TW201839405A

TW201839405A - 探針模組以及探針卡

Info

Publication number: TW201839405A
Application number: TW106113823A
Authority: TW
Inventors: 顧偉正; 魏豪; 周嘉南; 何志浩; 鄭仰宏; 王裕文; 許育禎
Original assignee: 旺矽科技股份有限公司
Priority date: 2017-04-25
Filing date: 2017-04-25
Publication date: 2018-11-01
Also published as: CN108732393A; TWI652482B; CN108732393B

Abstract

一種探針卡，用以對一待測物進行檢測，包括：一設有複數線路的電路板；一探針模組，其包括有至少一探針，具有一懸臂樑、一針臂座、一針尖座以及一針尖，該懸臂樑具有兩相背對的一第一面與一第二面，該第二面朝向待測物；該針臂座設置於該第一面，用以與一該線路電性連接；該針尖座設置於該第二面；該針尖設置於該針尖座背離該第二面的表面，該針尖用以與該待測物接觸；以及一導電框，以導電材料製成，並與另一該線路電性連接，該傳導框環設於該至少一探針的周圍，該傳導框與該至少一探針保有一間距。

Description

探針模組以及探針卡

本發明係與檢測裝置有關；特別是指一種用以對一待測物進行電性檢測的探針模組以及探針卡。

用以檢測電子產品中各個電子元件之間的電性連接是否確實，通常係利用一探針模組作為一檢測裝置與待測電子裝置之間的測試介面，藉由訊號傳輸以及電性訊號分析，來獲得待測電子裝置的測試結果。

隨著電子元件的尺寸逐漸微縮，探針模組用以量測之探針的規格亦趨精細發展，探針與探針之間排列間距縮小，其探針之間所產生的串擾效應會影響測試的精準度；尤其，於進行高頻訊號測試時，其訊號傳輸時所受的干擾以及損耗都較高，而且阻抗匹配的特性也較差，以至於訊號傳輸的完整性不佳。是以，如何獲得較佳的傳輸訊號與阻抗匹配的特性，是各業者所亟欲改善的方向之一。

有鑑於此，本發明之目的在於提供一種探針模組以及探針卡，可獲得較佳的傳輸訊號以及較佳的阻抗匹配特性。

緣以達成上述目的，本發明提供的一種探針模組，其包括有：至少一探針，具有一懸臂樑、一針臂座、一針尖座以及一針尖，該懸臂樑具有兩相背對的一第一面與一第二面；該針臂座設置於該第一面；該針尖座設置於該第二面；該針尖設置於該針尖座背離該第二面的表面；以及一傳導框，以導電材料製成，該傳導框環設於該至少一探針的周圍，該傳導框與該至少一探針保有一間距。

緣以達成上述目的，本發明提供的一種探針卡，用以對一待測物進行電性檢測，其包括有：一電路板，設有複數線路；以及一探針模組，該探針模組包括有至少一探針，具有一懸臂樑、一針臂座、一針尖座以及一針尖，該懸臂樑具有兩相背對的一第一面與一第二面；該針臂座設置於該第一面；該針尖座設置於該第二面；該針尖設置於該針尖座背離該第二面的表面；以及一傳導框，以導電材料製成，該傳導框環設於該至少一探針的周圍，該傳導框與該至少一探針保有一間距。

本發明之效果在於，透過上述的探針結構以及探針模組，於進行高頻訊號測試時，可獲得較佳的傳輸訊號以及較佳的阻抗匹配特性。

為能更清楚地說明本發明，茲舉較佳實施例並配合圖式詳細說明如後。本發明的探針模組供設置於一電路板，用以與待測物接觸進行電性檢測，該探針模組包含有至少一探針以及一傳導框。請參圖１所示，為本發明一較佳實施例之探針模組100，該探針模組100包含有一探針110以及一傳導框120。

