KR102193447B1 - 테스트 소켓 - Google Patents

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KR102193447B1
KR102193447B1 KR1020190162819A KR20190162819A KR102193447B1 KR 102193447 B1 KR102193447 B1 KR 102193447B1 KR 1020190162819 A KR1020190162819 A KR 1020190162819A KR 20190162819 A KR20190162819 A KR 20190162819A KR 102193447 B1 KR102193447 B1 KR 102193447B1
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오창수
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(주)티에스이
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Abstract

본 발명에 따른 테스트 소켓은, 테스트 신호를 발생하는 테스터와 피검사체를 전기적으로 매개하는 테스트 소켓에 있어서, 소켓 하우징 홀을 갖는 소켓 하우징과, 테스터와 피검사체 사이에서 전기 신호를 전달할 수 있도록 소켓 하우징 홀 속에 배치되는 복수의 검사용 프로브와, 검사용 프로브의 하부 끝단이 삽입되는 복수의 지지 플레이트 홀을 구비하고 소켓 하우징에 결합되어 복수의 검사용 프로브를 틸팅 가능하게 지지하는 지지 플레이트와, 피검사체가 수용될 수 있도록 상측으로 개방된 피검사체 수용홈 및 검사용 프로브가 삽입될 수 있도록 하측으로 개방된 플로팅 가이드 홀을 구비하고 소켓 하우징 홀 속에 배치되어 피검사체를 검사용 프로브 측으로 가이드하는 플로팅 가이드와, 플로팅 가이드의 외측 가장자리에 접하여 플로팅 가이드를 탄력적으로 지지할 수 있도록 소켓 하우징에 설치되는 탄성 지지기구를 포함한다. 소켓 하우징의 내측면과 플로팅 가이드의 외측 가장자리 사이에는 간극이 마련되어 플로팅 가이드는 검사용 프로브의 길이 방향과 교차하는 방향으로 유동 가능하되, 탄성 지지기구의 탄성력에 의해 원상 복귀될 수 있다.

Description

테스트 소켓{TEST SOCKET}
본 발명은 테스트 소켓에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피검사체의 테스트를 위한 검사용 프로브와 피검사체 간의 위치를 정렬시켜주는 플로팅 가이드가 유동 가능한 구조를 취하여 피검사체와 검사용 프로브가 간의 안정적인 컨텍이 가능한 테스트 소켓에 관한 것이다.
반도체 패키지는 미세한 전자회로가 고밀도로 집적되어 형성되어 있으며, 제조공정 중에 각 전자회로의 정상 여부에 대한 테스트 공정을 거치게 된다. 테스트 공정은 반도체 패키지가 정상적으로 동작하는지 여부를 테스트하여 양품과 불량품을 선별하는 공정이다.
반도체 패키지의 테스트에는 반도체 패키지의 단자와 테스트 신호를 인가하는 테스터를 전기적으로 연결하는 반도체 검사용 테스트 소켓이 이용된다.
반도체 테스트 소켓은 반도체 패키지 등의 피검사체를 검사하기 위한 장치로 피검사체와 테스터를 전기적으로 연결시켜 주는 검사용 프로브와, 이를 수용하고 위치 정렬 기능을 하는 하우징과, 하우징에서 피검사체와 검사용 프로브 간의 위치를 정렬시키기 위한 플로팅 가이드를 포함한다. 플로팅 가이드는 피검사체와 검사용 프로브 간의 위치를 정밀하게 잡아주기 위해 제작 공차가 매우 정밀해야 한다.
피검사체와 검사용 프로브 간의 접촉 위치를 결정하는 중요한 요소인 플로팅 가이드는 테스트 공정 중에서 정밀하게 제작된 수용부가 파손되는 일이 빈번하게 발생한다. 그리고 핸들러 설비에서 피검사체의 위치가 조금이라도 틀어질 경우, X축 방향 및 Y축 방향의 위치가 고정되어 있는 플로팅 가이드와 피검사체가 간섭을 일으키게 되고, 간섭이 심할 경우에는 플로팅 가이드가 파손되어 교체를 해야 하는 상황이 발생하게 된다.
또한, 플로팅 가이드와 피검사체 간의 간섭 시, 미세한 이물질이 발생하여 플로팅 가이드 내에 잔존하거나 검사용 프로브의 팁을 오염시킬 수 있다. 이 경우, 테스트 수율이 저하되는 문제가 발생할 수 있다.
또한, 플로팅 가이드와 피검사체 간의 간섭 시, 테스트 소켓의 손상뿐만이 아니라 피검사체에도 과도한 압력이 가해져 피검사체가 손상될 수 있다.
공개특허공보 제2016-0118796호 (2016. 10. 12.)
