WO2005091006A1

WO2005091006A1 - 複数種のテスタに対応可能なプローブ装置

Info

Publication number: WO2005091006A1
Application number: PCT/JP2005/004698
Authority: WO
Inventors: Masayuki Noguchi
Original assignee: Tokyo Electron Limited
Priority date: 2004-03-19
Filing date: 2005-03-16
Publication date: 2005-09-29
Also published as: EP1736787A4; KR100845349B1; CN100545666C; US20070007979A1; KR20060130660A; CN1906496A; EP1736787A1; US7323893B2; TWI354794B; TW200533923A; JP2005265658A

Abstract

　本発明の実施形態のプローブ装置１０は、複数種のテスタ用のポゴリング１５及びプローブカード１７に対応したインサートリング１４、ベースカードホルダ１３を備える。ベースカードホルダ１３は、プローブカード１７用のカードホルダ２０より大径に形成される。変換リング１６は、カードホルダ２０とベースカードホルダ１３との接続を中継する。

Description

明細書

複数種のテスタに対応可能なプローブ装置

技術分野

[0001] 本発明は、複数種のテスタに対応可能なプローブ装置に関する。更に詳しくは、複数種のテスタのそれぞれに専用の接続リング及びプローブカードを装着可能にしたプローブ装置に関する。

背景技術

[0002] 半導体装置の製造工程において、ウェハ上に形成されたデバイスの電気的特性を検査するためにプローブ装置が用いられる。このプローブ装置の例は、図 8に示すように、ウェハ Wを搬送するローダ室 1と、ローダ室 1から搬送されたウェハ Wの電気的特性を検査するプローバ室 2とを備えている。プローバ室 2は、ローダ室 1から搬送されたウェハ Wを載置するための、昇降機構を内蔵した載置台 (メインチャック） 3と、メインチャック 3を X及び Y方向に移動させる XYテーブル 4と、メインチャック 3の上方に配置されたプローブカード 5と、プローブカード 5を着脱可能に保持するカード保持機構 (以下、「クランプ機構」と称す。 ) (図示せず)と、プローブカード 5の複数のプロ一ブピン 5Aとメインチャック 3上のウェハ Wの複数の電極パッドとを正確に位置合わせするァライメント機構 6と、を備えている。ァライメント機構 6は、ウェハ Wを撮像する上カメラ 6Aと、メインチャック 3に付設され且つプローブピン 5Aを撮像する下カメラ 6Bとを備えている。

[0003] 図 8に示すように、プローバ室 2の上面にはヘッドプレート 7が装着される。ヘッドプレート 7の開口部にはプローブカード 5を着脱自在に保持するクランプ機構が装着されている。ヘッドプレート 7にはテスタ Tのテストヘッド THが旋回可能に配設され、テストヘッド THとプローブカード 5は接続リング (ポゴリング) 8を介して電気的に接続される。テスタ Tからの検査用信号は、テストヘッド TH、パフォーマンスボード及びポゴリング 8を介してプローブピン 5Aへ送信される。検査用信号は、プローブピン 5Aからウエノ、 Wの電極パッドに印加され、ウェハ W上に形成された複数の半導体素子（デバイス）の電気的特性を検査するために使用される。 [0004] デバイスの種類によって検査内容、電極パッドの数や配列パターンが異なる。このため、デバイスの種類に即して複数のテスタが使い分けられる。複数のテスタ Tの各々に専用のテストヘッド TH、パフォーマンスボードが用意される。一方、プローブ装置には、特定のテスタ用のプローブカード 5及びポゴリング 8が装着される。ポゴリング 8は、プローブカード 5をテスタのパフォーマンスボードに電気的に接続する。