請一併配合圖２所示，該探針110具有一懸臂樑112、一針臂座114、一針尖座116以及一針尖118。其中，該懸臂樑112具有兩相背對的一第一面112a與一第二面112b，該第二面112b係朝向待測物；該針臂座114的一表面係與該第一面112a連接，該針臂座114的另一表面係用以設置於電路板上，例如，透過電鍍的方式形成於電路板並與電路板上的一線路電性連接，其中，較佳者，所述的電路板採用如多層有機板（MLO）或多層陶瓷板（MLC），但於其他實施例中，並不以此為限；該針尖座116的一表面與該第二面112b連接，該針尖座116的頂面用以供設置該針尖118；該針尖118連接於該針尖座116背離該第二面112b的表面，該針尖118用以與該待測物接觸，藉以對待測物進行電性檢測。其中，於一實施例中，該探針110的懸臂樑112、針臂座114以及針尖座116係可採微機電製程堆疊同一材料成一體成形的結構，但於其他實際實施上並不以此為限。

該傳導框120係以導電材料製成，並環設於該探針110的周圍，並與該探針110保有一間隔，並與該探針110彼此不電性接觸，該傳導框120供與電路板上的另一線路電性連接，用以與該探針110進行阻抗匹配。

舉例而言，於一實施例中，當前述之探針110是與一訊號電路電性連接時，該傳導框120可供與一接地線路電性連接，用以與該探針110進行阻抗匹配。此外，於一實施例中，於該傳導框120上可設置有一針尖，藉此，該傳導框120亦可透過該針尖點觸待測物對應的接墊，以進行接地訊號的傳輸。

請參圖３所示，為本發明另一實施例之探針模組200，其結構與前述實施例之探針模組100大致相同，不同的地方在於，該探針模組200還包含有另一探針230，設置於該探針210以及該傳導框220的一側，該探針230與探針210的結構大致相同，但不以此為限。其中，因應待測物接墊的形式可分為訊號走線及接地走線兩類。以此架構而言，訊號走線為探針210、接地走線為探針230，於一情況中，由於訊號走線距離接地走線較遠，因此，考量阻抗匹配，故設計有該傳導框220與訊號走線進行阻抗匹配。

請參圖４所示，為本發明另一實施例之探針模組300，該探針模組300與前述探針模組100或探針模組200的結構大致相同，不同之處在於，其傳導框320的內緣向內凹陷形成有一缺口330，其缺口330主要設計目的為考量對探針310進行阻抗匹配。而其探針310的針尖座312係位於該缺口330中。另外，請參圖５所示，於一實施例中，位於缺口330之針尖座312與傳導框320之間的間隔較小，亦即，其間隔小於該探針310不在該缺口330中的部位與傳導框320之間的間隔。

請參圖６所示，為本發明另一實施例之探針模組400，其包括有一探針410以及一傳導框420，該探針410的結構與前述探針110的結構大致相同，於此不再贅述，該探針410之懸臂樑具有相對的一前端412以及一後端414，其針臂座設置於靠近其懸臂樑的後端414處，其針尖座設置於其懸臂樑的前端412處。該傳導框420一端形成有一開放端422，該開放端係對應於該懸臂樑的後端414。該傳導框420包含有一懸臂部424、一基座部426以及一連接部428，該懸臂部424與該探針410的懸臂樑相對應；該基座部426連接於該懸臂部424的底部表面，用以與一線路電性連接，且該基座部426與該探針410的針臂座相對應；該連接部428連接於該懸臂部424的頂部表面，且該連接部428係與該探針410的針尖座相對應，該連接部428設置於該傳導框420的另外一端，即對應該開放端422的另外一端，該連接部428為一封閉端，該封閉端對應設置在該懸臂樑的前端412向前延伸的部位。於本實施例當中，該傳導框420之懸臂部424、基座部426以及連接部428係可為採微機電製程堆疊同一材料成一體成形的結構，但於其他實施例中，並不以此為限。其中，於該傳導框420的連接部428上係可設置有針尖429，藉此，使得該傳導框420除了可與探針410進行阻抗匹配之外，還可另外透過該針尖429點觸如待測物的接墊等部位，據以進行電性傳輸或電性檢測。值得一提的是，於本實施例中，所述之傳導框420之針尖429的數量為二，且分別位於該探針410的針尖416的兩側，其中，探針410可作為訊號走線，傳導框420可作為接地走線，藉此，透過探針410以及傳導框420的針尖排列型態，可構成有GSG架構之探針架構。特別的是，由於該傳導框420也是採取類同探針410的懸臂式設計，該傳導框420在做為接地探針使用時，其懸臂部424還可因應待測物之接墊高低不一的狀況產生相對應程度的彈性微變形量，而可獲得針尖平面度較佳化的效果。

