JP3158102U - フライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構 - Google Patents
フライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3158102U JP3158102U JP2009008381U JP2009008381U JP3158102U JP 3158102 U JP3158102 U JP 3158102U JP 2009008381 U JP2009008381 U JP 2009008381U JP 2009008381 U JP2009008381 U JP 2009008381U JP 3158102 U JP3158102 U JP 3158102U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- raw material
- flying probe
- test
- probe detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Abstract
【課題】フライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構を提供する。【解決手段】円周運動を行い、且つ円周運動が原料供給排出位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ検出位置を経過することができる回転テーブル10と、複数の原料載置構造50と、原料供給排出伝送装置40と、それぞれ原料供給排出位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ検出位置上に対応する複数の基板挟持アーム20と、照準位置に位置する基板に対してイメージ取得を行い、電気試験位置上に電気試験偏差値を計算するCCD照準検出装置と、該基板が正常基板か否かを判別する基板電気試験装置70と、基板電気試験装置が正常でないと判別した基板にプローブ試験検査を行うフライングプローブ検出装置80とにより構成し、運搬工程を減少し、試験効率を向上する。【選択図】図1
Description
本考案は、プリント回路基板試験機構に関し、特に、フライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構に関する。
台湾専利公告第548413号「基板検査装置及び基板検査方法」は、回転テーブル上に所定の間隔で4つの基板保持装置を設置し、検査待ち基板を安定固定保持することに用い、回転テーブル駆動装置により回転テーブルの回転を駆動し、該回転テーブル上の基板保持装置上の検査待ち基板を順に搬入位置、位置偏差検出位置、検査位置及び搬出位置に導引し、搬入位置上に設置した搬入装置により、検査待ち基板を搬入位置の基板保持装置上に移動し、位置偏差検出位置上に設置した位置偏差検出装置により、その位置に位置する検査待ち基板の位置に対して位置偏差量の検出を行ない、検査位置に設置した検査装置により、検査位置に配置された検査待ち基板に対して検査作業を行ない、搬出位置に位置する搬出装置によって、搬出位置に位置する検査待ち基板を回転点から離す作業を行ない、回転テーブルの搬入位置、位置偏差検査位置、検査位置及び搬出位置間の分段回転によって、基板の試験作業を持続的に行なうことができる。
しかしながら、上記の機構は、搬入位置及び排出位置をそれぞれした領域とし、回転テーブルが位置偏差位置及び検査位置以外に搬入位置及び搬出位置上に停止する必要があり、より多くの位置における停止が機構の設計をより複雑にし、製造コストを上昇させる。
また、上記の検査装置が試験を行なった後、正常でない基板は、別途人工でフライングプローブ検出装置に移送し、再度より精確なプローブ検出を行なう必要があり、試験作業効率が良好でなくなる。
好ましくは、該CCD照準検出装置は、更に第1イメージ取得ステージと、第2イメージ取得ステージと、第1イメージ取得レンズと、第2イメージ取得レンズと、を有し、該第1イメージ取得ステージは、独立したX,Y軸任意の平行移動定位を行なうことができ、該第1イメージ取得ステージは、独立したX,Y軸任意の平行移動定位を行なうことができ、該第1イメージ取得レンズは、該第1イメージ取得ステージ上に設置され、該第2イメージ取得レンズは、該第2イメージ取得ステージ上に設置され、且つ該第1イメージ取得レンズ及び該第2イメージレンズは、相互に向き合い、所定のイメージ取得空間を隔て、基板を経過させる。
これに鑑みて、本考案の主要な目的は、フライングプローブ試験を統合したプリント回路基板試験機構を提供し、試験プロセス中にフライングプローブ検出作業を含み、試験の効率を増進することにある。