[0005] このように、プローブ装置はテスタと一対一の関係にある。従前のプローブ装置は、特定のテスタにのみ電気的に接続可能である。特定のテスタ用の構造のプローブ装置を、他のテスタに接続する場合には、他のテスタのパフォーマンスボードに対応するポゴリング 8及びプローブカード 5を準備しなくてはならない。ところが、ポゴリング 8 はテスタ毎にポゴピン数、ピン配列及び外形が異なる。このため、ポゴリング 8とプローブカード 5に合わせてインサートリングやクランプ機構を設計変更するなど、接続構造を大幅に改造しなくてはならない。殊に近年、半導体装置が多様ィ匕しているため、デバイスの検査も多様化し、多くの種類のテスタ及びプローブ装置が必要になってきている。

[0006] 特開 2000— 349128号公報には、ポゴリングとインナーリングの間にアダプタリングを介在させるプローブ装置が開示されている。このプローブ装置では、テスタの変更をアダプタで対応する。アダプタにより、テスタを変更した場合でも、プローブ装置は同一のインナーリングを使用することができる。

発明の開示

[0007] しかしながら、特開 2000— 349128号公報には、プローブ装置側とテスタ側との接続構造が開示されている。しかし、同公報に開示された装置は径の異なる複数種のプローブカードには対応できな、。現在のプローブ装置は 350mmまでのプローブ力ードに対応できる。最近ではプローブカードが大型化しているため、特開 2000— 349 128号公報に開示された接続構造は複数種のテスタには対応可能であっても、大型化したプローブカードや複数種のプローブカードには対応できないという課題があつた。

[0008] 本発明は、上記課題の内の少なくとも 1つを解決するためになされた。

[0009] 本発明の実施態様によれば、大型プローブカードに対応することができるプローブ装置が提供される。本発明の実施態様によれば、複数種のプローブカードに対応可能なプローブ装置が提供される。

[0010] 本発明の 1つの観点に従って、テスタ、プローブカード、及び該プローブカードを保持するためのベースカードホルダを備えたプローブ装置が提供される。該プローブ装置は、下記を具備する：

該プローブカードを該ベースカードホルダに装着するためのカードホルダ：該カードホルダと該ベースカードホルダとの間の接続を中継するように構成された変換リング、該変換リングは、複数種の変換リング中から、当該プローブカードに適応した変換リングが選択される；

該複数種の変換リングの、ずれも受け入れることができるように構成されたベースカードホルダ。

[0011] 上記プローブ装置は、さらに下記 (a)— (!)のいずれか 1つ、或いはいずれか複数を具備することができる。

[0012] (a)該カードホルダは、その周囲に複数の張り出し部を具備し、

該変換リングは、該カードホルダの該複数の張り出し部を固定するように構成された複数のワンタッチ固定機構を具備する。

[0013] (b)該ワンタッチ固定機構は、該張り出し部を押さえる押さえ部材と、この押さえ部材を回転自在に支持する軸部材とを有する。

[0014] (c)該ワンタッチ固定機構は、該押さえ部材を下方に付勢する弾性部材を有する。

[0015] (d)該ワンタッチ固定機構は、該押さえ部材の固定位置を決める位置決め手段を有する。

[0016] (e)テスタをプローブカードに電気的に接続するための、接続リングと、該接続リングをインサートリングに装着するためのインナーリングとを備え、

ここにおいて、インナーリングは、複数種のインナーリング中から、当該接続リングに適応したものが選択され、インサートリングは該複数種のインナーリングのいずれも受け入れることができるように構成される。