請參圖７所示，為本發明另一實施例之探針模組500，其結構與前述之探針模組400大致相同，不同之處在於，該探針模組500具有兩個探針510，而該二探針510皆設置於該傳導框520中，並為該傳導框520所圍繞。藉此，該傳導框520可對該二探針510達到良好的阻抗匹配效果。其中，因應待測物接墊的形式分為訊號走線及接地走線兩類，於應用上，探針510可作為訊號走線使用，傳導框520可作為接地走線使用，於該傳導框520上設置有二針尖522，位於該二探針510之針尖512的兩側，藉此，透過探針510以及傳導框520的針尖排列型態，可構成有GSSG架構之探針模組，可供量測差動訊號。

由上述圖６、圖７所示之實施例可見，本發明提供之探針模組的探針數量可為一根（如圖６所示）或兩根（如圖７所示），但不以此為限，於其他應用上，亦可設計有三根或三根以上之探針皆設置於一傳導框中的實施可能。

請參圖８及圖９Ａ、９Ｂ所示，為本發明另一實施例之探針模組600，其包含有一探針610以及一傳導框620，該探針610與前述之探針110的結構大致相同，皆具有一懸臂樑611、針臂座612、針尖座613以及一針尖614，該懸臂樑611具有相連接的一第一段611a以及一第二段611b，該第一段611a設置有該針臂座612，該第二段611b設置有該針尖座613。該傳導框620具有相連接的一第一部分622以及一第二部分624，該第一部分622環繞該針臂座612以及該懸臂樑611的第一段611a，且該第一部分622具有一開放端與探針610的後端(與圖６之探針410的後端414相同)相對應；該第二部分624環繞該懸臂樑611的第二段611b，且該第二部分624還具有一底板626，該底板626係面對該懸臂樑611的第一面，亦即，該底板626係面對該懸臂樑611之第二段611b背離該針尖座613及該針尖614的表面，而使得該懸臂樑611之第二段611b的三個表面受到該傳導框620之第二部分624所包圍，如圖８所示，上述的第二段611b的三個表面是指除了設置針尖614的表面之外的其餘三個表面。

請參圖10Ａ、10Ｂ所示，為本發明另一實施例之探針模組600a，該探針模組600a與前述之探針模組600的結構大致相同，其不同之處在於：該探針模組600a的底板626a具有一鏤空區627，而使得懸臂樑611a之第一面的部份未受底板626a所遮蔽。

請參圖11Ａ、11Ｂ所示，為本發明另一實施例之探針模組600b，該探針模組600b與前述探針模組600a的結構大致相同，其不同之處在於：該探針模組600b具有多個鏤空區628，且各該鏤空區628彼此相間隔排列。

請參圖12Ａ、12Ｂ所示，為本發明另一實施例之探針模組700a，該探針模組700a的結構與前述探針模組600大致相同，不同之處在於：其傳導框720之第二部分的左側設置有一透空部722，該透空部722係正對其懸臂樑711的第二段，而使得該懸臂樑711之第二段的左側未受該傳導框720遮蔽而呈開放狀。於一實施例中，所述的透空部722可由圖8所示之傳導框620將一點鏈線所圈選出的部分去除後所形成，但不以此為限。另外，於一實施例中，該傳導框720的第一部分的左側亦可設置有另一透空部，而使得該懸臂樑711之第一段的左側未受遮蔽而呈開放狀。如此一來，透過上述設計，可使得該傳導框720僅包圍並遮蔽懸臂樑711的兩個表面（如下表面、右表面），而懸臂樑711的另外兩表面（如上表面、左表面）則未受遮蔽而呈開放狀。

請參圖13Ａ、13Ｂ所示，為本發明另一實施例之探針模組700b，該探針模組700b的結構與前述探針模組700a的結構大致相同，不同之處在於：該探針模組700b的底板724係形成有至少一鏤空區726，舉例而言，可形成有一個鏤空區726或多個彼此相間隔的鏤空區726。

