JP2004265895A - 光学的測長器を備えたプローブ装置及びプローブ検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】被検査体とプローブ間の距離を精確に測定し、両者間の接触圧を最適制御して検査の信頼性をさらに高めることができるプローブ装置及びプローブ検査方法を提供する。
【解決手段】ウェハ状基板Wの上に形成された被検査体の電気的特性検査を行う、制御位置計測手段を備えたプローブ装置(100)を提供する。このプローブ装置は、プローバ室(29)と、該プローバ室内に配置され、被検査体を載置するための載置台(6)と、該載置台をX,Y,Z及びθ方向に移動する移動機構(16)と、複数のプローブ(26)を有し、該載置台と対向して配置されるプローブカード(14)と、第1の光学的測長器(4a,4b)を具備し、該第1の光学的測長器は該載置台に載置された被検査体の表面に光を照射し、その反射光に基づいて該被検査体のZ軸方向の位置を測定する。また、第2の光学的測長器(5a,5b)を具備することができる。
【選択図】 図8
【解決手段】ウェハ状基板Wの上に形成された被検査体の電気的特性検査を行う、制御位置計測手段を備えたプローブ装置(100)を提供する。このプローブ装置は、プローバ室(29)と、該プローバ室内に配置され、被検査体を載置するための載置台(6)と、該載置台をX,Y,Z及びθ方向に移動する移動機構(16)と、複数のプローブ(26)を有し、該載置台と対向して配置されるプローブカード(14)と、第1の光学的測長器(4a,4b)を具備し、該第1の光学的測長器は該載置台に載置された被検査体の表面に光を照射し、その反射光に基づいて該被検査体のZ軸方向の位置を測定する。また、第2の光学的測長器(5a,5b)を具備することができる。
【選択図】 図8
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般にウェハ状基板(以下、「ウェハ」と称す)W上に形成された複数の被検査体(以下、「チップ」と称す)の電気的特性を検査するプローブ装置及びプローブ検査方法に関し、更に詳しくは、チップの測定位置及びプローブカードの位置を直接測定する計測手段を備えたプローブ装置及びプローブ検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
チップの測定位置は、プローブカードのプローブとチップのX,Y,Z、及びθ方向の位置を合わせるとともに、プローブに向けてチップを上昇させて、両者を所定のオーバードライブ量で正確に接触させるために、正確に測定することが必要である。近年チップの電極部あるいは電極下が薄く、柔らかくなっているため、過剰なオーバードライブにより、電極部あるいは電極下に下地の露出、クラック等のダメージが発生している。従来、この位置合わせのための測定はカメラによってそれぞれを撮像することによって行われてきた。カメラを用いた方法は、X,Y,及びθ方向の位置合わせにおいては精度が高く、広く利用されている。しかし、Z方向の位置合わせは、対象物にカメラの焦点を合わせて距離を測定する方法で行われるため、測定可能な距離範囲が狭い、精度が低い、などの課題があった。測定誤差は、プローブとチップの接触圧に影響し、その結果プローブ及びチップを傷つけたり、または十分に接触せずに測定誤差が生じたりする虞が有った。特許文献1には、この点を改良し、光学的測長器によりプローブとチップのZ方向の位置合わせを行う装置が開示されている。この特許文献1に記載された装置は、2つの光学的測長器を備えているが、プローブとチップの位置を直接測定することは出来ない。また、測定時にはメインチャックを所定の位置に移動させる必要がある。さらに、測定の一部にカメラを用いた焦点合わせが必要であり、その結果からプローブとチップの間の距離を算出するもので、測定に時間がかかり、且つ精度の高い測定が出来ないという課題がある。
【0003】
【特許文献1】
特開平11−26524号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本願発明は、その1つの観点に従って、より簡単な構成によりチップとプローブ間の距離の測定誤差を減少し、オーバードライブ量を最適に制御して検査の信頼性をさらに高めることができるプローブ装置及びプローブ検査方法を提供する。
また、本願発明は、他の観点に従って、プローブカードの変形によるZ方向の位置の変化を測定し、チップとプローブの位置合わせをより精確に行うことができるプローブ装置及びプローブ検査方法を提供する。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の1つの観点に従って、下記を具備する、ウェハWに形成されたチップの電気的特性検査を行うプローブ装置が提供される。
プローバ室(該プローバ室は、上部壁及び側壁を有する)、該プローバ室内に配置され、複数のチップが形成されたウェハを載置するための載置台、該プローバ室内に配置され、該載置台をX,Y,Z及びθ方向に移動する移動機構、該プローバ室上部に配置されたプローブカード(該プローブカードは複数のプローブを有し、該載置台と対向して配置される)、第1の光学的測長器(該第1の光学的測長器は該載置台に載置されたウェハに形成されたチップの表面に光を照射し、その反射光に基づいて該チップのZ軸方向の位置を測定する)。
本願発明の上記の観点に基づくプローブ装置は、下記(1)〜(12)のさらに好ましい構成のいずれか、あるいはこれらの内のいずれかの組み合わせを具備することができる。
(1)第1の光学的測長器により測定されるZ方向の位置の基準となる基準面が載置台に付設される。
(2)該第1の光学的測長器が照射する光はレーザー光である。
(3)レーザー光の直径は10μm〜30μmである。
(4)該第1の光学的測長器は、プローバ室内の上部壁及び側壁のいずれかに取り付けられる。
(5)該プローブ装置は、該移動機構を制御するための制御装置を具備する、ここにおいて、該第1の光学的測長器は、該載置台及び該載置台に載置されたウェハのいずれかの表面における複数箇所のZ方向の位置を測定し、該制御装置は、該第1の光学的測長器が測定した複数箇所のZ方向の位置に基づいて、該表面のZ方向の位置に関するマップを作成する。
(6)該プローブ装置は、該プローブカードのZ方向の位置の変化を測定するための第2の光学的測長器をさらに具備する。
(7)該第2の光学的測長器が照射する光はレーザー光である。
(8)該プローバ室は、該上部壁に形成された開口部(該開口部は該プローブカードの上部に位置される)及び保持板(該保持版は該開口部を覆うように該上部壁の上に固定される)を具備し、該第2の光学的測長器は、該保持板の下面に取り付けられる。
(9)該プローブ装置は、プローブカードを固定するためのプローブカード支持部材(該プローブカード支持部材は該プローブカードの上部に取り付けられる)を具備し、該第2の光学的測長器は、該プローブカード支持部材の上面を計測することにより該プローブカードのZ方向の位置の変化を測定する。
(10)該プローブカード支持部材は、該第2の光学的測長器により測定される箇所に測定用の光を反射する反射体を具備する。
(11)該第2の光学的測長器は、該プローブカードの側面を測定することにより該プローブカードのZ方向の位置の変化を測定する。
(12)該プローブカードは、該第2の光学的測長器により測定される側面に測定用の光を反射する光学素子を具備する。
本発明の他の観点に従って、下記を具備する、位置合わせ用の上カメラ及び下カメラを具備するプローブ装置においてウェハ状基板に形成された複数のチップを検査する方法が提供される。
(a)載置台上にウェハを載置する、(b)プローブカードのX,Y及びθ方向の位置を下カメラで撮像する、(c1)第1の光学的測長器により該載置台に付設した基準面のZ方向の位置を測定する、(c2)載置台を上昇させ、基準面をプローブに接触させることにより、該基準面と該プローブの間の距離を測定する、(d)チップのX,Y及びθ方向の位置を上カメラで撮像する、(e)該第1の光学的測長器を用いて、チップの表面のZ方向の位置を測定する、(f)上記(c)及び(e)の測定結果に基づき該チップの表面と該プローブの先端との間の距離を決定する、(g)チップとプローブカードのX,Y及びθ方向の位置を合わせる、(h)該(f)で決定した該チップと該プローブの間の距離に基づいて、該移動機構が該載置台をZ方向に上昇させて、該チップを該プローブに接触させる、(i)該移動機構が該載置台をオーバードライブする、(j)該チップの電気的特性を測定する、(k)チップサイズ分の移動を行い、(h)乃至(j)を繰り返すことにより次のチップを測定する。