[0017] (D上記インナーリングは、上記各テスタ専用のプローブカードの上下方向の位置決めをする位置決め機構を有する。図面の簡単な説明

[0018] [図 1]図 1は、本発明のプローブ装置の一実施形態の要部を分解して示す断面図である。

[図 2]図 2は、図 1に示す各部品をプローブ装置に装着する状態を示す断面図である

[図 3]図 3は、図 1に示すプローブ装置に用いられるベースカードホルダ、変換リング及びカードホルダを示す分解斜視図である。

[図 4A]図 4Aは、図 3に示す変換リングでカードホルダを固定した状態を示す断面図であり、カードホルダを固定する直前の状態の断面図である。。

[図 4B]図 4Bは、図 3に示す変換リングでカードホルダを固定した状態を示す断面図であり、カードホルダを固定した状態を示す断面図である。

[図 5]図 5は、本発明のプローブ装置の他の実施形態の要部を示す斜視図である。

[図 6A]図 6Aは、図 5に示す変換リングに対応するインナーリングを示す分解斜視図である。

[図 6B]図 6Bは、図 5に示す変換リングの要部を示す分解斜視図である。

[図 7A]図 7Aは、図 5に示すカードホルダをベースカードホルダに固定する状態を示す断面図であり、固定する直前の状態を示す図である。

[図 7B]図 7Bは、図 5に示すカードホルダをベースカードホルダに固定する状態を示す断面図であり、固定した状態を示す図である。

[図 8]図 8は、従来のプローブ装置の一部を破断して示す断面図である。

発明を実施するための最良の形態

[0019] 本発明の 1つの実施態様によれば、大型プローブカードに対応することができるプローブ装置が提供される。

[0020] 本発明の 1つの実施態様によれば、複数種のプローブカードに対応可能なプロ一ブ装置が提供される。

[0021] 以下、図 1一図 7に示す各実施形態に基づいて本発明を説明する。本実施形態のプローブ装置は、複数種のプローブカードを取り付けできるように構成されている。本実施形態のプローブ装置 10の例が図 1に示される。プローブ装置はヘッドプレート 1 1の中央開口部に装着されたクランプ機構 12と、該クランプ機構 12に着脱自在に装着されるベースカードホルダ 13と、ヘッドプレート 11の開口部に装着されたインサートリング 14とを備えることができる。クランプ機構 12及びベースカードホルダ 13は、大型のプローブカードを受け入れ可能な大きさに形成されることができる。これらは、外径を異にするプローブカードを装着できるように構成されることができる。インサートリング 14は、複数種のテスタ Tのそれぞれに専用の接続リング (例、ポゴリング） 15が装着できるように構成されることができる。

[0022] すなわち、ベースカードホルダ 13は、図 1に示すように、幅広のリングプレートとして形成されることができる。且つ、リングプレートの内周面の下部の径は縮小していくように形成されることができる。変換リング (後述される）をそのフランジ部で支承する受け部 13Aと、リングプレート上面の外周縁部から全周に渡って上方に延びる壁部 13 Bと、壁部 13Bの上部に互、に周方向に所定間隔を隔てて放射状に形成された複数の張り出し部 13Cとを有することができる。ベースカードホルダ 13は、複数の張り出し部 13Cを介してクランプ機構 12によって把持される。

[0023] 大型のプローブカードは、ベースカードホルダ 13の受け部 13Aに対して直接装着し、現状のプローブカードの場合にはカードホルダ付きのプローブカードをベース力ードホルダ 13の受け部 13Aに対して変換リング 16を介して装着するようにしてある。

[0024] 従って、変換リング 16は、図 1に示すように、プローブカード 17の外径を変換する機能を有している。変換リング 16によって、ベースカードホルダ 13にプローブカード 1 7を装着することができる。プローブカード 17及びそのカードホルダ 20 (図 3参照）はウエノ、 Wに形成されたデバイスによって異なるため、複数のテスタに専用のプローブカード 17、及び又はカードホルダに応じた変換リング 16を用意することが必要である

[0025] 変換リング 16は、プローブカード 17の外形に対応した構造とすることができる。図 1 には、変換リング 16の一例として、リング状プレートの構造を採用した変換リング 16が示されている。リング状プレートの内周面は、その径を縮小した構造とされている。変換リング 16は、カードホルダ 20 (図 3参照）を支承する受け部 16Aと、リング状プレートの外周面でその径が拡大して形成されたフランジ部 16Bとを有する。フランジ部 16 Bはベースカードホルダ 13の受け部 13Aと係合する。