請參圖14至圖17所示，為本發明一較佳實施例之探針卡，該探針卡包含有一電路板800以及一探針模組900，於本實施例當中，該電路板800係可採用多層有機板（MLO）或多層陶瓷板(MLC)，其內部設有複數條線路（例如包括有多條訊號線路以及多條接地線路），該電路板800具有相背對的一第一面802與一第二面804以及貫穿該第一面802與該第二面804的一開口806。於該第一面802設有一第一訊號接墊810以及二第一接地接墊820，該第一訊號接墊810係位於該二第一接地接墊820之間；於該第二面804設有一第二訊號接墊830以及二第二接地接墊840，該第二訊號接墊830係位於該二第二接地接墊840之間。其中，一該第一訊號接墊810係透過一該訊號線路而與一該第二訊號接墊830電性連接，該二第一接地接墊820係分別透過一該接地線路而與一該第二接地接墊840電性連接。其中，於本實施例當中，上述接墊係可透過焊接的方式與同軸線電性連接，但於其他實施上，並不以此為限。

該探針模組900包含有一探針912以及一傳導框920，該探針912的結構與前述實施例之探針110的結構大致相同，於此不再贅述。該傳導框920係以導電材料製成，並環設於該探針912的周圍，並與該探針912保有一間隙而不互相接觸。該傳導框920的一端形成開放端而呈開放狀，並形成有二接地部922，該二接地部922分別與一該第二接地接墊840電性連接，於本實施例中，係透過電鍍的方式將該二接地部922分別設置於該二第二接地接墊840上。另外，該傳導框920與該探針912之第二面913同側的表面係呈階梯狀，依序有一第一階面924、第二階面926以及一第三階面928，該第一階面924與該第二面913齊平，該第二階面926高於該第一階面924但低於該第三階面928，該第三階面928與該探針912之針尖座設有針尖的表面915齊平。其中，該傳導框920除了作為與探針912作訊號匹配之外，根據測試上的需求，於一實施例中，可在該第三階面928上設有一針尖929，供饋入接地訊號之用。

藉此，本發明所提供的探針卡藉由其探針的懸臂式設計，以及供探針做阻抗匹配的傳導框亦採類同於探針的懸臂式設計，可獲得針尖平面度較佳化的效果，而該傳導框除了供阻抗匹配使用之外，基於其他量測上的需求，還可設置有針尖，而可供進行對待測物的點測，或是如針痕測試等其他應用。另外，上述探針卡所使用的探針模組並不以探針模組900為限，於其他應用上，亦可配合採用前述各實施例中所載之探針模組（例如探針模組100~700b的其中一者或其組合）。

另外，關於探針數量的設計，會根據待測物需要接觸測試的接墊數量進行調整，或者根據使用需求進行增減，例如需進行針痕位置的判斷時，亦可另行增加探針的數量，舉例而言，請參圖18及圖19所示，為本發明另一較佳實施例的探針卡，其探針卡與前述實施例之探針卡大致相同，其不同之處在於：該探針卡的探針模組900’另包含有二探針914，該二探針914的結構與前述探針912的結構相同，並可供與該第二接地墊840電性連接，而與接地線路電性連接。而增加的探針914便可供進行待測物針痕位置的判斷之用，但不以此為限，亦可作為接地訊號的測試之用。

請參圖20A至圖20C所示，為本發明另一實施例之探針卡1，用以對一待測物進行電性檢測，其包括有：一支撐座10、一連結件12、一電路板20、一同軸線30為例之電傳輸件、一固定件50以及一探針模組60。

該支撐座10中央係挖空而具有一開口10a。該連結件12係設置於該支撐座10上，例如可透過如螺孔處的螺栓s1等扣件將連結件12固定於該支撐座10上，且該連結件12具有一開口12a與該支撐座10的開口10a相對應。

