CN100510756C - 高频悬臂式探针卡 - Google Patents

Abstract

一种高频悬臂式探针卡，包含有：一电路板，可界定出一第一表面及一相背的第二表面；一固定环，是固设于该电路板的第一表面上；复数的探针，可分别界定出电气相通的第一端与一第二端，该各第一端是电气连接于该电路板的第一表面上，且该各探针的偏中段处是被固定于该固定环上，并使该各探针的第二端露出，用以与测试物接触。

Description

高频悬臂式探针卡

技术领域

本发明是与探针卡有关，更详而言之是指一种高频悬臂式探针卡。

背景技术

一般探针卡的探针型态，如图1所示，是由一同轴线段1利用接针的方式与一探针段2结合所构成。

由于，同轴线段的构成型态可具有较佳的信号阻抗匹配抗信号衰退效果，但其心轴传导线的强度不足，无法作为测试用的探针使用，因此需在该同轴线段的一端利用接针的方式将强度较佳的该探针段加以接合，供作测试的用；但，由于探针段与该同轴线段间利用接针的方式接合，易造成信号不连续面信号不完整的情形产生。

因此，为解决上述的缺失，已有业者将强度较佳的探针段作为心轴，以形成同轴线的型态，便能在获得较佳的信号阻抗匹配效果下，同时解决信号不连续的情形；但，由于以探针直接作为心轴直接形成出同轴线的型态，其价格相当的昂贵，且其规格亦属单一特制品，无法广泛地大量运用。

发明内容

有鉴于此，本发明的主要目的是提供一种高频悬臂式探针卡，可确保信号通过探针卡时的完整性。

本发明的另一目的在于提供一种高频悬臂式探卡，其成本低廉、组装容易。

为达上述目的，本发明提供一种高频悬臂式探针卡，包含有：一电路板，可界定出一第一表面及一相背的第二表面；一固定环，是固设于该电路板的第一表面上；复数的探针，可分别界定出电气相通的第一端与一第二端，该各第一端是电气连接于该电路板的第一表面上，且该各探针的偏中段处是被固定于该固定环上，并使该各探针的第二端露出，用以与测试物接触。

附图说明

为能对本发明的特征及目的有更进一步的了解与认同，兹列举以下较佳的实施例，并配合图式说明于后：

图1是一种现有悬臂式探针卡的剖视示意图；

图2是本发明第一较佳实施例的剖视示意图；

图3是图2所示较佳实施例中探针的剖视图；

图4～图6是图2所示较佳实施例其它型态探针的剖视图；

图7是本发明第二较佳实施例的剖视示意图；

图8是本发明第三较佳实施例的剖视示意图；

图9是本发明第四较佳实施例的剖视示意图。

具体实施方式

请参阅图2及图3所示，是本发明第一较佳实施例所提供的一种高频悬臂式探针卡10，是可应用在半导体的物对象上，其主要包含有一电路板11、一探针固定环12、复数的探针13及一粘着物14，其中：

该电路板11，可界定出一第一表面111及一相背的第二表面112；该第一表面111上形成有多数个金属焊点，而此些金属焊点又可界定出呈间隔排列的信号端金属焊点113及接地端金属焊点114；该第二表面112形成有复数的测试接点(图中未示)，是与该信号端及接地端金属焊点113电气接通，用以电气连接至一测试机台。

该固定环12，是置设于该电路板11的第一表面111上；其中，该固定环12是由金属所制成，具有良好的导电特性，用以作为接地的用。

该各探针13，分别包含有一具有适当强度及导电性的导体131、一直接溅镀在该导体131外的绝缘薄膜132及一直接溅镀在该绝缘薄膜132外的金属薄膜133；且该导体131的两端是伸出于该绝缘薄膜132外而未受该绝缘薄膜132所包覆，而可界定出外露的一第一端134及一第二端135；该各探针13是分别以其导体131的第一端与该电路板11的信号端金属焊点113连接，而位在其外侧的金属薄膜133则与接地端金属焊点114连接。可使得探针的型态最小型化，致使探针卡可在更小面积下设置更多的探针。

该粘着物14，具有导电性，是用以将该各探针13的偏中段处固定连接于该固定环12上，并使该探针13导体131的第二端135露出于外。

所以，上述即为本发明所提供第一较佳实施例的高频悬臂式探针卡10的主要构成要件及其组成型态；通过由此种探针的结构可使得探针在制造及组装上较为简易，而可大幅减低所需的成本，况且利用类同于同轴线般的结构组成，亦能使得信号能有效地加以隔离以避免有干扰的情形发生；另外，通过由此种探针结构所运用的探针卡组成构造，则能有效地提高信号频宽(与现有技术相比，现有技术的结构在信号穿透率为-3dB时仅能提供500～600MHz的弦波频宽，反观本发明的结构在信号穿透率同为-3dB时，则能提供超过5GHz的弦波频宽)，使得本发明可适用于高频测试之用。

请参阅图4、图5及图6，是本发明中其它型态的探针构成，其同样亦可达成本发明的目的。

如图4所示，其中原先直接溅镀在该绝缘薄膜132外的金属薄膜133，是改采为套设在该绝缘薄膜132外的金属套管136请配合参阅图3及图4所构成，且该金属套管136与该绝缘薄膜132间存在适当的空隙供空气容置，其同样可达成本发明的目的。

如图5所示，其中原先直接溅镀在该导体131外的绝缘薄膜132，是改采为套设在该导体131外的绝缘套管137请配合参阅图3及图5，且该绝缘套管137与该导体131间存在着适当的空隙供空气容置，其同样可达成本发明的目的。

