JP5781864B2 - 発光素子の検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
(1)複数個のウエハチャックを備えたウエハチャックステージと、前記各ウエハチャックにロードされたエキスパンドウエハ上の発光素子の、基準位置に対する相対位置を測定して発光素子位置情報として記憶する位置測定装置とを備える位置測定部、
(2)前記各ウエハチャックにロードされるエキスパンドウエハのそれぞれに対応して設けられたフォトディテクタ及び1又は2以上のプローブと、前記プローブの各々を独立してXYZ軸方向に移動させるプローブ移動ステージとを備える検査部、及び、
(3)前記発光素子位置情報に基づいて各エキスパンドウエハ上の発光素子が順次対応する1又は2以上のプローブの下方に来るように前記ウエハチャックステージをXY軸方向に移動させる手段と、前記発光素子位置情報と各発光素子における電極位置情報に基づいて前記プローブ移動ステージを作動させ前記プローブのそれぞれが下方に位置する発光素子の電極位置に対応する位置に来るように各プローブをXY軸方向に移動させる手段と、前記プローブを前記ウエハチャックステージに対してZ軸方向に移動させて前記プローブを対応するそれぞれの発光素子の電極と接触させる手段とを備える制御装置、
を有している発光素子の検査装置を提供することによって、上記の課題を解決するものである。
(a)ウエハチャックステージに備えられた複数個のウエハチャックのそれぞれにエキスパンドウエハをロードする工程、
(b)前記各ウエハチャックにロードされたエキスパンドウエハ上の発光素子の、基準位置に対する相対位置を測定して発光素子位置情報として記憶する工程、
(c)前記発光素子位置情報に基づいて、各エキスパンドウエハ上の検査対象となる発光素子が前記ウエハチャック上にロードされるエキスパンドウエハのそれぞれに対応して設けられたフォトディテクタ及び1又は2以上のプローブの下方に来るように前記ウエハチャックステージをXY軸方向に移動させる工程、
(d)前記発光素子位置情報と各発光素子における電極位置情報に基づいて、前記プローブが下方に位置する発光素子の電極位置に対応する位置に来るように各プローブをXY軸方向に移動させる工程、
(e)前記プローブを前記ウエハチャックステージに対してZ軸方向に移動させて前記プローブを対応するそれぞれの発光素子の電極と接触させて発光素子の検査を行う工程、
(f)各エキスパンドウエハ上の検査対象となる発光素子を変更して、各エキスパンドウエハ上の検査対象となる全発光素子について上記(c)(d)(e)の工程を繰り返す工程、
を含む発光素子の検査方法を提供することによって、上記の課題を解決するものである。
(g)その位置測定位置において、前記(a)(b)工程を行う工程、
(h)前記位置測定位置から共通する検査位置へと移動させる工程、
(i)前記共通する検査位置において、前記(c)〜(f)工程を行う工程、
(j)前記共通する検査位置から前記位置測定位置へと移動させる工程、及び、
(k)前記位置測定位置において、複数個のウエハチャックのそれぞれからエキスパンドウエハをアンロードする工程、
が行われ、かつ、1つの前記ウエハチャックステージについての前記(i)工程と、1つ以上の他の前記ウエハチャックステージについての前記(g)工程とが、少なくとも一部並行して同時に行われる発光素子の検査方法である。
2 位置測定部
3 検査部
4 ウエハチャックステージ
5a、5b、5c ウエハチャック
6 カメラ
7x、7y ガイド
8 ウエハ移載装置
9 位置測定装置
10a1〜10c2 プローブ移動ステージ
11a〜11c フォトディテクタ
12a〜12c フォトディテクタ移動ステージ
13 制御装置
14 XYステージ
15a〜15c 光入力ポート
16a〜16c 光検出器
Pa1〜Pc2 プローブ
Ua〜Uf エキスパンドウエハ
r Y軸レール
Claims (6)
- エキスパンドウエハ上の発光素子の検査装置であって、
(1)複数個のウエハチャックを備えたウエハチャックステージと、前記各ウエハチャックにロードされたエキスパンドウエハ上の発光素子の、基準位置に対する相対位置を測定して発光素子位置情報として記憶する位置測定装置とを備える位置測定部、
(2)前記各ウエハチャックにロードされるエキスパンドウエハのそれぞれに対応して設けられたフォトディテクタ及び1又は2以上のプローブと、前記プローブの各々を独立してXYZ軸方向に移動させるプローブ移動ステージと、前記フォトディテクタの各々を独立してXYZ軸方向に移動させるフォトディテクタ移動ステージとを備える検査部、及び、