該電路板20係藉由該固定件50以及該連結件12而設置於該支撐座10的開口10a中。於本實施例中，該固定件50係設置於該支撐座10的開口10a中，其包括有一第一固定部52以及一第二固定部54，該電路板20係承靠於該第一固定部52以及該第二固定部54之間，進一步來說，該第一固定部52以及該第二固定部54是用於箝制固定該電路板20的位置，該第一固定部52再透過如螺栓s2等扣件固定於該連結件12上，藉以將該電路板20穩固地定位在支撐座10的開口10a中。該電路板20的上下表面分別設置有複數個接墊，該些接墊與該電路板20內部的導線電性連接，並構成有多條訊號線路以及多條接地線路，但於其他應用上，並不以此為限。該支撐座10及該固定件50位於該連結件12的同一表面上。

該同軸線30的一端與電路板20上的該些電路電性連接，另一端與一檢測機台（圖未示）電性連接，例如透過一接頭31與檢測機台連接，藉以傳遞檢測機台與電路板20之線路的電訊號，接頭31為一同軸結構的接頭，例如SMA接頭。此外，為定位該接頭31的位置，更可設置有一承座33，供固定該接頭31，該承座33係可設置於該第一固定部52上。其中，該同軸線30具有相電性隔離的一訊號傳輸部以及一接地傳輸部，該訊號傳輸部用以供與一該電路（例如訊號線路）電性連接，該接地傳輸部用以供與另一該線路（例如接地線路）電性連接。較佳者，請配合圖21A，該同軸線30係具有兩個切面30a、30b，其中，切面30a與切面30b相連接並夾設有一角度，例如在本實施例當中，所述的角度概呈90度，該訊號傳輸部32以及該接地傳輸部34係自該切面30a露出，藉此，該同軸線30可以該切面30a抵靠於電路板20的表面，而使得訊號傳輸部32以及接地傳輸部34分別與電路板20上的訊號線路及接地線路電性連接，接著，便可透過焊料40將同軸線30焊接連接於該電路板20上而定位；另外，該同軸線30透過另一切面30b可抵靠於該電路板20的邊緣，藉此，便可透過該同軸線30的兩切面30a、30b抵靠於電路板20之邊緣，從而達到穩固定位該同軸線30於電路板20上之位置的效果。

另外，於一實施例中，所述的電傳輸件並不以同軸線為例，亦可採用如軟性電路板或多芯絞線等其他種類的傳輸件。

另外，於一實施例中，所述的同軸線並不以兩個切面為限，請參圖21B所示，該同軸線30’亦可設置有單一的斜切面30c，而其訊號傳輸部以及接地傳輸部可自該斜切面30c露出，藉此，該同軸線30’便可透過該斜切面30c抵貼於電路板上，而使得其訊號傳輸部及接地傳輸部與對應的接墊電性連接。

該探針模組60係設置於圖中該電路板20的下方，並與該電路板20上的線路電性連接。請一併配合圖22所示，該探針模組60包含有一探針62以及一傳導框64，該探針62的結構與前述探針110的結構大致相同，其不同的地方在於，在探針62中段形成有一漸縮段，該探針62的針臂座係設置於電路板20的接墊22上而與該接墊22電性連接，進而與電路板20上的訊號線路電性連接。該傳導框64係圍設於該探針62的周圍，其中該傳導框64的結構係與前述傳導框420的結構大致相同，其一端形成有開放端而形成有二接地部65，該二接地部65分別與另一接墊24電性連接，進而與電路板20上的接地線路電性連接，該傳導框64的另一端形成有一封閉端，其不同的地方在於，該傳導框64在其中段形成有一漸縮段，而使得該探針62與其中一側傳導框64之該封閉端的間距（pitch）小於該探針62與其中一側傳導框64之該開放端的間距，如此一來，透過上述設計，本發明的傳導框64除了可做與探針的阻抗匹配之用以外，還可達到空間轉換器的效果，而使得探針的間距進行微縮。另外，該傳導框64的封閉端還可依據使用上的需求設置有針尖66，而可進行待測物的電性檢測或是探針之針痕測試，但不以此為限。其中，於一實施例當中，該電路板20係具有一開口26，而該探針62以及該傳導框64設置有針尖的一端係延伸至該開口26的正投影範圍中，如此一來，便可透過該開口26觀測探針62及傳導框64的位置，更進一步地，可觀測設置於其上的針尖位置及下針角度，據以便於使用者或檢測機台對探針模組60進行控制。