そこで、本考案が提供するフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構は、円周運動を行い、且つ該円周運動が原料供給排出位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ検出位置を経過することができる回転テーブルと、原料供給排出位置上に設置され、基板を載置させることに用いる複数の原料載置構造と、原料載置構造中の基板を所定基板配置位置に取り置き、基板配置位置上の基板を原料載置構造中に載置する供給排出原料伝送装置と、それぞれ該回転テーブル上に等間隔で設置され、所定基板配置位置上の基板を挟持又は挟持した基板を所定基板配置位置上及び原料供給排出位置上に載置し、且つそれぞれ原料供給排出位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ検出位置上に対応する複数の基板挟持アームと、照準位置上に設置され、照準位置に位置する基板に対してイメージ取得を行い、電気試験位置上に電気試験偏差値を計算するCCD照準検出装置と、電気試験位置上に設置され、電気試験位置に位置する基板に接触式試験を行い、該基板が正常基板か否かを判別する基板電気試験装置と、フライングプローブ検出位置上に設置され、基板電気試験装置が正常でないと判別した基板にプローブ試験検査を行うフライングプローブ検出装置と、を含む。
本考案は下記の特徴を有する。
(1)円周運動を行い、且つ該円周運動が原料供給排出位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ検出位置を経過することができる回転テーブルと、
原料供給排出位置上に設置され、基板を載置させることに用いる複数の原料載置構造と、
原料載置構造中の基板を所定基板配置位置に取り置き、基板配置位置上の基板を原料載置構造中に載置する供給排出原料伝送装置と、
それぞれ該回転テーブル上に等間隔で設置され、所定基板配置位置上の基板を挟持又は挟持した基板を所定基板配置位置上及び原料供給排出位置上に載置し、且つそれぞれ原料供給排出位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ検出位置上に対応する複数の基板挟持アームと、
照準位置上に設置され、照準位置に位置する基板に対してイメージ取得を行い、電気試験位置上に電気試験偏差値を計算するCCD照準検出装置と、
電気試験位置上に設置され、電気試験位置に位置する基板に接触式試験を行い、該基板が正常基板か否かを判別する基板電気試験装置と、
フライングプローブ検出位置上に設置され、基板電気試験装置が正常でないと判別した基板にプローブ試験検査を行うフライングプローブ検出装置と、
を含むフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
(2)前記回転テーブルは、回転軸上に設置され、該回転軸が回転テーブル駆動装置の連動を受け、該回転テーブルを連動し、円周運動を行なう(1)記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
(3)前記原料載置構造は、試験待ち基板を載置させる原料載置構造と、試験を完成し、且つ正常である基板を載置させる原料載置構造と、試験を完成し、且つ正常でない基板を載置させる原料載置構造と、を分けることができる(1)記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
(4)前記所定基板配置位置は、複数の等間隔に設けられた基板挟持アーム上の挟持部位である(1)記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
(5)前記所定基板配置位置は、原料供給排出位置上に設けられ、基板を載置させる基板配置ステージである(1)記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
(6)前記CCD照準検出装置は、更に第1イメージ取得ステージと、第2イメージ取得ステージと、第1イメージ取得レンズと、第2イメージ取得レンズと、を有し、該第1イメージ取得ステージは、独立したX,Y軸任意の平行移動定位を行なうことができ、該第1イメージ取得ステージは、独立したX,Y軸任意の平行移動定位を行なうことができ、該第1イメージ取得レンズは、該第1イメージ取得ステージ上に設置され、該第2イメージ取得レンズは、該第2イメージ取得ステージ上に設置され、且つ該第1イメージ取得レンズ及び該第2イメージレンズは、相互に向き合い、所定のイメージ取得空間を隔て、基板を経過させる(1)記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
(7)前記供給排出原料伝送装置は、所定経路に沿って移動することができる伝送アーム、及び該伝送アーム上にそれぞれ設置される吸着アセンブリを有し、該伝送アームは、180度回転することができ、吸着アセンブリを該所定基板配置位置上方又は原料載置構造上方に配置させることができる(1)記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
(8)前記供給排出原料伝送装置は、所定経路に沿って移動することができる第1伝送アーム及び第2伝送アーム、及び該第1伝送アーム及び第2伝送アーム上にそれぞれ設置される第1吸着アセンブリ及び第2吸着アセンブリを有し、且つ該第1、第2伝送アームは、180度回転することができ、第1吸着アセンブリ及び第2吸着アセンブリを該所定基板配置位置上方又は原料載置構造上方に交互に配置させ、第1伝送アーム及び第2伝送アームにより持続的に交互に原料の供給排出を達成する(1)記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
