JP7138004B2 - プローブカード保持具 - Google Patents

Description

本発明は、プローブカード保持具に関し、例えば、検査装置に使用されるプローブカードを保持するプローブカード保持具に適用し得るものである。

半導体ウェハ上に形成された多数の集積回路は、半導体ウェハから切断分離される前に、検査装置によって電気的特性が検査される。このような検査装置には、各集積回路の電極端子と電気的に接触させる複数のプローブが配設されたプローブカードを用いている。

従来、作業者が検査装置にプローブカードを装着したり又は検査装置からプローブカードを取り外したりする際、作業者はプローブカードを手でハンドリングすることが多く、誤ってプローブカードに設けられているプローブに触れてしまい、プローブが欠損してしまうこともある。

特許文献１には、プローブカードの取り扱いを容易にするために、プローブカードを収納するプローブカード搬送ケースが開示されている。特許文献１に開示されるプローブカード搬送ケースは、上側ケースと下側ケースとで構成されるものである。より具体的に、作業者は、下側ケースの底部にプローブカードを位置決めしながら載置し、プローブカードを載置した状態で、下側ケースの上に上側ケースを被せて固定するものである。つまり、特許文献１に開示されるプローブカード搬送ケースは、上側ケースと下側ケースとでプローブカードを固定するものである。

特開２０１４－１０３３５８号公報

しかしながら、特許文献１に開示されるプローブカード搬送ケースの上側ケースには板状の天板部が設けられているため、天板部がプローブカードの上面に多数配置されている電子部品と接触（干渉）してしまうことがあるという問題がある。

また、特許文献１に開示されるプローブカード搬送ケースは、上側ケースと下側ケースの２つの部材でプローブカードを固定するものであるので、操作性が複雑であり、より取り扱い易いものが要求されている。

そのため、プローブカードの上面に設けられている複数の電子部品に対する干渉を回避することができ、プローブカードを保持するための操作性をより簡単に、かつ、安定的にプローブカードを保持することができるプローブカード保持具が求められている。

かかる課題を解決するために、本発明に係るプローブカード保持具は、板状のフレーム部の下面側にプローブカードを保持するプローブカード保持具であって、（１）フレーム部は、板状部材の中央部に、プローブカードと同程度の大きさの開口部を有しており、（２）フレーム部における開口部の周縁部に設けられ、プローブカードの周縁部の下面を、上方向に付勢しながら保持する複数のカード下面保持部と、（３）フレーム部における開口部の周縁部の下面に設けられ、複数のカード下面保持部により保持されるプローブカードの周縁部の上面を支持する複数のカード上面支持部とを備え、各カード下面保持部が、（１－１）フレーム部の下面から上面に向けて設けられる基部と、フレーム部の下面側にある下面支持部とを有するＬ字部材と、（１－２）Ｌ字部材の基部の先端部と連結するつまみ部と、（１－３）つまみ部とフレーム部の上面との間に設けられ、フレーム部の下面に対してＬ字部材の下面支持部を上向きに付勢する付勢部材とを有することを特徴とする。

本発明によれば、プローブカードの上面に設けられている複数の電子部品に対する干渉を回避することができ、プローブカードを保持するための操作性をより簡単に、かつ、安定的にプローブカードを保持することができる。

第１の実施形態に係るプローブカード保持具の平面図である。 第１の実施形態に係るプローブカード保持具の側面図である。 第１の実施形態に係るプローブカードの構成を示す構成図である。 第１の実施形態に係るカード下面保持部の構成を示す構成図である。 第１の実施形態に係るカード上面支持部の構成を示す構成図である。 第２の実施形態に係るプローブカード保持具の平面図である。 第２の実施形態に係るプローブカード保持具の側面図である。

（Ａ）第１の実施形態
以下では、本発明に係るプローブカード保持具の第１の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。

（Ａ－１）第１の実施形態の構成
[プローブカードの構成]
まず、第１の実施形態に係るプローブカード保持具を用いて搬送するプローブカードの構成の一例を例示する。

図３は、第１の実施形態に係るプローブカードの構成を示す構成図である。図３（Ａ）は、プローブカードの平面図であり、図３（Ｂ）は、プローブカードの側面図である。

図３（Ａ）において、第１の実施形態に係るプローブカード２００は、例えば円形又は多角形（例えば、１６角形）の板状の本体部２０１と、本体部２０１の上面周縁部において周方向に等間隔に配置されている複数の係合部２０２ａ～２０２ｆとを有する。

