KR20040060799A - 반송 기구, 이동식 프로브 카드 반송 장치, 프로브 장치,및 프로브 카드를 프로브 장치에 반입하는 방법 - Google Patents

반송 기구, 이동식 프로브 카드 반송 장치, 프로브 장치,및 프로브 카드를 프로브 장치에 반입하는 방법 Download PDF

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Abstract

프로브 카드 반송 장치(10)는 바닥면(G)을 자유롭게 이동할 수 있는 이동본체(臺車)(11)와, 이 이동본체(11)상에 이격가능하게 배치되고, 이동본체(11)와 프로브 장치(100) 사이에서 프로브 카드(C)를 반송하는 반송 기구(12)를 구비하며, 반송 기구(12)는 베이스부(13)와, 베이스부(13)상에서 진퇴 이동하는 아암 기구(14)를 갖고, 베이스부(13)에 프로브 장치(100)와의 위치 정렬 기구(40)를 설치하는 동시에 프로브 장치(100)와의 고정 기구(50)를 설치한 것이다.

Description

반송 기구, 이동식 프로브 카드 반송 장치, 프로브 장치, 및 프로브 카드를 프로브 장치에 반입하는 방법{TRANSFERRING MECHANISM, MOVABLE PROBE CARD TRANSFERRING APPARATUS, PROBE DEVICE, AND METHOD FOR TRANSFERRING A PROBE CARD INTO A PROBE APPARATUS}
본 발명은 반송 기구, 반송 기구를 이용한 이동식 프로브 카드 반송 장치 및 프로브 장치에 관한 것이다.
특허문헌 1[일본 특허 공개 제 1994-236909 호 공보(청구항 1)]은 프로브 카드를 자동적으로 교환하는 발명을 개시하고 있다. 프로브 장치내에는, 복수의 프로브 카드를 수납하는 스토커(stocker)와, 프로브 카드를 반송하는 장치가 설치된다. 반송 장치는 프로브 카드를 스토커로부터 프로버실내로 반송한다.
특허문헌 1이 개시한 발명은 스토커나 프로브 카드의 반송 장치를 프로브 장치내에 설치하고 있다. 이 때문에, 풋프린트(footprint)가 커지고, 비용이 증가한다고 하는 문제가 있었다. 또한, 몇개의 프로브 장치가 동일한 프로브 카드를 공용하는 경우에는, 그 프로브 카드를 다른 프로브 장치에 이동시키는 작업이 필요했다.
본 출원인은 상기 과제를 해결하기 위해서, 일본 특허 공개 제 2003-51519 호 공보에 있어서, 프로브 카드 반송 장치를 제안했다. 이 프로브 카드 반송 장치는 진퇴 이동가능하게 설치된 프로브 카드 반송 기구와, 이 프로브 카드 반송 기구와 프로브 장치를 연결하는 연결 기구를 갖는다. 연결 기구는 프로브 카드 반송 기구와 프로브 장치를 연결한다. 프로브 카드 반송 기구는 프로브 카드를 프로브 장치내로 반송한다. 또한, 프로브 카드 반송 기구는 이송 기구와 승강 기구를 갖는다. 프로브 카드가 프로브 장치내로 반송될 때에는, 이송 기구가 프로브 카드를 프로브 장치내의 카드 클램프 기구까지 이송한다. 그 후, 승강 기구는 프로브 카드를 들어 올려, 카드 클램프 기구에서 착탈한다.
그러나, 프로브 카드 반송 장치가 프로브 카드를 카드 클램프 기구에 착탈하는 경우에는, 프로브 카드는 카드 클램프 기구에 대하여 평행하게 유지될 필요가 있다. 가령, 프로브 카드 반송 장치를 조작하는 바닥면에 다소의 경사가 있으면, 프로브 카드 반송 기구 및 프로브 카드도 경사진다. 그 결과, 프로브 카드를 카드 클램프 기구에 원활하게 주고받을 수 없게 되는 우려가 있다.
본 발명은 상기 과제중 적어도 하나를 해결하기 위해서 이루어진 것이다. 프로브 장치의 풋프린트를 작게 하는 것, 프로브 장치내에서 대형의 프로브 카드와 헤드 플레이트의 평행 상태를 유지하는 것, 프로브 카드를 헤드 플레이트에 대하여 원활하게 반송하는 것, 원활하게 착탈하는 것중 적어도 하나를 달성할 수 있는 반송 기구와, 이 반송 기구를 이용하는 이동식 프로브 카드 반송 장치, 및 프로브 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명의 다른 목적 및 이점은 이하의 명세서에 기재되고, 그 일부는 상기개시로부터 자명하거나, 또는 본 발명의 실행에 의해 얻어질 수 있다. 본 발명의 상기 목적 및 이점은 여기에 특별히 지적되는 수단과 조합함으로써 실현되고, 얻어질 수 있다.
본원 발명의 제 1 관점에 따라서, 베이스부와, 베이스부상에 진퇴 이동가능하게 배치된 제 1 아암 기구와, 제 1 아암 기구상에 진퇴 이동가능하게 배치된 제 2 아암 기구와, 상기 제 1 아암 기구의 전후에 배치된 한쌍의 회전체와, 상기 한쌍의 회전체 사이에 감겨있는 무단 형상 벨트와, 상기 무단 형상 벨트를 상기 베이스부에 연결하는 제 1 연결구(連結具)와, 상기 무단 형상 벨트를 상기 제 2 아암 기구에 연결하는 제 2 연결구(여기에 있어서, 상기 무단 형상 벨트를 회전체의 주위에서 이동시키는 것에 의해, 제 1 아암 기구 및 제 2 아암 기구가 베이스부상에서 진퇴 이동함)를 구비하는 반송 기구가 제공된다.
이 반송 기구는 하기 a 내지 c 중 어느 하나, 또는 복수개를 조합시켜 구비하는 것이 바람직하다.
a. 상기 제 2 아암 기구는 반송되어야 할 물품을 유지하기 위한 유지 기구를 구비한다.
b. 상기 제 1 연결구는 무단 형상 벨트를 상기 베이스부의 프로브 장치측에 연결하고, 상기 제 2 연결구는 무단 형상 벨트를 상기 제 2 아암 기구의 프로브 장치 반대측에 연결한다.
c. 상기 반송 기구는 상기 베이스부상에서 진출한 상기 제 1 아암 기구가 경사지는 것을 방지하는 기구를 갖는다.
본원 발명의 제 2 관점에 따라서, 이동가능한 이동본체와, 이동본체상에 이격가능하게 배치된 반송 기구(상기 반송 기구는 베이스부와, 상기 베이스부상에 진퇴 이동가능하게 배치된 아암 기구를 구비함)와, 상기 반송 기구가 반송하는 프로브 카드를 프로브 장치내의 소정 위치에 배치하기 위한 제 1 위치 정렬 기구(상기 제 1 위치 정렬 기구는 베이스부 및 프로브 장치중 적어도 하나에 배치됨)와, 상기 베이스부를 상기 프로브 장치에 위치 정렬하여 고정하기 위한 제 2 위치 정렬 고정 기구를 포함하는, 프로브 카드를 프로브 장치로 그리고 장치로부터 반송하는 반송 장치가 제공된다.