如图6所示，其中原先直接溅镀在导体131外的绝缘薄膜132及直接溅镀在该绝缘薄膜132外的金属薄膜133，是分别改采为套设在该导体131外的绝缘套管137及套设在该绝缘套管137外的金属套管136，并且该绝缘套管137与该导体131间，存在着适当的空隙以供空气所容置，该绝缘套管137与该金属套管136间亦同样存在着适当的空隙以供空气所容置，其同样可达成本发明的目的。

请参阅图7，是本发明所提供第二较佳实施例的高频悬臂式探针卡20，其主要包含有一电路板21、一固定环22、复数探针23及一粘着物24；其主要构成与前述实施例大致相同，因此，以下仅就其差异处加以说明：

本实施例与前揭实施例的差异在于：

该固定环22为一不导电材质，该粘着物24亦为不导电的材质，因此为使探针23能有接地的效用，需在该固定环22及该粘着物24的部份表面包覆一金属薄膜25，以作为接地之用。

请参阅图8，是本发明所提供第三较佳实施例的高频悬臂式探针卡30，其主要包含有一电路板31、一固定环32、复数探针33及一粘着物34；其主要构成与前述实施例大致相同，因此，以下仅就其差异处加以说明：

其中，该固定环32为一导电材质，该粘着物34为一不导电材质，于该固定环32与该粘着物34的部份表面上包覆有一金属薄膜35，以作接地之用。

请参阅图9，是本发明所提供第四较佳实施例的高频悬臂式探针卡40，其主要包含有一电路板41、一固定环42、复数探针43及一粘着物44；其主要构成与前述实施例大致相同，因此，以下仅就其差异处加以说明：

其中，该固定环42为一不导电材质，该粘着物44为一导电材质，于该固定环42与该粘着物44的部份表面上包覆有一金属薄膜45，以作接地的用。

Claims (7)

1.一种高频悬臂式探针卡，其特征在于，包含有：

一电路板，可界定出一第一表面及一相背的第二表面；

一固定环，固设于该电路板的第一表面上；

多个探针，可分别界定出电气相通的第一端与一第二端，该各第一端电气连接于该电路板的第一表面上，且该各探针的偏中段处被固定于该固定环上，并使该各探针的第二端露出，用以与测试物接触；

所述该各探针分别包含有一具适当强度及导电性的导体、一套设于该导体外的绝缘套管及一套设于该绝缘套管外的金属套管；且该导体的两端伸出于该绝缘套管外而未受该绝缘套管所包覆，而可界定出外露的该第一端及该第二端，并且该绝缘套管与该导体间，存在着适当的空隙以供空气所容置，该绝缘套管与该金属套管间亦存在着适当的空隙以供空气所容置。

2.一种高频悬臂式探针卡，其特征在于，包含有：

一电路板，可界定出一第一表面及一相背的第二表面；

一固定环，固设于该电路板的第一表面上；

多个探针，可分别界定出电气相通的第一端与一第二端，该各第一端电气连接于该电路板的第一表面上，且该各探针的偏中段处被固定于该固定环上，并使该各探针的第二端露出，用以与测试物接触；所述该各探针分别包含有一具适当强度及导电性的导体、一套设于该导体外的绝缘套管及一直接以溅镀方式形成于该绝缘套管外的金属薄膜；且该导体的两端伸出于该绝缘套管外而未受该绝缘套管所包覆，而可界定出外露的该第一端及该第二端，并且该绝缘套管与该导体间，存在着适当的空隙以供空气所容置，该金属薄膜则直接包覆在该绝缘套管外。

3.一种高频悬臂式探针卡，其特征在于，包含有：

一电路板，可界定出一第一表面及一相背的第二表面；

一固定环，固设于该电路板的第一表面上；

多个探针，可分别界定出电气相通的第一端与一第二端，该各第一端电气连接于该电路板的第一表面上，且该各探针的偏中段处被固定于该固定环上，并使该各探针的第二端露出，用以与测试物接触；所述该各探针分别包含有一具适当强度及导电性的导体、一直接以溅镀方式形成于该导体外的绝缘薄膜及一套设于该绝缘薄膜外的金属套管；且该导体的两端伸出于该绝缘薄膜外而未受该绝缘薄膜所包覆，而可界定出外露的该第一端及该第二端，该绝缘薄膜直接包覆在该导体外，该绝缘薄膜与该金属套管间则存在着适当的空隙以供空气所容置。

4.依据权利要求1所述的高频悬臂式探针卡，其特征在于，所述该电路板的第一表面上形成有多个呈间隔排列的信号端金属焊点及接地端金属焊点；各探针导体的第一端与该电路板的信号端金属焊点连接，而金属套管则与接地端金属焊点连接。

5.依据权利要求2所述的高频悬臂式探针卡，其特征在于，所述该电路板的第一表面上形成有多个呈间隔排列的信号端金属焊点及接地端金属焊点；各探针导体的第一端与该电路板的信号端金属焊点连接，而金属薄膜则与接地端金属焊点连接。

6.依据权利要求1所述的高频悬臂式探针卡，其特征在于，所述该各探针分别包含有一具适当强度及导电性的导体、一直接以溅镀方式形成于该导体外的绝缘薄膜及一套设于该绝缘薄膜外的金属套管；且该导体的两端伸出于该绝缘薄膜外而未受该绝缘薄膜所包覆，而可界定出外露的该第一端及该第二端，该绝缘薄膜直接包覆在该导体外，该绝缘薄膜与该金属套管间则存在着适当的空隙以供空气所容置。

7.依据权利要求3所述的高频悬臂式探针卡，其特征在于，所述该电路板的第一表面上形成有多个呈间隔排列的信号端金属焊点及接地端金属焊点；各探针导体的第一端与该电路板的信号端金属焊点连接，而金属套管则与接地端金属焊点连接。

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