上記方法は、さらに下記構成のいずれか、或いは下記構成のいずれかを組み合わせて具備することが好ましい。
該第1の光学的測長器は、該ウェハ状基板の表面の複数箇所におけるZ方向の位置を測定する(e1)。
測定された該ウェハ状基板の表面上の複数箇所におけるZ方向の位置に関するマップを作成する(e2)。
該(e2)で作成された該マップに基づいて、該移動機構が該載置台をZ方向に移動させて、チップをプローブに接触させる。
さらに第2の光学的測長器を具備し、プローブカードのZ方向の位置を測定する(b2)。
上記の(f)は、上記の(c)及び(e)に加えて該(b2)の測定結果に基づいて、該チップと該プローブの間の距離を決定する。
【0006】
【発明の実施の形態】
本願発明はウェハ上に形成された半導体の電気的特性を測定するプローブ装置及びプローブ検査方法に適用することが出来る。
【0007】
以下、図面を参照して本発明の第1の実施形態を説明する。図1は、本願発明の第1の実施例のプローブ装置100の本体断面図である。本実施例によるプローブ装置100はプローバ室29を有する。このプローバ室29は上部壁2、側壁3を有する。上部壁2はその中央に開口部7を有することが出来る。プローバ室内にはウェハ状の基板(以下、「ウェハ」と称する。)Wを載置するための載置台6が備えられる。この載置台6は、移動機構16の上に取り付けられる。この移動機構16は載置台をX,Y,Z及びθ方向に移動する。この移動機構16は、制御装置17によって制御される。
【0008】
載置台6は、載置されたウェハWを保持するための基板固定機構23を具備することができる。図2は基板固定機構23の一実施例を示す。基板固定機構23は、例えば載置台の表面に形成された溝23a及びこの溝23aに接続される給排気用孔23bを備える。真空ポンプ22が、孔23bを介して溝23aを真空引きすることにより、ウェハWは基板固定機構23の表面に吸引固定されることができる。基板固定機構23は真空吸引機構の他に、静電気を用いた吸着機構や機械的な固定機構なども採用することができる。
【0009】
図3は載置台6を移動する移動機構16の一実施例を示す。移動機構16は、ウェハWが載置された載置台6と、載置台6を支持するXステージ30と、Xステージ30を支持するYステージ32と、これらを支持する基台34とを備えている。ウェハWの電気的特性が検査される時には、載置台6は、X,Yステージ30、32を介してX,Y方向へ移動されると共に、載置台6の下部に備えられた昇降駆動機構によりZ方向に昇降する。Xステージ30はX方向駆動機構41を介してYステージ32上でX方向レール31に沿って往復移動する。Yステージ32はY方向駆動機構42を介して基台34上でY方向レール33に沿って往復移動する。X,Y方向駆動機構41,42は、それぞれモータ41a(図示せず)、モータ42a及びボールネジ41b,42bを有する。ボールネジ41b,42bは、それぞれX,Yステージ30,32と螺合し、X,Yステージ30,32をそれぞれ移動させる。昇降駆動機構は、例えばモータと、このモータにより正逆回転するボールネジと、このボールネジと螺合し載置台に固定されたナット部材とから構成されることができる。モータによってボールネジが回転することにより、ナット部材を介して載置台6が昇降される。さらに、載置台にはθ回転機構が備えられ、このθ回転機構によって載置台6が回転される。
【0010】
本願発明に採用されることができる移動機構は、図3に示したものに限られず、載置台をX,Y,Z及びθ方向に移動できるいずれの移動機構も採用されることができる。
【0011】
図1において、プローバ室29の上部の開口部7には、プローブカード14が載置台6と対向するように配置される。このプローブカード14は、ウェハW上に形成されたチップ1の電気的特性を検査するための複数のプローブ26を有している。プローブカード14は、例えばプローブカード支持部材9の下面に取り付けられることが出来る。このプローブカード支持部材9は、上部壁2に直接取り付けられても良いが、上部壁2の開口部7に取り付けられたヘッドプレート12に着脱可能に固定されても良い。
【0012】
さらに、プローバ室29には、チップ1とプローブ26のX,Y及びθ方向の位置を合わせるために使用される上下のカメラ15a,15bが備えられる。下カメラ15bは載置台6の周囲に配置され、上カメラ15aは、プローバ室29の上部に配置されることができる。上カメラ15aは、例えばX方向に沿って配置されたアライメントブリッジ15dの長手方向中央部に取り付けられる。アライメントブリッジ15dは、プローバ室側壁の上部に備えられたガイドレール15cに沿ってY方向に往復移動可能である。
【0013】
下カメラ15bはプローブカード14のプローブ26の先端を撮像し、上カメラ15aはウェハWに形成されたチップ1の電極を撮像する。この撮像したそれぞれの座標位置に基づいて、制御装置17はチップ1の電極とプローブ26の先端の位置関係を算出し、載置台6を移動してチップ1とプローブ26とを位置合わせする。
【0014】
そして、チップ1とプローブ26のZ方向の位置を合わせるために、本願発明の1実施例は第1の光学的測長器4(4a,4b)を備える。第1の光学的測長器4は、載置台6に載置されたウェハW上に形成されたチップ1の表面に光を照射し、その反射光に基づいてチップ1のZ軸方向の位置を直接且つ正確に測定することができる。第1の光学的測長器4は、プローバ室29のいずれの箇所にも配置されることができるが、特に上部壁2、或いは側壁3の上部に配置されることによりぶれ難く精確な測定を行うことができる。
【0015】
第1の光学的測長器4は、第1の照射器4Aと第1の検出器4Bとを具備し、第1の照射器4Aから照射された光は、チップ1などの測定対象物に反射して第1の検出器4bに入射する。このとき、光を反射する面のZ方向の位置が変化することによって、検出器に入射する光の位置が移動する。この光の位置の移動に基づいて、光を反射する面のZ方向の位置を測定することができる。その原理図を図4に示した。反射面20がAの位置にあるとき、光はA´において反射し、反射面がBの位置にあるとき、光はB´において反射する。これらの反射光は入射面21においてそれぞれA´´、B´´の点に入射する。ここにおいて、光が反射する点の位置の変化をΔX、反射面のZ方向の位置の変化をΔZとし、反射面20を入射面に結像する光学系の倍率をMとし、反射面へ照射された光の入射角をθとする。また、反射面がAからBへ変化したとき、入射面での光の入射位置はA´´からB´´に変化するが、この距離をΔmeasとする。すると、
ΔX=ΔZtanθ ………▲1▼
Δmeas=2・ΔX・M ………▲2▼
であり、▲1▼及び▲2▼より、
Δmeas=2・M・tanθ・ΔZ
である。ここで、2・M・tanθは定数であるのでこれをKとすると、ΔZは
ΔZ=(1/K)・Δmeas
である。従って、Δmeasを計測することによりΔZを測定することが出来る。
【0016】
この光学的測長器を使用することによって、反射面の微量な位置の変化も検出可能であり、従来のカメラを用いた焦点法による測定と比較して精確な測定が可能となる。また、焦点法による測定では、載置台6を昇降させて焦点をチップ1に合わせる必要があり、測定に時間がかかったが、この光学的測長器では、被測定物、即ちチップ1が検出範囲内にあれば載置台を昇降させることなく測定でき、測定に要する時間が大幅に短縮できる。さらに、この光学的測長器のZ方向の検出可能範囲は200μmの幅があり、カメラを用いた焦点法の検出可能範囲と比較して広いため、測定を容易に行うことができる。なお、光学的測長器のZ方向の検出可能範囲はより長尺な測長用センサを用いることにより、さらに広くすることが可能である。
【0017】
本願発明の第1の実施例では一つの光学的測長器でウェハWの表面、即ちチップ1を直接測定することが可能であるため、プローブ装置の構成が簡単になると共に、測長装置の測定誤差を減少することができ、測定精度を向上させることができる。また、本実施例に用いられる光学的測長器のように、反射光の光量によって測定する機構ではなく、検出器に入射する入射光の位置の変化に基づいて測定する機構を採用する場合には、反射面の状態によって測定結果が左右されず、安定した測定結果を得ることができる。さらに、本実施例に用いられる第1の光学的測長器4は、離れた位置からでも測定が可能であるため、載置台6に載置されたチップ1を測定可能な場所ならばどこにでも設置することが可能である。