이 반송 장치는 하기 d 내지 j 중 어느 하나를, 또는 복수개를 조합시켜서 구비하는 것이 바람직하다.
d. 상기 이동본체를 상기 프로브 장치에 연결하는 연결 조작 기구를 갖는다.
e. 상기 반송 기구를 상기 이동본체상의 기준 위치에 위치 정렬시켜 고정하는 제 1 위치 정렬 고정 기구를 갖는다.
f. 상기 제 1 위치 정렬 고정 기구는 상기 반송 기구를 상기 이동본체를 향해서 잡아 당기는 탄력 부재를 갖는다.
g. 상기 반송 기구는 하부 플레이트상에 탑재되어 있고, 상기 하부 플레이트는 그의 하면에 제 1 접동(摺動) 기구를 가지며, 상기 이동본체는 그의 상면에 상부 플레이트를 갖고, 상기 상부 플레이트는 그의 상면에 제 2 접동 기구를 갖는다(여기서, 제 1 접동 기구는 제 2 접동 기구상에서 접동가능함).
h. 상기 제 1 접동 기구와 상기 제 2 접동 기구는 판형상 부재이며, 상기 제1 접동 기구의 판형상 부재와 상기 제 2 접동 기구의 판형상 부재중 적어도 하나의 표면은 저마찰재로 구성되어 있다.
i. 상기 아암 기구는 상기 베이스부상에서 진퇴 이동가능한 제 1 아암 기구와, 제 1 아암 기구상에서 진퇴 이동가능한 제 2 아암 기구를 갖는다.
j. 상기 이동본체로부터 진출한 상기 반송 기구의 경사를 방지하는 기구를 갖는다.
본원 발명의 제 3 관점에 따라서, 프로버실(상기 프로버실은 프로브 카드, 및 그의 측면 및 상면중 적어도 일 측면에 형성된 개구부를 가짐)과, 프로브 카드 반송 기구(12)(상기 프로브 카드 반송 기구는 상기 프로버실의 상기 개구부를 통해서 상기 프로버실로 및 상기 프로버실로부터 프로브 카드를 반입 및 반출입함)와, 상기 프로버실의 외측면에 승강 가능하게 제공된 승강체와, 상기 승강체와 반송 기구에 제공된 제 2 위치 정렬 고정 기구(상기 제 2 위치 정렬 고정 기구는 상기 반송 기구를 상기 프로버실의 소정 위치에 위치 정렬하여 고정함)와, 상기 승강체를 승강시키는 승강체 구동 기구를 포함하는 프로브 장치가 제공된다.
이 프로브 장치는 하기 k 내지 l 중 어느 하나를, 또는 복수개를 더 구비하는 것이 바람직하다.
k. 상기 반송 기구를 이동본체상에 이격가능하게 지지하는 지지 기구와, 상기 이동본체를 상기 프로버실에 연결하는 연결 기구를 갖는다.
l. 상기 프로버실은 상기 반송 기구가 반입한 상기 프로브 카드의 수평 방향의 위치 결정을 실행하여 고정하는 제 3 위치 정렬 고정 기구를 갖는다.
본원 발명의 제 4 관점에 따라서, 프로브 카드 반송 장치를 갖는 프로브 장치에서, (a) 프로브 카드 반송 장치상에 프로브 카드를 탑재하는 단계와, (b) 프로브 카드 반송 장치를 프로브 장치에 연결하는 단계와, (c) 프로브 카드 반송 장치가 반송하는 프로브 카드의 높이를 프로브 장치에 대응한 높이로 조정하는 단계와, (d) 프로브 카드 반송 장치가 상기 프로브 카드를 프로브 장치에 반입하는 단계를 포함하는 프로브 카드를 프로브 장치에 반입하는 방법이 제공된다.
도 1은 본 발명의 프로브 카드 반송 장치 및 프로브 장치의 일 실시예를 모식적으로 나타내는 측면도,
도 2는 도 1에 나타내는 프로브 카드 반송 장치의 반송 기구의 주요부를 나타내는 모식도로서, 도 2a는 그의 측면도, 도 2b는 그의 하측에서 본 평면도,
도 3은 도 1에 나타내는 프로브 카드 반송 장치의 위치 고정 기구를 모식적으로 나타내는 부분 단면도,
도 4는 도 1에 나타내는 프로브 카드 반송 장치의 반송 기구의 스토퍼(stopper) 기구를 나타내는 모식도,
도 5는 도 1에 나타내는 프로브 카드 반송 장치와 프로브 장치가 연결되기 직전의 상태를 모식적으로 나타내는 측면도,
도 6은 도 1에 나타내는 프로브 카드 반송 장치와 프로브 장치가 연결된 상태를 모식적으로 나타내는 측면도,
도 7은 도 1에 나타내는 프로브 카드 반송 장치와 프로브 장치를 위치 정렬하기 직전의 상태를 모식적으로 나타내는 측면도,
도 8은 도 1에 나타내는 프로브 카드 반송 장치의 반송 기구와 프로브 장치를 고정하기 직전의 상태를 모식적으로 나타내는 측면도,
도 9는 도 1에 나타내는 프로브 카드 반송 장치의 반송 기구와 프로브 장치가 고정된 상태를 모식적으로 나타내는 측면도,
도 10은 도 1에 나타내는 프로브 카드 반송 장치의 반송 기구를 통해서 프로브 장치에 프로브 카드를 반입하는 상태를 모식적으로 나타내는 측면도,
도 11은 도 1에 나타내는 프로브 카드 반송 장치의 반송 기구를 통해서 프로브 장치에 프로브 카드를 장착하는 상태를 모식적으로 나타내는 측면도,
도 12는 본 발명의 프로브 카드 반송 장치 및 프로브 장치의 다른 실시예를 모식적으로 나타내는 측면도로서, 반송 기구를 통해서 프로브 카드를 프로브 장치에 반송하기 직전의 상태를 도시하는 도면,
도 13은 도 12에 나타내는 프로브 카드 반송 장치의 반송 기구를 통해서 프로브 장치에 프로브 카드를 반입한 상태를 모식적으로 나타내는 측면도,
도 14는 도 12에 나타내는 반송 기구의 경사를 방지하는 상태를 모식적으로 나타내는 측면도.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : 프로브 카드 반송 장치 11 : 이동본체
12 : 프로브 카드 반송 기구 22 : 위치 고정 기구
40 : 위치 정렬 기구 50 : 고정 기구
100 : 프로브 장치 C : 프로브 카드
첨부한 도면은 명세서의 일부와 연관되고 또한 일부를 구성하며, 본 발명의 바람직한 실시예를 도시한다. 그리고, 상기 도면은 상기에서 기술한 일반적인 설명과, 이하에서 기술하는 바람직한 실시예에 관한 상세한 설명에 의해 본 발명의 설명에 도움이 되는 것이다.
발명의 실시예의 모드
이하, 도 1 내지 도 14에 나타내는 실시예에 근거하여 본 발명을 설명한다.
본 실시예의 프로브 카드 반송 장치(10)는 예컨대 도 1에 도시하는 바와 같이 바닥면(G)을 자유롭게 이동할 수 있는 이동본체(11)와, 반송 기구(12)를 구비하고 있다. 반송 기구(12)는 이동본체(11)상에 이격가능하게 배치되고, 이동본체(11)와 프로브 장치(100) 사이에서 프로브 카드(C)를 반송한다. 프로브 장치(100)는 프로브 카드(C)를 사용하여 피검사체[예컨대, 반도체 웨이퍼(이하,「웨이퍼」라 칭함)]의 전기적 특성을 검사하는 프로버실(101)과, 이 프로버실(101)의 상면을 형성하는 헤드 플레이트(102)와, 헤드 플레이트(102)에 고정된 프로브 카드(C)를 구비한다. 반송 기구(12)는 프로버실(101)에 형성된 개구부(101A)를 통해서, 프로버실(101)의 내부로 프로브 카드(C)를 반출입한다.