各係合部２０２ａ～２０２ｆは、検査装置（図示しない）のテーブルにプローブカード２００をセットする際に、検査装置のテーブルに設けられている複数の被係合部（図示しない）と係合する部分である。複数の係合部２０２ａ～２０２ｆのうち、係合部２０２ｂ、２０２ｄ、２０２ｆは、略三角形状の切り欠き部２０６とＵ字形状の係合部２０７とを有する。各係合部２０２ａ～２０２ｆが、検査装置のテーブルにおける、対応する各被係合部と係合することにより、テーブル上でプローブカード２００を位置決めすると共に、プローブカード２００を検査装置のテーブルに固定することができる。

本体部２０１には、多数のプローブ２０５が設けられており、図３（Ｂ）に示すように、本体部２０１の下面２０４において、各プローブ２０５の一端（下端部）が突出している。プローブカード２００が検査装置のテーブルにセットされて、プローブカード２００が被検査体（半導体ウェハ上の各集積回路）に対して上から下に向けて押さえ込まれることにより、本体部２０１の下面２０４から突出している各プローブ２０５の一端が被検査体の各電極に電気的に接触する。

本体部２０１の上面２０３には、当該上面２０３のほぼ一面に多数の電極（図示しない）が配置されている。図３（Ａ）では図示しないが、被検査体の電気的特性を検査するために、本体部２０１の上面には複数の電子回路が設けられており、各プローブ２０５の他端（上端部）が電子回路の電極と接触する。

なお、上述したプローブカード２００の構成は一例であり、図３に例示したものに限定されるものではない。後述するプローブカード保持具を用いて保持可能なものであれば種々のプローブカード２００を用いることができる。

[プローブカード保持具の構成]
図１は、第１の実施形態に係るプローブカード保持具の平面図である。図２は、第１の実施形態に係るプローブカード保持具の側面図である。

図１及び図２において、第１の実施形態に係るプローブカード保持具１００は、フレーム部１０１、複数（例えば４個）の位置決めブロック部１０２（１０２ａ～１０２ｄ）、複数（例えば３個）のカード下面保持部１０３（１０３ａ～１０３ｃ）、複数（例えば３個）のカード上面支持部１０４（１０４ａ～１０４ｃ）、複数（例えば２個）の把手部１０５ａ及び１０５ｂを有する。

なお、図１及び図２では、プローブカード保持具１００がプローブカード２００を保持している状態を示している。

プローブカード保持具１００は、例えば、ケースに収納されているプローブカード２００を取り出して検査装置のテーブルにプローブカード２００をセットする場合や、メンテナンスのために検査装置のテーブルからプローブカード２００を取り外すような場合に、作業者が、プローブカード保持具１００を用いてプローブカード２００をハンドリングするときに利用されるものである。

プローブカード保持具１００は、図２に示すように、各カード下面保持部１０３ａ～１０３ｃがプローブカード２００の周縁部の下面部分を支持し、各カード上面支持部１０４ａ～１０４ｃがプローブカード２００の周縁部の上面部部分を支持することにより、プローブカード２００を安定して保持するものである。

［フレーム部１０１の開口部１０１ａ］
フレーム部１０１は、プローブカード２００のサイズよりも大きい板状部材であり、フレーム部１０１の外形は略矩形形状である。なお、フレーム部１０１の外形は、特に限定されるものではなく、例えば、プローブカード２００を収納しているケースにおいて、プローブカード２００を収納しているケース内部の形状等に応じて適宜変えるようにしてもよい。

また、板状部材のフレーム部１０１の中央部には、プローブカード２００の外形サイズと同程度であり、プローブカード２００の外形形状に対応させた開口形状の開口部１０１ａが設けられている。このように、フレーム部１０１の中央部に開口部１０１ａを設けることにより、プローブカード保持具１００を用いてプローブカード２００を保持したときに、プローブカード２００の上面２０３にある複数の電子部品が、プローブカード保持具１００の部材との接触（干渉）を回避することができる。その結果、プローブカード２００に設けられている電子部品の欠損等を防止できる。

