JPH03220742A - プロービングマシン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はプロービングマシンに係り、特にウェハの種類
に応じてプローブカードを交換するようニジたプロービ
ングマシンに関する。

〔従来の技術〕

一般に、半導体部品はシリコン単結晶を薄片状に切り出
したウェハの表面に、回路パターンをエツチングで形成
した後、ウェハをダイシングマシンによって個々のチッ
プに切断して製造される。

回路パターンが形成されたウェハはダイシングマシンに
よる切断の前に、不良チップを発見するためプロービン
グマシンでウェハの電気的特性の検査が行われる。

プロービングマシンによる電気的特性の検査は、チップ
の回路パターンに対応した触針を有する円盤形のプロー
ブカードをプロービングマシンのテスタに接続されてい
るプローブソケットに固定し、プローブカードの触針（
プローブ）をウェハに接触させて行われる。プローブカ
ードはウェハの種類に応じて交換されるが、従来、プロ
ーブカードは特開昭６３−２８０４３１号公報記載のプ
ローブ装置のように、プローブカード搬送用のカードチ
ャック、搬送アーム等によって所定位置に搬送され、プ
ローブソケットに接続される。従って、ブローブカ−ド
の交換には、プローブカード搬送用のカードチャック、
アーム等の搬送手段が不可欠である。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、プローブカードを搬送するためのカード
チャック等を設置すると、プロービングマシンの構造が
複雑となる欠点があり、コストアップの原因となってい
た。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、プロ
ーブカード専用の搬送手段が不要なプロービングマシン
を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、前記目的を達成するために、ウェハを測定位
置に搬送するウェハチャックと、ウェハの種類に応じた
プローブカードの触針を該ウェハチャックに載置された
ウェハの電極に接触させることによりウェハの電気的特
性の測定を行うプローバ部と、からなるプロービングマ
シンにおいて、プローブカードの前記プローバ部への搬
送及び該プローブカードとプローブソケットとの接続を
前記ウェハチャックによって行うようにしたことを特徴
としている。

〔作用〕

本発明によれば、ウェハの電気的特性の測定を行うプロ
ーブカードのプローバ部への搬送並びにプローブソケッ
トへの接続を行う手段として、ブロービング時にウェハ
を測定位置に搬送するウェハチャックを使用するように
している。このため、プローブカードを搬送するための
搬送手段を別個に設ける必要がなく、プロービングマシ
ンの構造を簡略化することができる。

〔実施例〕

以下、添付図面に従って本発明に係るプロービングマシ
ンの好ましい実施例を詳説する。

第１図は本発明に係るプロービングマシンの平面図であ
る。第１図のプロービングマシンは、ウェハを所定の検
査位置に搬送するウェハチャック１０及びＸ−Ｙテーブ
ル１２、ウェハの位置決めを行うプリアライメント装置
１４、ウェハの電気的特性の検査を行うプローバ部１６
等から構成されている。

測定を行う場合、第１図に示すようにカセット１８に収
納されたウェハ２２は、搬送ベルト２０で矢印方向に１
枚ずつ導かれ、プリアライメント装置１４によって一定
方向に揃えた状態でＡ位置に位置決めされる。位置決め
されたウェハ２２はＡ−Ｂ間を移動するウェハ移動装置
２４により、Ａ位置からＢ位置へと移動される。更に、
Ｂ位置へ移動されたウェハ２２はＸ−Ｙテーブル１２上
の上下動及び回転可能なウェハチャック１０に真空吸着
され、プローバ部１６に移動される。また、ウェハチャ
ック１０はウェハの搬送の他、後述するようにブロービ
ング時にウェハの種類に応じて交換されるプローブカー
ドを、プロービングマシン本体に設置された第３図に示
すストッカ２５からプローバ部１６に搬送する機能を併
せもっている。

第２図は前記プローバ部１６の詳細を示した断面図で、
ブロービング時に使用されるプローブソケット２６、プ
ローブカード２８並びにウェハチャック１０との関係を
示している。前述したように、ウェハチャック１０には
プローブカード２８を搬送する機能が付加されている。

ウェハチャック１０はストッカからプローブカード２８
をプローバ部１６に移動してプローブソケット２６にプ
ローブカード２８を接続する。

プローブカード２８は円盤状に形成され、多数の触針２
８Ａが設けられ、前記ストッカ２５内においてプローブ
カード２８はリング状のホルダ３０、キャリヤ３２を介
して支持されている。キャリヤ３２は中央部が凹状に形
成されており、プローブカード２８の触針２８Ａが破損
しないよう保護している。また、ホルダ３０にはプロー
ブカード２８がプローブソケット２６に接続された時に
、正確な位置合わせが行えるよう後述する基準ピン３４
が嵌合する孔３０Δが穿設されている。