헤드 플레이트(102)는 프로브 카드 유지부(102B)를 구비하고, 프로브 카드(C)는 복수의 위치 결정용 구멍(102C)을 갖는다. 프로브 카드 유지부(102B)는 복수의 가이드 핀(102A)을 갖고, 이들 가이드 핀(102A)은 반송 기구(12)에 의해 반송되어 온 프로브 카드(C)를 프로브 카드 유지부에 확실히 장착한다.
프로버실(101)내에는 수평 방향 및 수직 방향으로 이동가능한 탑재대(101B)가 설치된다. 이 탑재대는 웨이퍼를 탑재한다. 웨이퍼의 전극과, 프로브 카드(C)의 하면에 설치된 프로브(C')(도 11 참조)를 접촉시킨 상태로, 웨이퍼의 전기적 특성이 검사된다.
반송 기구(12)가 프로버실(101)내에 프로브 카드(C)를 반출입하는 경우에는, 제 1 연결 기구(130)가 프로브 카드 반송 장치(10)를 프로브 장치(100)에 연결한다. 제 1 연결 기구(130)는 도 1에 도시하는 바와 같이 적어도 하나의 연결구(31)(예를 들면, 사각형의 링 형상 구조)와, 연결구(31)를 상하로 요동시키는 구동부(32)와, 이들 구동부(32)와 조작 핸들(33)을 연결하는 제 2 연결 기구(34)를 갖는다. 연결구(31)는 링크 기구 및 실린더 기구를 내장한다. 제 2 연결 기구(34)는 도 1에 도시하는 바와 같이 구동부(32)의 실린더 기구의 로드(32A)에 연결된 코일 스프링(35)과, 이 코일 스프링(35)에 연결된 링크(link)(36)를 갖는다. 조작 핸들(33)은 도 1에 도시된 상태로부터 상방으로올려진 상태로 로크된다. 도시하지 않지만, 구동부(32)에는 연결구(31)를 하방으로 가압하는 코일 스프링이 있다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 프로브 장치(100)와 프로브 카드 반송 장치(10)의 연결이 해제되었을 때에, 연결구(31)는 코일 스프링(35)의 스프링력에 의해 수평 상태로부터 경사진 상태로 복귀한다. 프로브 장치(100)는 연결구(31)에 대응하는 연결용 핀(37)[제 1 연결 기구(130)의 일부를 구성함]을 구비한다.
이동본체(11)의 전면에는 수전부(受電部)(11Ba)가 설치되어 있다. 프로브 장치(100)의 정면에는 급전부(給電部)(11Bb)가 설치된다. 이동본체(11)와 프로브 장치(100)가 연결되었을 때에, 수전부(11Ba)는 급전부(11Bb)에 전기적으로 접속된다. 그 결과, 프로브 카드 반송 장치(10)측의 스위치를 조작함으로써, 프로브 장치(100)측에 설치된 승강체 구동 기구(후술됨) 등을 구동할 수 있다.
조작 핸들(33)을 도 1에 나타낸 상태로부터 올림으로써, 제 2 연결 기구(34) 및 구동부(32)는 연결구(31)를 상방으로 이동시킨다. 상방으로 이동된 연결구(31)는 프로브 장치(100)측의 연결용 핀(37)에 끼워진다. 탄력성을 갖는 코일 스프링(35)은 연결구(31)를 더 끼움으로써, 연결구(31)와 연결용 핀(37)을 확실히 연결한다. 제 1 연결 기구(130)의 좌우(지면에 수직인 방향)에는, 이동본체(11)측 및 프로브 장치(100)측에 돌출 부재(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 이 돌출 부재는 연결구(31)의 끼워넣는 힘에 대항한다.
반송 기구(12)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 베이스부(13)상에서 전후 방향으로 진퇴 이동하는 아암 기구(14)를 구비할 수 있다. 베이스부(13)는 이동본체(11)상에 이격·접근가능하게 배치될 수 있다. 아암 기구(14)는 베이스부(13)상을 전후 방향으로 진퇴 이동하는 제 1 아암(15)과, 제 1 아암(15)상을 전후 방향으로 진퇴 이동하는 제 2 아암(16)을 구비할 수 있다. 프로브 카드(C)는 제 2 아암(16)상에 탑재된다. 제 1 아암(15)의 후단에 부착된 핸들(15A)을 조작함으로써, 아암 기구(14)를 진퇴 이동시킬 수 있다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 제 1 아암(15)은 베이스부(13)상을 진퇴 이동한다. 제 2 아암(16)은 제 1 아암상을 진퇴 이동한다. 이러한 진퇴 이동을 원활하게 하기 위한 기구가 제공되는 것이 바람직하다. 예컨대, 제 1 아암(15)의 상하 양면에 좌우 한쌍의 가이드 레일(15B, 15C)이 부착될 수 있다. 또는, 가이드 레일 대신에, 저마찰 플레이트, 베어링 기구, 에어 베어링 기구, 자기 부상 기구 등도 채용할 수 있다.
이들 가이드 레일(15B, 15C)은 각각 제 2 아암(16)의 하면 및 베이스부(13)상에 부착된 가이드 부재(16A, 13A)(도 1 참조)와 각각 결합한다. 제 2 아암(16)의 상면에는 프로브 카드(C)를 유지하는 기구(예를 들면, 가이드 핀)(15D)이 복수 개소에 제공되는 것이 바람직하다. 이들 가이드 핀(15D)은 프로브 카드(C)를 항상 일정한 방향으로 하여 유지한다.
도 2a 및 도 2b에 도시하는 바와 같이, 제 1 아암(15)의 하면에는 전후 한쌍의 회전체(예를 들면, 풀리)(17A, 17B)가 회전가능하게 부착되는 것이 바람직하다. 한쌍의 회전체(17A, 17B)는 한쌍의 가이드 레일(15C)(도 1)의 내측에 배치될 수 있다. 무단 형상 벨트(17C)가 풀리(17A, 17B)에 배치될 수 있다. 이 무단 형상 벨트(17C)는 제 1 및 제 2 연결구(18A, 18B)에 의해 베이스부(13) 및 제 2 아암(16)에 각각 연결된다. 제 1 연결구(18A)는 베이스부(13)의 전단부(前端部)에 고정되고, 제 2 연결구(18B)는 제 2 아암(16)의 후단부에 고정될 수 있다. 제 2 연결구(18B)는 제 1 아암(15)의 긴 구멍(15E)을 관통한다. 긴 구멍(15E)은 제 1 아암의 전후 방향에 형성된다. 제 2 연결구(18B)는 제 2 아암(16)과 무단 형상 벨트(17C)를 연결한다. 또한, 제 1 아암(15)의 긴 구멍(15E)의 길이는 제 2 아암(16)의 이동 거리분에 대응하는 길이로 될 수 있다.
