CN103245808A - 一种悬臂式探针 - Google Patents

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罗建清
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Abstract

本发明公开了一种悬臂式探针，多个第一探针本体和多个第二探针本体，所述第一探针本体包括第一针尖、陶瓷环和第一针体，所述第一针尖与所述第一针体固定连接，所述陶瓷环固定连接在所述第一针体的中心处，所述第一针尖与所述第一针体的夹角为100-108度，所述第二探针本体包括第二针尖、树脂和第二针体，所述第二针尖与所述第二针体固定连接，所述树脂固定连接在所述第二针体的中心处，所述第二针尖与所述第二针体的夹角为100-108度，所述第一探针本体与所述第二探针本体相间隔排列。通过上述方式，本发明悬臂式探针结构简单、稳定性好、抗扰性好、检测的准确度高。

Description

一种悬臂式探针
技术领域
本发明涉及金属制品领域，特别是涉及一种悬臂式探针。
背景技术
随着经济的发展，社会的进步，集成电路的功能越来越多，而集成电路的体积却越来越小，集成电路要经过氧化、光刻、扩散、外延、蒸铝等半导体制造工艺，把构成具有一定功能的电路所需的半导体、电阻、电容等元件及它们之间的连接导线全部集成在一小块硅片上，然后焊接封装在一个管壳内的电子器件，这种制作工艺复杂，一旦某一个硅片出现不良，整个集成电路都会报废，因此，硅片的检测变的至关重要，硅片的检测直接影响着集成电路的成本、生产效率和合格率。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种结构简单、稳定性好、抗扰性好、检测的准确度高、使用效果好的悬臂式探针。
为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种悬臂式探针，多个第一探针本体和多个第二探针本体，所述第一探针本体包括第一针尖、陶瓷环和第一针体，所述第一针尖与所述第一针体固定连接，所述陶瓷环固定连接在所述第一针体的中心处，所述第一针尖与所述第一针体的夹角为100-108度，所述第二探针本体包括第二针尖、树脂和第二针体，所述第二针尖与所述第二针体固定连接，所述树脂固定连接在所述第二针体的中心处，所述第二针尖与所述第二针体的夹角为100-108度，所述第一探针本体与所述第二探针本体相间隔排列。
在本发明一个较佳实施例中，所述第一针尖与所述第二针尖位于同一水平平面上。
在本发明一个较佳实施例中，所述第一探针本体与所述第二探针本体相平行。
在本发明一个较佳实施例中，所述所述陶瓷环与所述树脂相接触。
在本发明一个较佳实施例中，所述陶瓷环的长度与所述大于所述树脂的长度。
本发明的有益效果是：本发明悬臂式探针结构简单、稳定性好、抗扰性好、检测的准确度高、使用效果好。
附图说明
图1是本发明悬臂式探针一较佳实施例的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
请参阅图1，一种悬臂式探针，包括：多个第一探针本体和多个第二探针本体，所述第一探针本体包括第一针尖11、陶瓷环12和第一针体13，所述第一针尖11与所述第一针体13固定连接，所述陶瓷环12固定连接在所述第一针体13的中心处，所述第一针尖11与所述第一针体13的夹角为101度，所述第二探针本体包括第二针尖21、树脂22和第二针体23，所述第二针尖21与所述第二针体23固定连接，所述树脂22固定连接在所述第二针体23的中心处，所述第二针尖21与所述第二针体23的夹角为101度，所述第一探针本体与所述第二探针本体相间隔排列。第一探针本体与所述第二探针本体上下方向上和左右方向上都是相间隔的固定连接在检测基板3上，由于第一探针本体和第二探针本体是密集形的固定连接在基板3上，附图中采用了简略画法，省去了基板3上其他的多个第一探针本体和第二探针本体。
第一针尖11和第一针体13是接触连接的，而陶瓷环12卡套在第一针体13的中心处，保证第一针尖11与第一针体13与相间隔的第二探针本体接触，同样的，第二针尖21和第二针体23也是接触连接的，使用树脂22涂敷在第二针体23的中心处，保证了第二针尖21与第二针体23与相间隔的第一探针本体相接触，稳定性好，受环境和检测者等外界因素的抗扰性好。
所述第一探针本体与所述第二探针本体相间隔排列，使用陶瓷环12和树脂22隔开了第一针体13和第二针体23的接触，同样的隔开了第一针尖11和第二针尖21的接触，有效确保了第一探针本体和第二探针本体的接触，保证了检测的准确度和精确度。
另外，所述第一针尖11与所述第二针尖21位于同一水平平面上。由于要检测硅片的表面是处于同一水平面的，因此，保证了所述第一针尖11与所述第二针尖21位于同一水平平面上，即保证了硅片检测时，第一针尖11与第二针尖21与硅片的接触面是相同的，接触的作用力是一样大的。
另外，所述第一探针本体与所述第二探针本体相平行。避免检测过程中第一针尖11与第二针尖21的相交，也同样避免了检测硅片时，第一针体13与第二针体23的相交，保证检测的正确性和准确性，防止第一探针本体或第二探针本体相接触造成短路，电流过大损坏硅片。
另外，所述所述陶瓷环12与所述树脂22相接触。陶瓷环12和树脂22都属于绝缘材质，陶瓷环12的直径大于第一针体13的直径，树脂22的直径大于第二针体23的直径，陶瓷环12与树脂22的接触，避免了第一探针本体与第二探针本体的接触。
另外，所述陶瓷环12的长度与所述大于所述树脂22的长度。
本发明悬臂式探针第一探针本体与第二探针本体相间隔，且相互平行，确保了第一针体与第二针体的平行，避免了第一针尖与第二针尖的接触，保证了硅片检测的准确性。
区别于现有技术，本发明悬臂式探针结构简单、稳定性好、抗扰性好、检测的准确度高、使用效果好。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (5)

1.一种悬臂式探针，其特征在于，包括：多个第一探针本体和多个第二探针本体，所述第一探针本体包括第一针尖、陶瓷环和第一针体，所述第一针尖与所述第一针体固定连接，所述陶瓷环固定连接在所述第一针体的中心处，所述第一针尖与所述第一针体的夹角为100-108度，所述第二探针本体包括第二针尖、树脂和第二针体，所述第二针尖与所述第二针体固定连接，所述树脂固定连接在所述第二针体的中心处，所述第二针尖与所述第二针体的夹角为100-108度，所述第一探针本体与所述第二探针本体相间隔排列。
2.根据权利要求1所述的悬臂式探针，其特征在于，所述第一针尖与所述第二针尖位于同一水平平面上。
3.根据权利要求1所述的悬臂式探针，其特征在于，所述第一探针本体与所述第二探针本体相平行。
4.根据权利要求1所述的悬臂式探针，其特征在于，所述所述陶瓷环与所述树脂相接触。
5.根据权利要求1所述的悬臂式探针，其特征在于，所述陶瓷环的长度与所述大于所述树脂的长度。
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