(9)前記伝送アーム及び吸着アセンブリは、原料供給に用いられ、原料載置構造中の検査待ち基板を所定基板配置位置上に移動し、該伝送アーム及びアセンブリは、原料排出に用いられ、所定基板配置位置上の既に試験された基板を原料載置構造中に移動する(7)記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
(10)前記第1伝送アーム及び第1吸着アセンブリは、原料供給に用いられ、原料載置構造中の検査待ち基板を所定基板配置位置上に移動し、該第2伝送アーム及び第2アセンブリは、原料排出に用いられ、所定基板配置位置上の既に試験された基板を原料載置構造中に移動する(9)記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
本考案は下記の特徴を有する。
(1)円周運動を行い、且つ該円周運動が原料供給排出位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ検出位置を経過することができる回転テーブルと、
原料供給排出位置上に設置され、基板を載置させることに用いる複数の原料載置構造と、
原料載置構造中の基板を所定基板配置位置に取り置き、基板配置位置上の基板を原料載置構造中に載置する供給排出原料伝送装置と、
それぞれ該回転テーブル上に等間隔で設置され、所定基板配置位置上の基板を挟持又は挟持した基板を所定基板配置位置上及び原料供給排出位置上に載置し、且つそれぞれ原料供給排出位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ検出位置上に対応する複数の基板挟持アームと、
照準位置上に設置され、照準位置に位置する基板に対してイメージ取得を行い、電気試験位置上に電気試験偏差値を計算するCCD照準検出装置と、
電気試験位置上に設置され、電気試験位置に位置する基板に接触式試験を行い、該基板が正常基板か否かを判別する基板電気試験装置と、
フライングプローブ検出位置上に設置され、基板電気試験装置が正常でないと判別した基板にプローブ試験検査を行うフライングプローブ検出装置と、
を含むフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
(2)前記回転テーブルは、回転軸上に設置され、該回転軸が回転テーブル駆動装置の連動を受け、該回転テーブルを連動し、円周運動を行なう(1)記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
(3)前記原料載置構造は、試験待ち基板を載置させる原料載置構造と、試験を完成し、且つ正常である基板を載置させる原料載置構造と、試験を完成し、且つ正常でない基板を載置させる原料載置構造と、を分けることができる(1)記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
(4)前記所定基板配置位置は、複数の等間隔に設けられた基板挟持アーム上の挟持部位である(1)記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
(5)前記所定基板配置位置は、原料供給排出位置上に設けられ、基板を載置させる基板配置ステージである(1)記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
(6)前記CCD照準検出装置は、更に第1イメージ取得ステージと、第2イメージ取得ステージと、第1イメージ取得レンズと、第2イメージ取得レンズと、を有し、該第1イメージ取得ステージは、独立したX,Y軸任意の平行移動定位を行なうことができ、該第1イメージ取得ステージは、独立したX,Y軸任意の平行移動定位を行なうことができ、該第1イメージ取得レンズは、該第1イメージ取得ステージ上に設置され、該第2イメージ取得レンズは、該第2イメージ取得ステージ上に設置され、且つ該第1イメージ取得レンズ及び該第2イメージレンズは、相互に向き合い、所定のイメージ取得空間を隔て、基板を経過させる(1)記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
(7)前記供給排出原料伝送装置は、所定経路に沿って移動することができる伝送アーム、及び該伝送アーム上にそれぞれ設置される吸着アセンブリを有し、該伝送アームは、180度回転することができ、吸着アセンブリを該所定基板配置位置上方又は原料載置構造上方に配置させることができる(1)記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
(8)前記供給排出原料伝送装置は、所定経路に沿って移動することができる第1伝送アーム及び第2伝送アーム、及び該第1伝送アーム及び第2伝送アーム上にそれぞれ設置される第1吸着アセンブリ及び第2吸着アセンブリを有し、且つ該第1、第2伝送アームは、180度回転することができ、第1吸着アセンブリ及び第2吸着アセンブリを該所定基板配置位置上方又は原料載置構造上方に交互に配置させ、第1伝送アーム及び第2伝送アームにより持続的に交互に原料の供給排出を達成する(1)記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