본 발명은 상술한 바와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로, 플로팅 가이드가 유동성이 있어 피검사체가 위치가 틀어진 상태로 접근하더라도 피검사체의 컨텍 시 플로팅 가이드가 틀어진 위치만큼 검사용 프로브와 함께 움직임으로써 피검사체와 검사용 프로브 간의 안정적인 컨텍을 가능하게 하고, 간섭에 의한 파손을 줄일 수 있는 테스트 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 바와 같은 목적을 해결하기 위한 본 발명에 따른 테스트 소켓은, 테스트 신호를 발생하는 테스터와 피검사체를 전기적으로 매개하는 테스트 소켓에 있어서, 소켓 하우징 홀을 갖는 소켓 하우징; 상기 테스터와 상기 피검사체 사이에서 전기 신호를 전달할 수 있도록 상기 소켓 하우징 홀 속에 배치되는 복수의 검사용 프로브; 상기 검사용 프로브의 하부 끝단이 삽입되는 복수의 지지 플레이트 홀을 구비하고, 상기 소켓 하우징에 결합되어 상기 복수의 검사용 프로브를 틸팅 가능하게 지지하는 지지 플레이트; 상기 피검사체가 수용될 수 있도록 상측으로 개방된 피검사체 수용홈과, 상기 검사용 프로브가 삽입될 수 있도록 하측으로 개방된 플로팅 가이드 홀을 구비하고, 상기 소켓 하우징 홀 속에 배치되어 상기 피검사체를 상기 검사용 프로브 측으로 가이드하는 플로팅 가이드; 및 상기 플로팅 가이드와 상기 소켓 하우징의 사이에 배치되어 상기 플로팅 가이드를 탄력적으로 지지할 수 있는 탄성 지지기구;를 포함하고, 상기 소켓 하우징의 내측면과 상기 플로팅 가이드의 외측 가장자리 사이에는 간극이 마련되어 상기 플로팅 가이드는 상기 검사용 프로브의 길이 방향과 교차하는 방향으로 유동 가능하되, 상기 탄성 지지기구의 탄성력에 의해 원상 복귀될 수 있다.
본 발명에 따른 테스트 소켓은, 상기 플로팅 가이드와 상기 소켓 하우징의 사이에 배치되어 상기 플로팅 가이드를 상기 검사용 프로브의 길이 방향과 평행한 방향으로 유동 가능하도록 탄력적으로 떠받치는 탄성 받침대;를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 테스트 소켓은, 상기 소켓 하우징에 설치되며, 상기 플로팅 가이드가 상기 소켓 하우징 홀을 벗어나지 못하도록 상기 플로팅 가이드의 유동 거리를 제한하는 스토퍼;를 포함할 수 있다.
상기 플로팅 가이드의 외측면에는 상기 검사용 프로브의 길이 방향과 평행한 방향으로 연장되는 사이드홈이 마련되고, 상기 탄성 지지기구는 한쪽 끝단이 상기 사이드홈에 삽입되어 상기 플로팅 가이드가 상기 소켓 하우징 홀을 벗어나지 못하도록 상기 플로팅 가이드의 유동 거리를 제한할 수 있다.
상기 소켓 하우징에는 상기 검사용 프로브의 길이 방향과 평행한 방향으로 연장되는 사이드홈이 마련되고, 상기 탄성 지지기구는 한쪽 끝단이 상기 사이드홈에 삽입되어 상기 플로팅 가이드가 상기 소켓 하우징 홀을 벗어나지 못하도록 상기 플로팅 가이드의 유동 거리를 제한할 수 있다.
상기 탄성 지지기구는 상기 플로팅 가이드를 전후좌우 방향에서 탄력적으로 지지할 수 있도록 복수 개가 구비될 수 있다.
본 발명에 따른 테스트 소켓은, 상기 검사용 프로브의 중간 부분이 통과할 수 있는 복수의 가이드 플레이트 홀을 구비하고, 상기 지지 플레이트와 상기 플로팅 가이드 사이에 배치되어 상기 복수의 검사용 프로브를 틸팅 가능하게 지지하는 가이드 플레이트;를 포함하되, 상기 검사용 프로브의 중간 부분이 상기 가이드 플레이트 홀 속에서 전후좌우 방향으로 유동할 수 있도록 상기 가이드 플레이트 홀의 폭은 상기 검사용 프로브의 중간 부분 두께보다 클 수 있다.
상기 탄성 지지기구는 그 자체가 탄성력을 갖도록 탄력성 소재로 이루어질 수 있다.
상기 탄성 지지기구는, 상기 플로팅 가이드의 외측 가장자리에 접하는 접촉부재와, 상기 접촉부재를 상기 플로팅 가이드의 외측 가장자리 측으로 가압하도록 상기 접촉부재에 탄성력을 가하는 탄성부재를 포함할 수 있다.