[0026] 従って、プローブカード 17をベースカードホルダ 13に装着する時には、図 1に矢印で示すように、カードホルダ 20 (図 3参照）付きのプローブカード 17を変換リング 16に装着する。続いて、変換リング 16をベースカードホルダ 13に装着する。そして、プローブカード 17、変換リング 16及びベースカードホルダ 13とが一体化した一体化物は、図示しない搬送機構を介してクランプ機構 12の真下まで搬送される。図 2に矢印で示すように、一体ィ匕物は持ち上げられた状態で、クランプ機構 12がベースカードホルダ 13を把持することによってプローブカード 17はプローブ装置 10に固定される。

[0027] 一方、インサートリング 14は、図 1に示すように、リング状の構造とすることができる。

インサートリング 14の内周面の下部の径は縮小され、受け部 14Aが形成される。インサートリング 14の上部の径は拡大されて、フランジ部 14Bが形成される。インサートリング 14のフランジ部 14Bはヘッドプレート 11にネジ等の締結部材によって固定される。インサートリング 14の受け部 14Aには必要に応じてインナーリング 18を装着することができる。インナーリング 18は、複数種のテスタ用のポゴリング 15に対応した構造とされることができる。

[0028] インナーリング 18は、図 1に示すように、リング状構造とすることができる。その内周面の径は縮小されて受け部 18Aが形成されることができる。インナーリング 18の外周面の上部の径は拡大されて、フランジ部 18Bが形成される。フランジ部 18Bはインサ一トリング 14の受け部 14Aと係合するように構成されることができる。従って、複数種のポゴリング 15の内のテスタ Tに適応したポゴリングをインサートリング 14に装着する時には、同図に矢印で示すように、まずインナーリング 18をインサートリング 14に装着する。その後、インナーリング 18に当該ポゴリング 15を装着することができる。

[0029] 図 3、図 4をも参照しながら、ベースカードホルダ、変換リング及びプローブカード（図 1参照）について具体的に説明する。ベースカードホルダ 13は、上述のように受け部 13A、壁部 13B及び複数の張り出し部 13Cを有することができる。変換リング 16は上述のように受け部 16A及びフランジ部 16Bを有することができる。ベースカードホルダ 13の受け部 13Aの上面には図 3に示すように 2個（3個以上とすることもできる）の位置決め突起 13Dを設けることができる。これらの突起 13Dは、互いに周方向 18 0° 隔てて配置することができる。これらの位置決め突起 13Dは、変換リング 16のフランジ部 16Bに形成された位置決め孔 16Cに嵌入することにより、変換リング 16はべースカードホルダ 13上で位置決めされる。ベースカードホルダ 13の受け部 13Aと、変換リング 16のフランジ部 16Bとは、複数のネジ部材 19によって固定される。

[0030] プローブカード 17は、図 3に示すようにカードホルダ 20を介して変換リング 16に装着される。但し、図 3ではカードホルダ 20のみを示しプローブカード 17は省略してある。カードホルダ 20は、図 3に示すようにリング状の構造とすることができる。カードホルダ 20の内周面の下部の径は縮小され、受け部 20Aが形成されることができる。複数の張り出し部 20Bは、外周面の上部力も略放射状に形成されることができる。変換リング 16は張り出し部 20Bと嵌合して、変換リング 16の受け部 16Aはカードホルダ 2 0を支承する。

[0031] 変換リング 16は、例えば図 3に示すように、 2個のワンタッチ固定機構 21を有することができる。ワンタッチ固定機構 21は、カードホルダ 20を変換リング 16上に固定する。これらのワンタッチ固定機構 21は、変換リング 16のフランジ部 16B上に周方向 180 ° 隔てて配置されている。