(9)前記伝送アーム及び吸着アセンブリは、原料供給に用いられ、原料載置構造中の検査待ち基板を所定基板配置位置上に移動し、該伝送アーム及びアセンブリは、原料排出に用いられ、所定基板配置位置上の既に試験された基板を原料載置構造中に移動する(7)記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
(10)前記第1伝送アーム及び第1吸着アセンブリは、原料供給に用いられ、原料載置構造中の検査待ち基板を所定基板配置位置上に移動し、該第2伝送アーム及び第2アセンブリは、原料排出に用いられ、所定基板配置位置上の既に試験された基板を原料載置構造中に移動する(9)記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
これにより、人工運搬工程を減少し、試験効率を向上させる。
本考案の特徴及び利点を分かり易くする為、以下に好適実施例を挙げ、図面に併せて説明を行なう。
図1〜図7において、本考案の好適実施例が提供するフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構100は、回転テーブル10と、4組の基板挟持アーム20と、回転テーブル駆動装置(図示せず)と、所定基板配置位置21,30と、供給排出原料伝送装置40と、複数の原料載置構造50と、CCD照準検出装置60と、基板電気試験装置70と、フライングプローブ検出装置80と、を含み、そのうち、図1に示すように、該回転テーブル10は、回転軸11上に設置される。
図1において、該基板挟持アーム20は、該回転テーブル10の周辺位置上に等間隔で設置され、基板を挟持することに用いる。
図1において、該回転テーブル駆動装置は、該回転軸11を駆動し、同一円心の円周運動を行い、該回転テーブル10は、原料供給排出位置、所定基板配置位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ位置において所定時間の停止を行い、且つ該原料供給排出位置、所定基板配置位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ位置に所定時間停止する時、該回転テーブル10上の該基板挟持アーム20は、該原料供給排出位置、所定基板配置位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ位置上に正確に位置する。
図1において、該所定基板配置位置は、該基台上に設置され、基板配置位置上に位置し、基板を配置ステージ30に平らに載置させることに用いるか、等間隔、等角度に置かれる複数の基板挟持アーム20の挟持ユニット21が基板を挟持する部位である。
図1、図2、図7において、該原料供給排出装置40は、所定経路に沿って移動することができる伝送アーム41,42、及び該伝送アーム41,42上に設置される吸着アセンブリ43,44を有し、且つ該伝送アーム41,42は、180度回転することができ、吸着アセンブリ43,44を伝送アーム41,42において回転させる時、該所定基板配置位置(基板配置30又は挟持アーム20の挟持ユニット21)上方又は原料載置構造50上方に移動する。該伝送アーム41,42及び吸着アセンブリ43,44により原料の供給又は排出の用途とする。
図1において、該原料載置構造50は、該原料供給排出位置上に設置され、該供給排出原料伝送装置40の移動経路上に位置し、検査待ち基板を載置させる原料載置構造(伝送アーム原料供給用)、又は試験が完成し、且つ正常である基板を載置させる原料載置構造(伝送アーム原料排出用)、試験が完成し、且つ正常でない基板を載置させる原料載置構造(伝送アーム原料排出用)に分けることができる。
図1において、該CCD照準検出装置60は、該照準位置上に設置され、基板に対して位置イメージ取得を行い、電気試験位置の偏差修正値を取得、計算することに用いる。
図1において、該基板電気試験装置70は、該電気試験位置上に設置され、基板に対して接触式の配線検査を行ない、該基板が正常な基板であるか否かを判別することに用いる。
図1において、該フライングプローブ検出装置80は、該フライングプローブ検出位置上に設置され、該基板電気試験装置70を経由して正常でないと判別された基板に対してより精確なプローブ試験を行なうことに用いる。
上記のように、本考案が提供する好適実施例のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構100の各部構成部材及びその組み立て方式について紹介したが、続いて、本考案を使用する利点を以下に紹介する。