また、フレーム部１０１の中央部に開口部１０１ａがあることにより、作業者は、当該開口部１０１ａに下に保持されるプローブカード２００の上面２０３の状態を確認することができる。例えば、プローブカード２００の上面２０３に異物等の有無を確認することができる。

ここで、図２に示すように、この実施形態では、フレーム部１０１の開口部１０１ａの開口形状が、プローブカード２００の外形形状と同程度又はわずかに大きく、且つ、プローブカード２００の外形形状に対応させた形状である場合を例示している。これは、図３（Ａ）に示すように、プローブカード２００において電子部品が配置される領域が上面２０３のほぼ一面に亘る広い範囲であるためである。しかし、少なくとも、電子部品との干渉を回避することができるのであれば、開口部１０１ａの開口形状は図２に例示する形状に限定されるものではない。

［位置決めブロック部１０２］
複数の位置決めブロック部１０２ａ～１０２ｄはそれぞれ、プローブカード保持具１００でプローブカード２００を保持する際、又は、プローブカード保持具１００からプローブカード２００を取り外す際に、プローブカード保持具１００を位置決めする部材である。

この実施形態では、位置決めブロック部１０２ａ及び１０２ｄは、フレーム部１０１の４辺のうちのある１辺に設けられており、位置決めブロック部１０２ｂ及び１０２ｃは、位置決めブロック部１０２ａ及び１０２ｄに対向する辺に設けられている場合を例示している。

例えば、プローブカード２００を収納しているケース内部には、プローブカード保持具１００の各位置決めブロック部１０２ａ～１０２ｄの位置と対応する位置に、複数の位置決め部（図示しない）が設けられている。ケースに収納されているプローブカード２００をプローブカード保持具１００で取り出す際に、作業者は、プローブカード保持具１００の各位置決めブロック部１０２ａ～１０２ｄを、ケース内部の各位置決め部（図示しない）に嵌合させる。これにより、ケースに対してプローブカード保持具１００の位置を決めることができ、正しい位置及び正しい姿勢で、ケースに収納されているプローブカード２００を取り出すことができる。

また、ケース内部に設けられている複数の位置決め部（図示しない）は、ケース内部の底面から所定の高さ位置に設けられている。従って、プローブカード保持具１００の各位置決めブロック部１０２ａ～１０２ｄを、ケース内部の各位置決め部（図示しない）に嵌合させたときに、プローブカード保持具１００の開口部１０１ａの下に、プローブカード２００が位置すると共に、後述する各カード下面保持部１０３のＬ字部材２５（図４参照）を下向きに引き出したときに十分な高さを確保することができる。

また例えば、検査装置においてテーブルにも同様、プローブカード保持具１００の各位置決めブロック部１０２ａ～１０２ｄの位置と対応する位置に、複数の位置決め部（図示しない）が設けられている。プローブカード保持具１００で保持しているプローブカード２００を、検査装置のテーブルに装着する際、作業者は、プローブカード保持具１００の各位置決めブロック部１０２ａ～１０２ｄを、テーブルの各位置決め部（図示しない）に嵌合させる。これにより、検査装置のテーブルに対して、プローブカード保持具１００の位置を決めることができ、正しい位置及び正しい姿勢で、プローブカード２００をテーブルに装着することができる。

また、テーブルに設けられている複数の位置決め部（図示しない）は、テーブルの底面から所定の高さ位置に設けられている。従って、プローブカード保持具１００の各位置決めブロック部１０２ａ～１０２ｄを、ケース内部の各位置決め部（図示しない）に嵌合させたときに、プローブカード保持具１００の開口部１０１ａの下に、プローブカード２００が位置すると共に、後述する各カード下面保持部１０３のＬ字部材２５（図４参照）を下向きに引き出したときに十分な高さを確保することができる。

［カード下面保持部１０３］
複数のカード下面保持部１０３（１０３ａ～１０３ｃ）はそれぞれ、保持対象のプローブカード２００の周縁部の下面部分を、下から上に向けて付勢しながら保持するものである。各カード下面保持部１０３（１０３ａ～１０３ｃ）は、「ＯＰＥＮ」位置と「ＬＯＣＫ」位置との間で回転可能である。「ＬＯＣＫ」位置では、各カード下面保持部１０３を構成するＬ字部材２５のカード支持部２５１（図４参照）が開口部１０１ａから突出し、プローブカード２００の周縁部の下面を付勢しながら支持することができる状態となる。「ＯＰＥＮ」位置では、各カード下面保持部１０３を構成するＬ字部材２５のカード支持部２５１が開口部１０１ａから非突出となる状態となる。なお、カード下面保持部１０３の構成の詳細な説明は図４を用いて後述する。