핸들(15A)의 조작에 의해, 제 1 아암(15)이 진퇴 이동하면, 제 1 연결구(18A)에 연결된 무단 형상 벨트(17C)도 동일 거리만큼만 이동한다. 제 2 아암(16)은 제 1 아암(15)상에서 동일 방향으로 동일 거리만큼만 진퇴 이동한다. 그 결과, 제 2 연결구(18B)에 연결된 제 2 아암(16)은 베이스부(13)상을 제 1 아암(15)의 2배속으로 2배의 거리를 진퇴 이동한다. 전후 한쌍의 풀리(17A, 17B) 및 무단 형상 벨트(17C)는 제 1 아암(15)의 상면에 설치될 수도 있다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 베이스부(13)의 하면에는 고무 등의 탄성 부재(19)를 개재시켜 하부 플레이트(20)가 배치될 수 있다. 하부 플레이트(20)의 하면은 제 1 접동 기구(예를 들면, 접촉판, 베어링 기구, 에어 베어링 기구, 자기 부상 기구 등이며, 이하,「제 1 접촉판」이라고 함)(21A)를 구비할 수 있다. 탄성 부재(19)는 반송 기구(12)가 이동본체(11)상에 착지될 때의 충격, 및 이동본체(11)가 이동할 때에 바닥면(G)에서 받는 충격을 흡수하는 완충재로서의 역할을 수행할 수 있다. 제 1 접촉판(21A)은 이동본체(11)의 상면에 부착된 제 2 접동 기구(예를 들면, 접촉판, 베어링 기구, 에어 베어링 기구, 자기 부상 기구 등이며, 이하,「제2 접촉판」이라고 함)(21B)와 대향 배치되어 있다. 이들 접촉판(21A, 21B)은 모두 마찰 계수가 작은 저마찰재(예를 들면, 4 불화에틸렌 수지 등)에 의해서 형성될 수 있다. 반송 기구(12)는 제 1 및 제 2 접촉판(21A, 21B)의 경계에서, 이동본체(11)로부터 이격가능하다. 반송 기구(12)는 예를 들면 도 1에 나타낸 위치 고정 기구(22)에 의해 이동본체(11)상의 소정 위치에 고정된다. 위치 고정 기구(22)는 운반시에 반송 기구(12)가 이동본체(11)로부터 낙하하는 것을 방지한다.
위치 고정 기구(22)는 도 1에 도시하는 바와 같이 하부 플레이트(20)의 대략 중심에 배치된 제 1 위치 정렬 고정 기구(22A)와, 제 1 위치 정렬 고정 기구(22A)가 끼워맞춰지는 제 2 위치 정렬 고정 기구(22B)와, 제 2 위치 정렬 고정 기구(22B)와 조작 핸들(33)을 연결하는 연결 기구(22C)를 구비할 수 있다. 프로브 카드 반송 장치(10)가 프로브 장치(100)에 연결될 때에, 조작 핸들(33)은 도 1의 위치로부터 반시계 방향으로 올려진다. 이 조작에 의해, 연결 기구(22C)를 통해서 제 2 위치 정렬 고정 기구(22B)는 제 1 위치 정렬 고정 기구(22A)에서 이탈하고, 반송 기구(12)는 이동본체(11)로부터 해방된다. 이 상태로, 반송 기구(12)는 제 1 및 제 2 접촉판(21A, 21B)을 통해서 이동본체(11)상에서 수평 방향으로 미끄럼이동할 수 있다. 반송 기구(12)를 이동본체(11)상에 고정할 때에는, 조작 핸들(33)은 올려진 위치로부터 시계 방향으로 회전되어, 본래의 위치로 되돌려진다. 제 2 위치 정렬 고정 기구(22B)는 제 1 위치 정렬 고정 기구(22A)내에 끼워맞춰짐으로써, 반송 기구(12)는 이동본체(11)상에 고정된다.
도 3은 위치 고정 기구(22)의 구체적인 구조를 나타낸다. 도 3에 도시된 바와 같이, 위치 고정 기구(22)는 제 1 및 제 2 위치 정렬 고정 기구(22A, 22B) 및 연결 기구(22C), 및 복수의 탄력 부재(예를 들면, 4개의 코일 스프링)(23)를 구비할 수 있다. 복수의 코일 스프링(23)은 이동본체(11)와 하부 플레이트(20)에 연결된다. 이들 코일 스프링(23)은 반송 기구(12)를 항상 이동본체(11)상의 기준 위치로 향하도록 가압하고 있다. 4개의 코일 스프링(23)은 기준 위치를 중심으로 서로 약 90°의 방향으로 방사상으로 배치될 수 있다. 기준 위치는, 이동본체(11)상에 있어서 반송 기구(12)의 제 1 위치 정렬 고정 기구(22A)의 위치가 이동본체(11)의 제 2 위치 정렬 고정 기구(22B)의 위치와 실질적으로 일치하는 위치이다. 제 1 위치 정렬 고정 기구(22A)는 도 3에 도시된 바와 같이 하면에 원추형으로 형성된 오목부(22Aa)와, 이 원추형의 오목부에서 상면으로 향해서 관통하는 관통공(22Ab)을 구비할 수 있다. 제 1 위치 정렬 고정 기구(22A)는 하부 플레이트(20)에 있어서 전후에 배치될 수 있다. 제 2 위치 정렬 고정 기구(22B)는 전후의 제 1 위치 정렬 고정 기구(22A)의 관통공을 관통하는 전후 한쌍의 핀(22Ba)과, 이들 핀을 지지하는 지지 부재(22Bb)를 구비할 수 있다. 연결 기구(22C)는 제 2 위치 정렬 고정 기구(22B)의 지지 부재(22Bb)에서 수직 하강하는 로드(22E)와, 이 로드(22E)를 상하 방향으로 안내하는 실린더(22F)와, 이 실린더(22F)를 관통하여 하방으로 돌출한 로드(22E)에 핀(22Ga)을 통해서 연결된 링크(22G)와, 이 링크(22G)에 핀(22Gb)을 통해서 연결된 풀리(22H)와, 이 풀리(22H)와 조작 핸들(33)(도 1 참조)의 풀리(도시하지 않음) 사이에 감겨있는 타이밍 벨트(221)를 구비할 수 있다.
조작 핸들(33)을 반시계 방향으로 회전시키면, 풀리(22H)는 타이밍벨트(221)를 통해서 화살표(도 3)로 표시된 바와 같이 반시계 방향으로 회전한다. 이 회전에 의해, 제 2 위치 정렬 고정 기구(22B)의 핀(22Ba)이 제 1 위치 정렬 고정 기구(22A)에서 빠진다. 그 결과, 반송 기구(12)는 이동본체(11)로부터 해방된다. 조작 핸들(33)을 시계 방향으로 회전시키면, 제 2 위치 정렬 고정 기구(22B)의 핀(22Ba)이 제 1 위치 정렬 고정 기구(22A)에 끼워맞춰짐으로써, 반송 기구(12)는 이동본체(11)상에 고정된다.
프로브 카드 반송 장치(10) 및 프로브 장치(100)에는 위치 정렬 기구(40)가 배치될 수 있다. 연결 기구(30)가 프로브 카드 반송 장치(10)와 프로브 장치(100)를 연결한 후, 위치 정렬 기구(40)는 양자의 위치 정렬을 실행한다. 즉, 위치 정렬 기구(40)는, 예를 들면 도 1에 도시한 바와 같이, 상기 베이스부(13) 하면의 전단부에서 수직 하강하는 지지판(13B)을 구비한다. 지지판(13B)은 복수개(예를 들면, 3개이며, 단, 도면에서는 2개만이 보임)의 결합 돌기(41)를 구비한다. 프로버실(101)의 개구부(101A)의 하방에는 3개의 결합 오목부(42)가 배치될 수 있다. 결합 오목부(42)는 결합 돌기(41)와 각각 결합한다. 프로버실(101)의 정면에는 지지체(103)가 부착될 수 있다. 이 지지체(103)에는 좌우 한쌍의 가이드 레일(103A)이 부착될 수 있다. 이들 가이드 레일(103A)에는 결합 부재(104A)를 통해서 승강체(104)가 부착된다. 승강체(104)는 가이드 레일(103A)을 따라서 승강한다. 이 승강체(104)에는 결합 오목부(42)가 복수개(예를 들면, 3개) 배치되어 있다. 결합 오목부(42)는 역삼각형, 역원추형 등의 형상으로 될 수 있다. 결합 돌기(41)의 결합부는 예를 들면 원추형의 돌기로서 형성될 수 있고, 결합 오목부(42)의 결합부는 원추형의 오목부로서 형성될 수 있다. 결합 돌기(41) 및 결합 오목부(42)를 원추형의 형태로 함으로써, 프로브 카드 반송 장치(10)를 프로브 장치(100)에 대하여 대략적인 위치 정렬을 실행하는 것만으로도, 바닥면(G)에 다소의 경사가 있더라도 프로브 카드 반송 장치(10)와 프로브 장치(100)를 확실히 결합시킬 수 있다.