상기 탄성 지지기구는, 상기 소켓 하우징에 접하는 접촉부재와, 상기 접촉부재를 상기 소켓 하우징 측으로 가압하도록 상기 접촉부재에 탄성력을 가하는 탄성부재를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 테스트 소켓은, 피검사체를 검사용 프로브 측으로 가이드하는 플로팅 가이드가 소켓 하우징 내에서 유동성을 갖는다. 따라서, 피검사체가 위치가 틀어진 상태로 접근하더라도 피검사체의 컨텍 시 플로팅 가이드가 틀어진 위치만큼 검사용 프로브와 함께 움직임으로써 피검사체와 검사용 프로브 간의 안정적인 컨텍을 가능하게 한다.
또한, 본 발명에 따른 테스트 소켓은, 피검사체가 플로팅 가이드에 접할 때 피검사체와 플로팅 가이드 간의 충격이 감소된다. 따라서, 피검사체나 플로팅 가이드의 파손 위험이 적고, 플로팅 가이드의 수명이 증대될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 테스트 소켓은, 플로팅 가이드와 피검사체 간의 간섭 시, 미세한 이물질이 발생하는 문제를 줄이고, 미세한 이물질에 의한 검사용 프로브의 오염을 줄일 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 테스트 소켓은, 피검사체의 손상 및 파손을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 테스트 소켓을 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 테스트 소켓에 피검사체가 장착되는 과정을 나타낸 것이다.
도 3은 도 2의 A부분을 확대하여 나타낸 것이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 테스트 소켓에 피검사체가 장착된 모습을 나타낸 것이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 테스트 소켓을 나타낸 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 테스트 소켓을 나타낸 단면도이다.
도 7은 도 6에 나타낸 테스트 소켓의 검사용 프로브와 가이드 플레이트의 일부분을 확대하여 나타낸 것이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 테스트 소켓을 나타낸 단면도이다.
이하, 본 발명에 따른 테스트 소켓을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 테스트 소켓을 나타낸 단면도이이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 테스트 소켓에 피검사체가 장착되는 과정을 나타낸 것이다.
도면에 나타낸 것과 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 테스트 소켓(100)은 테스터(20)와 피검사체(10)를 전기적으로 매개하기 위한 것으로, 테스터(20)와 결합되는 소켓 하우징(110)과, 테스터(20)와 피검사체(10)를 전기적으로 연결할 수 있도록 소켓 하우징(110)의 내측에 배치되는 복수의 검사용 프로브(130)와, 피검사체(10)를 검사용 프로브(130) 측으로 가이드하기 위해 소켓 하우징(110)의 내측에 배치되는 플로팅 가이드(140)와, 플로팅 가이드(140)를 탄력적으로 지지하는 탄성 받침대(150) 및 탄성 지지기구(160)를 포함한다. 이러한 테스트 소켓(100)은 복수의 검사용 프로브(130)가 테스터(20)와 피검사체(10)를 전기적으로 연결함으로써, 테스터(20)에서 발생하는 테스트 신호를 피검사체(10)에 전달하고, 피검사체의 전기 신호를 테스터(20)에 전달할 수 있다.
소켓 하우징(110)은 복수의 검사용 프로브(130)를 수용하고, 픽커(30)에 의해 검사 위치로 운반되는 피검사체(10)의 단자(11)와 동일한 위치로 검사용 프로브(130)를 정렬하기 위한 것으로, 테스터(20)와 결합될 수 있다. 소켓 하우징(110)의 안쪽으로는 소켓 하우징 홀(111)이 마련된다. 소켓 하우징 홀(111)은 소켓 하우징(110)의 중앙 부분에 소켓 하우징(110)을 두께 방향으로 관통하도록 형성된다. 소켓 하우징(110)의 내측면에는 탄성 지지기구(160)가 부분적으로 삽입될 수 있는 복수의 삽입홈(112)이 구비된다.
소켓 하우징(110)의 하면 측에는 소켓 하우징(110)의 개방된 하면을 덮는 지지 플레이트(120)가 결합된다. 지지 플레이트(120)는 소켓 하우징(110)에 결합되어 복수의 검사용 프로브(130)를 틸팅 가능하게 지지한다. 지지 플레이트(120)에는 검사용 프로브(130)의 하부 끝단(131)이 삽입되는 복수의 지지 플레이트 홀(121)이 마련된다. 지지 플레이트 홀(121)의 폭은 검사용 프로브(130)의 하부 끝단(131) 두께보다 크다. 따라서, 검사용 프로브(130)의 하부 끝단(131)이 지지 플레이트 홀(121) 속에서 전후좌우 방향으로 유동할 수 있으며, 검사용 프로브(130)는 지지 플레이트(120)에 대해 틸팅될 수 있다.