[0032] ワンタッチ固定機構 21は、図 4の A、 Bに示すように、カードホルダ 20の張り出し部 20Bを押さえるための押さえ部材 21Aと、押さえ部材 21Aの中心に形成された孔を貫通し且つ変換リング 16の内周縁部に立設された軸部材 21Bと、軸部材 21B上端のフランジ部と押さえ部材 21Aとの間に弹装されたコイルスプリング 21Cとを有することができる。押さえ部材 21Aの断面は長方形とすることができる。コイルスプリング 21 Cは、押さえ部材 21Aを常時下方に付勢する。コイルスプリング 21Cの下端は、押さぇ部材 21Aの孔を囲むリング状の凹陥部に填め込むことができる。押さえ部材 21A の両端部の下面に、位置決め用の一対の突起部 21Dを取り付けることができる。変換リング 16及びカードホルダ 20の張り出し部 20Bの上面には突起部 21Dが嵌入するところの、位置決め手段である一対の第 1凹部 21E、 2 IFがそれぞれ形成されている。これら変換リング 16の上面には押さえ部材 21Aの突起部 21Dが嵌入する一対の第 2凹部（図示せず)が軸部材 21Bを中心にして周方向に沿って形成することができる。第 1凹部 21Eと 21Fとを結ぶ線と、第 2凹部を結ぶ線とは、互いに直交する。 [0033] 変換リング 16を使用しない時には、図 3に示すように、ワンタッチ固定機構 21の押さえ部材 21Aの突起部 21Dは、フランジ部 16B上面の第 2凹部内に嵌入している。変換リング 16を使用する時には、ワンタッチ固定機構 21の押さえ部材 21Aは、コィルスプリング 21Cの弾力に抗して軸部材 21Bに沿って持ち上げられて、 90°C回転され、図 4Aに示すように、変換リング 16とカードホルダ 20の境界を横切る状態に配置される。この状態で押さえ部材 21Aが解放されると、押さえ部材 21Aはコイルスプリング 21Cの付勢力で図 4Bに示すように、下方に移動する。突起部 21Dは第 1凹部 21 E、 21Fに嵌入する。この嵌入により、カードホルダ 20は変換リング 16に押圧され、固定される。尚、インナーリング 18の下面には図 4Bに示すように軸部材 21Bの上端部が嵌入する凹部 18Aを形成することができる。

[0034] 本実施形態におけるプローブカード 17をプローブ装置 10に装着する時には、まず、プローブカード 17を図 3に示すカードホルダ 20に装着し、カードホルダ 20を変換リング 16に装着する。この際、カードホルダ 20の張り出し部 20Bは、変換リング 16のヮンタツチ固定機構 21と対畤させるように位置合わせされる。次いで、ワンタッチ固定機構 21の押さえ部材 21Aを持ち上げて 90° 回転させ、突起部 21Dをフランジ部 16 B及び張り出し部 20Bの第 1凹部 21E、 21Fに合わせて放す。押さえ部材 20Aは、プローブカード 17を変換リング 16上に固定する。

[0035] 次いで、図 3に示すように、変換リング 16の位置決め孔 16Cとベースカードホルダ 1 3の位置決め突起 13Dとを位置合わせする。変換リング 16をベースカードホルダ 13 に装着する。両者 13、 16をネジにより締結することにより、プローブカードをベース力ードホルダ 13に取り付ける。次いで、図 2に示すように、カードホルダ搬送機構（図示せず)がプローブカードをクランプ機構 12の真下まで搬送する。同図に矢印で示すように、プローブカードは持ち上げられ、ベースカードホルダ 13の張り出し部 13Cがクランプ機構 12に填め込まれる。クランプ機構 12が上下方向の位置決めをしながら張り出し部 13Cを把持して、固定する。以上により、プローブカードのプローブ装置 1 0への装着を終了する。この間、インナーリング 18をインサートリング 14へ装着する。

[0036] 以上説明したように、本実施形態によれば、プローブカード 17に専用のカードホルダ 20の外径より大径に形成されたベースカードホルダ 13と、このベースカードホルダ 13にプローブカード 17を装着する際にカードホルダ 20とベースカードホルダ 13との接続を中継する変換リング 16とを備えているため、プローブカード 17の種類が異なつていてもそれぞれのカードホルダ 20に応じた変換リング 16を介してプローブカード 17をベースカードホルダ 13に確実に装着することができ、延いては複数種のテスタに専用のプローブカード 17を装着して検査に供することができる。ベースカードホルダ 13は、受け入れ可能な範囲内の大きさの種々のプローブカードに対応することができる。更に、大型のプローブカードに関しては、ベースカードホルダ 13自体をプローブカードのカードホルダとして使用することにより、大型のプローブカードに対応することがでさる。