또한, 프로브 카드 반송 장치(10)와의 위치 정렬을 실행한 후, 프로브 카드 반송 장치(10)와 프로브 장치(100)를 확실히 위치 정렬하면서 고정하는 고정 기구(50)가 도 1에 도시된 바와 같이 프로브 장치(100)에 설치될 수 있다. 고정 기구(50)는, 예를 들면 도 1에 도시된 바와 같이, 상하의 결합 오목부(42)의 사이에서 승강체(104)에 설치된 좌우 한쌍의 구동 장치(예를 들면, 에어 실린더)(51)와, 이 에어 실린더(51)의 피스톤 로드(51A) 선단에 수평으로 부착된 판형상의 결합자(52)와, 이 결합자(52)가 결합하도록 지지판(13B)에 부착된 L자 형상의 피결합자(53)를 구비할 수 있다. 실린더 로드(51A)는 회전 기구(51B)에 의해 정(正)역회전될 수 있다.
프로브 카드 반송 장치(10)를 프로브 장치(100)에 고정하는 경우를 설명한다. 고정 기구(50)의 에어 실린더(51A)가 신장된 상태로, 프로브 카드 반송 장치(10)는 프로브 장치(100)에 근접하고, 피결합자(53)가 결합자(52)의 안에 도달한 상태로 회전 구동 장치를 통해서 결합자(52)가 회전함으로써, 결합자(52)와 피결합자(53)가 결합한다. 에어 실린더(51)가 피스톤 로드(51A)를 단축하는 것에 의해, 결합자(52) 및 피결합자(53)를 통해서 반송 기구(12)는 프로브 장치(100)측으로 인장되고, 반송 기구(12)는 프로브 장치(100)측에 고정된다.
상기 승강체(104)의 하방에는 도 1에 도시된 바와 같이 승강체 구동 기구(예를 들면, 에어 실린더)(60)가 설치될 수 있다. 에어 실린더(60)는 피스톤 로드(61)를 상향으로 하여 프로버실(101)의 하부에 부착된다. 이 피스톤 로드(61)를 통해서 승강체(104)를 상하로 승강시킬 수 있다.
도 1에 있어서, 참조부호(11A)는 이동본체(11)의 후단에 부착된 핸들이다. 이 핸들(11A)을 잡고 프로브 카드 반송 장치(10)를 눌러 이동시킨다. 핸들(11A)에는 승강용의 에어 실린더(60)를 구동시키는 스위치(도시하지 않음)가 각각 부착될 수 있다. 이들 스위치를 조작함으로써 에어 실린더(60)를 구동할 수 있다.
상기 반송 기구(12)의 베이스부(13)에는 도 4에 도시된 바와 같이 아암 기구(14)의 진출을 규제하는 스토퍼 기구(70)가 설치될 수 있다. 스토퍼 기구(70)는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 프로브 장치(100)측에 접촉하는 접촉 부재(71)와, 이 접촉 부재(71)를 선단에 구비하는 제 1 로드(72)와, 이 로드(72)를 수평 방향으로 이동 안내하는 제 1 실린더(73)와, 수직하게 배치된 로드(75)를 승강 안내하는 제 2 실린더(76)를 구비하고 있다. 제 2 로드(75)는 실린더(73)를 관통한 제 1 로드(72)의 기단부와 링크(74)를 통해서 핀 결합한다. 제 1 로드(72)의 선단측에는 플랜지(72A)가 형성되어 있다. 플랜지(72A)와 제 1 실린더(73) 사이에 스프링 코일(77)이 탄성적으로 장착되어 있다. 제 2 실린더(76)의 상단에서 돌출한 제 2 로드(75)의 선단부는 제 1 아암(15)에 부착된 결합 부재(78)와 결합되어, 제 1 아암(15)이 베이스부(13)상에서 튀어나가지 않도록 규제하고 있다.
따라서, 스토퍼 기구(70)의 접촉 부재(71)가 프로브 장치(100)측에 접촉하여, 제 1 로드(72)가 스프링 코일(77)의 가압력에 저항하여 후방으로 밀어넣어지면, 링크(74)를 통해서 제 2 로드(75)가 제 2 실린더(76)를 따라서 하강하여 제 1 아암(15)의 결합 부재(78)로부터 분리되어, 아암 기구[14(15)]를 해방시켜, 아암 기구(14)가 진출할 수 있는 상태로 된다.
다음에, 동작에 대하여 설명한다.
(a) 도 1에 화살표로 도시된 바와 같이, 반송 기구(12)상에 프로브 카드(C)를 탑재한다.
(b) 이동본체(11)의 핸들(11A)를 잡고 프로브 카드 반송 장치(10)를 눌러서, 소정의 프로브 장치(100)의 정면까지 이동시킨다.
(c) 도 5에 도시된 바와 같이, 연결 기구(30)의 연결구(31)를 프로브 장치(100)의 연결용 핀(37)의 바로 아래에 위치시킨다.
(d) 조작 핸들(33)을 도 5에 나타낸 하단 위치로부터 도 6에 화살표(A)로 표시한 바와 같이 상방으로 들어올림으로써, 링크(36)는 화살표(B)로 도시한 바와 같이 반시계 방향으로 회전하는 동시에, 스프링 코일(35)을 인장시킨다. 구동부(32)가 연결구(31)를 상방으로 요동시켜 수평 위치로 한다. 연결구(31)가 프로브 장치(100)의 연결용 핀(37)에 걸림으로써, 프로브 카드 반송 장치(10)와 프로브 장치(100)의 대략적인 위치 정렬도 실행한다. 이 상태에서는, 위치 정렬 기구(40)의 결합 돌기(41)와 결합 오목부(42)가 도 6에 도시된 바와 같이 위치 어긋난 상태에 있다.
(e) 이 때의 핸들 조작에 의해서, 위치 고정 기구(22)의 연결 기구(22C)는 화살표(C)로 표시된 바와 같이 반시계 방향으로 회전하고, 제 2 위치 정렬 고정 기구(22B)는 제 1 위치 정렬 고정 기구(22A)에서 분리되어, 반송 기구(12)를 이동본체(11)로부터 해방시킨다.
(f) 도 7에 도시된 바와 같이, 조작 핸들(33)을 완전히 올리는 것에 의해, 링크(36)는 또한 반시계 방향으로 회전한다. 코일 스프링(35) 및 구동부(32)의 링크 기구(32a)는 연결구(31)를 구동부(32)내에 밀어 넣는다. 도 7에 도시된 바와 같이, 프로브 카드 반송 장치(10)의 이동본체(11)는 프로브 장치(100)에 고정된다.