(3)前記発光素子位置情報に基づいて各エキスパンドウエハ上の発光素子が順次対応する1又は2以上のプローブの下方に来るように前記ウエハチャックステージをXY軸方向に移動させる手段と、前記発光素子位置情報と各発光素子における電極位置情報に基づいて前記プローブ移動ステージを作動させ前記プローブのそれぞれが下方に位置する発光素子の電極位置に対応する位置に来るように各プローブをXY軸方向に移動させる手段と、前記プローブを前記ウエハチャックステージに対してZ軸方向に移動させて前記プローブを対応するそれぞれの発光素子の電極と接触させる手段と、前記フォトディテクタ移動ステージを作動させ各フォトディテクタを検出される光量が最大となる位置に位置決めする手段と、位置決めされた前記位置を対応するプローブに対する相対位置として記憶する手段と、移動モードを切り替えて各フォトディテクタをそれぞれ対応する1又は2以上のプローブのいずれかと連動させてXYZ軸方向に移動させる手段とを備える制御装置、
を有している発光素子の検査装置。 - 前記位置測定装置が、前記発光素子位置情報に加えて、各発光素子における電極の、基準位置に対する相対位置を測定して電極位置情報として記憶する位置測定装置である請求項1記載の発光素子の検査装置。
- 1台の前記検査部に対して2台以上の前記位置測定部を備え、前記検査部と前記各位置測定部とはそれぞれ異なる位置にあり、前記制御装置は、前記検査部と前記各位置測定部との間で前記ウエハチャックステージを移動させる手段と、前記検査部に他のウエハチャックステージが存在しないときに、前記位置測定装置による前記発光素子位置情報の記憶又は前記発光素子位置情報と前記電極位置情報の記憶が完了したウエハチャックステージを前記位置測定部から前記検査部へと移動させる手段と、前記検査部での検査が完了したウエハチャックステージを前記検査部から元の位置測定部へと移動させる手段とを備えている請求項1又は2に記載の発光素子の検査装置。
- エキスパンドウエハ上の発光素子の検査方法であって、
(a)ウエハチャックステージに備えられた複数個のウエハチャックのそれぞれにエキスパンドウエハをロードする工程、
(b)前記各ウエハチャックにロードされたエキスパンドウエハ上の発光素子の、基準位置に対する相対位置を測定して発光素子位置情報として記憶する工程、
(c)前記発光素子位置情報に基づいて、各エキスパンドウエハ上の検査対象となる発光素子が前記ウエハチャック上にロードされるエキスパンドウエハのそれぞれに対応して設けられたフォトディテクタ及び1又は2以上のプローブの下方に来るように前記ウエハチャックステージをXY軸方向に移動させる工程、
(d)前記発光素子位置情報と各発光素子における電極位置情報に基づいて、前記プローブが下方に位置する発光素子の電極位置に対応する位置に来るように各プローブをXY軸方向に移動させる工程、
(e)前記プローブを前記ウエハチャックステージに対してZ軸方向に移動させて前記プローブを対応するそれぞれの発光素子の電極と接触させて発光素子の検査を行う工程、
(f)各エキスパンドウエハ上の検査対象となる発光素子を変更して、各エキスパンドウエハ上の検査対象となる全発光素子について上記(c)(d)(e)の工程を繰り返す工程、
を含み、さらに、
各エキスパンドウエハ上の検査対象となる全発光素子について行われる前記(e)工程のうち、少なくとも最初に行われる前記(e)工程が、前記フォトディテクタの各々を対応する前記プローブとは独立してXYZ軸方向に移動させ、検出される光量が最大となる位置に前記各フォトディテクタを位置決めする工程と、位置決めされた前記位置を対応するプローブに対する相対位置として記憶する工程、及び、
移動モードを切り替えて、前記(d)の工程における前記プローブのXY軸方向への移動と連動させて、前記フォトディテクタをXY軸方向に移動させる工程、及び、前記(e)の工程における前記プローブのZ軸方向への移動と連動させて、前記フォトディテクタをZ軸方向に移動させる工程、
とを含む、発光素子の検査方法。 - 前記(b)工程が、前記発光素子位置情報に加えて、各発光素子における電極の、基準位置に対する相対位置を測定して電極位置情報として記憶する工程である請求項4記載の発光素子の検査方法。
- 2台以上の前記ウエハチャックステージを、それぞれの位置測定位置と共通する検査位置との間で移動させる発光素子の検査方法であって、前記各ウエハチャックステージについて、
(g)その位置測定位置において、前記(a)(b)工程を行う工程、
(h)前記位置測定位置から共通する検査位置へと移動させる工程、
(i)前記共通する検査位置において、前記(c)〜(f)工程を行う工程、
(j)前記共通する検査位置から前記位置測定位置へと移動させる工程、及び、
(k)前記位置測定位置において、複数個のウエハチャックのそれぞれからエキスパンドウエハをアンロードする工程、
が行われ、かつ、1つの前記ウエハチャックステージについての前記(i)工程と、1つ以上の他の前記ウエハチャックステージについての前記(g)工程とが、少なくとも一部並行して同時に行われる請求項4又は5に記載の発光素子の検査方法。
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