值得一提的是，除了上述圖22單邊出針的探針模組的設計之外，於其他應用上，亦可採用雙邊出針之探針模組的設計，舉例而言，請參圖23所示，於一實施例中，在前述探針卡1的架構下，可設置有二探針模組60，其中，該二探針模組60係相對設置。其中，該二探針模組60的探針62可作為訊號走線使用，該二探針模組60的傳導框64可作為接地走線使用，藉此，透過該二探針62的針尖63與該二傳導框64的針尖66排列型態，可構成有SGGS架構之探針架構。另外，於其他應用上並不以此為限，上述的探針模組60亦可交錯地設置。

另請參圖24所示，於一實施例中，在上述探針卡1的架構下，亦可設置有兩組以上的探針模組60，而各該探針模組60係可兩兩對稱設置，但不以此為限，於其他應用上，亦可交錯設置，如此一來，便可達到同時對一個待測物的多個接墊或對多個待測物進行測試的效果。

另請參圖25及圖26所示，於一實施例中，在上述探針卡1的架構下，亦可設置有兩組探針模組60’，該二探針模組60’與前述探針模組60大致相同，特別的是，於本實施例中，成對設置的兩探針模組60’之間，其傳導框64’係彼此連結而成為一體，較佳者係採一體成型的設計，藉以可提升訊號傳輸的效果，從而降低訊號不匹配而反射的可能。其中，於應用上，該探針模組60'的探針62’可作為訊號走線使用，該傳導框64’可作為接地走線使用，而透過探針62’的針尖S與傳導框64’之針尖G的排列型態，可形成有SGS架構之探針架構。此外，於其他應用上，該傳導框64’之針尖G可以去除，形成有SS架構之探針架構。

藉此，透過本發明之探針模組以及探針卡的設計，基於探針及可供匹配的傳導框同採懸臂樑式的結構設計，可具有針尖平面度佳的效果；此外，基於電傳導件（例如同軸線）是以焊接的方式連接於電路板上的接墊或線路上，而具有拆換快速的效果，舉例而言，當欲換成另一塊電路板時，只要將電傳導件與電路板之間的焊接部分解焊，便可換上新的或是另一個電路板後，另行焊接即可。另外，本發明的探針模組係可使用微機電系統進行製作其探針與傳導框，從而在結構上與測試時的施力上具有較佳的一致性效果。