【0018】
第1の光学的測長器4の光には、可視光LEDなどを用いることも出来るが、レーザー光を使用することが望ましい。本願発明における第1の光学的測長器4としてレーザー光を使用した機構を採用することで、より容易且つ精確な測定が可能である。本実施例において使用されるレーザー光の直径は10〜30μmとされることができる。現在一般的に使用されているチップ1の電極の長さは35〜100μmであり、この電極の長さより小さい直径を持つレーザー光を使用することにより、当該電極に近接した表面のパターンに影響されることなく当該電極の位置のみを局部的に測定することが出来る。なお、第1の光学的測長器4は、載置台6或いはウェハWの表面を3次元的に測定することにより、載置台或いはウェハWの平面性を検査することもできる。
【0019】
さらに、図1に示した第1の実施例におけるプローブ装置は、プローブの先端位置を測定するための手段として用いられる基準面13を具備することができる。基準面13は第1の光学的測長器4により測定される位置の基準として用いられることができる。基準面13は、載置台6上に配置されても良いが、載置台6に付設された基準台18に備えられても良い。基準面13としては平坦で且つ光を反射する表面であれば良く、例えば金属のプレートや金属めっきのプレートなどの表面を用いることができる。第1の実施例ではAuメッキプレートの表面を用いた。
【0020】
第1の光学的測長器4(4a,4b)は、ウェハW上に形成された個々のチップ1の電極の位置を測定することができる。測定された個々のチップ1の電極のZ方向の位置情報は、制御装置17に送信され、載置台6をプローブ26に向けて上昇させるべき距離を制御するために使用されることが出来る。また、第1の光学的測長器4は、ウェハW上の複数箇所のZ方向の位置を測定し、マップを作成するために使用されることも出来る。この場合、測定が高速で行えるため、全チップの電極位置を測定することも可能である。あるいは図5に示したようにウェハWの表面をいくつかのゾーン19に分け、各ゾーンを代表する点の位置を測定することも可能である。測定された結果は制御装置17に送信される。制御装置17は各ゾーンのZ方向の位置のマップを作成することができる。制御装置は作成したこのマップに基づいてウェハW上に形成された全チップの電気的特性を測定する毎に載置台6の上昇距離を制御することができる。
【0021】
次に、第1の実施例におけるプローブ装置の動作を説明する。(a)図1において、搬送機構(図示せず)によってカセットC内から取り出されたウェハWは、載置台6の基板固定機構23上に載置される。(b)上記した基板固定機構23が例えば真空吸着力によりウェハWを固定した後、下カメラ15bがプローブカード14のX,Y及びθ方向の位置を撮像する。この像に基づいて検出されたプローブ26のX,Y及びθ方向の位置情報は制御機構17に記憶される。
【0022】
(c1)続いて、第1の光学的測長器4(4a,4b)により、載置台6に付設した基準面(Auプレート)13と、プローブ26の間の距離を測定する。まず、第1の光学的測長器4の第1の照射器4aから、Auプレート13に向けてレーザー光が照射される。Auプレート13上で反射したレーザー光は、第1の検出器4bに入射する。この入射光に基づいて検出されたAuプレート13のZ方向の位置は制御装置で記憶される。(c2)載置台6が上昇し、プローブ26にAuプレート13が接触する。この際に、載置台6が上昇した距離をAuプレート13とプローブ26の間の距離として制御装置に記憶する。プローブ26の長さはプローブカード14毎に必ずしも一定ではない。この操作によってAuプレート13とプローブ26の間の距離を実測することができる。また、この操作によって両者の距離を測定することができるため、本願発明の第1の実施例においては、チップ1の位置をひとつの光学的測長器のみによって測定することが可能である。
【0023】
(d)、上カメラ15aがウェハWを撮像し、測定対象のチップ1のX,Y及びθ方向の位置を制御装置17に記憶させる。(e)第1の光学的測長器4が、チップ1の表面のZ方向の位置を測定する。第1の光学的測長器4の照射器4aがチップ1に向けてレーザー光を照射し、チップ1上で反射したレーザー光は第1の検出器4bに入射する。(f)制御装置17は、このチップ1の位置の測定結果と記憶されているAuプレート13の位置とを用いて、チップ1とプローブ26の間の距離を算出する。
【0024】
(g)制御装置17が記憶しているチップ1及びプローブ26の位置に基づいて、移動機構16が載置台6を移動し、チップ1とプローブカード14のX,Y及びθ方向の位置を合わせる。(h)上記(f)で決定したチップ1とプローブ26の間の距離に基づいて、移動機構16が載置台6を上昇させて、チップ1をプローブ26に接触させる。(i)移動機構16が載置台6をさらに上昇させてオーバードライブを行う。(j)この状態でチップ1の電気的特性を測定する。(k)チップサイズ分の移動を行い、上記した(h)乃至(j)の操作を繰り返し、ウェハW上に形成された全てのチップ1の電気的特性を測定する。
【0025】
チップ1の表面のZ方向の位置を測定する方法は、上記(e)における第1の光学的測長器4を用いて個々のチップ1を測定する方法の他に光学的測長器4を用いて、ウェハWの表面の複数箇所のZ方向の位置を測定し(e1)、ウェハWの表面をいくつかのゾーン19に分けたマップを作成する(e2)こともできる。測定される箇所はウェハW上で離散した複数の点が望ましく、例えば図5に示したように、ウェハW全面を細分化して測定することにより、ウェハWのうねりを精度よく計測することも出来る。図5において、チップ1上の黒点は、第1の光学的測長器によって測定される候補の点である。この場合、測定された結果は制御装置17において記憶され、制御装置17はウェハWをいくつかのゾーン19に分け、それぞれのゾーン19を平面としてZ方向の位置のマップを作成することができる。制御装置17はこのマップに基づいて載置台6の上昇距離を制御する。制御装置17は、上記(f)において、各ゾーン19のZ方向の位置を、記憶されているAuプレート13の位置と比較し、各ゾーン19とプローブ26の間の距離を算出する。このように、ウェハW上の複数箇所を測定してマップを作成することで、個々のチップ1の位置を測定する手間が省け、検査効率を上昇することが可能である。
【0026】
図6は本願発明の第2の実施例を示す。この第2の実施例は、第1の実施例のプローブ装置に加えて、プローブカード14のZ方向の位置の変化を測定するための第2の光学的測長器5をさらに具備する。第2の実施例は、その他の点は第1の実施例と同様であるので、以下には第2の光学的測長器5について説明する。第2の光学的測長器5は、第1の光学的測長器4と同様の測長器を用いることができ、第2の照射器5aと第2の検出器5bを具備することができる。
【0027】
図6に示したように、第2の実施例におけるプローブ装置は、上部壁2に開口部7を覆うように保持板10を具備することができる。第2の実施例において、第2の光学的測長器5は、保持板10の下面に、開口部7内に配置されるように取り付けられることができる。
【0028】
図6の主要部拡大図を図7に示した。第2の実施例においても、第1の実施例と同様にプローブカード14を固定するためのプローブカード支持部材9を具備することができ、プローブカード14はこのプローブカード支持部材9の下面に取り付けられることができる。第2の光学的測長器5は、このプローブカード支持部材9の上面を計測することによりプローブカード14のZ方向の位置の変化を測定することができる。プローブカード支持部材9は、第2の光学的測長器5により測定される箇所に測定用の光を反射する反射体11を具備することができる。この反射体11は、平坦で且つ光を反射する表面を有するいずれの反射体でも良いが、第2の実施例は鏡を採用している。
【0029】
