JP5377915B2 - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
12 プローバ室
13 循環装置
14 制御装置
15 乾燥空気を供給する手段
121 載置台
131 送風ユニット
132 フィルタユニット
134 プレフィルタ(第1のフィルタ)
139 メインレフィルタ(第2のフィルタ)
W 半導体ウエハ(被検査体)
Claims (7)
- 載置台上に載置された被検査体を低温領域の所定温度に調整して上記被検査体の電気的特性検査を行うプローバ室と、上記プローバ室の側面に沿って配置され且つ上記プローバ室内の乾燥空気を除塵しながら循環させる循環装置と、上記プローバ室内で上記乾燥空気の露点を監視する露点計と、上記循環装置及び上記プローバ室内の載置台を含む機器を制御する制御装置と、を備え、上記制御装置の制御下で、上記露点計で上記乾燥空気の露点を監視し、上記監視の結果に基づいて上記乾燥空気の温度を上記被検査体への着霜及び氷結を防止する所定の露点に制御する検査装置であって、上記循環装置は、上記プローバ室内の乾燥空気を循環させる送風ユニットと、上記送風ユニットを介して循環する乾燥空気中から塵埃を除去するフィルタユニットと、を備えたことを特徴とする検査装置。
- 上記プローバ室に乾燥空気を供給する手段を設けたことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 上記送風ユニットは第1のフィルタ及び送風機を有し、上記フィルタユニットは第2のフィルタを有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の検査装置。
- 上記循環装置は放熱機器を有することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の検査装置。
- 載置台上に載置された被検査体を低温領域の所定温度に調整して上記被検査体の電気的特性検査を行うプローバ室と、上記プローバ室の側面に沿って配置され且つ上記プローバ室内の乾燥空気を除塵しながら循環させる循環装置と、上記プローバ室内で上記乾燥空気の露点を監視する露点計と、上記循環装置及び上記プローバ室内の載置台を含む機器を制御する制御装置と、を備え、上記制御装置の制御下で、上記露点計で上記乾燥空気の露点を監視し、上記監視の結果に基づいて上記乾燥空気の温度を上記被検査体への着霜及び氷結を防止する所定の露点に制御する検査装置を用い、上記被検査体を上記低温領域まで冷却して電気的特性検査を行う検査方法であって、上記載置台を用いて上記被検査体を低温領域まで冷却する工程と、上記循環装置を用いて上記プローバ室内に乾燥空気を循環させる工程と、上記乾燥空気が循環する間に上記乾燥空気中の塵埃を除去する工程と、上記制御装置を用いて上記循環装置の風量を制御する工程と、を備えたことを特徴とする検査方法。
- 上記プローバ室への上記循環装置の吐出風量を146〜172L/分に設定することを特徴とする請求項5に記載の検査方法。
- 上記プローバ室内に乾燥空気を供給する工程を備えたことを特徴とする請求項5または請求項6に記載の検査方法。
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