组探针模块60’，所述二探针模块60’与前述探针模块60大致相同，特别的是，在本实施例中，成对设置的两探针模块60’之间，其传导框64’彼此连结而成为一体，优选者采一体成型的设计，从而可提升信号传输的效果，从而降低信号不匹配而反射的可能。其中，在应用上，所述探针模块60′的探针62’可作为信号走线使用，所述传导框64’可作为接地走线使用，而通过探针62’的针尖S与传导框64’的针尖G的排列型态，可形成有SGS架构的探针架构。此外，在其他应用上，所述传导框64’的针尖G可以去除，形成有SS架构的探针架构。

由此，通过本发明的探针模块以及探针卡的设计，基于探针及可供匹配的传导框同采悬臂梁式的结构设计，可具有针尖平面度佳的效果；此外，基于电传导件(例如同轴线)是以焊接的方式连接于电路板上的接垫或线路上，而具有拆换快速的效果，举例而言，当欲换成另一块电路板时，只要将电传导件与电路板之间的焊接部分解焊，便可换上新的或是另一个电路板后，另行焊接即可。另外，本发明的探针模块可使用微机电系统进行制作其探针与传导框，从而在结构上与测试时的施力上具有较佳的一致性效果。

以上所述仅为本发明优选可行实施例而已，举凡应用本发明说明书及权利要求所为的等效变化，理应包含在本发明的专利范围内。

Claims

1.一种探针模块，其包括有：

至少一探针，具有一悬臂梁、一针臂座、一针尖座以及一针尖，所述悬臂梁具有两相背对的一第一面与一第二面；所述针臂座设置于所述第一面；所述针尖座设置于所述第二面；所述针尖设置于所述针尖座背离所述第二面的表面；所述针尖设置于所述针尖座的顶面用以供与一待测物接触；以及

一传导框，以导电材料制成，所述传导框环设于所述至少一探针的周围，所述传导框与所述至少一探针保有一间距；

所述悬臂梁具有相对的一前端与一后端，所述针臂座设置于靠近所述悬臂梁的后端处，所述针尖座设置于靠近所述悬臂梁的前端处；所述传导框一端形成有一封闭端，所述封闭端对应设置在所述悬臂梁的前端向前延伸的部位；

所述至少一探针供与一线路电性连接，所述传导框与所述至少一探针彼此不电性接触，所述传导框供与另一线路电性连接用以与所述至少一探针进行阻抗匹配。

2.如权利要求1所述的探针模块，其中所述传导框具有一悬臂部、基座部以及一连接部，所述悬臂部与所述至少一探针的悬臂梁相对应；所述基座部与所述连接部分别连接于所述悬臂部的两相背对的表面，且所述基座部与所述至少一探针的针臂座相对应，所述连接部与所述至少一探针的针尖座相对应。

3.如权利要求1所述的探针模块，其中所述传导框的内缘凹陷形成有一缺口，所述探针的所述针尖座位于所述缺口中。

4.如权利要求1所述的探针模块，其中所述悬臂梁具有相连接的一第一段以及一第二段，所述针臂座设置于所述第一段且靠近所述悬臂梁的后端处，所述针尖座设置于所述第二段且靠近所述悬臂梁的前端处；所述传导框具有一相连接的一第一部分以及一第二部分，所述第一部分形成有一开放端，所述开放端对应所述悬臂梁的后端，且所述第一部分环绕所述针臂座以及所述悬臂梁的第一段，所述第二部分环绕所述悬臂梁的第二段。

5.如权利要求4所述的探针模块，其中所述传导框的第二部分具有一底板，所述底板面向所述悬臂梁的第一面。

6.如权利要求5所述的探针模块，其中所述底板具有至少一镂空区。

7.如权利要求5所述的探针模块，其中所述传导框的第二部分的一侧设置有一透空部，所述透空部正对所述悬臂梁的第二段。

8.如权利要求4所述的探针模块，其中所述传导框的另一端形成有一封闭端，所述传导框的所述封闭端的两边缘之间的距离小于所述传导框的所述开放端的两边缘之间的距离。

9.一种探针卡，用以对一待测物进行电性检测，其包括有：

一电路板，设有多个线路；以及

一如权利要求1至8中任一项所述的探针模块，其中，所述悬臂梁的所述第二面朝向所述待测物，所述针臂座用以与一所述线路电性连接，所述针尖用以与所述待测物接触，所述传导框用以与另一所述线路电性连接。

10.如权利要求9所述的探针卡，其中所述电路板具有一开口，所述探针设有所述针尖的一端延伸至所述开口的正投影范围中，且所述传导框的一端延伸至所述开口的正投影范围中。

11.如权利要求9所述的探针卡，包含有一电传输件，所述电传输件的一端与所述多个线路电性连接，另一端与一检测机台电性连接。

12.如权利要求11所述的探针卡，包含有一支撑座以及一固定件，所述支撑座具有一开口；所述固定件设置于所述支撑座的所述开口中，所述固定件用以固定所述电路板。

13.如权利要求12所述的探针卡，其中所述固定件包括有一第一固定部以及一第二固定部，所述电路板承靠于所述第一固定部以及所述第二固定部之间。

14.如权利要求13所述的探针卡，包含有一连结件，设置于所述支撑座上，所述连结件具有一开口与所述支撑座的所述开口相对应；所述第一固定部设置于所述连结件上。

15.如权利要求11所述的探针卡，其中所述电传输件为一同轴线，所述同轴线具有相电性隔离的一信号传输部以及一接地传输部，所述信号传输部供与所述电路板的一所述电路电性连接，所述接地传输部供与所述电路板的另一所述电路电性连接；所述同轴线具有一切面，所述信号传输部及所述接地传输部自所述切面显露。

16.如权利要求15所述的探针卡，其中所述同轴线具有另一切面，所述另一切面与所述切面相连接并与所述切面夹设一角度，所述另一切面用以抵靠于所述电路板的边缘。

17.如权利要求9所述的探针卡，其中所述的探针模块的数量为多个，所述多个探针模块中成对设置，且成对设置的两两探针模块之间，其传导框连结成为一体。