プローブ試験は高温下で行われることがある。そのためプローブカード14も高温になり、変形することがある。さらにプローブカード14は、プローブ26を介してチップ1、すなわち載置台6から圧力を掛けられる。これらの理由により、プローブカード14はプローブ試験中に変形し、上下に変位することがある。その際、プローブカード支持部材9やヘッドプレート12など、プローブカード14が固定された部材も一体となって変形する。プローブカード14が変形すると、それに伴ってプローブ26の位置が変化し、プローブ26とチップ1の接触位置が変化する。このため、プローブ26とチップ1が必要以上の圧力で接触してチップ1を破壊する原因となったり、或いは逆に接触が不足し検査精度の低下となったりすることもあり得る。
【0030】
そこで、第2の実施例では、第2の光学的測長器5によってプローブカード14のZ方向の位置の変化を測定する。測定されたプローブカード14の変位は制御装置17に記憶され、制御装置17はその測定結果に基づいて載置台6の上昇距離を調整することができる。これにより、検査中にプローブカード14が変形した場合でもチップ1とプローブ26は適確に接触することができ、ウェハWの全てのチップ1を安定して精度良く測定することが可能である
図8は、本願発明の第3の実施例を示す。第3の実施例は、第1の実施例にさらに第2の光学的測長器5(5a,5b)を具備するプローブ装置である。この第2の光学的測長器5は、第2の実施例と同様の構成、機能及び効果を有することができる。第3の実施例において、第2の光学的測長器5はプローバ室29内に配置される。図9に示したように、第3の実施例において第2の光学的測長器5は、プローブカード14の側面を測定することによってプローブカード14のZ方向の位置の変化を測定することができる。第2の光学的測長器5は、第2の照射器5aと第2の検出器5bを備え、これらはプローバ室29内の上部壁2または側壁3に配置される。第2の照射器5a及び検出器5bは隣接して設置されても良いが、図9に示されるように一つの装置として構成されても良い。このような構成により第2の光学的測長器5の構成を簡単にすることができ、装置の調整を容易にすることができる。
【0031】
第2の光学的測長器5が測定するプローブカード14の側面箇所には、光学素子25を備えることができる。光学素子25を用いることにより、第2の照射器5Aから照射された光は反射し、検出器5Bに入射することができる。光学素子としては、例えばプリズム25を用いることが出来る。また、プリズムの他にコーナーキューブプリズムやリトロリフレクタを用いることも出来る。或いは複数のミラーを組み合わせて用いることも可能である。
【0032】
第2の光学的測長器5はプローバ室外に設置することも可能である。その場合は、光が通過する孔を側壁に備えることにより、プローバ室外からでも測定が可能となる。光学的測長器5をプローバ室外に設置することにより、取り付けや扱いを簡便にすることができる。
【0033】
第2及び第3の実施例におけるプローブ装置の動作は、第1の実施例の動作と同様に行われるが、これに第2の光学的測長器5の動作が加えられる。上記(b)において制御機構17がプローブ26の位置を記憶した後、第2の光学的測長器5はプローブカードのZ方向の位置を測定することができる(b2)。第2の光学的測長器5は、常時あるいは必要時にプローブカード14の変位を測定することができる。第2の光学的測長器5によって測定された結果は、制御装置17に記憶され、上記の(f)においてチップ1とプローブ26の間の距離を決定するために用いられる。制御装置17は、この決定された距離に基づいて載置台6を上昇させ、チップ1とプローブ26が所定の圧力で接触することを可能にする。
【0034】
【発明の効果】
本願発明の実施例に拠れば、第1の光学的測長器を備えた構成により、チップとプローブのZ方向の位置合わせを精確に行うことができるプローブ装置及びプローブ検査方法を提供することができる。
本願発明の実施例によれば、基準面を具備した構成により、チップとプローブの間の距離を正確に実測し、精密な測定を可能とすることができるプローブ装置及びプローブ検査方法を提供することができる。
本願発明の実施例によれば、光学的測長器の光にレーザーを使用する構成により扱いが簡便で精度の良い位置測定が可能であるプローブ装置及びプローブ検査方法を提供することができる。
本願発明の実施例によれば、第1の光学的測長器が照射するレーザー光の直径を10μm〜30μmとする構成により、チップの各電極の位置を局部的に測定することができ、当該電極周辺のウェハWのパターンに影響されずに正確で安定した位置測定が可能なプローブ装置を提供することができる。
本願発明の実施例によれば、第1の光学的測長器が載置台及び載置台に載置されたウェハWのいずれかの表面における複数箇所のZ方向の位置を測定し、また、制御装置が第1の光学的測長器が測定した結果に基づいてマップを作成することができる。このマップにより個々のチップを測定する手間が省け検査効率を上昇することが可能であるプローブ装置を提供することができる。
本願発明の実施例によれば、第2の光学的測長器がプローブカードのZ方向の位置の変化を測定する構成により、検査中にプローブカード14が変形してもその変位の分を調整し、常に精確なZ方向の位置合わせが可能であるプローブ装置を提供することができる。
【0035】
更なる特徴及び変更は、当該技術分野の当業者には着想されるところである。それ故に、本発明はより広い観点に立つものであり、特定の詳細な実施例及びここに開示された代表的な実施例に限定されるものではない。従って、請求項に定義された広い発明の概念及びその均等物の解釈と範囲において、そこから離れることなく種々の変更を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施例におけるプローブ装置の断面図。
【図2】本願発明の各実施例における基板固定機構23の一つの実施例。
【図3】本願発明の各実施例における移動機構16の一つの実施例。
【図4】本願発明の各実施例に用いられる光学的測長器の原理図。
【図5】本願発明の各実施例においてウェハWをゾーンに分けたマップの一実施例。
【図6】第2の実施例におけるプローブ装置の断面図。
【図7】第2の実施例のプローブ装置の主要部拡大図。
【図8】第3の実施例におけるプローブ装置の断面図。
【図9】第3の実施例のプローブ装置の主要部拡大図。
【符号の説明】
4…第1の光学的測長器、5…第2の光学的測長器、6…載置台、11…反射体、12…ヘッドプレート、14…プローブカード、15a…上カメラ、15b…下カメラ、16…移動機構、17…制御装置、25…プリズム、26…プローブ。
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般にウェハ状基板(以下、「ウェハ」と称す)W上に形成された複数の被検査体(以下、「チップ」と称す)の電気的特性を検査するプローブ装置及びプローブ検査方法に関し、更に詳しくは、チップの測定位置及びプローブカードの位置を直接測定する計測手段を備えたプローブ装置及びプローブ検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
チップの測定位置は、プローブカードのプローブとチップのX,Y,Z、及びθ方向の位置を合わせるとともに、プローブに向けてチップを上昇させて、両者を所定のオーバードライブ量で正確に接触させるために、正確に測定することが必要である。近年チップの電極部あるいは電極下が薄く、柔らかくなっているため、過剰なオーバードライブにより、電極部あるいは電極下に下地の露出、クラック等のダメージが発生している。従来、この位置合わせのための測定はカメラによってそれぞれを撮像することによって行われてきた。カメラを用いた方法は、X,Y,及びθ方向の位置合わせにおいては精度が高く、広く利用されている。しかし、Z方向の位置合わせは、対象物にカメラの焦点を合わせて距離を測定する方法で行われるため、測定可能な距離範囲が狭い、精度が低い、などの課題があった。測定誤差は、プローブとチップの接触圧に影響し、その結果プローブ及びチップを傷つけたり、または十分に接触せずに測定誤差が生じたりする虞が有った。特許文献1には、この点を改良し、光学的測長器によりプローブとチップのZ方向の位置合わせを行う装置が開示されている。この特許文献1に記載された装置は、2つの光学的測長器を備えているが、プローブとチップの位置を直接測定することは出来ない。また、測定時にはメインチャックを所定の位置に移動させる必要がある。さらに、測定の一部にカメラを用いた焦点合わせが必要であり、その結果からプローブとチップの間の距離を算出するもので、測定に時間がかかり、且つ精度の高い測定が出来ないという課題がある。