검사용 프로브(130)는 테스터(20)와 피검사체(10) 사이에서 전기 신호를 전달할 수 있도록 복수 개가 소켓 하우징 홀(111) 속에 배치된다. 복수의 검사용 프로브(130)는 피검사체(10)에 구비되는 복수의 단자(11)에 상응하도록 정렬되어 소켓 하우징 홀(111) 속에 배치될 수 있다. 검사용 프로브(130)는 통상의 검사용 프로브와 같이 일정한 길이를 갖는 막대 형태로 이루어지고, 테스터(20)에 접속되는 하부 끝단(131)과, 피검사체(10)에 접촉되는 상부 끝단(132)과, 하부 끝단(131)과 상부 끝단(132) 사이의 중간 부분(133)을 포함할 수 있다.
검사용 프로브(130)의 구체적인 구조나 배치 형태는 도시된 것으로 한정되지 않고 다양하게 변경될 수 있다.
플로팅 가이드(140)는 피검사체(10)를 수용하고, 피검사체(10)의 단자(11)와 검사용 프로브(130) 간의 컨텍 위치를 잡아주는 역할을 한다. 플로팅 가이드(140)는 피검사체(10)가 수용될 수 있도록 상측으로 개방된 피검사체 수용홈(141)과, 검사용 프로브(130)가 삽입될 수 있도록 하측으로 개방된 복수의 플로팅 가이드 홀(142)을 구비한다. 피검사체(10)가 피검사체 수용홈(141) 속의 컨텍 위치에 놓이면 검사용 프로브(130)의 상부 끝단(132)이 플로팅 가이드 홀(142)을 통해 피검사체(10)의 단자(11)와 접촉할 수 있다.
피검사체 수용홈(141)의 둘레로는 피검사체(10)를 플로팅 가이드 홀(142) 측으로 가이드하기 위한 경사면(143)이 마련된다. 도 2에 나타낸 것과 같이, 픽커(30)에 의해 파지된 피검사체(10)의 위치가 틀어져 있거나 한쪽으로 쏠려 있는 경우, 경사면(143)이 피검사체(10)를 플로팅 가이드 홀(142)이 위치한 플로팅 가이드(140)의 중앙 측으로 가이드할 수 있다.
플로팅 가이드(140)의 상면에는 결합홈(144)이 형성된다. 결합홈(144)에는 후술할 스토퍼(170)가 부분적으로 삽입될 수 있다.
플로팅 가이드(140)는 소켓 하우징 홀(111) 속에 유동 가능하게 배치된다. 즉, 소켓 하우징(110)의 내측면과 플로팅 가이드(140)의 외측 가장자리 사이에는 간극(G)이 마련되어 플로팅 가이드(140)의 외측 가장자리는 전체적으로 소켓 하우징(110)의 내측면으로부터 이격된다. 종래의 테스트 소켓은 플로팅 가이드의 외측 가장자리가 소켓 하우징의 내측면에 접하도록 플로팅 가이드가 소켓 하우징에 결합되었다. 따라서, 종래의 테스트 소켓은 플로팅 가이드가 전후좌우 방향으로 움직일 수 없지만, 본 발명에 따른 테스트 소켓(100)은 플로팅 가이드(140)가 소켓 하우징 홀(111) 속에서 검사용 프로브(130)의 길이 방향과 교차하는 방향으로 유동할 수 있다. 플로팅 가이드(140)는 탄성 받침대(150) 및 탄성 지지기구(160)에 의해 지지됨으로써 상하전후좌우 방향 및 다양한 방향으로 유동할 수 있다.
탄성 받침대(150)는 플로팅 가이드(140)와 소켓 하우징(110)의 사이에 배치되어 플로팅 가이드(140)의 하면을 탄력적으로 지지한다. 즉, 탄성 받침대(150)는 플로팅 가이드(140)를 검사용 프로브(130)의 길이 방향과 평행한 방향으로 유동할 수 있도록 탄력적으로 떠받친다. 탄성 받침대(150)에 의해 플로팅 가이드(140)는 도면 상 상하 방향으로 유동할 수 있다. 탄성 받침대(150)가 플로팅 가이드(140)를 탄력적으로 지지함으로써, 피검사체(10)가 플로팅 가이드(140)에 접촉될 때 충격이 완충될 수 있고, 플로팅 가이드(140)나 피검사체(10)가 손상되는 문제를 줄일 수 있다.
탄성 받침대(150)는 도시된 것과 같은 코일 스프링 등의 스프링 구조나, 자체가 탄성력을 갖도록 고무나 실리콘 등의 탄력성 소재로 이루어지는 구조 등 플로팅 가이드(140)를 탄력적으로 지지할 수 있는 다양한 구조를 취할 수 있다. 또한, 탄성 받침대(150)의 설치 개수도 도시된 것으로 한정되지 않고 다양하게 변경될 수 있다.