(g) 조작 핸들(33)을 로크한다. 위치 정렬 기구(40)의 결합 돌기(41)는 도 7에 도시된 바와 같이 결합 오목부(42)내에 중간까지 끼워맞춰진다.
(h) 도 7에 도시된 바와 같이, 조작 핸들(33)을 완전히 올려진 상태에서는, 고정 기구(50)의 결합자(52)는 피결합자(53)의 하측에 위치하고 있다.
(i) 이동본체(11)가 프로브 장치(100)에 고정된 것을 검출하면 도 8에 화살표(A)로 표시된 바와 같이 고정 기구(50)의 회전 구동 장치(51B)가 실린더 로드(51A)를 통해서 결합자(52)를 회전시킨다. 결합자(52)는 피결합자(53)와 결합한다.
(j) 에어 실린더(51)가 실린더 로드(51A)를 수축시키고, 도 8에 화살표(B)로 도시된 바와 같이, 이동본체(11)상에서 해방되어 있는 반송 기구(12)를 프로브 장치(100)측으로 끌어당긴다. 이 때, 반송 기구(12)와 이동본체(11)는 마찰 계수가 작은 제 1 및 제 2 접촉판(21A, 21B)을 통해서 접촉하고 있기 때문에, 반송기구(12)는 이동본체(11)상을 원활하게 이동할 수 있다.
(k) 실린더 로드(51A)가 완전히 수축되면, 반송 기구(12)는 도 8에 나타낸 상태로부터 도 9에 화살표로 도시된 바와 같이 위치 정렬 기구(40)의 결합 돌기(41)와 결합 오목부(42)가 완전히 결합한다. 이 결합에 의해, 반송 기구(12)와 프로브 장치(100)가 위치 정렬되고, 반송 기구(12)는 프로브 장치(100)측에 고정된다.
(l) 위치 정렬 기구(40)의 결합 돌기(41)와 결합 오목부(42)가 결합할 때에 도 9에 도시하는 바와 같이 반송 기구(12)는 승강체(104)를 가이드 레일(103A)을 따라 결합 돌기(41)와 결합 오목부(42)의 위치 어긋남 분량만큼 들어 올린다. 그 결과, 승강체(104)는 에어 실린더(60)의 실린더 로드(61)로부터 부상된다. 이 때, 도 4에 나타낸 스토퍼 기구(70)의 접촉 부재(71)가 승강체(104)에 접촉하여 후방으로 밀어넣어져서 제 2 로드(75)가 제 2 실린더(76)를 따라서 하강하고, 결합 부재(78)로부터 분리되어 아암 기구(14)를 베이스부(13)로부터 해방시켜, 진퇴 이동가능하게 된다.
(m) 도 9에 나타낸 상태에서, 핸들(15A)을 가압한다. 도 10에 도시된 바와 같이 반송 기구(12)는 이동본체(11)상에서 화살표(A)로 나타낸 방향으로 전진하여, 개구부(101A)에서 프로버실(101)내로 진입한다. 이 때, 아암 반송 기구(12)의 제 1 아암(15)이 베이스부(13)상을 이동하면, 이것과 평행하게 제 2 아암(16)은 제 1 아암(15)상을 동일 속도로 동일 거리만큼 전진한다. 그 결과, 제 2 아암(16)은 베이스부(13)를 기준으로 하면, 제 1 아암(15)의 2배속으로 2배의 거리만큼 전진한다. 이렇게 함으로써, 제 2 아암(16)은 도 10에 도시된 바와 같이 프로버실(101)내로 진입하여, 헤드 플레이트(102)의 프로브 카드 유지부의 바로 아래까지 이동한다.
(n) 핸들(11A)의 스위치를 조작함으로써, 승강용의 에어 실린더(60)는 피스톤 로드(61)를 연장시켜 도 11에 도시하는 바와 같이 피스톤 로드(61)가 승강체(104)의 하단에 접촉하도록 함으로써, 승강체(104)를 반송 기구(12)와 함께 화살표로 도시된 바와 같이 들어 올린다. 이 때, 반송 기구(12)는 코일 스프링(23)의 스프링력에 저항하여 들어 올려진다.
(o) 이동본체(11)상에서 반송 기구(12)가 들어 올려지는 것에 의해, 제 2 아암(16)상의 프로브 카드(C)는 헤드 플레이트(102)의 프로브 카드 유지부(102B)의 가이드 핀(102A)에 끼워맞춰진다.
(p) 이 상태에서, 프로브 카드 유지부(102B)가 회전한다. 회전하는 프로브 카드 유지부(102B)에 의해 프로브 카드(C)는 들어 올려져 유지된다. 프로브 카드(C)는 프로브 장치(100)에 장착된다.
(q) 그 후, 스위치 조작에 의해 승강용의 에어 실린더(60)를 구동시켜 승강체(104)를 하강시킨다. 반송 기구(12)도 하강하고, 반송 기구(12)는 마찰 계수가 작은 제 1 및 제 2 접촉판(21A, 21B)을 통해서, 이동본체(11)상에 착지한다.
(r) 핸들(15A)을 당기는 것에 의해, 제 1 아암(15)을 프로브 장치(100)로부터 인출한다. 제 2 아암(16)은 제 1 아암(15)의 2배속으로 본래의 위치에 복귀한다.
(s) 고정 기구(50)의 에어 실린더(51)의 피스톤 로드(51A)가 신장하고, 이 피스톤 로드(51A)가 반대 방향으로 회전함으로써, 결합자(52)는 결합자(53)로부터 분리된다. 반송 기구(12)는 프로브 장치(100)로부터 이격되고, 위치 정렬 기구(40)도 결합 상태가 해제된다.
(t) 그 결과, 도 4에 나타낸 스토퍼 기구(70)가 작동한다. 코일 스프링(23)의 스프링력에 의해, 반송 기구(12)측의 제 1 위치 고정 부재(22A)가 이동본체(11)측의 제 2 위치 고정 부재(22B)에 위치 정렬된다.
(u) 조작 핸들(33)을 본래의 위치까지 내린다. 연결 기구(30)의 구동부(32)에 의해, 연결구(31)는 프로브 장치(100)의 연결용 핀(37)으로부터 빠지는 동시에, 위치 고정 기구(22)의 제 2 위치 고정 부재(22B)는 제 1 위치 고정 부재(22A)에 끼워짐으로써, 반송 기구(12)를 이동본체(11)상에 구속한다.
(v) 이들 일련의 조작에 의해, 프로브 카드 반송 장치(10)와 프로브 장치(100)의 연결을 해제한다.
이상 설명한 바와 같이 본 실시예에 의하면, 이동가능한 이동본체(11)와, 이 이동본체(11)상에 이격가능하게 배치되고 또한 이동본체와 프로브 장치(100) 사이에서 프로브 카드(C)를 반송하는 반송 기구(12)를 구비한다. 반송 기구(12)는 베이스부(13)와, 베이스부(13)상에서 진퇴 이동하는 아암 기구(14)를 구비하고, 베이스부(13)에 프로브 장치(100)와의 위치 정렬 기구(40)를 설치하는 동시에 프로브 장치(100)와의 고정 기구(50)가 설치된다. 위치 정렬 기구(40)를 통해서 반송 기구(12)가 프로브 장치(100)측에 위치 정렬된 후, 고정 기구(50)를 통해서 반송 기구(12)를 프로브 장치(100)에 확실히 고정할 수 있다. 바닥면(G)에 경사가 있더라도, 반송 기구(12)는 이동본체(11)로부터 떨어져 프로브 장치내에서 프로브 카드(C)의 평행 상태를 유지하고, 프로브 카드를 헤드 플레이트(102)의 카드 클램프 기구에 대하여 원활하게 착탈할 수 있다.