以上所述僅為本發明較佳可行實施例而已，舉凡應用本發明說明書及申請專利範圍所為之等效變化，理應包含在本發明之專利範圍內。

［本發明］

100‧‧‧探針模組

110‧‧‧探針

112‧‧‧懸臂樑

112a‧‧‧第一面

112b‧‧‧第二面

114‧‧‧針臂座

116‧‧‧針尖座

118‧‧‧針尖

120‧‧‧傳導框

200‧‧‧探針模組

210‧‧‧探針

220‧‧‧傳導框

230‧‧‧探針

300‧‧‧探針模組

310‧‧‧探針

312‧‧‧針尖座

320‧‧‧傳導框

330‧‧‧缺口

400‧‧‧探針模組

410‧‧‧探針

412‧‧‧前端

414‧‧‧後端

416‧‧‧針尖

420‧‧‧傳導框

422‧‧‧開放端

424‧‧‧懸臂部

426‧‧‧基座部

428‧‧‧連接部

429‧‧‧針尖

500‧‧‧探針模組

510‧‧‧探針

520‧‧‧傳導框

600‧‧‧探針模組

610‧‧‧探針

611‧‧‧懸臂樑

611a‧‧‧第一段

611b‧‧‧第二段

612‧‧‧針臂座

613‧‧‧針尖座

614‧‧‧針尖

620‧‧‧傳導框

622‧‧‧第一部分

624‧‧‧第二部分

626‧‧‧底板

600a‧‧‧探針模組

611a‧‧‧懸臂樑

626a‧‧‧底板

627‧‧‧鏤空區

600b‧‧‧探針模組

628‧‧‧鏤空區

700a‧‧‧探針模組

711‧‧‧懸臂樑

720‧‧‧傳導框

722‧‧‧透空部

700b‧‧‧探針模組

724‧‧‧底板

726‧‧‧鏤空區

800‧‧‧電路板

802‧‧‧第一面

804‧‧‧第二面

806‧‧‧開口

810‧‧‧第一訊號接墊

820‧‧‧第一接地接墊

830‧‧‧第二訊號接墊

840‧‧‧第二接地接墊

900‧‧‧探針模組

912‧‧‧探針

913‧‧‧第二面

915‧‧‧表面

920‧‧‧傳導框

922‧‧‧接地部

924‧‧‧第一階面

926‧‧‧第二階面

928‧‧‧第三階面

929‧‧‧針尖

900’‧‧‧探針模組

914‧‧‧探針

1‧‧‧探針卡

10‧‧‧支撐座

10a‧‧‧開口

12‧‧‧連結件

12a‧‧‧開口

20‧‧‧電路板

22,24‧‧‧接墊

26‧‧‧開口

30,30’‧‧‧同軸線

30a‧‧‧切面

30b‧‧‧切面

30c‧‧‧切面

31‧‧‧接頭

32‧‧‧訊號傳輸部

33‧‧‧承座

34‧‧‧接地傳輸部

40‧‧‧焊料

50‧‧‧固定件

52‧‧‧第一固定部

54‧‧‧第二固定部

60‧‧‧探針模組

62‧‧‧探針

63‧‧‧針尖

64‧‧‧傳導框

65‧‧‧接地部

66‧‧‧針尖

60’‧‧‧探針模組

62’‧‧‧探針

S‧‧‧針尖

64’‧‧‧傳導框

G‧‧‧針尖

s1‧‧‧螺栓

s2‧‧‧螺栓

圖１為本發明一較佳實施例之探針模組的立體圖。圖２為上述較佳實施例之探針的側視圖。圖３為本發明另一較佳實施例之探針模組的立體圖。圖４為本發明另一較佳實施例之探針模組的立體圖。圖５為上述探針模組的局部上視圖。圖６為本發明另一較佳實施例之探針模組的立體圖。圖７為本發明另一較佳實施例之探針模組的立體圖。圖８為本發明另一較佳實施例之探針模組的立體圖，其中一點鏈線所標示處為透明顯示之示意。圖９Ａ為圖８之局部上視圖圖９Ｂ為圖９Ａ之Ａ－Ａ方向的剖視圖。圖10Ａ為另一實施例之探針模組的局部上視圖。圖10Ｂ為圖10Ａ之B－B方向的剖視圖。圖11Ａ為另一實施例之探針模組的局部上視圖。圖11Ｂ為圖11Ａ之C－C方向的剖視圖。圖12Ａ為另一實施例之探針模組的局部上視圖。圖12Ｂ為圖12Ａ之D－D方向的剖視圖。圖13Ａ為另一實施例之探針模組的局部上視圖。圖13Ｂ為圖13Ａ之E－E方向的剖視圖。圖14為本發明一較佳實施例之電路板的上視圖。圖15為上述較佳實施例之電路板的下視圖。圖16為上述較佳實施例之探針模組的立體圖。圖17為上述較佳實施例之電路板的下視圖，揭露探針模組與電路板結合。圖18為本發明另一較佳實施例之探針模組的立體圖。圖19為本發明上述較佳實施例之探針模組結合在電路板的示意圖。圖20A為本發明另一較佳實施例之探針卡的立體圖。圖20B為圖20A的A－Ａ方向的立體剖視圖。圖20C為探針卡的側視示意圖。圖21A為上述實施例之同軸線的下視圖。圖21B為另一實施例之同軸線的側視圖。圖22為上述較佳實施例之探針卡的下視圖，揭露單邊出針的實施態樣。圖23為上述較佳實施例之探針卡的下視圖，揭露雙邊出針的實施態樣。圖24為上述較佳實施例之探針卡的下視圖，揭露雙邊出針且具有多對針組的實施態樣。圖25為上述較佳實施例之探針卡的下視圖，揭露雙邊出針且傳導框相連結的實施態樣。圖26為圖25的Ｆ－Ｆ方向剖視示意圖。