【0003】
【特許文献1】
特開平11−26524号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本願発明は、その1つの観点に従って、より簡単な構成によりチップとプローブ間の距離の測定誤差を減少し、オーバードライブ量を最適に制御して検査の信頼性をさらに高めることができるプローブ装置及びプローブ検査方法を提供する。
また、本願発明は、他の観点に従って、プローブカードの変形によるZ方向の位置の変化を測定し、チップとプローブの位置合わせをより精確に行うことができるプローブ装置及びプローブ検査方法を提供する。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の1つの観点に従って、下記を具備する、ウェハWに形成されたチップの電気的特性検査を行うプローブ装置が提供される。
プローバ室(該プローバ室は、上部壁及び側壁を有する)、該プローバ室内に配置され、複数のチップが形成されたウェハを載置するための載置台、該プローバ室内に配置され、該載置台をX,Y,Z及びθ方向に移動する移動機構、該プローバ室上部に配置されたプローブカード(該プローブカードは複数のプローブを有し、該載置台と対向して配置される)、第1の光学的測長器(該第1の光学的測長器は該載置台に載置されたウェハに形成されたチップの表面に光を照射し、その反射光に基づいて該チップのZ軸方向の位置を測定する)。
本願発明の上記の観点に基づくプローブ装置は、下記(1)〜(12)のさらに好ましい構成のいずれか、あるいはこれらの内のいずれかの組み合わせを具備することができる。
(1)第1の光学的測長器により測定されるZ方向の位置の基準となる基準面が載置台に付設される。
(2)該第1の光学的測長器が照射する光はレーザー光である。
(3)レーザー光の直径は10μm〜30μmである。
(4)該第1の光学的測長器は、プローバ室内の上部壁及び側壁のいずれかに取り付けられる。
(5)該プローブ装置は、該移動機構を制御するための制御装置を具備する、ここにおいて、該第1の光学的測長器は、該載置台及び該載置台に載置されたウェハのいずれかの表面における複数箇所のZ方向の位置を測定し、該制御装置は、該第1の光学的測長器が測定した複数箇所のZ方向の位置に基づいて、該表面のZ方向の位置に関するマップを作成する。
(6)該プローブ装置は、該プローブカードのZ方向の位置の変化を測定するための第2の光学的測長器をさらに具備する。
(7)該第2の光学的測長器が照射する光はレーザー光である。
(8)該プローバ室は、該上部壁に形成された開口部(該開口部は該プローブカードの上部に位置される)及び保持板(該保持版は該開口部を覆うように該上部壁の上に固定される)を具備し、該第2の光学的測長器は、該保持板の下面に取り付けられる。
(9)該プローブ装置は、プローブカードを固定するためのプローブカード支持部材(該プローブカード支持部材は該プローブカードの上部に取り付けられる)を具備し、該第2の光学的測長器は、該プローブカード支持部材の上面を計測することにより該プローブカードのZ方向の位置の変化を測定する。
(10)該プローブカード支持部材は、該第2の光学的測長器により測定される箇所に測定用の光を反射する反射体を具備する。
(11)該第2の光学的測長器は、該プローブカードの側面を測定することにより該プローブカードのZ方向の位置の変化を測定する。
(12)該プローブカードは、該第2の光学的測長器により測定される側面に測定用の光を反射する光学素子を具備する。
本発明の他の観点に従って、下記を具備する、位置合わせ用の上カメラ及び下カメラを具備するプローブ装置においてウェハ状基板に形成された複数のチップを検査する方法が提供される。
(a)載置台上にウェハを載置する、(b)プローブカードのX,Y及びθ方向の位置を下カメラで撮像する、(c1)第1の光学的測長器により該載置台に付設した基準面のZ方向の位置を測定する、(c2)載置台を上昇させ、基準面をプローブに接触させることにより、該基準面と該プローブの間の距離を測定する、(d)チップのX,Y及びθ方向の位置を上カメラで撮像する、(e)該第1の光学的測長器を用いて、チップの表面のZ方向の位置を測定する、(f)上記(c)及び(e)の測定結果に基づき該チップの表面と該プローブの先端との間の距離を決定する、(g)チップとプローブカードのX,Y及びθ方向の位置を合わせる、(h)該(f)で決定した該チップと該プローブの間の距離に基づいて、該移動機構が該載置台をZ方向に上昇させて、該チップを該プローブに接触させる、(i)該移動機構が該載置台をオーバードライブする、(j)該チップの電気的特性を測定する、(k)チップサイズ分の移動を行い、(h)乃至(j)を繰り返すことにより次のチップを測定する。
上記方法は、さらに下記構成のいずれか、或いは下記構成のいずれかを組み合わせて具備することが好ましい。
該第1の光学的測長器は、該ウェハ状基板の表面の複数箇所におけるZ方向の位置を測定する(e1)。
測定された該ウェハ状基板の表面上の複数箇所におけるZ方向の位置に関するマップを作成する(e2)。
該(e2)で作成された該マップに基づいて、該移動機構が該載置台をZ方向に移動させて、チップをプローブに接触させる。
さらに第2の光学的測長器を具備し、プローブカードのZ方向の位置を測定する(b2)。
上記の(f)は、上記の(c)及び(e)に加えて該(b2)の測定結果に基づいて、該チップと該プローブの間の距離を決定する。
【0006】
【発明の実施の形態】
本願発明はウェハ上に形成された半導体の電気的特性を測定するプローブ装置及びプローブ検査方法に適用することが出来る。
【0007】
以下、図面を参照して本発明の第1の実施形態を説明する。図1は、本願発明の第1の実施例のプローブ装置100の本体断面図である。本実施例によるプローブ装置100はプローバ室29を有する。このプローバ室29は上部壁2、側壁3を有する。上部壁2はその中央に開口部7を有することが出来る。プローバ室内にはウェハ状の基板(以下、「ウェハ」と称する。)Wを載置するための載置台6が備えられる。この載置台6は、移動機構16の上に取り付けられる。この移動機構16は載置台をX,Y,Z及びθ方向に移動する。この移動機構16は、制御装置17によって制御される。
【0008】
載置台6は、載置されたウェハWを保持するための基板固定機構23を具備することができる。図2は基板固定機構23の一実施例を示す。基板固定機構23は、例えば載置台の表面に形成された溝23a及びこの溝23aに接続される給排気用孔23bを備える。真空ポンプ22が、孔23bを介して溝23aを真空引きすることにより、ウェハWは基板固定機構23の表面に吸引固定されることができる。基板固定機構23は真空吸引機構の他に、静電気を用いた吸着機構や機械的な固定機構なども採用することができる。
【0009】
図3は載置台6を移動する移動機構16の一実施例を示す。移動機構16は、ウェハWが載置された載置台6と、載置台6を支持するXステージ30と、Xステージ30を支持するYステージ32と、これらを支持する基台34とを備えている。ウェハWの電気的特性が検査される時には、載置台6は、X,Yステージ30、32を介してX,Y方向へ移動されると共に、載置台6の下部に備えられた昇降駆動機構によりZ方向に昇降する。Xステージ30はX方向駆動機構41を介してYステージ32上でX方向レール31に沿って往復移動する。Yステージ32はY方向駆動機構42を介して基台34上でY方向レール33に沿って往復移動する。X,Y方向駆動機構41,42は、それぞれモータ41a(図示せず)、モータ42a及びボールネジ41b,42bを有する。ボールネジ41b,42bは、それぞれX,Yステージ30,32と螺合し、X,Yステージ30,32をそれぞれ移動させる。昇降駆動機構は、例えばモータと、このモータにより正逆回転するボールネジと、このボールネジと螺合し載置台に固定されたナット部材とから構成されることができる。モータによってボールネジが回転することにより、ナット部材を介して載置台6が昇降される。さらに、載置台にはθ回転機構が備えられ、このθ回転機構によって載置台6が回転される。
【0010】