본 실시예에 의하면, 이동본체(11)를 프로브 장치(100)에 연결하는 연결 조작 기구(30)를 갖는다. 프로브 카드 반송 장치(10)를 프로브 장치(100)에 접근시킨 후, 연결 조작 기구(30)를 조작함으로써 프로브 카드 반송 장치(10)를 프로브 장치(100)에 대하여 확실히 연결할 수 있다. 프로브 카드 반송 장치(10)와 프로브 장치(100)의 위치 정렬 및 고정을 보다 확실히 실행할 수 있다.
본 실시예에 의하면, 이동본체(11)와 반송 기구(12)를 서로 고정하는 위치 고정 기구(22)를 갖는다. 운반중에 반송 기구(12)가 이동본체(11)상에서 위치 어긋나거나, 이동본체(11)로부터 낙하하는 일은 없다. 이동본체(11)와 반송 기구(12)를 탄력적으로 결합하는 코일 스프링(23)을 갖기 때문에, 반송 기구(12)를 이동본체(11)상의 기준 위치로 확실히 복귀시킬 수 있다. 이동본체(11)와 반송 기구(11)의 접촉면에 마찰 계수가 작은 저마찰 부재로 이루어지는 제 1 및 제 2 접촉판(21A, 21B)을 구비하기 때문에, 반송 기구(12)와 프로브 장치(100)를 위치 결정하여 고정할 때에 반송 기구(12)를 이동본체(11)상에서 원활하게 이동시킬 수 있다.
본 실시예에 의하면, 반송 기구(12)는 베이스부(13)와, 베이스부(13)상에서 진퇴 이동하는 제 1 아암(15)과, 제 1 아암(15)상에서 진퇴 이동하는 제 2아암(16)을 구비한다. 제 1 아암(15)의 전후에 배치된 한쌍의 풀리(17A, 17B)와, 이들 풀리(17A, 17B) 사이에 감겨있는 무단 형상 벨트(17C)와, 이 무단 형상 벨트(17C)에 대하여 베이스부(13) 및 제 2 아암(16)을 각각 연결하는 제 1 및 제 2 연결구(18A, 18B)를 구비한다. 제 1 아암(15)을 이동시키는 것만으로도, 제 2 아암(16)을 제 1 아암(15)의 2배속으로 2배의 거리만큼 이동시킬 수 있다. 프로브 카드(C)의 반송 시간을 단축시킬 수 있음과 동시에 반송 기구(12)의 진퇴 이동 조작이 용이하게 된다.
본 실시예의 프로브 장치(100)는 프로버실(101)의 개구부(101A)측의 측면에 승강 가능하게 제공된 승강체(104)와, 승강체(104)에 제공되고 또한 반송 기구(12)를 프로버실(101)에 대하여 위치 정렬시키는 위치 정렬 기구(40)와, 승강체(104)에 제공되고 또한 반송 기구(12)의 베이스부(13)를 프로버실(101)에 고정하는 고정 기구(50)와, 승강체(104)를 승강시키는 승강용의 에어 실린더(60)를 구비한다. 프로브 장치(100)는 프로브 카드 반송 장치(10)와 동일한 작용 효과를 베이스부할 수 있다. 헤드 플레이트(102)는 반송 기구(12)를 통해서 반입된 프로브 카드(C)의 수평 방향의 위치 결정을 하는 위치 고정 기구를 갖는다. 반송 기구(12)를 통해서 반송된 프로브 카드(C)를 떨어뜨리지 않고 확실히 프로브 카드 유지부에 착탈할 수 있다.
도 12 내지 도 14는 본 발명의 프로브 카드 반송 장치의 다른 실시예를 나타내는 개념도이다. 본 실시예의 프로브 카드 반송 장치(10)는 도 12에 도시된 바와 같이 바닥면(G)을 자유롭게 이동할 수 있는 이동본체(111)와, 이 이동본체(111)상에 이격가능하게 배치된 반송 기구(112)를 구비하고 있다. 반송 기구(112)는 이동본체(111)와 프로브 장치(200) 사이에서 프로브 카드(C)를 반송한다. 이동본체(111) 및 반송 기구(112)는 도 1 내지 도 11에 나타낸 실시예에 준하여 구성될 수 있다. 반송 기구(112)는 베이스부(113), 제 1 및 제 2 아암(115, 116)을 갖는다. 도 2에 나타낸 반송 기구(12)와 마찬가지로, 제 2 아암(116)은 제 1 아암(115)의 2배속으로 2배 거리를 이동할 수 있다.
본 실시예의 프로브 카드 반송 장치(110)는 제 1 및 제 2 아암(115, 116)이 베이스부(113)로부터 진출한다. 제 1 및 제 2 아암(115, 116)이 특별히 무거운 프로브 카드(C)의 자중에 의해 경사졌을 때에, 제 1 아암(115)을 하방으로부터 지지하고, 제 1 및 제 2 아암(115, 116)의 전방으로의 경사를 방지하는 경사 방지 기구(120)를 갖는다. 도 12에 있어서는 도 1 내지 도 11에 나타낸 실시예의 연결 기구(30), 위치 정렬 기구(40), 고정 기구(50) 및 승강체 구동 기구(60) 등이 생략되어 있다.
경사 방지 기구(120)는 도 12에 도시된 바와 같이 조작 핸들(121), 베이스부(113)에 축 지지된 대략 "〈" 형상의 레버(lever) 부재(122), 레버 부재(122)의 선단에 부착된 접촉 부재(123)를 갖는다. 조작 핸들(121)을 조작하는 것에 의해, 레버 부재(122)는 요동하여, 접촉 부재(123)를 들어 올린다. 접촉 부재(123)는 제 1 아암(115)을 하방으로부터 지지한다.
다음에, 동작에 대하여 설명한다.
(a) 도 12에 도시된 바와 같이, 제 2 아암(116)상에 프로브 카드(C)를 탑재한다.
(b) 핸들(115A)을 도 12의 화살표 방향으로 누르는 것에 의해, 제 1 아암(115)이 베이스부(113)상을 진행하는 동안에, 제 2 아암(116)은 제 1 아암(115)의 2배속으로 2배의 거리를 베이스부(113)상에서 진행한다.
(c) 도 13에 도시된 바와 같이, 제 2 아암(116)이 화살표 방향으로 제 1 아암(115)상에서 진출하여 개구부(201A)에서 프로버실(201)내로 진입하면, 프로브 카드(C)의 자중에 의해 아래쪽으로 경사진다.
(d) 경사 방지 기구(120)의 조작 핸들(121)을 조작함으로써, 레버 부재(122)는 시계 방향[화살표(A) 방향]으로 회전한다. 접촉 부재(123)는 제 1 아암(115) 하면의 전단부에 접촉하여, 제 1 아암(115)을 수평하게 될 때까지 들어 올린다.
(e) 이 상태로, 레버 부재(122) 도시하지 않은 기구에 의해 그 위치에서 로크된다.
(f) 이 조작은 프로브 카드(C)를 수평하게 한다.