탄성 지지기구(160)는 플로팅 가이드(140)의 외측 가장자리에 접하여 플로팅 가이드(140)를 탄력적으로 지지할 수 있도록 소켓 하우징(110)에 설치된다. 탄성 지지기구(160)는 그 일부분이 소켓 하우징(110)의 삽입홈(112)에 삽입되어 소켓 하우징(110)에 안정적으로 결합될 수 있다. 탄성 지지기구(160)는 그 한 쪽 끝단이 플로팅 가이드(140)의 외측 가장자리에 접함으로써 플로팅 가이드(140)에 탄성력을 가할 수 있다. 탄성 지지기구(160)는 복수 개가 플로팅 가이드(140)의 외측 가장자리를 따라 배치됨으로써 플로팅 가이드(140)를 전후좌우 방향에서 탄력적으로 지지할 수 있다.
이러한 탄성 지지기구(160)는 플로팅 가이드(140)를 탄력적으로 지지함으로써, 플로팅 가이드(140)가 과도하게 흔들리지 않고 부드럽게 유동할 수 있도록 하고, 검사용 프로브(130)의 길이 방향과 교차하는 방향으로 유동한 플로팅 가이드(140)를 원상 복귀시킬 수 있다.
탄성 지지기구(160)는 자체가 탄성력을 갖도록 고무나 실리콘 등의 탄력성 소재로 이루어지는 구조나, 스프링 구조 등 플로팅 가이드(140)를 탄력적으로 지지할 수 있는 다양한 구조를 취할 수 있다. 또한, 탄성 지지기구(160)의 설치 개수도 도시된 것으로 한정되지 않고 다양하게 변경될 수 있다.
이 밖에, 본 발명의 일실시예에 따른 테스트 소켓(100)은 스토퍼(170)를 포함한다. 스토퍼(170)는 소켓 하우징(110)에 설치되어 플로팅 가이드(140)의 유동 거리를 제한한다. 즉, 스토퍼(170)는 도면 상 플로팅 가이드(140)의 상하 유동 거리를 제한함으로써 플로팅 가이드(140)가 소켓 하우징 홀(111)을 벗어나지 못하도록 한다. 도시된 것과 같이, 스토퍼(170)는 그 일부분이 플로팅 가이드(140)의 결합홈(144)에 삽입되도록 소켓 하우징(110)에 결합될 수 있다. 이와 같이, 스토퍼(170)가 플로팅 가이드(140)의 상면을 부분적으로 덮는 구조를 취함으로써, 스토퍼(170)는 플로팅 가이드(140)의 전후좌우 유동에는 영향을 주지 않고 플로팅 가이드(140)가 검사용 프로브(130)의 길이 방향과 평행한 방향으로 움직이는 유동 거리, 즉 도면 상 플로팅 가이드(140)의 상하 유동 거리를 제한할 수 있다. 스토퍼(170)는 도시된 구조 이외에, 플로팅 가이드(140)에 대해 검사용 프로브(130)의 길이 방향과 평행한 방향으로의 유동 거리를 제한할 수 있는 다양한 다른 구조를 취할 수 있다.
이러한 본 발명의 일실시예에 따른 테스트 소켓(100)은 피검사체(10)를 검사용 프로브(130) 측으로 가이드하는 플로팅 가이드(140)가 유동성이 있어 피검사체(10)가 위치가 틀어진 상태로 접근하더라도 피검사체(10)의 컨텍 시 플로팅 가이드(140)가 틀어진 위치만큼 검사용 프로브(130)와 함께 움직일 수 있다. 따라서, 피검사체(10)와 검사용 프로브(130) 간의 안정적인 컨텍을 가능하게 한다.
예를 들어, 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이, 피검사체(10)가 한쪽으로 치우친 상태로 픽커(30)에 파지되어 플로팅 가이드(140)의 피검사체 수용홈(141) 속으로 진입하는 경우, 피검사체(10)의 외측 가장자리가 플로팅 가이드(140)의 경사면(143)에 접하게 된다. 이 상태에서 픽커(30)가 피검사체(10)를 더욱 하강시켜면, 플로팅 가이드(140)가 피검사체(10)에 의해 가압되어 검사용 프로브(130)의 길이 방향과 교차하는 방향으로 유동하게 되고, 복수의 검사용 프로브(130)가 플로팅 가이드(140)의 유동 방향으로 기울어지게 된다. 따라서, 도 4에 나타낸 것과 같이, 피검사체(10)는 플로팅 가이드(140) 안쪽의 컨택 위치에 안정적으로 도달하며, 피검사체(10)의 단자(11)가 검사용 프로브(130)의 상부 끝단(132)이 위치하는 플로팅 가이드(140)의 플로팅 가이드 홀(142)에 진입할 수 있다. 이때, 픽커(30)가 피검사체(10)를 더욱 하강시키면, 플로팅 가이드(140)가 검사용 프로브(130) 측으로 밀려 피검사체(10)의 단자(11)와 검사용 프로브(130)가 접속되고, 피검사체(10)에 대한 테스트가 이루어질 수 있다.