各カード下面保持部１０３（１０３ａ～１０３ｃ）は、開口部１０１ａに対するフレーム部１０１の周縁部において周方向に略等間隔（略等角度の間隔）で配置されている。例えば、図１の例では、略６０°の間隔でフレーム部１０１の周縁部に各カード下面保持部１０３ａ～１０３ｃが配置されている。

なお、カード下面保持部１０３の数は特に限定されるものではなないが、プローブカード２００を均等に安定して保持するために、２個以上のカード下面保持部１０３を設けることが望ましい。

図４は、第１の実施形態に係るカード下面保持部１０３の構成を示す構成図である。図４（Ａ）は、下向き荷重がかかっていないときのカード下面保持部１０３の状態を示す図であり、図４（Ｂ）は、下向き荷重がかかっているときの下方押下時のカード下面保持部１０３の状態を示す図である。

図４（Ａ）及び図４（Ｂ）において、カード下面保持部１０３は、主として、つまみ部２１、第１の受け部２２、付勢部材２３、第２の受け部２４、Ｌ字部材２５を有する。

例えば、プローブカード保持具１００のフレーム部１０１に対して垂直方向の延びるＬ字部材２５の基部２５２は、フレーム部１０１の下面から、フレーム部１０１の貫通孔に差し込まれ、基部２５２の上部がフレーム部１０１の上面から突出する。フレーム部１０１の上面に突出しているＬ字部材２５の基部２５２には、第２の受け部２４の中央部に設けられた孔部（図示しない）が差し込まれ、さらに例えばコイルバネ等の付勢部材２３が設けられる。つまり、Ｌ字部材２５の基部２５２が、付勢部材２３であるコイルバネに内挿される。

さらに、基部２５２の上部を内挿している付勢部材２３の上端部を支持する第１の受け部２２が、付勢部材２３の上に設けられる。Ｌ字部材２５の基部２５２の上端部とつまみ部２１とは、例えば螺合等の連結可能な構造となっており、つまみ部２１がＬ字部材２５の基部２５２の上端部と連結される。

つまみ部２１は、作業者により操作される部分であり、付勢部材２３に対して下向き荷重を加えたり、又は、Ｌ字部材２５を回動させたりするものである。

図４（Ａ）に示すように、カード下面保持部１０３が「ＯＰＥＮ」位置にあるときは、付勢部材２３による付勢力を受けて、Ｌ字部材２５と連結しているつまみ部２１はフレーム部１０１から離れる方向に付勢するので、Ｌ字部材２５のカード支持部２５１が、プローブカード保持具１００のフレーム部１０１に対して上向きに付勢しながら、フレーム部１０１の下面に接している。

プローブカード保持具１００でプローブカード２００を保持する場合、作業者は、つまみ部２１を下向きに押し込みながら、つまみ部２１を「ＯＰＥＮ」位置から「ＬＯＣＫ」位置に回転させる。具体的には、作業者により下向き荷重がつまみ部２１に加えられると、付勢部材２３が圧縮（蓄勢）する。このとき、Ｌ字部材２５も下向きに移動するので、「ＯＰＥＮ」の位置でフレーム部１０１の下面と接していたＬ字部材２５のカード支持部２５１は、フレーム部１０１の下面から離れる方向に移動する。付勢部材２３が圧縮している状態で、作業者によりつまみ部２１が回転すると、つまみ部２１と連結しているＬ字部材２５も回動する。これにより、「ＬＯＣＫ」位置では、Ｌ字部材２５のカード支持部２５１が開口部１０１ａ側に突出し、Ｌ字部材２５のカード支持部２５１が、プローブカード２００の周縁部の下側に位置する。その後、つまみ部２１を下向きに押し込んでいる作業者がつまみ部２１を放すと、下向き荷重が開放され、圧縮（蓄勢）していた付勢部材２３が復元し、Ｌ字部材２５が上方向に移動し、Ｌ字部材２５のカード支持部２１５がプローブカード２００の周縁部の下面部分を付勢しながら支持する。

