KR200480667Y1 - 검사용 가이드 장치 - Google Patents

검사용 가이드 장치 Download PDF

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KR200480667Y1
KR200480667Y1 KR2020150000182U KR20150000182U KR200480667Y1 KR 200480667 Y1 KR200480667 Y1 KR 200480667Y1 KR 2020150000182 U KR2020150000182 U KR 2020150000182U KR 20150000182 U KR20150000182 U KR 20150000182U KR 200480667 Y1 KR200480667 Y1 KR 200480667Y1
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ball
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KR2020150000182U
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정영배
홍창수
김준진
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주식회사 아이에스시
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    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
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Abstract

본 고안은 검사용 가이드 장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 복수의 개구가 형성되어 있는 도킹플레이트에 장착되며, 검사가 요구되는 반도체 디바이스를 수용하는 인서트를 내부에 수용하는 검사용 가이드 장치로서,
하면이 상기 도킹플레이트의 개구 주변에 접촉하면서 상기 도킹플레이트와 결합하며 피검사 디바이스가 삽입될 수 있는 중앙홀이 마련되어 있는 가이드부; 및
상기 가이드부로부터 하측으로 연장되며 내부에 인서트가 삽입될 수 있는 인서트 삽입공이 마련되어 있는 베이스부;를 포함하여 구성되되,
상기 가이드부와, 상기 베이스부는 서로 일체화되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 가이드 장치에 대한 것이다.