(g) 프로브 카드(C)를 장착한 후에는, 레버 부재(122)의 로크를 해제하고, 접촉 부재(123)에 의한 제 1 아암(115)의 지지를 해제하여, 반송 기구(112)를 원래로 되돌린다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 의하면, 이동본체(111)로부터 진출한 반송 기구(112)의 경사를 방지하는 경사 방지 기구(120)를 갖는다. 중량화(重量化)된 프로브 카드(C)가 반송 아암(112)의 제 2 아암(116)이 프로브 장치(200)내에 진출하고, 반송 기구(112)가 프로브 카드(C)의 자중에 의해 경사지더라도, 경사 방지 기구(120)는 프로브 카드(C)를 들어 올려 수평으로 보정한다. 프로브 카드(C)를 원활하게 교환할 수 있어, 반송 기구(112)를 고강성화할 필요성이 없다. 반대로, 반송 기구(112)를 경량화할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 각 실시예에 하등 제한되는 것이 아니라, 필요에 응해서 각 구성요소를 적절히 설계 변경할 수 있다. 예를 들면, 위치 고정 기구(22)의 연결 기구(22C)나 연결 조작 기구(30)의 연결 기구(34) 등은 여러가지의 기구를 이용할 수 있다. 또한, 고정 기구(50)의 결합자(52) 및 피결합자(53)에 대해서도 다른 형태를 채용할 수도 있다. 또한, 승강체 구동 기구(60) 등에는 에어 실린더 이외의 구동 장치를 채용할 수도 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 프로브 장치의 풋프린트를 작게 할 수 있다. 바닥면의 경사 등의 영향을 받는 일없이, 프로브 장치내에서 대형의 프로브 카드를 평행 상태로 유지할 수 있다. 프로브 카드를 헤드 플레이트에 대하여 원활하게 반송하여 착탈할 수 있다.

Claims (16)

  1. 반송 기구에 있어서,
    베이스부와,
    상기 베이스부상에 진퇴 이동가능하게 배치된 제 1 아암 기구와,
    상기 제 1 아암 기구상에 진퇴 이동가능하게 배치된 제 2 아암 기구와,
    상기 제 1 아암 기구의 전후에 배치된 한쌍의 회전체와,
    상기 한쌍의 회전체 사이에 감겨있는 무단 형상 벨트와,
    상기 무단 형상 벨트를 상기 베이스부에 연결하는 제 1 연결구와,
    상기 무단 형상 벨트를 상기 제 2 아암 기구에 연결하는 제 2 연결구를 포함하며,
    상기 무단 형상 벨트를 회전체의 주위에서 이동시키는 것에 의해, 제 1 아암 기구 및 제 2 아암 기구가 베이스부상에서 진퇴 이동되는
    반송 기구.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 아암 기구는 반송되어야 할 물품을 유지하기 위한 유지 기구를 구비하는
    반송 기구.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 연결구는 무단 형상 벨트를 상기 베이스부의 프로브 장치측에 연결하고, 상기 제 2 연결구는 무단 형상 벨트를 상기 제 2 아암 기구의 프로브 장치 반대측에 연결하는
    반송 기구.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 반송 기구는 상기 베이스부상에서 진출한 상기 제 1 아암 기구가 경사지는 것을 방지하는 기구를 구비하는
    반송 기구.
  5. 프로브 카드를 프로브 장치로 그리고 장치로부터 반송하는 이동식 프로브 카드 반송 장치에 있어서,
    이동가능한 이동본체와,
    상기 이동본체상에 이격가능하게 배치된 반송 기구로서, 상기 반송 기구는 베이스부와, 상기 베이스부상에 진퇴 이동가능하게 배치된 아암 기구를 구비하는, 상기 반송 기구와,
    상기 반송 기구가 반송하는 프로브 카드를 프로브 장치내의 소정 위치에 배치하기 위한 제 1 위치 정렬 기구로서, 상기 제 1 위치 정렬 기구는 베이스부 및 프로브 장치중 적어도 하나에 배치되는, 상기 제 1 위치 정렬 기구와,
    상기 베이스부를 상기 프로브 장치에 위치 정렬하여 고정하기 위한 제 2 위치 정렬 고정 기구를 포함하는
    이동식 프로브 카드 반송 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 이동본체를 상기 프로브 장치에 연결하는 연결 조작 기구를 더 포함하는
    이동식 프로브 카드 반송 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 반송 기구를 상기 이동본체상의 기준 위치에 위치 정렬시켜 고정하는 제 1 위치 정렬 고정 기구를 더 포함하는
    이동식 프로브 카드 반송 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 위치 정렬 고정 기구는 상기 반송 기구를 상기 이동본체를 향해서 잡아 당기는 탄력 부재를 구비하는
    이동식 프로브 카드 반송 장치.
  9. 제 5 항에 있어서,
    상기 반송 기구는 하부 플레이트상에 탑재되어 있고, 상기 하부 플레이트는 그의 하면에 제 1 접동 기구를 가지며,
    상기 이동본체는 그의 상면에 상부 플레이트를 갖고, 상기 상부 플레이트는 그의 상면에 제 2 접동 기구를 가지며,
    상기 제 1 접동 기구는 상기 제 2 접동 기구상에서 접동가능한
    이동식 프로브 카드 반송 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 접동 기구와 상기 제 2 접동 기구는 판형상 부재이며, 상기 제 1 접동 기구의 판형상 부재와 상기 제 2 접동 기구의 판형상 부재중 적어도 하나의 표면은 저마찰재로 구성되어 있는
    이동식 프로브 카드 반송 장치.
  11. 제 5 항에 있어서,
    상기 아암 기구는 상기 베이스부상에서 진퇴 이동가능한 제 1 아암 기구와, 제 1 아암 기구상에서 진퇴 이동가능한 제 2 아암 기구를 구비하는
    이동식 프로브 카드 반송 장치.
  12. 제 5 항에 있어서,
    상기 이동본체로부터 진출한 상기 반송 기구의 경사를 방지하는 기구를 더포함하는
    이동식 프로브 카드 반송 장치.
  13. 프로브 장치에 있어서,
    프로브 카드, 및 그의 측면 및 상면중 적어도 일 측면에 형성된 개구부를 갖는 프로버실과,
    상기 프로버실의 상기 개구부를 통해서 상기 프로버실로 및 상기 프로버실로부터 프로브 카드를 반입 및 반출입하는 프로브 카드 반송 기구(12)와,
    상기 프로버실의 외측면에 승강 가능하게 제공된 승강체와,
    상기 승강체와 반송 기구에 제공된 제 2 위치 정렬 고정 기구로서, 상기 제 2 위치 정렬 고정 기구는 상기 반송 기구를 상기 프로버실의 소정 위치에 위치 정렬하여 고정하는, 상기 제 2 위치 정렬 고정 기구와,
    상기 승강체를 승강시키는 승강체 구동 기구를 포함하는
    프로브 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 반송 기구를 이동본체상에 이격가능하게 지지하는 지지 기구와,
    상기 이동본체를 상기 프로버실에 연결하는 연결 기구를 더 포함하는
    프로브 장치.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 프로버실은 상기 반송 기구가 반입한 상기 프로브 카드의 수평 방향의 위치 결정을 실행하여 고정하는 제 3 위치 정렬 고정 기구를 구비하는
    프로브 장치.
  16. 프로브 카드 반송 장치를 갖는 프로브 장치에서, 프로브 카드를 프로브 장치에 반입하는 방법에 있어서,
    (a) 프로브 카드 반송 장치상에 프로브 카드를 탑재하는 단계와,
    (b) 프로브 카드 반송 장치를 프로브 장치에 연결하는 단계와,
    (c) 프로브 카드 반송 장치가 반송하는 프로브 카드의 높이를 프로브 장치에 대응한 높이로 조정하는 단계와,
    (d) 프로브 카드 반송 장치가 프로브 카드를 프로브 장치로 반입하는 단계를 포함하는
    프로브 카드를 프로브 장치에 반입하는 방법.
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