このようにして、各カード下面保持部１０３（１０３ａ～１０３ｃ）は、プローブカード２００の周縁部の下面部分を下から上に向けて保持する。また、各カード下面保持部１０３（１０３ａ～１０３ｃ）は、例えば略６０°の間隔で配置されているので、プローブカード保持具１００の下側にあるプローブカード２００を安定して保持することができる。

［カード上面支持部１０４］
複数のカード上面支持部１０４ａ～１０４ｃはそれぞれ、複数のカード下面保持部１０３（１０３ａ～１０３ｃ）が下から上に向けて保持するプローブカード２００の周縁部の上面部分を支持するものである。

各カード上面支持部１０４（１０４ａ～１０４ｃ）は、開口部１０１ａに対するフレーム部１０１の周縁部の下面に設けられる。各カード上面支持部１０４（１０４ａ～１０４ｃ）は、開口部１０１ａに対するフレーム部１０１の周縁部において周方向に略等間隔（略等角度の間隔）に配置され、かつ、各カード下面保持部１０３（１０３ａ～１０３ｃ）と対向する位置に配置される。例えば、図１の例では、略６０°の間隔でフレーム部１０１の周縁部に各カード上面支持部１０４ａ～１０４ｃが配置されている。

なお、カード上面支持部１０４の数は特に限定されるものではなないが、プローブカード２００を均等に安定して保持するために、２個以上のカード上面支持部１０４を設けることが望ましい。

また、プローブカード２００を安定して保持するために、各カード上面支持部１０４は、各カード下面保持部１０３と対向する位置に配置されることが望ましい。図１の例の場合、３個のカード下面保持部１０３ａ～１０３ｃがプローブカード２００の周縁部を下から上に向けて付勢しながら支持し、各カード下面保持部１０３ａ～１０３ｃと対向する位置にある３個のカード上面支持部１０４ａ～１０４ｃがプローブカード２００の周縁部の上面部分を支持する。これにより、バランスを保ちながらプローブカード２００を安定して保持することができる。

図５は、第１の実施形態に係るカード上面支持部１０４の構成を示す構成図である。図５（Ａ）は、カード上面支持部１０４の側面図であり、図５（Ｂ）は、カード上面支持部１０４の底面図である。

カード上面支持部１０４は、上面支持部３１、端面支持部３２を有し、上面支持部３１及び端面支持部３２は、例えば合成樹脂等で形成されたものが好ましい。上面支持部３１及び端面支持部３２は、それぞれ異なる部材であってもよいし、一体的に形成された部材であってもよい。

上面支持部３１は、各カード下面保持部１０３により下から上に向けて付勢されたプローブカード２００の周縁部の上面部分を支持するものである。図５（Ａ）に示すように、上面支持部３１の端部（図５（Ａ）の左側の端部）が、フレーム部１０１の開口部１０１ａ側の端部からわずかに突出した状態で、上面支持部３１はフレーム部１０１の下面に固定される。

端面支持部３２は、上面支持部３１の下方に設けられており、上面支持部３１の下面３１１に対して下方側に段差部３２１を形成している。端面支持部３２の段差部３２１の位置は、プローブカード２００のサイズを考慮して、プローブカード２００のサイズに対してわずかに余裕を持たせた位置に設けられている。そのため、上面支持部３１に接しているプローブカード２００の周縁部の端面は、端面支持部３２の段差部３２１に接触可能となっている。換言すると、上面支持部３１に接しているプローブカード２００の周縁部の端面は、端面支持部３２の段差部３２１に必ず接触するというものではなく、プローブカード２００がわずかに左右方向に移動したときに、プローブカード２００の周縁部の端面が端面支持部３２の段差部３２１に当たり、プローブカード２００の左右方向のブレを抑えることができる。

なお、端面支持部３２の段差部３２１は、カード上面支持部１０４の長手方向に沿って直線的にした場合を例示したが、プローブカード２００の形状に応じて、円弧状の段差部３２１としてもよい。

（Ａ－２）第１の実施形態の効果
以上のように、第１の実施形態によれば、プローブカード保持具のフレームの中央部には開口部が設けられているので、保持しているプローブカードの上面の状態を作業員が確認することができる。