[0037] 変換リング 16に設けたワンタッチ固定機構 21の押さえ部材 21Aを操作することのみにより、プローブカード 17を変換リング 16上にワンタッチで着脱できる。この操作により、プローブカード 17をベースカードホルダ 13に短時間で着脱することができる。

[0038] 図 5—図 7は、それぞれ本発明の他の実施形態のプローブ装置の要部を示す図である。本実施形態のプローブ装置 10は、上記実施形態とは異なるタイプのプローブカードを装着するためのカードホルダ、変換リング及びインナーリングを備えて、る点以外は、上記実施形態のプローブ装置と同様の構成を採用することができる。従って、上記実施形態とは異なるカードホルダ、変換リング及びインナーリングが用いられる

[0039] 本実施形態に用いられるプローブカード（図示せず）は、図 5及び図 7A、 Bに示すカードホルダ 120により、プローブ装置 10に装着される。このカードホルダ 120は、図 5に示すように、リング状の構造とすることができる。図 7A、 Bからも明らかなように、力ードホルダ 120は、プローブカードの外周縁部を裏面で受けるための受け部 120Aと、受け部 120Aの外周縁部から上方に延びる壁部 120Bと、壁部 120Bの上部に周方向に所定間隔を隔てて放射状に形成された複数 (本実施形態では 3個)の張り出し部 120Cと、壁部 120Bの下端面に設けられ且つ変換リング 116との位置決めに使う 2個の突起部 120Dとを有することができる。カードホルダ 120は、検査時にはポゴピン（図示せず)側に吸引力により固定されることができる。 2個の突起部 120Dは、周方向に 180° 隔てて設けることができる。 [0040] 変換リング 116は、図 5に示すように、リング状のプレートとして形成することができる。その内径はカードホルダ 120の壁部 120Bが填まり込むことができる大きさであり、張り出し部 120Cと係合する大きさとすることができる。変換リング 116の外周面上部に形成されたフランジ部 116Bは、ベースカードホルダ 13の受け部 13Aと係合する。変換リング 116の内周縁部には、カードホルダ 120の突起部 120Dに対応する 2つの位置決め用の凹部 116Dを形成することができる。突起部 120Dを、凹部 116Dに嵌入させることにより、両者 116、 120の位置を合わせる。変換リング 116の上面の内周縁部には、カードホルダ 120の張り出し部 120Cの位置に対応させて 3個のワンタツチ固定機構 121を配設することができる。

[0041] 次に、図 6及び図 7を参照しながら、ワンタッチ固定機構 121を詳述する。ワンタッチ固定機構 121は、カードホルダ 120の張り出し部 120Cを押さえる押さえ部材 121A と、押さえ部材 121Aの一端部に形成されたカラーを貫通し且つ変換リング 116内周縁部に立設された軸部材 121Bとを有することができる。押さえ部材 121Aのカラーの内周面の中程に周方向全周に渡って突起が形成される。この突起と変換リング 11 6の上面との間にコイルスプリング 121Cが装着される。コイルスプリングは、押さえ部材 121 Aを常時上方に付勢する。押さぇ部材 121 Aは軸部材 121 Bのフランジ部に弾性的に接触する。カラー外周面の 2箇所に、上下方向の溝（図示せず)が周方向に 180° 隔てて形成することができる。押さえ部材 121Aの向きは、後述するように、これらの溝〖こより決められる。