피검사체(10)에 대한 테스트 후, 픽커(30)가 플로팅 가이드(140)에서 분리하면 플로팅 가이드(140)는 탄성 지지기구(160)의 탄성력에 의해 원상 복귀되고, 한 쪽으로 기울어졌던 복수의 검사용 프로브(130) 또한 원상 복귀될 수 있다.
한편, 도 5 내지 도 8은 본 발명에 따른 테스트 소켓의 다양한 변형예를 나타낸 것이다.
도 5에 나타낸 테스트 소켓(200)은 소켓 하우징(110)과, 테스터(20)와 피검사체를 전기적으로 연결할 수 있도록 소켓 하우징(110)의 내측에 배치되는 복수의 검사용 프로브(130)와, 피검사체(10)를 검사용 프로브(130) 측으로 가이드하기 위해 소켓 하우징(110)의 내측에 배치되는 플로팅 가이드(210)와, 플로팅 가이드(210)를 탄력적으로 지지하는 탄성 받침대(150) 및 탄성 지지기구(160)를 포함한다. 이러한 테스트 소켓(200)은 앞서 설명한 테스트 소켓(100)과 비교하여 스토퍼(170)가 생략되고 플로팅 가이드(210)의 구조가 다소 변형된 것이다.
플로팅 가이드(210)는 피검사체(10)가 수용될 수 있도록 상측으로 개방된 피검사체 수용홈(141)과, 검사용 프로브(130)가 삽입될 수 있도록 하측으로 개방된 복수의 플로팅 가이드 홀(142)과, 복수의 사이드홈(211)을 포함한다. 사이드홈(211)은 플로팅 가이드(210)의 외측면에 검사용 프로브(130)의 길이 방향과 평행한 방향으로 연장되도록 형성된다. 사이드홈(211)에는 플로팅 가이드(210)를 탄력적으로 지지하는 탄성 지지기구(160)가 부분적으로 삽입된다.
이러한 테스트 소켓(200)은 탄성 지지기구(160)의 한쪽 끝단이 사이드홈(211)에 삽입됨으로써, 플로팅 가이드(210)가 소켓 하우징 홀(111)을 벗어나지 못하도록 플로팅 가이드(140)의 유동 거리를 제한하게 된다. 즉, 탄성 지지기구(160)가 플로팅 가이드(210)의 유동 거리를 제한하는 스토퍼 역할을 할 수 있다. 구체적으로, 플로팅 가이드(210)가 검사용 프로브(130)의 길이 방향과 평행한 방향으로 일정 거리 이상 움직일 때, 사이드홈(211)에 삽입된 탄성 지지기구(160)가 플로팅 가이드(210)에 걸림으로써 플로팅 가이드(210)가 소켓 하우징 홀(111)을 벗어나지 못하게 된다.
플로팅 가이드(210)에 구비되는 사이드홈(211)의 형상이나, 개수, 배치 구조는 도시된 것으로 한정되지 않고 다양하게 변경될 수 있다.
또한, 도면에는 탄성 지지기구(160)가 소켓 하우징(110)에 결합되고, 사이드홈(211)이 플로팅 가이드(210)에 형성되는 것으로 나타냈으나, 탄성 지지기구의 결합 위치와 사이드홈의 형성 위치는 변경될 수 있다.
즉, 탄성 지지기구가 플로팅 가이드에 결합되고, 소켓 하우징에 검사용 프로브(130)의 길이 방향과 평행한 방향으로 연장되는 사이드홈이 마련될 수 있다. 이 경우, 탄성 지지기구가 플로팅 가이드와 함께 검사용 프로브(130)의 길이 방향과 평행한 방향으로 유동하되, 그 한쪽 끝단이 소켓 하우징의 사이드홈에 삽입되어 플로팅 가이드가 소켓 하우징 홀을 벗어나지 못하도록 플로팅 가이드의 유동 거리를 제한할 수 있다.
도 6 및 도 7에 나타낸 테스트 소켓(300)은 소켓 하우징(110)과, 테스터(20)와 피검사체를 전기적으로 연결할 수 있도록 소켓 하우징(110)의 내측에 배치되는 복수의 검사용 프로브(130)와, 피검사체(10)를 검사용 프로브(130) 측으로 가이드하기 위해 소켓 하우징(110)의 내측에 배치되는 플로팅 가이드(140)와, 플로팅 가이드(140)를 탄력적으로 지지하는 탄성 받침대(150) 및 탄성 지지기구(160)와, 복수의 검사용 프로브(130)를 지지하는 가이드 플레이트(310)를 포함한다. 이러한 테스트 소켓(300)은 도 1에 나타낸 테스트 소켓(100)과 비교하여 가이드 플레이트(310)를 더 포함하는 것으로, 나머지 구성은 상술한 것과 같다.