Description

검사용 가이드 장치{Guide apparatus for electrical test}
본 고안은 검사용 가이드 장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 조립공차를 최소화하고 교체가 용이한 검사용 가이드 장치에 대한 것이다.
일반적으로 전자 부품의 제조에서는 패키징된 집적회로 소자(이하, '반도체 디바이스'라 함)를 대상으로 전기적 성능, 열적 스트레스 등과 같은 성능 검사를 수행한다.
이러한 전기적 검사를 위해서는 테스트 트레이로부터 운반되어온 반도체 디바이스를 검사장치와 전기적 연결시키기 위해 도킹플레이트(10), 가이드 수단(20), 베이스 수단(30), 인서트(40) 등이 요구되고 있다.
도킹플레이트(10)는 도 1에 도시된 바와 같이 반도체 디바이스가 삽입될 수 있는 복수의 개구들이 마련되어 있는 판형태의 구조물이다. 상기 가이드 수단(20)은, 상기 도킹플레이트(10)의 개구 측에 설치되어 도킹플레이트(10)에 결합되어 지지되어 있는 구조물이다. 상기 베이스 수단(30)은 상기 가이드 수단(20)에 결합된 상태에서 인서트(40)를 내부에 수용하고 있는 것이며, 상기 인서트(40)는 상기 베이스 수단(30) 내에 분리가능하게 결합되어 반도체 디바이스를 내부에 안착하기 위한 것이다.
한편, 인서트(40)의 하면에는 지지판(50)이 설치되어 있으며 상기 반도체 디바이스는 인서트(40) 내에 삽입되어 상기 지지판(50)에 지지된 상태에서 검사장치와 전기적으로 연결된다. 한편, 검사장치로부터 소정의 전기적 신호가 인가되면 이러한 신호는 인서트(40) 내부에 마련되어 있는 반도체 디바이스로 전달되면서 소정의 전기적 검사가 이루어진다.
한편, 전기적 검사가 완료되면 반도체 디바이스는 인서트(40)로부터 분리되어 테스트 트레이에 안착된 후에 불량 및 양품 판정여부에 따라서 필요한 위치로 보내어지게 된다.
이러한 종래기술의 검사용 구조에서는 도킹플레이트(10)에 장착되는 가이드 수단(20)과 베이스 수단(30)이 서로 볼트와 같은 체결수단에 의하여 결합되어 있게 되는데, 이러한 종래기술은 다음과 같은 문제점이 있다.
먼저, 최근 반도체 디바이스의 단자들이 점차 조밀해지고 피치들이 줄어들고 있는 형편이다. 이러한 경향에 따라서 반도체 디바이스들이 인서트(40)에 정확하게 안착되는 것이 무엇보다 중요하다. 이를 위하여 인서트(40)를 지지하는 베이스 수단(30)이 인서트(40)를 내부의 원하는 위치에 정밀하게 결합하는 것이 중요할 뿐 아니라, 가이드 수단(20)과 베이스 수단(30) 간의 정밀한 결합도 중요하게 된다. 예를 들어 인서트(40)가 베이스 수단(30)에 정밀하게 결합되어 있는 경우에도 베이스 수단(30)이 가이드 수단(20)에 정밀하게 결합되어 있지 않은 경우에는 반도체 디바이스를 검사장치와 일대일 대응되도록 위치정렬하는 것이 어려워진다.
또한, 가이드 수단(20)과 베이스 수단(30)이 서로 분리형으로 제작되어 있어서 교체가 용이하지 않다는 문제점이 있다.
본 고안은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 조립공차를 최소화하고 교체가 용이한 검사용 가이드 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 고안의 검사용 가이드 장치는, 복수의 개구가 형성되어 있는 도킹플레이트에 장착되며, 검사가 요구되는 반도체 디바이스를 수용하는 인서트를 내부에 수용하는 검사용 가이드 장치로서,
하면이 상기 도킹플레이트의 개구 주변에 접촉하면서 상기 도킹플레이트와 결합하며 피검사 디바이스가 삽입될 수 있는 중앙홀이 마련되어 있는 가이드부; 및
상기 가이드부의 중앙홀 주변에서 하측으로 연장되며 내부에 인서트가 삽입될 수 있는 인서트 삽입공이 마련되어 있는 베이스부;를 포함하여 구성되되,
상기 가이드부와, 상기 베이스부는 서로 일체화되어 있다.
상기 검사용 가이드 장치에서,
상기 가이드부와, 상기 베이스부는 서로 동일재질로 이루어질 수 있다.
상기 검사용 가이드 장치에서,
상기 가이드부와, 상기 베이스부는 합성수지 소재로 이루어질 수 있다.
상기 검사용 가이드 장치에서,
상기 베이스부에는, 내부에 삽입되는 인서트를 분리가능하게 결합하기 위한 볼 가이드 수단이 마련되어 있을 수 있다.
상기 검사용 가이드 장치에서,
상기 볼 가이드 수단은,
베이스부 내부에 삽입되어 있는 통형 몸체와,
상기 통형 몸체의 일단에 일부가 노출되어 있는 볼과,
상기 볼을 인서트 측으로 탄성지지하기 위한 스프링을 포함할 수 있다.
상기 검사용 가이드 장치에서,
상기 가이드부의 중앙홀 내벽은,
상단으로부터 하측으로 갈수록 중앙홀이 감소되도록 하향 경사진 경사면을 가질 수 있다.
본 고안은 분리형으로 제작된 가이드부와, 베이스부를 서로 일체형으로 제조함으로서, 가이드부와 베이스 간의 조립 공차를 줄이고, 교체가 용이하게 한다는 장점이 있다.
도 1은 종래기술의 도킹플레이트를 개시한 사시도.
도 2는 분리형 가이드 장치를 간략하게 도시한 도면.
도 3은 본 고안의 검사용 가이드 장치의 평면도.
도 4 및 도 5는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ 및 Ⅴ-Ⅴ단면도.
도 6은 도 3의 검사용 가이드 내에 삽입되는 인서트를 단면도.
도 7은 도 3의 검사용 가이드 장치 내에 도 6의 인서트가 삽입된 모습을 나타내는 도면.
이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.