[0042] 図 6Bに示すように、変換リング 116の内周縁部には、各軸部材 121Bに隣接した位置に第 1位置決め機構 122を設けることができる。図 6B及び図 7A、 Bに示すように、第 1位置決め機構 122は、変換リング 116の内周縁部に固定された矩形状のブロック体 122Aと、ボールプランジャ 122Bとを有することができる。ボールプランジャ 122 Bは、ブロック体 122A内の変換リング 116の径方向に向けて埋設される。ボールプランジャ 122Bの先端が押さえ部材 121Aのカラー外周面の溝に嵌入することにより、押さえ部材 121Aの向きを決める。従って、押さえ部材 121Aは溝に沿って僅かに上下動することができる。

[0043] インナーリング 118には図 6A及び図 7A、 Bに示すように、 3つの第 2位置決め機構 123を設けることができる。第 2位置決め機構 123は、変換リング 116のワンタッチ固定機構 121に対応させて配置する。第 2位置決め機構 123は、プローブカードの上下方向（Z方向）の位置決めをする。

[0044] 第 2位置決め機構 123は、例えば図 6Aに示すように、円弧状に形成することができる。第 2位置決め機構 123は、インナーリング 118の上下両面にそれぞれ取り付けられた一対のフラットバー 123A、 123Bと、上下のフラットバー 123A、 123B間に、後述のように弾装された複数個 (本実施形態では 7個）のコイルスプリング 123Cと、下方のフラットバー 123Bを両端でインナーリング 118に上下動自在に連結する一対の頭部を有するガイドピン 123Dとを有している。上方のフラットバー 123Aは下方のフラットバー 123Bより短く形成され、複数箇所でインナーリング 118の浅い凹陥部 118 Aにおいてネジ止めされることができる。プローブカードはポゴリング側に吸引されるため、プローブカードの吸引力に応じてコイルスプリング 123Cの個数を適宜設定する。

[0045] 図 6A及び図 7A、 Bに示すように、インナーリング 118の凹陥部 118Aには、インナ一リング 118の周方向に、等間隔で、 7個の第 1貫通孔 118Bを形成することができる。コイルスプリング 123Cは、これらの貫通孔 118Bを貫通し、上下のフラットバー 123 A、 123B間に弹性的に装着される。インナーリング 118の凹陥部 118Aの周方向外側のそれぞれには、第 2貫通孔 118Cを形成することができる。ガイドピン 123Dは、これらの貫通孔 118Cを貫通する。ガイドピン 123Dの上端は、ワッシャー 123Eを介してインナーリング 118の第 2貫通孔 118Cに螺合する。各ガイドピン 123Dの頭部とインナーリング 118の下面とに間に、隙間が形成される。この隙間の間隔において、下方のフラットバー 123Bは、コイルスプリング 123Cの弾力に抗して上下動すること力 ^sできる。下方のフラットバー 123Bに、コイルスプリング 123Cの位置ズレを防止するための 7つの凹陥部を形成することができる。

[0046] 本実施形態におけるプローブカードをプローブ装置 10に装着する時には、まず、プローブカード（図示せず）を図 5に示すカードホルダ 120に装着し、カードホルダを変換リング 116に装着する。カードホルダ 120の突起部 120Dを変換リング 116の凹部 116Dに合わせるように、カードホルダ 120を変換リング 116に装着する。この結果、カードホルダ 120の張り出し部 120Cは変換リング 116のワンタッチ固定機構 121 に対畤する。ワンタッチ固定機構 121の押さえ部材 121Aを持ち上げて、回転させることにより、第 1位置決め機構 122のボールプランジャ 122Bの先端は押さえ部材 12 1Aのカラーの溝力外れる。押さえ部材 121Aを 180° 回転させ、図 7Aに示すように、ボールプランジャ 122Bの先端をカラーの溝に嵌入し、押さえ部材 121Aを変換リング 116の径方向に向けて位置決めした後、力一ドホルダ 120を変換リング 116上に固定する。この段階では、押さえ部材 121Aは、コイルスプリング 121C力もの付勢力で図 7Aに示すようにカードホルダ 120の張り出し部 120C力も僅かに浮いた状態になっている。