また、第１の実施形態によれば、複数のカード下面保持部がプローブカードの周縁部を下から上に向けて付勢しながら支持し、各カード下面保持部と対向する位置にある複数のカード上面支持部がプローブカードの周縁部の上面部分を支持することにより、バランスを保ちながらプローブカードを安定して保持することができる。

さらに、第１の実施形態によれば、プローブカード保持具の下面側で、プローブカードを保持するものであり、各カード下面保持部のつまみ部を下向きに押しながら回転させ、その後作業員はつまみ部を離すという簡単な操作で、プローブカードを安定的に保持することができる。

また、第１の実施形態によれば、プローブカードの周縁部の上面部分を支持するカード上面支持部が段差部を有しているので、保持しているプローブカードの左右方向のズレを抑えることができる。

（Ｂ）第２の実施形態
次に、本発明に係るプローブカード保持具の第２の実施形態を、図面を参照しながら説明する。

（Ｂ－１）第２の実施形態の構成
図６は、第２の実施形態に係るプローブカード保持具の平面図である。図７は、第２の実施形態に係るプローブカード保持具の側面図である。

第２の実施形態に係るプローブカード保持具１００Ａは、フレーム部１０１、複数（例えば４個）の位置決めブロック部１０２（１０２ａ～１０２ｄ）、複数（例えば３個）のカード下面保持部３０３（３０３ａ～３０３ｃ）、複数（例えば３個）のカード上面支持部１０４（１０４ａ～１０４ｃ）、複数（例えば２個）の把手部１０５ａ及び１０５ｂを有する。

第２の実施形態のプローブカード保持具１００Ａは、各カード下面保持部３０３の構成が、第１の実施形態と異なる。従って、以下では、各カード下面保持部３０３の構成を中心に説明する。

第１の実施形態の各カード下面保持部１０３は、つまみ部２１でＬ字部材２５を回転させることで、Ｌ字部材２５のカード支持部２５１を開口部１０１ａ側に突出させるようにした。

これに対して、第２の実施形態の各カード下面保持部３０３は、フレーム部１０１において各カード下面保持部３０３自体をスライドさせることで、Ｌ字部材２５のカード支持部２５１を開口部１０１ａ側に突出させる。

各カード下面保持部３０３の基本的な構成は、第１の実施形態の図４（Ａ）及び図４（Ｂ）と対応するものを適用できる。従って、ここでも必要に応じて図４（Ａ）及び図４（Ｂ）を参照しながら、各カード下面保持部３０３の構成を説明する。

プローブカード保持具１００Ａのフレーム部１０１において、各カード下面保持部３０３（３０３ａ～３０３ｃ）の位置には、「ＯＰＥＮ」位置から「ＬＯＣＫ」位置までスライドする各カード下面保持部３０３（３０３ａ～３０３ｃ）をガイドするガイド部３０６（３０６ａ～３０６ｃ）が設けられている。ガイド部３０６（３０６ａ～３０６ｃ）は、例えば、長穴等とすることができる。

各カード下面保持部３０３が「ＯＰＥＮ」位置にあるときは、付勢部材２３による付勢力を受けて、Ｌ字部材２５と連結しているつまみ部２１はフレーム部１０１から離れる方向に付勢するので、Ｌ字部材２５のカード支持部２５１が、プローブカード保持具１００Ａのフレーム部１０１に対して上向きに付勢しながら、フレーム部１０１の下面に接している。

プローブカード保持具１００Ａでプローブカード２００を保持する場合、作業者は、つまみ部２１を下向きに押し込みながら、つまみ部２１を「ＯＰＥＮ」位置から「ＬＯＣＫ」位置にスライドさせる。