次に、プローブソケット２６について述べる。

プローブソケット２６は、第１図で説明したプローバ部
１６に設けられており、第２図に示すように、ウェハチ
ャック１０がＺ方向に上昇しながらプローブカード２８
をプローブソケット２６に接触させ、取り付はリング３
６に取り付けられた基準ピン３４を前記孔３０Ａに挿入
するようにして位置決めを行う。プローブソケット２６
は、取り付はリング３６、連結リング３８等を介して固
定ステージ４０に配設されている。プローブソケット２
６にはテスタと導通している図示しない接続ピンが設け
られており、プローブカード２８は、この接続ピンを介
してテスタと接続される。また、固定ステージ４０には
プローブカード２８をプローブソケット２６に固定する
ロック機構４２が設けられ、プローブカード２８は両方
から挟圧されてプローブソケット２６に接続固定される
。

前記の如く構成した本発明に係るプロービングマシンの
作用を第３図を中心に説明する。第３図はプローブカー
ド搬送時の概略を示した斜視図である。第３図において
、ストッカ２５には図示しない複数のプローブカードが
収納され、ブロービング時はストッカ２５から、ウェハ
の種類に応じてプローブカードが取り出され、プローバ
部１６に搬送された後、前記プローブソケット２６に接
続される。

第３図に示すように、ストッカ２５の側方には横方向に
移動可能な回転アーム４４が設置され、プローブカード
の取り出しが以下のように行われる。先ず、回転アーム
４４は、ストッカ２５の方向に移動し、回転アーム４４
がストッカ２５内のプローブカードの下方に位置した後
、ストッカ２５が下降することにより回転アーム４４に
プローブカード２８が支持される。プローブカード２８
はストッカ２５内に前記キャリヤ３２　（第３図には図
示せず）を介して支持されているため、回転アーム４４
にキャリヤ３２を介して載置されることになる。

そして、プローブカード２８が載置された回転アーム４
４は、矢印Ｅ及び矢印Ｆに示すように移動して、待機し
ているウェハチャック１０にプローブカード２８、キャ
リヤ３２を載せる。次いでウェハチャック１０が所定量
上昇してキャリヤ３２を真空吸着した後、回転アーム４
４はウェハチャック１０から退避する。第２図に示すよ
うに、キャリヤ３２は中央部が凹んでおり、回転アーム
４４の退避を妨げないようになっている。

更に、ウェハチャック１０は矢印Ｇに示すようにＸ−Ｙ
テーブル１２　（第３図には図示せず〉によってプロー
バ部１６に移動され、ウェハチャック１０が第２図に示
す状態からプローブソケット２６に対して上昇してプロ
ーブカード２８をプローブソケット２６に接続し、テス
タと導通させる。

尚、プローブカード２８を支持していたキャリヤ３２は
、前記プローブカード２８の搬送と逆の作用でストッカ
２５内に収納される。

プローブカード２８がプローブソケット２６に接続され
た後、第１図に示すようにウェハチャック１０はＢ位置
に移動し、被検査品であるウェハ２２を受けとり、Ｃ位
置、Ｄ位置の順に移動する。

Ｃ位置では、ウェハの位置決めが行われ、更に、Ｄ位置
において、図示しない顕微鏡でウェハの電極と触針２８
Ａとが位置合わせされ、触針２８Ａをウェハの各電極に
接触させなからウェハの電気的緒特性の検査が実施され
る。

このように、本発明に係るプロービングマシンでは、従
来のプロービングマシンがプローブカード専用の搬送手
段を有していたのに対し、ウェハの搬送を行うウェハチ
ャック１０を利用してプローブカード２８をプローバ部
１６に搬送及び接続するようにしている。これにより、
搬送手段を別個に設ける必要がなくなり、装置の簡略化
を図ることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明に係るプロービングマシンに
よれば、ウェハ搬送用のウェハチャックでプローブカー
ドをプローバ部に搬送及び接続するようにしている。こ
れにより、プローブカード専用の搬送手段がいらなくな
り、プロービングマシンの構造の簡略化を図ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るプロービングマシンの平面図、第
２図はプローバ部の詳細を示した断面図、第３図はプロ
ーブカード搬送時の概略を示した斜視図である。 １ ０・・・ウェハチャック、 ■ ６・・・プローバ部、 ２・・・ウェハ、 ６・・・プローブソケット、 ８・・・プローブカード。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ウェハを測定位置に搬送するウェハチャックと、ウェハ
   の種類に応じたプローブカードの触針を該ウェハチャッ
   クに載置されたウェハの電極に接触させることによりウ
   ェハの電気的特性の測定を行うプローバ部と、からなる
   プロービングマシンにおいて、 プローブカードの前記プローバ部への搬送及び該プロー
   ブカードとプローブソケットとの接続を前記ウェハチャ
   ックによって行うようにしたことを特徴とするプロービ
   ングマシン。