본 고안의 검사용 가이드 장치(100)는, 복수의 개구가 형성되어 있는 도킹플레이트에 장착되며, 검사가 요구되는 반도체 디바이스(미도시)를 수용하는 인서트(140)를 내부에 수용하는 것이다. 이때 도킹플레이트는 검사장치 측에 고정설치되어 있는 구성으로서, 도 1에 개시되어 있으며 일반적인 기술이므로 구체적인 설명은 생략한다.
이러한 본 고안의 가이드 장치(100)는, 가이드부(110)와, 베이스부(120)를 포함하여 구성된다.
상기 가이드부(110)는, 하면이 상기 도킹플레이트의 개구 주변에 접촉하면서 상기 도킹플레이트와 결합하며 반도체 디바이스가 삽입될 수 있는 중앙홀(111)이 마련되어 있는 것이다. 이러한 가이드부(110)는, 대략 직사각형의 판 형태로 이루어지고 그 중앙에는 사각형의 중앙홀(111)이 마련되어 있는 것이다. 이러한 가이드부(110)는 그 하면이 상기 도킹플레이트의 개구 주변부에 접촉하게 된다. 상기 가이드부(110)는 경도가 비교적 높은 합성수지 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 기존의 금속재질로 이루어지는 가이드부(110)는 합성수지 재질로 이루어지되 비교적 경도가 높은 수지소재가 바람직하다.
상기 가이드부(110)의 중앙홀(111) 주변 내벽은, 상단으로부터 하측으로 갈수록 중앙홀(111)이 감소되도록 하향 경사진 형상을 가지게 된다. 이러한 경사면(112)에 의하여 반도체 디바이스의 삽입이 용이하게 될 수 있다.
상기 베이스부(120)는, 상기 가이드부(110)의 중앙홀(111) 주변에서 하측을 연장되며 내부에 인서트(140)가 삽입되는 인서트(140) 삽입공(121)이 마련되어 있는 것이다. 이러한 베이스부(120)는 상기 가이드부(110)와 일체화되어 있게 된다. 구체적으로 베이스부(120)는 상기 가이드부(110)와 동일한 재질로 이루어지는 것이 바람직하며, 예를 들어 동일한 합성수지 소재로 이루어질 수 있다.
이러한 베이스부(120)는 4개의 측벽(122)으로 이루어진 사각기둥형태로 이루어지며, 서로 마주보는 어느 측벽(122)들에는 볼 가이드 수단(130)이 삽입될 수 있는 삽입용 홀(123)이 마련되어 있게 된다.
상기 삽입용 홀(123)에 삽입되는 볼 가이드 수단(130)은, 베이스부(120) 내부에 삽입되는 인서트(140)를 분리가능하게 결합하기 위한 것이다. 이러한 볼 가이드 수단(130)은, 베이스부(120) 내부에 삽입되어 있는 통형 몸체(131)와, 상기 통형 몸체(131)의 일단에 일부가 노출되어 있는 볼(132)과, 상기 볼(132)을 인서트(140) 측으로 탄성지지하기 위한 스프링(133)을 포함한다. 즉, 통형 몸체(131) 내에서 일부가 돌출된 상태로 배치되는데, 스프링(133)에 의하여 탄력지지되면서 통형 몸체(131) 내부로 삽입되거나 일부 돌출된 상태를 이룬다.
즉, 인서트(140)가 베이스부(120) 내부에 삽입되는 과정에서는 상기 볼(132)이 통형 몸체(131)로 삽입되고 상기 인서트(140)가 완전하게 베이스부(120) 내부에 삽입된 후에는 상기 볼(132)이 통형 몸체(131)로부터 돌출되면서 상기 인서트(140)를 분리가능하게 지지하게 된다.
한편, 도면부호 140은 상기 베이스부(120) 내부에 삽입되는 인서트(140)를 도시한다.
상기 인서트(140)는 대략 내부에 수용공이 마련된 사각기둥형태를 가지고 있으며 상기 수용공 내로 반도체 디바이스가 삽입될 수 있다. 상기 인서트(140)의 하단에는 상기 반도체 디바이스가 안착될 수 있는 지지판(미도시)이 설치되는데, 상기 지지판에 안착될 상태의 반도체 디바이스는 검사장치와 전기적으로 접속가능한 상태가 된다.
한편, 상기 인서트(140)의 외면에는 상기 볼 가이드 수단(130)의 볼(132)을 수용하는 결합공(141)이 마련되어 있게 된다. 상기 결합공(141)에 상기 볼 가이드 수단(130)의 볼(132)이 수용됨으로서 상기 인서트(140)는 상기 베이스부(120)에 분리가능하게 결합되는 것이다.
이러한 본 고안의 검사용 가이드 장치(100)는 다음과 같은 효과를 가진다.
본 고안의 검사용 가이드 장치(100)는, 도킹플레이트에 장착되는 가이드부(110)와, 인서트(140)를 내부에 수용하는 베이스부(120)를 서로 일체적으로 연결하고 있기 때문에, 가이드부(110)와 베이스부(120) 간의 조립성이 우수하게 되는 장점이 있다.
즉, 종래기술에서는 가이드 수단과 베이스 수단을 서로 개별적으로 제작한 상태에서 볼트 등의 체결수단에 의하여 결합하는 방식을 취하였으나, 이 경우 체결과정에서 조립공차가 발생하게 되는 문제점이 있었다. 이와 같이 조립공차가 발생하는 경우에는 반도체 디바이스의 단자를 검사장치의 패드와 정밀하게 위치정렬하는데 어려움이 있었다.
그러나, 본 고안에서는 가이드부(110)와 베이스부(120)를 서로 일체화시켜 제작하였기 때문에 조립에 따른 공차가 없다는 장점이 있다.
또한, 본 고안은 플로팅 가이드와, 실리콘 러버 시트 등을 부착후 일체형으로 제작하여 교체가 용이하게 하다는 장점이 있게 된다.
이상에서 다양한 실시예를 들어 본 고안을 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 고안의 권리범위로부터 합리적으로 해석될 수 있는 것이라면 무엇이나 본 고안의 권리범위에 속하는 것은 당연하다.
100...가이드 장치 110...가이드부
111...중앙홀 112...경사면
120...베이스부 121...인서트 삽입공
122...측벽 123...삽입용 홀
130...볼 가이드 수단 131...통형 몸체
132...볼 133...스프링
140...인서트 141...결합공