本願発明に採用されることができる移動機構は、図3に示したものに限られず、載置台をX,Y,Z及びθ方向に移動できるいずれの移動機構も採用されることができる。
【0011】
図1において、プローバ室29の上部の開口部7には、プローブカード14が載置台6と対向するように配置される。このプローブカード14は、ウェハW上に形成されたチップ1の電気的特性を検査するための複数のプローブ26を有している。プローブカード14は、例えばプローブカード支持部材9の下面に取り付けられることが出来る。このプローブカード支持部材9は、上部壁2に直接取り付けられても良いが、上部壁2の開口部7に取り付けられたヘッドプレート12に着脱可能に固定されても良い。
【0012】
さらに、プローバ室29には、チップ1とプローブ26のX,Y及びθ方向の位置を合わせるために使用される上下のカメラ15a,15bが備えられる。下カメラ15bは載置台6の周囲に配置され、上カメラ15aは、プローバ室29の上部に配置されることができる。上カメラ15aは、例えばX方向に沿って配置されたアライメントブリッジ15dの長手方向中央部に取り付けられる。アライメントブリッジ15dは、プローバ室側壁の上部に備えられたガイドレール15cに沿ってY方向に往復移動可能である。
【0013】
下カメラ15bはプローブカード14のプローブ26の先端を撮像し、上カメラ15aはウェハWに形成されたチップ1の電極を撮像する。この撮像したそれぞれの座標位置に基づいて、制御装置17はチップ1の電極とプローブ26の先端の位置関係を算出し、載置台6を移動してチップ1とプローブ26とを位置合わせする。
【0014】
そして、チップ1とプローブ26のZ方向の位置を合わせるために、本願発明の1実施例は第1の光学的測長器4(4a,4b)を備える。第1の光学的測長器4は、載置台6に載置されたウェハW上に形成されたチップ1の表面に光を照射し、その反射光に基づいてチップ1のZ軸方向の位置を直接且つ正確に測定することができる。第1の光学的測長器4は、プローバ室29のいずれの箇所にも配置されることができるが、特に上部壁2、或いは側壁3の上部に配置されることによりぶれ難く精確な測定を行うことができる。
【0015】
第1の光学的測長器4は、第1の照射器4Aと第1の検出器4Bとを具備し、第1の照射器4Aから照射された光は、チップ1などの測定対象物に反射して第1の検出器4bに入射する。このとき、光を反射する面のZ方向の位置が変化することによって、検出器に入射する光の位置が移動する。この光の位置の移動に基づいて、光を反射する面のZ方向の位置を測定することができる。その原理図を図4に示した。反射面20がAの位置にあるとき、光はA´において反射し、反射面がBの位置にあるとき、光はB´において反射する。これらの反射光は入射面21においてそれぞれA´´、B´´の点に入射する。ここにおいて、光が反射する点の位置の変化をΔX、反射面のZ方向の位置の変化をΔZとし、反射面20を入射面に結像する光学系の倍率をMとし、反射面へ照射された光の入射角をθとする。また、反射面がAからBへ変化したとき、入射面での光の入射位置はA´´からB´´に変化するが、この距離をΔmeasとする。すると、
ΔX=ΔZtanθ ………▲1▼
Δmeas=2・ΔX・M ………▲2▼
であり、▲1▼及び▲2▼より、
Δmeas=2・M・tanθ・ΔZ
である。ここで、2・M・tanθは定数であるのでこれをKとすると、ΔZは
ΔZ=(1/K)・Δmeas
である。従って、Δmeasを計測することによりΔZを測定することが出来る。
【0016】
この光学的測長器を使用することによって、反射面の微量な位置の変化も検出可能であり、従来のカメラを用いた焦点法による測定と比較して精確な測定が可能となる。また、焦点法による測定では、載置台6を昇降させて焦点をチップ1に合わせる必要があり、測定に時間がかかったが、この光学的測長器では、被測定物、即ちチップ1が検出範囲内にあれば載置台を昇降させることなく測定でき、測定に要する時間が大幅に短縮できる。さらに、この光学的測長器のZ方向の検出可能範囲は200μmの幅があり、カメラを用いた焦点法の検出可能範囲と比較して広いため、測定を容易に行うことができる。なお、光学的測長器のZ方向の検出可能範囲はより長尺な測長用センサを用いることにより、さらに広くすることが可能である。
【0017】
本願発明の第1の実施例では一つの光学的測長器でウェハWの表面、即ちチップ1を直接測定することが可能であるため、プローブ装置の構成が簡単になると共に、測長装置の測定誤差を減少することができ、測定精度を向上させることができる。また、本実施例に用いられる光学的測長器のように、反射光の光量によって測定する機構ではなく、検出器に入射する入射光の位置の変化に基づいて測定する機構を採用する場合には、反射面の状態によって測定結果が左右されず、安定した測定結果を得ることができる。さらに、本実施例に用いられる第1の光学的測長器4は、離れた位置からでも測定が可能であるため、載置台6に載置されたチップ1を測定可能な場所ならばどこにでも設置することが可能である。
【0018】
第1の光学的測長器4の光には、可視光LEDなどを用いることも出来るが、レーザー光を使用することが望ましい。本願発明における第1の光学的測長器4としてレーザー光を使用した機構を採用することで、より容易且つ精確な測定が可能である。本実施例において使用されるレーザー光の直径は10〜30μmとされることができる。現在一般的に使用されているチップ1の電極の長さは35〜100μmであり、この電極の長さより小さい直径を持つレーザー光を使用することにより、当該電極に近接した表面のパターンに影響されることなく当該電極の位置のみを局部的に測定することが出来る。なお、第1の光学的測長器4は、載置台6或いはウェハWの表面を3次元的に測定することにより、載置台或いはウェハWの平面性を検査することもできる。
【0019】
さらに、図1に示した第1の実施例におけるプローブ装置は、プローブの先端位置を測定するための手段として用いられる基準面13を具備することができる。基準面13は第1の光学的測長器4により測定される位置の基準として用いられることができる。基準面13は、載置台6上に配置されても良いが、載置台6に付設された基準台18に備えられても良い。基準面13としては平坦で且つ光を反射する表面であれば良く、例えば金属のプレートや金属めっきのプレートなどの表面を用いることができる。第1の実施例ではAuメッキプレートの表面を用いた。
【0020】
第1の光学的測長器4(4a,4b)は、ウェハW上に形成された個々のチップ1の電極の位置を測定することができる。測定された個々のチップ1の電極のZ方向の位置情報は、制御装置17に送信され、載置台6をプローブ26に向けて上昇させるべき距離を制御するために使用されることが出来る。また、第1の光学的測長器4は、ウェハW上の複数箇所のZ方向の位置を測定し、マップを作成するために使用されることも出来る。この場合、測定が高速で行えるため、全チップの電極位置を測定することも可能である。あるいは図5に示したようにウェハWの表面をいくつかのゾーン19に分け、各ゾーンを代表する点の位置を測定することも可能である。測定された結果は制御装置17に送信される。制御装置17は各ゾーンのZ方向の位置のマップを作成することができる。制御装置は作成したこのマップに基づいてウェハW上に形成された全チップの電気的特性を測定する毎に載置台6の上昇距離を制御することができる。
【0021】
次に、第1の実施例におけるプローブ装置の動作を説明する。(a)図1において、搬送機構(図示せず)によってカセットC内から取り出されたウェハWは、載置台6の基板固定機構23上に載置される。(b)上記した基板固定機構23が例えば真空吸着力によりウェハWを固定した後、下カメラ15bがプローブカード14のX,Y及びθ方向の位置を撮像する。この像に基づいて検出されたプローブ26のX,Y及びθ方向の位置情報は制御機構17に記憶される。
【0022】
(c1)続いて、第1の光学的測長器4(4a,4b)により、載置台6に付設した基準面(Auプレート)13と、プローブ26の間の距離を測定する。まず、第1の光学的測長器4の第1の照射器4aから、Auプレート13に向けてレーザー光が照射される。Auプレート13上で反射したレーザー光は、第1の検出器4bに入射する。この入射光に基づいて検出されたAuプレート13のZ方向の位置は制御装置で記憶される。(c2)載置台6が上昇し、プローブ26にAuプレート13が接触する。この際に、載置台6が上昇した距離をAuプレート13とプローブ26の間の距離として制御装置に記憶する。プローブ26の長さはプローブカード14毎に必ずしも一定ではない。この操作によってAuプレート13とプローブ26の間の距離を実測することができる。また、この操作によって両者の距離を測定することができるため、本願発明の第1の実施例においては、チップ1の位置をひとつの光学的測長器のみによって測定することが可能である。
