JP2011247792A - プローブ構造体、プローブ装置、プローブ構造体の製造方法、および試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被試験デバイスと電気信号を授受するプローブ構造体であって、電気信号を伝送する接点と、接点が形成されるプローブと、接点と電気的に接続されるプローブパッド部と、プローブ上に設けられ、プローブパッド部に接続されるボンディングワイヤと前記プローブとの間を絶縁する絶縁部と、を備えるプローブ構造体、プローブ装置、プローブ構造体の製造方法、および試験装置を提供する。
【選択図】図1
Description
特許文献1 特開2009−2865号公報
Claims (12)
- デバイスと電気信号を授受するプローブ構造体であって、
電気信号を伝送する接点と、
前記接点が形成されるプローブと、
前記接点と電気的に接続されるプローブパッド部と、
前記プローブ上に設けられ、前記プローブパッド部に接続されるボンディングワイヤと前記プローブとの間を絶縁する絶縁部と、
を備えるプローブ構造体。 - 前記絶縁部は、前記ボンディングワイヤに接触してテンションをかける請求項1に記載のプローブ構造体。
- 複数の前記接点と、
前記複数の接点と電気的にそれぞれ接続される複数の前記プローブパッド部と、
を更に備え、
前記絶縁部は、前記複数のプローブパッド部にそれぞれ接続される複数の前記ボンディングワイヤと前記複数のプローブとの間を絶縁する請求項1または2に記載のプローブ構造体。 - 前記ボンディングワイヤは、一端が前記プローブパッド部にボンディングされ、前記絶縁部との接触した部分を支点としてループ状に曲げられ、前記プローブ構造体を搭載する基板上のパッドに接続される請求項1から3のいずれかに記載のプローブ構造体。
- 前記絶縁部は、前記プローブ構造体を吸着して保持するピッカーによって吸着されるピッカー吸着部を有する請求項1から4のいずれかに記載のプローブ構造体。
- 前記絶縁部は、前記プローブ構造体の前記プローブパッド部が形成された面に、前記プローブパッド部の表面の少なくとも一部を開口させて形成される請求項1から5のいずれかに記載のプローブ構造体。
- 前記絶縁部は、絶縁体樹脂である請求項1から6のいずれかに記載のプローブ構造体。
- 前記プローブは、シリコン基板から形成された請求項1から7のいずれかに記載のプローブ構造体。
- 前記プローブは、櫛形形状に形成された請求項1から8のいずれかに記載のプローブ構造体。
- デバイスと電気的に接続するプローブ装置であって、
請求項1から請求項9のいずれかに記載のプローブ構造体と、
1以上の前記プローブ構造体を実装する実装基板部と、
前記プローブ構造体に有する複数の接点と電気信号を授受する配線部と
を備え、
前記プローブ構造体に有する複数のプローブパッド部と前記配線部は、ボンディングワイヤで電気的に接続されるプローブ装置。 - 被試験デバイスと電気信号を授受するプローブ構造体の製造方法であって、
電気信号を伝送する接点を形成する接点形成段階と、
前記接点が形成されるプローブを形成するプローブ形成段階と、
前記接点と電気的に接続されるプローブパッド部を形成するプローブパッド部形成段階と、
前記プローブ上に設けられ、前記プローブパッド部に接続されるボンディングワイヤと前記プローブとの間を絶縁する絶縁部を形成する絶縁部形成段階と、
を備えるプローブ構造体の製造方法。 - 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスとの間で電気信号を授受して前記被試験デバイスを試験する試験部と、
請求項10に記載の被試験デバイスと電気的に接続するプローブ装置と、
を備える試験装置。
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