[0047] 図 5に示すように、変換リング 116の位置決め孔 116Cとベースカードホルダ 13の位置決め突起 13Dとを位置合わせする。変換リング 116をベースカードホルダ 13に装着し、ネジにより両者 13、 116を締結する。次いで、カードホルダ搬送機構（図示せず）が、プローブカードをクランプ機構 12の真下まで搬送する。図 7A中の矢印で示すように、プローブカードは持ち上げられ、ベースカードホルダ 13の張り出し部 13 Cはクランプ機構 12に填め込まれる。クランプ機構 12が上下方向の位置決めをしな力張り出し部 13Cを把持して固定する。

[0048] この時、図 7Bに示すように、ワンタッチ固定機構 121の押さえ部材 121Aは、第 2位置決め機構 123の下方のフラットバー 123Bに弾力的に接触する。押さぇ部材 121 A がカードホルダ 120の張り出し部 120Cを押圧することにより、カードホルダ 120を変換リング 116上に固定する。ベースカードホルダ 13が上昇することにより、フラットバ一 123Bはコイルスプリング 123Cの弾力に抗して持ち上げられ、プローブカードを所定の Z位置に位置決めし、プローブカードはプローブ装置 10へ装着される。この間、インナーリング 118をインサートリング 14へ装着する。プローブカードは装着時とは逆工程で取り外すことができる。

[0049] 以上説明したように本実施形態によれば、テスタ及びプローブカードの種類が変わつても、テスタ及びプローブカードに応じたインナーリング 18及び/又は変換リング 1 6を変更することによって、上記実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

[0050] 本発明は、上記実施形態に何等制限されるものではなぐテスタの種類に応じて複数のインナーリング及び変換リングを準備することで、プローブ装置を各種のテスタに対応させることができる。

産業上の利用可能性

本発明は、プローブ装置に好適に利用することができる。

Claims

請求の範囲

[1] テスタ T、プローブカード 17、及び該プローブカード 17を保持するためのベースカードホルダ 13を備えたプローブ装置 10、該プローブ装置 10は下記を具備する：該プローブカード 17を該ベースカードホルダ 13に装着するためのカードホルダ 2

0 :

該カードホルダ 20と該ベースカードホルダ 13との間の接続を中継するように構成された変換リング 16、該変換リング 16は、複数種の変換リング 16中から、当該プロ一ブカード 17に適応した変換リング 16が選択される；

該複数種の変換リング 16のいずれも受け入れることができるように構成されたべースカードホルダ 13。

[2] 該カードホルダ 20は、その周囲に複数の張り出し部 20Βを具備し、

該変換リング 16は、該カードホルダ 20の該複数の張り出し部 20Βを固定するように構成された複数のワンタッチ固定機構 21を具備する、請求項 1に記載のプローブ装置 10。

[3] 該ワンタッチ固定機構 21は、該張り出し部 20Βを押さえる押さえ部材 21Aと、この押さえ部材を回転自在に支持する軸部材 21Bとを有する、請求項 2に記載のプロ一ブ装置 10。

[4] 該ワンタッチ固定機構 21は、該押さえ部材 21Aを下方に付勢する弾性部材 21C を有する、請求項 3に記載のプローブ装置 10。

[5] 該ワンタッチ固定機構 21は、該押さえ部材 21Aの固定位置を決める位置決め手段 2

IE, 21Fを有する、請求項 3に記載のプローブ装置。

[6] さらに、テスタ Τをプローブカード 17に電気的に接続するための、接続リング 15と

、該接続リング 15をインサートリング 14に装着するためのインナーリング 18とを備え、ここにおいて、インナーリング 18は、複数種のインナーリング 18中から、当該接続リング 15に適応したものが選択され、インサートリング 14は該複数種のインナーリング

18の、ずれも受け入れることができるように構成される、

請求項 1に記載のプローブ装置 10。

[7] 上記インナーリング 18は、上記各テスタ Τ専用のプローブカード 17の上下方向の位置決めをする位置決め機構 123を有する、請求項 6に記載のプローブ装置。