【0023】
(d)、上カメラ15aがウェハWを撮像し、測定対象のチップ1のX,Y及びθ方向の位置を制御装置17に記憶させる。(e)第1の光学的測長器4が、チップ1の表面のZ方向の位置を測定する。第1の光学的測長器4の照射器4aがチップ1に向けてレーザー光を照射し、チップ1上で反射したレーザー光は第1の検出器4bに入射する。(f)制御装置17は、このチップ1の位置の測定結果と記憶されているAuプレート13の位置とを用いて、チップ1とプローブ26の間の距離を算出する。
【0024】
(g)制御装置17が記憶しているチップ1及びプローブ26の位置に基づいて、移動機構16が載置台6を移動し、チップ1とプローブカード14のX,Y及びθ方向の位置を合わせる。(h)上記(f)で決定したチップ1とプローブ26の間の距離に基づいて、移動機構16が載置台6を上昇させて、チップ1をプローブ26に接触させる。(i)移動機構16が載置台6をさらに上昇させてオーバードライブを行う。(j)この状態でチップ1の電気的特性を測定する。(k)チップサイズ分の移動を行い、上記した(h)乃至(j)の操作を繰り返し、ウェハW上に形成された全てのチップ1の電気的特性を測定する。
【0025】
チップ1の表面のZ方向の位置を測定する方法は、上記(e)における第1の光学的測長器4を用いて個々のチップ1を測定する方法の他に光学的測長器4を用いて、ウェハWの表面の複数箇所のZ方向の位置を測定し(e1)、ウェハWの表面をいくつかのゾーン19に分けたマップを作成する(e2)こともできる。測定される箇所はウェハW上で離散した複数の点が望ましく、例えば図5に示したように、ウェハW全面を細分化して測定することにより、ウェハWのうねりを精度よく計測することも出来る。図5において、チップ1上の黒点は、第1の光学的測長器によって測定される候補の点である。この場合、測定された結果は制御装置17において記憶され、制御装置17はウェハWをいくつかのゾーン19に分け、それぞれのゾーン19を平面としてZ方向の位置のマップを作成することができる。制御装置17はこのマップに基づいて載置台6の上昇距離を制御する。制御装置17は、上記(f)において、各ゾーン19のZ方向の位置を、記憶されているAuプレート13の位置と比較し、各ゾーン19とプローブ26の間の距離を算出する。このように、ウェハW上の複数箇所を測定してマップを作成することで、個々のチップ1の位置を測定する手間が省け、検査効率を上昇することが可能である。
【0026】
図6は本願発明の第2の実施例を示す。この第2の実施例は、第1の実施例のプローブ装置に加えて、プローブカード14のZ方向の位置の変化を測定するための第2の光学的測長器5をさらに具備する。第2の実施例は、その他の点は第1の実施例と同様であるので、以下には第2の光学的測長器5について説明する。第2の光学的測長器5は、第1の光学的測長器4と同様の測長器を用いることができ、第2の照射器5aと第2の検出器5bを具備することができる。
【0027】
図6に示したように、第2の実施例におけるプローブ装置は、上部壁2に開口部7を覆うように保持板10を具備することができる。第2の実施例において、第2の光学的測長器5は、保持板10の下面に、開口部7内に配置されるように取り付けられることができる。
【0028】
図6の主要部拡大図を図7に示した。第2の実施例においても、第1の実施例と同様にプローブカード14を固定するためのプローブカード支持部材9を具備することができ、プローブカード14はこのプローブカード支持部材9の下面に取り付けられることができる。第2の光学的測長器5は、このプローブカード支持部材9の上面を計測することによりプローブカード14のZ方向の位置の変化を測定することができる。プローブカード支持部材9は、第2の光学的測長器5により測定される箇所に測定用の光を反射する反射体11を具備することができる。この反射体11は、平坦で且つ光を反射する表面を有するいずれの反射体でも良いが、第2の実施例は鏡を採用している。
【0029】
プローブ試験は高温下で行われることがある。そのためプローブカード14も高温になり、変形することがある。さらにプローブカード14は、プローブ26を介してチップ1、すなわち載置台6から圧力を掛けられる。これらの理由により、プローブカード14はプローブ試験中に変形し、上下に変位することがある。その際、プローブカード支持部材9やヘッドプレート12など、プローブカード14が固定された部材も一体となって変形する。プローブカード14が変形すると、それに伴ってプローブ26の位置が変化し、プローブ26とチップ1の接触位置が変化する。このため、プローブ26とチップ1が必要以上の圧力で接触してチップ1を破壊する原因となったり、或いは逆に接触が不足し検査精度の低下となったりすることもあり得る。
【0030】
そこで、第2の実施例では、第2の光学的測長器5によってプローブカード14のZ方向の位置の変化を測定する。測定されたプローブカード14の変位は制御装置17に記憶され、制御装置17はその測定結果に基づいて載置台6の上昇距離を調整することができる。これにより、検査中にプローブカード14が変形した場合でもチップ1とプローブ26は適確に接触することができ、ウェハWの全てのチップ1を安定して精度良く測定することが可能である
図8は、本願発明の第3の実施例を示す。第3の実施例は、第1の実施例にさらに第2の光学的測長器5(5a,5b)を具備するプローブ装置である。この第2の光学的測長器5は、第2の実施例と同様の構成、機能及び効果を有することができる。第3の実施例において、第2の光学的測長器5はプローバ室29内に配置される。図9に示したように、第3の実施例において第2の光学的測長器5は、プローブカード14の側面を測定することによってプローブカード14のZ方向の位置の変化を測定することができる。第2の光学的測長器5は、第2の照射器5aと第2の検出器5bを備え、これらはプローバ室29内の上部壁2または側壁3に配置される。第2の照射器5a及び検出器5bは隣接して設置されても良いが、図9に示されるように一つの装置として構成されても良い。このような構成により第2の光学的測長器5の構成を簡単にすることができ、装置の調整を容易にすることができる。
【0031】
第2の光学的測長器5が測定するプローブカード14の側面箇所には、光学素子25を備えることができる。光学素子25を用いることにより、第2の照射器5Aから照射された光は反射し、検出器5Bに入射することができる。光学素子としては、例えばプリズム25を用いることが出来る。また、プリズムの他にコーナーキューブプリズムやリトロリフレクタを用いることも出来る。或いは複数のミラーを組み合わせて用いることも可能である。
【0032】
第2の光学的測長器5はプローバ室外に設置することも可能である。その場合は、光が通過する孔を側壁に備えることにより、プローバ室外からでも測定が可能となる。光学的測長器5をプローバ室外に設置することにより、取り付けや扱いを簡便にすることができる。
【0033】
第2及び第3の実施例におけるプローブ装置の動作は、第1の実施例の動作と同様に行われるが、これに第2の光学的測長器5の動作が加えられる。上記(b)において制御機構17がプローブ26の位置を記憶した後、第2の光学的測長器5はプローブカードのZ方向の位置を測定することができる(b2)。第2の光学的測長器5は、常時あるいは必要時にプローブカード14の変位を測定することができる。第2の光学的測長器5によって測定された結果は、制御装置17に記憶され、上記の(f)においてチップ1とプローブ26の間の距離を決定するために用いられる。制御装置17は、この決定された距離に基づいて載置台6を上昇させ、チップ1とプローブ26が所定の圧力で接触することを可能にする。
【0034】
【発明の効果】
本願発明の実施例に拠れば、第1の光学的測長器を備えた構成により、チップとプローブのZ方向の位置合わせを精確に行うことができるプローブ装置及びプローブ検査方法を提供することができる。