具体的には、作業者により下向き荷重がつまみ部２１に加えられると、付勢部材２３が圧縮（蓄勢）する。Ｌ字部材２５も下向きに移動するので、フレーム部１０１の下面と接していたＬ字部材２５のカード支持部２５１は、フレーム部１０１の下面から離れる方向に移動する。付勢部材２３が圧縮している状態で、作業者によりつまみ部２１を開口部１０１ａ側に移動させることで、つまみ部２１と連結しているＬ字部材２５も開口部１０１ａ側に移動する。「ＬＯＣＫ」位置では、Ｌ字部材２５のカード支持部２５１が開口部１０１ａ側に突出し、Ｌ字部材２５のカード支持部２５１が、プローブカード２００の周縁部の下側に位置する。その後、つまみ部２１を下向きに押し込んでいる作業者がつまみ部２１を放すと、下向き荷重が開放され、圧縮（蓄勢）していた付勢部材２３が復元し、Ｌ字部材２５が上方向に移動し、Ｌ字部材２５のカード支持部２１５がプローブカード２００の周縁部の下面部分を付勢しながら支持する。

このように、各カード下面保持部３０３ａ～３０３ｃは、プローブカード２００の周縁部の下面部分を下から上に向けて付勢しながら支持することができる。

また、第１の実施形態と同様に、各カード上面支持部１０４は、プローブカード２００の周縁部の上面部分を支持するので、バランスを保ちながらプローブカードを安定して保持することができる。

（Ｂ－２）第２の実施形態の効果
以上のように、第２の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を奏する。

また、第２の実施形態によれば、各カード下面保持部のつまみ部を下向きに押しながらスライドさせるという簡単な操作で、プローブカードを安定的に保持することができる。

１００及び１００Ａ…プローブカード保持具、１０１…フレーム部１０１…開口部、１０２（１０２ａ～１０２ｃ）…位置決めブロック部、
１０３（１０３ａ～１０３ｃ）及び３０３（３０３ａ～３０３ｃ）…カード下面保持部、２１…つまみ部、２２…第１の受け部、２３…付勢部材、２４…第２の受け部、２５…Ｌ字部材、２５１…カード支持部、２５２…基部、
１０４（１０４ａ～１０４ｃ）…カード上面支持部、３１…上面支持部、３１１…下面、３２…端面支持部、３２１…段差部、
１０５ａ及び１０５ｂ…把手部、３０６ａ～３０６ｃ…ガイド部。

Claims (5)

1. 板状のフレーム部の下面側にプローブカードを保持するプローブカード保持具であって、
   上記フレーム部は、板状部材の中央部に、上記プローブカードと同程度の大きさの開口部を有しており、
   上記フレーム部における上記開口部の周縁部に設けられ、上記プローブカードの周縁部の下面を、上方向に付勢しながら保持する複数のカード下面保持部と、
   上記フレーム部における上記開口部の周縁部の下面に設けられ、上記複数のカード下面保持部により保持される上記プローブカードの周縁部の上面を支持する複数のカード上面支持部と
   を備え、
   上記各カード下面保持部が、
   上記フレーム部の下面から上面に向けて設けられる基部と、上記フレーム部の下面側にある下面支持部とを有するＬ字部材と、
   上記Ｌ字部材の上記基部の先端部と連結するつまみ部と、
   上記つまみ部と上記フレーム部の上面との間に設けられ、上記フレーム部の下面に対して上記Ｌ字部材の上記下面支持部を上向きに付勢する付勢部材と
   を有する
   ことを特徴とするプローブカード保持具。
2. 上記各カード下面保持部の上記つまみ部が回転可能なものであり、
   上記つまみ部の回転により、上記つまみ部と連結する上記Ｌ字部材の上記下面支持部が、上記フレーム部の上記開口部側に突出するものである
   ことを特徴とする請求項１に記載のプローブカード保持具。
3. 上記各カード下面保持部の上記つまみ部が上記フレーム部の上記開口部側にスライド可能なものであり、
   上記つまみ部のスライドにより、上記つまみ部と連結する上記Ｌ字部材の上記下面支持部が、上記フレーム部の上記開口部側に突出するものである
   ことを特徴とする請求項１に記載のプローブカード保持具。
4. 上記各カード上面支持部が、上記プローブカードの周縁部の上面を支持する上面支持部と、上記プローブカードの周縁部の端面を支持する段差部とを有することを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載のプローブカード保持具。
5. 上記複数のカード下面保持部が、上記フレーム部における上記開口部の周縁部の周方向に略等間隔に設けられ、
   上記複数のカード上面支持部が、上記フレーム部における上記開口部の周縁部の周方向に略等間隔に、かつ、上記各カード下面保持部と対向する位置に設けられている
   ことを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載のプローブカード保持具。

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