가이드 플레이트(310)는 지지 플레이트(120)와 플로팅 가이드(140) 사이에 배치되어 복수의 검사용 프로브(130)를 틸팅 가능하게 지지한다. 가이드 플레이트(310)는 검사용 프로브(130)의 중간 부분(133)이 통과할 수 있는 복수의 가이드 플레이트 홀(311)을 구비한다. 가이드 플레이트 홀(311)의 폭은 검사용 프로브(130)의 중간 부분(133) 두께보다 크다. 따라서, 검사용 프로브(130)의 중간 부분(133)이 가이드 플레이트 홀(311) 속에서 전후좌우 방향으로 유동할 수 있다. 이러한 가이드 플레이트(310)는 테스트 소켓(300)의 조립 시, 검사용 프로브들(130)의 위치를 잡아주어 검사용 프로브들(130)의 조립성을 향상시켜준다. 또한, 가이드 플레이트(310)는 플로팅 가이드(140)의 유동에 따라 검사용 프로브(130)가 기울어질 때 검사용 프로브(130)의 움직임을 방해하지 않으면서 검사용 프로브(130)를 지지할 수 있다.
도면에는 가이드 플레이트(310)가 소켓 하우징(110)과 지지 플레이트(120) 사이에 끼이는 방식으로 지지 플레이트(120)와 플로팅 가이드(140) 사이에 설치되는 것으로 나타냈으나, 가이드 플레이트(310)는 다양한 다른 방식으로 설치될 수 있다.
한편, 도 8에 나타낸 테스트 소켓(400)은 소켓 하우징(110)과, 테스터(20)와 피검사체를 전기적으로 연결할 수 있도록 소켓 하우징(110)의 내측에 배치되는 복수의 검사용 프로브(130)와, 피검사체(10)를 검사용 프로브(130) 측으로 가이드하기 위해 소켓 하우징(110)의 내측에 배치되는 플로팅 가이드(140)와, 플로팅 가이드(140)를 탄력적으로 지지하는 탄성 받침대(150) 및 탄성 지지기구(410)를 포함한다. 이러한 테스트 소켓(400)은 도 1에 나타낸 테스트 소켓(100)과 비교하여 탄성 지지기구(410)의 구조가 변형된 것이다.
탄성 지지기구(410)는 플로팅 가이드(140)의 외측 가장자리에 접하는 접촉부재(411)와, 접촉부재(411)를 플로팅 가이드(140)의 외측 가장자리 측으로 가압하도록 접촉부재(411)에 탄성력을 가하는 탄성부재(412)를 포함한다. 탄성부재(412)는 소켓 하우징(110)의 내면에 마련되는 삽입홈(112)에 삽입된다. 접촉부재(411)는 삽입홈(112)에 부분적으로 삽입되어 삽입홈(112) 속에서 움직일 수 있다.
탄성 지지기구(410)는 복수 개가 플로팅 가이드(140)의 외측 가장자리를 따라 배치될 수 있다. 이러한 탄성 지지기구(410)는 플로팅 가이드(140)를 전후좌우 방향에서 탄력적으로 지지함으로써 플로팅 가이드(140)가 과도하게 흔들리지 않고 부드럽게 유동할 수 있도록 하고, 검사용 프로브(130)의 길이 방향과 교차하는 방향으로 유동한 플로팅 가이드(140)를 원상 복귀시킬 수 있다.
본 실시예에서, 탄성 지지기구(410)의 설치 위치는 변경될 수 있다. 즉, 탄성 지지기구(410)의 접촉부재(411) 및 탄성부재(412)가 플로팅 가이드(140)에 설치될 수 있다. 이 경우, 접촉부재(411)가 소켓 하우징(110)에 접하고, 탄성부재(412)가 접촉부재(411)를 소켓 하우징(110) 측으로 가압하도록 접촉부재(411)에 탄성력을 가할 수 있다.
이상 본 발명에 대해 바람직한 예를 들어 설명하였으나 본 발명의 범위가 앞에서 설명되고 도시되는 형태로 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 탄성 지지기구(160)(410)는 도면에 나타낸 것과 같이 자체가 탄성력을 갖도록 고무나 실리콘 등의 탄력성 소재로 이루어지는 구조나, 플로팅 가이드(140)의 외측 가장자리에 접하는 접촉부재(411) 및 접촉부재(411)에 탄성력을 가하는 탄성부재(412)를 포함하는 구조 이외에, 플로팅 가이드(140)를 탄력적으로 지지할 수 있는 다양한 다른 구조로 변경될 수 있다.
또한, 도면에는 탄성 지지기구(160)(410)가 플로팅 가이드(140)의 외측 가장자리에 접하도록 소켓 하우징(110)에 설치되는 것으로 나타냈으나, 탄성 지지기구는 소켓 하우징에 접하도록 플로팅 가이드에 설치되어 플로팅 가이드를 탄력적으로 지지할 수 있다.
이상, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려 첨부된 청구범위의 사상 및 범위를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.