本願発明の実施例によれば、基準面を具備した構成により、チップとプローブの間の距離を正確に実測し、精密な測定を可能とすることができるプローブ装置及びプローブ検査方法を提供することができる。
本願発明の実施例によれば、光学的測長器の光にレーザーを使用する構成により扱いが簡便で精度の良い位置測定が可能であるプローブ装置及びプローブ検査方法を提供することができる。
本願発明の実施例によれば、第1の光学的測長器が照射するレーザー光の直径を10μm〜30μmとする構成により、チップの各電極の位置を局部的に測定することができ、当該電極周辺のウェハWのパターンに影響されずに正確で安定した位置測定が可能なプローブ装置を提供することができる。
本願発明の実施例によれば、第1の光学的測長器が載置台及び載置台に載置されたウェハWのいずれかの表面における複数箇所のZ方向の位置を測定し、また、制御装置が第1の光学的測長器が測定した結果に基づいてマップを作成することができる。このマップにより個々のチップを測定する手間が省け検査効率を上昇することが可能であるプローブ装置を提供することができる。
本願発明の実施例によれば、第2の光学的測長器がプローブカードのZ方向の位置の変化を測定する構成により、検査中にプローブカード14が変形してもその変位の分を調整し、常に精確なZ方向の位置合わせが可能であるプローブ装置を提供することができる。
【0035】
更なる特徴及び変更は、当該技術分野の当業者には着想されるところである。それ故に、本発明はより広い観点に立つものであり、特定の詳細な実施例及びここに開示された代表的な実施例に限定されるものではない。従って、請求項に定義された広い発明の概念及びその均等物の解釈と範囲において、そこから離れることなく種々の変更を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施例におけるプローブ装置の断面図。
【図2】本願発明の各実施例における基板固定機構23の一つの実施例。
【図3】本願発明の各実施例における移動機構16の一つの実施例。
【図4】本願発明の各実施例に用いられる光学的測長器の原理図。
【図5】本願発明の各実施例においてウェハWをゾーンに分けたマップの一実施例。
【図6】第2の実施例におけるプローブ装置の断面図。
【図7】第2の実施例のプローブ装置の主要部拡大図。
【図8】第3の実施例におけるプローブ装置の断面図。
【図9】第3の実施例のプローブ装置の主要部拡大図。
【符号の説明】
4…第1の光学的測長器、5…第2の光学的測長器、6…載置台、11…反射体、12…ヘッドプレート、14…プローブカード、15a…上カメラ、15b…下カメラ、16…移動機構、17…制御装置、25…プリズム、26…プローブ。
Claims (16)
- ウェハ状基板Wの上に形成された被検査体の電気的特性検査を行うプローブ装置(100)、該プローブ装置は下記を具備する:
プローバ室(29)、該プローバ室は、上部壁(2)及び側壁(3)を有する;
該プローバ室内に配置され、複数の被検査体が形成されたウェハ状基板を載置するための載置台(6);
該プローバ室内に配置され、該載置台をX,Y,Z及びθ方向に移動する移動機構(16);
該プローバ室上部に配置されたプローブカード(14)、該プローブカードは複数のプローブ(26)を有し、該載置台と対向して配置される;
第1の光学的測長器(4a,4b)、該第1の光学的測長器は該載置台に載置された被検査体の表面に光を照射し、その反射光に基づいて前記被検査体のZ軸方向の位置を測定する。 - さらに、該載置台に付設された基準面(13)を具備する請求項1のプローブ装置、該基準面は、該第1の光学的測長器により測定されるZ方向の位置の基準となる。
- 前記第1の光学的測長器が照射する光は、レーザー光である、請求項1のプローブ装置。
- 前記第1の光学的測長器が照射するレーザー光の直径は10μm〜30μmである、請求項3のプローブ装置。
- 前記第1の光学的測長器は、プローバ室内の上部壁及び側壁のいずれかに取り付けられる、請求項1に記載のプローブ装置。
- さらに、前記移動機構を制御するための制御装置(17)を具備する、請求項1に記載のプローブ装置、ここにおいて、
前記第1の光学的測長器は、該載置台及び該載置台に載置された前記ウェハ状基板のいずれかの表面における複数箇所のZ方向の位置を測定し、
該制御装置は、前記第1の光学的測長器が測定した複数箇所のZ方向の位置に基づいて、前記表面における複数箇所のZ方向の位置に関するマップを作成する。 - 前記プローブカードのZ方向の位置の変化を測定するための第2の光学的測長器(5a,5b)をさらに具備する、請求項1に記載されたプローブ装置。
- (測長器をレーザーに限定した従属請求項)
前記第2の光学的測長器が照射する光は、レーザー光である、請求項7のプローブ装置。 - さらに下記を具備する、請求項7に記載されたプローブ装置:
前記プローバ室の該上部壁に形成された開口部(7)、該開口部は前記プローブカードの上部に位置される;
保持板(10)、該保持板は該開口部を覆うように該上部壁の上に固定される;
前記第2の光学的測長器は、該保持板の下面に取り付けられる。 - さらに、前記プローブカードを固定するためのプローブカード支持部材(9)を具備する請求項9のプローブ装置、ここにおいて、
該プローブカード支持部材は該プローブカードの上部に取り付けられる;
前記第2の光学的測長器は、該プローブカード支持部材の上面を計測することにより前記プローブカードのZ方向の位置の変化を測定する。 - 前記プローブカード支持部材は、該第2の光学的測長器により測定される箇所に測定用の光を反射する反射体(11)を具備する、請求項10のプローブ装置。
- 前記第2の光学的測長器は、前記プローブカードの側面を測定することにより該プローブカードのZ方向の位置の変化を測定する、請求項7のプローブ装置。
- 前記プローブカードは、該第2の光学的測長器により測定される側面に測定用の光を反射する光学素子(25)を具備する、請求項12のプローブ装置。
- 下記を具備する、請求項2に記載されたプローブ装置において被検査体を検査する方法、該プローブ装置はさらに位置合わせ用の上カメラ(15a)及び下カメラ(15b)を具備する:
(a)載置台(6)上にウェハ状基板(W)を載置する;
(b)プローブカード(14)のX,Y及びθ方向の位置を下カメラで撮像する;
(c1)第1の光学的測長器(4)により該載置台に付設した基準面(13)のZ方向の位置を測定する;
(c2)載置台を上昇させ、該基準面をプローブ(26)に接触させることにより、該基準面と該プローブの間の距離を測定する;
(d)被検査体のX,Y及びθ方向の位置を上カメラで撮像する;
(e)該第1の光学的測長器を用いて、被検査体の表面のZ方向の位置を測定する;
(f)上記(c)及び(e)の測定結果に基づき、該被検査体の表面と該プローブの先端との間の距離を決定する;
(g)被検査体とプローブカードのX,Y及びθ方向の位置を合わせる;
(h)前記(f)で決定した該被検査体と該プローブの間の距離に基づいて、該移動機構が該載置台をZ方向に上昇させて、該被検査体を該プローブに接触させる;
(i)該移動機構が該載置台をオーバードライブする;
(j)該被検査体の電気的特性を測定する:
(k)前記(j)終了後、被検査体のサイズ分移動し、前記(h)乃至(j)を繰り返すことにより次の被検査体を測定する。 - 下記をさらに具備する、請求項14の方法:
前記(e)は、
(e1)前記第1の光学的測長器は、該ウェハ状基板の表面の複数箇所におけるZ方向の位置を測定する;及び、
(e2)前記(e1)で測定された該ウェハ状基板の表面上の複数箇所におけるZ方向の位置に関するマップを作成する;を具備し、
前記(f)は、前記(c)及び該(e2)で作成された該マップに基づいて、前記移動機構が該載置台をZ方向に移動させて、被検査体をプローブに接触させる。 - さらに下記を具備する、請求項14に記載の方法、ここで使用されるプローブ装置は、第2の光学的測長器を具備する:
(b2)前記(b)に続いて、第2の光学的測長器(5)は前記プローブカードのZ方向の位置を測定する;
前記(f)は、(c)及び(e)に加えて該(b2)の測定結果に基づいて、該被検査体と該プローブの間の距離を決定する。
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