Claims (6)

  1. 복수의 개구가 형성되어 있는 도킹플레이트에 장착되며, 검사가 요구되는 반도체 디바이스를 수용하는 인서트를 내부에 수용하는 검사용 가이드 장치로서,
    하면이 상기 도킹플레이트의 개구 주변으로서 상기 도킹플레이트의 상면에 접촉하면서 상기 도킹플레이트와 결합하며 피검사 디바이스가 삽입될 수 있는 중앙홀이 마련되어 있는 사각판 형태의 가이드부; 및
    상기 도킹플레이트의 개구 내에 삽입되고 상기 가이드부의 중앙홀 주변에서 하측으로 연장돌출되어 사각기둥형태를 가지며 내부에 인서트가 삽입될 수 있는 인서트 삽입공이 마련되어 있는 베이스부;를 포함하여 구성되되,
    상기 가이드부와, 상기 베이스부는 서로 일체화되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 가이드 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가이드부와, 상기 베이스부는 서로 동일재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사용 가이드 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 가이드부와, 상기 베이스부는 합성수지 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사용 가이드 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 베이스부에는, 내부에 삽입되는 인서트를 분리가능하게 결합하기 위한 볼 가이드 수단이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 가이드 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 볼 가이드 수단은,
    베이스부 내부에 삽입되어 있는 통형 몸체와,
    상기 통형 몸체의 일단에 일부가 노출되어 있는 볼과,
    상기 볼을 인서트 측으로 탄성지지하기 위한 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 가이드 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 가이드부의 중앙홀 내벽은,
    상단으로부터 하측으로 갈수록 중앙홀이 감소되도록 하향 경사진 경사면을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 가이드 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102193447B1 (ko) * 2019-12-09 2020-12-21 (주)티에스이 테스트 소켓

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070030018A1 (en) * 2005-08-04 2007-02-08 Stefan Thurmaier Docking device actuated by pressure means
KR100835246B1 (ko) * 2007-04-27 2008-06-05 미래산업 주식회사 캐리어 모듈, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및 그를이용한 반도체 소자 제조방법
KR20100121945A (ko) * 2009-05-11 2010-11-19 이재학 테스트용 핸들러
KR20130085138A (ko) * 2012-01-19 2013-07-29 (주)에이젯 반도체 소자의 고온 테스트를 위한 챔버

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070030018A1 (en) * 2005-08-04 2007-02-08 Stefan Thurmaier Docking device actuated by pressure means
KR100835246B1 (ko) * 2007-04-27 2008-06-05 미래산업 주식회사 캐리어 모듈, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및 그를이용한 반도체 소자 제조방법
KR20100121945A (ko) * 2009-05-11 2010-11-19 이재학 테스트용 핸들러
KR20130085138A (ko) * 2012-01-19 2013-07-29 (주)에이젯 반도체 소자의 고온 테스트를 위한 챔버

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102193447B1 (ko) * 2019-12-09 2020-12-21 (주)티에스이 테스트 소켓

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