Claims

一種探針模組，其包括有：至少一探針，具有一懸臂樑、一針臂座、一針尖座以及一針尖，該懸臂樑具有兩相背對的一第一面與一第二面；該針臂座設置於該第一面；該針尖座設置於該第二面；該針尖設置於該針尖座背離該第二面的表面；以及一傳導框，以導電材料製成，該傳導框環設於該至少一探針的周圍，該傳導框與該至少一探針保有一間距。
如請求項1所述之探針模組，其中該傳導框具有一懸臂部、基座部以及一連接部，該懸臂部係與該至少一探針的懸臂樑相對應；該基座部與該連接部分別連接於該懸臂部的兩相背對的表面，且該基座部與係與該至少一探針的針臂座相對應，該連接部係與該至少一探針的針尖座相對應。
如請求項1所述之探針模組，其中該傳導框的內緣凹陷形成有一缺口，該探針的該針尖座位於該缺口中。
如請求項1所述之探針模組，其中該懸臂樑具有相對的一前端與一後端，且該懸臂樑具有相連接的一第一段以及一第二段，該針臂座設置於該第一段且靠近該懸臂樑的後端處，該針尖座設置於該第二段且靠近該懸臂樑的前端處；該傳導框具有一相連接的一第一部分以及一第二部分，該第一部分形成有一開放端，該開放端對應該懸臂樑的後端，且該第一部分環繞該針臂座以及該懸臂樑的第一段，該第二部分環繞該懸臂樑的第二段。
如請求項4所述之探針模組，其中該傳導框的第二部分具有一底板，該底板面向該懸臂樑的第一面。
如請求項5所述之探針模組，其中該底板具有至少一鏤空區。
如請求項5所述之探針模組，其中該傳導框之第二部分的一側設置有一透空部，該透空部正對該懸臂樑的第二段。
如請求項3所述之探針模組，其中該傳導框的另一端形成有一封閉端，該傳導框之該封閉端的兩邊緣之間的距離係小於該傳導框之該開放端的兩邊緣之間的距離。
一種探針卡，用以對一待測物進行電性檢測，其包括有：一電路板，設有複數線路；以及一如請求項1至8中任一項所述的探針模組，其中，該懸臂樑之該第二面朝向該待測物，該針臂座用以與一該線路電性連接，該針尖用以與該待測物接觸，該傳導框用以與另一該線路電性連接。
如請求項9所述之探針卡，其中該電路板具有一開口，該探針設有該針尖的一端延伸至該開口的正投影範圍中，且該傳導框的一端延伸至該開口的正投影範圍中。
如請求項9所述之探針卡，包含有一電傳輸件，該電傳輸件的一端與該些線路電性連接，另一端與一檢測機台電性連接。
如請求項11所述之探針卡，包含有一支撐座以及一固定件，該支撐座具有一開口；該固定件設置於該支撐座的該開口中，該固定件用以固定該電路板。
如請求項12所述之探針卡，其中該固定件包括有一第一固定部以及一第二固定部，該電路板係承靠於該第一固定部以及該第二固定部之間。
如請求項13所述之探針卡，包含有一連結件，設置於該支撐座上，該連結件具有一開口與該支撐座的該開口相對應；該第一固定部設置於該連結件上。
如請求項11所述之探針卡，其中該電傳輸件為一同軸線，該同軸線具有相電性隔離的一訊號傳輸部以及一接地傳輸部，該訊號傳輸部供與該電路板的一該電路電性連接，該接地傳輸部供與該電路板的另一該電路電性連接；該同軸線具有一切面，該訊號傳輸部及該接地傳輸部自該切面顯露。
如請求項15所述之探針卡，其中該同軸線具有另一切面，該另一切面與該切面相連接並與該切面夾設一角度，該另一切面用以抵靠於該電路板的邊緣。
如請求項9所述之探針卡，其中所述之探針模組的數量為複數個，該些探針模組中係成對設置，且成對設置的兩兩探針模組之間，其傳導框係連結成為一體。