100, 200, 300, 400 : 테스트 소켓 110 : 소켓 하우징
111 : 소켓 하우징 홀 120 : 지지 플레이트
121 : 지지 플레이트 홀 130 : 검사용 프로브
140, 210 : 플로팅 가이드 141 : 피검사체 수용홈
142 : 플로팅 가이드 홀 150 : 탄성 받침대
160, 410 : 탄성 지지기구 170 : 스토퍼
211 : 사이드홈 310 : 가이드 플레이트
311 : 가이드 플레이트 홀 411 : 접촉부재
412 : 탄성부재

Claims (10)

  1. 테스트 신호를 발생하는 테스터와 피검사체를 전기적으로 매개하는 테스트 소켓에 있어서,
    소켓 하우징 홀을 갖는 소켓 하우징;
    상기 테스터와 상기 피검사체 사이에서 전기 신호를 전달할 수 있도록 상기 소켓 하우징 홀 속에 배치되는 복수의 검사용 프로브;
    상기 검사용 프로브의 하부 끝단이 삽입되는 복수의 지지 플레이트 홀을 구비하고, 상기 소켓 하우징에 결합되어 상기 복수의 검사용 프로브를 틸팅 가능하게 지지하는 지지 플레이트;
    상기 피검사체가 수용될 수 있도록 상측으로 개방된 피검사체 수용홈과, 상기 검사용 프로브가 삽입될 수 있도록 하측으로 개방된 플로팅 가이드 홀을 구비하고, 상기 소켓 하우징 홀 속에 배치되어 상기 피검사체를 상기 검사용 프로브 측으로 가이드하는 플로팅 가이드; 및
    상기 플로팅 가이드와 상기 소켓 하우징의 사이에 배치되어 상기 플로팅 가이드를 탄력적으로 지지할 수 있는 탄성 지지기구;를 포함하고,
    상기 소켓 하우징의 내측면과 상기 플로팅 가이드의 외측 가장자리 사이에는 간극이 마련되어 상기 플로팅 가이드는 상기 검사용 프로브의 길이 방향과 교차하는 방향으로 유동 가능하되, 상기 탄성 지지기구의 탄성력에 의해 원상 복귀될 수 있고,
    상기 검사용 프로브의 중간 부분이 통과할 수 있는 복수의 가이드 플레이트 홀을 구비하고, 상기 지지 플레이트와 상기 플로팅 가이드 사이에 배치되어 상기 복수의 검사용 프로브를 틸팅 가능하게 지지하는 가이드 플레이트;를 포함하되,
    상기 검사용 프로브의 중간 부분이 상기 가이드 플레이트 홀 속에서 전후좌우 방향으로 유동할 수 있도록 상기 가이드 플레이트 홀의 폭은 상기 검사용 프로브의 중간 부분 두께보다 큰 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 플로팅 가이드와 상기 소켓 하우징의 사이에 배치되어 상기 플로팅 가이드를 상기 검사용 프로브의 길이 방향과 평행한 방향으로 유동 가능하도록 탄력적으로 떠받치는 탄성 받침대;를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 소켓 하우징에 설치되며, 상기 플로팅 가이드가 상기 소켓 하우징 홀을 벗어나지 못하도록 상기 플로팅 가이드의 유동 거리를 제한하는 스토퍼;를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 플로팅 가이드의 외측면에는 상기 검사용 프로브의 길이 방향과 평행한 방향으로 연장되는 사이드홈이 마련되고,
    상기 탄성 지지기구는 한쪽 끝단이 상기 사이드홈에 삽입되어 상기 플로팅 가이드가 상기 소켓 하우징 홀을 벗어나지 못하도록 상기 플로팅 가이드의 유동 거리를 제한하는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 소켓 하우징에는 상기 검사용 프로브의 길이 방향과 평행한 방향으로 연장되는 사이드홈이 마련되고,
    상기 탄성 지지기구는 한쪽 끝단이 상기 사이드홈에 삽입되어 상기 플로팅 가이드가 상기 소켓 하우징 홀을 벗어나지 못하도록 상기 플로팅 가이드의 유동 거리를 제한하는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성 지지기구는 상기 플로팅 가이드를 전후좌우 방향에서 탄력적으로 지지할 수 있도록 복수 개가 구비되는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  7. 삭제
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성 지지기구는 그 자체가 탄성력을 갖도록 탄력성 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성 지지기구는,
    상기 플로팅 가이드의 외측 가장자리에 접하는 접촉부재와,
    상기 접촉부재를 상기 플로팅 가이드의 외측 가장자리 측으로 가압하도록 상기 접촉부재에 탄성력을 가하는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성 지지기구는,
    상기 소켓 하우징에 접하는 접촉부재와,
    상기 접촉부재를 상기 소켓 하우징 측으로 가압하도록 상기 접촉부재에 탄성력을 가하는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
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