先ず、該供給排出原料伝送装置40と、伝送アーム41,42上の吸着アセンブリ43,44によって、試験待ち原料載置構造50中に位置する基板91を、真空吸引力を利用し、吸い取り、180度の回転を行い、該吸着アセンブリ43,44を所定基板配置位置上に配置し、該試験待ち基板91を該所定基板配置位置上に載置し(図3参照)、続いて、該回転テーブル10が該回転テーブル駆動装置の連動を受けて、円周運動を行い、その基板挟持アーム20を原料供給排出位置上の所定基板配置位置上に停止し、所定基板配置位置上に配置する検査待ち基板91を挟持することができ(基板配置ステージ上に載置され、挟持アームユニットにより挟持されるか又はアーム挟持ユニット上に直接載置され、挟持される)、原料供給作業を完成し(図4参照)、続いて、該回転テーブル10が挟持された試験待ち試験基板91の基板挟持アーム20を照準位置上に回転し(図5参照)、該CCD照準検出装置60によって該試験待ち基板91に対して位置のイメージ取得を行い、電気試験位置が必要とする正確な位置偏差値を得て、該基板挟持アーム20によって挟持位置の調整を行い、続いて、該回転テーブル10は、照準試験を完成した試験待ち基板91を挟持した基板挟持アーム20を電気試験位置上に回転し(図5参照)、該基板電気試験装置70によって接触式の方式で該試験待ち基板に対して回路配線の検出を行い、該基板が正常な基板であるか否かを判別し、該回転テーブル10が試験を完成した基板91を挟持した基板アーム20をフライングプローブ検出位置上に回転し(図6参照)、該フライングプローブ検出装置80により正常でないと判別された基板に対してより詳細なプローブ試験を行い(フライングプローブ検出位置に回転した基板は、電気試験装置により正常と判断された時、フライングプローブ検出装置は、基板に対して試験を行なう必要がない)、続いて、該回転テーブル10は、フライングプローブ検出位置を経過した基板91を挟持し、原料供給排出位置上に回転させ、基板配置位置上に載置し、該伝送アーム41,42上の吸着アセンブリ43,44により基板91を吸い取り(図7参照)、判別結果に基づき、原料載置構造50上に載置し、原料排出作業を完成する。
本考案は、フライングプローブ検出装置を統合してフライングプローブ検出位置上に置くことにより、人工を経由し別途移送作業を行なう必要がなく、基板を試験する効率を増進することができる。
なお、本考案では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本考案に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本考案の精神と領域を脱しない均等の範囲内で各種の変動や潤色を加えることができることは勿論である。
100 フライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構
10 回転テーブル
11 回転軸
20 基板挟持アーム
21 挟持ユニット
30 基板配置ステージ
40 原料供給排出装置
41 第1伝送アーム
42 第2伝送アーム
43 第1吸着アセンブリ
44 第2吸着アセンブリ
50 原料載置構造
6 CCD照準検出装置
70 基板電気試験装置
80 フライングプローブ検出装置
91 基板
10 回転テーブル
11 回転軸
20 基板挟持アーム
21 挟持ユニット
30 基板配置ステージ
40 原料供給排出装置
41 第1伝送アーム
42 第2伝送アーム
43 第1吸着アセンブリ
44 第2吸着アセンブリ
50 原料載置構造
6 CCD照準検出装置
70 基板電気試験装置
80 フライングプローブ検出装置
91 基板
Claims (10)
- 円周運動を行い、且つ該円周運動が原料供給排出位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ検出位置を経過することができる回転テーブルと、
原料供給排出位置上に設置され、基板を載置させることに用いる複数の原料載置構造と、
原料載置構造中の基板を所定基板配置位置に取り置き、基板配置位置上の基板を原料載置構造中に載置する供給排出原料伝送装置と、
それぞれ該回転テーブル上に等間隔で設置され、所定基板配置位置上の基板を挟持又は挟持した基板を所定基板配置位置上及び原料供給排出位置上に載置し、且つそれぞれ原料供給排出位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ検出位置上に対応する複数の基板挟持アームと、
照準位置上に設置され、照準位置に位置する基板に対してイメージ取得を行い、電気試験位置上に電気試験偏差値を計算するCCD照準検出装置と、
電気試験位置上に設置され、電気試験位置に位置する基板に接触式試験を行い、該基板が正常基板か否かを判別する基板電気試験装置と、
フライングプローブ検出位置上に設置され、基板電気試験装置が正常でないと判別した基板にプローブ試験検査を行うフライングプローブ検出装置と、
を含むフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。 - 前記回転テーブルは、回転軸上に設置され、該回転軸が回転テーブル駆動装置の連動を受け、該回転テーブルを連動し、円周運動を行なう請求項1記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
- 前記原料載置構造は、試験待ち基板を載置させる原料載置構造と、試験を完成し、且つ正常である基板を載置させる原料載置構造と、試験を完成し、且つ正常でない基板を載置させる原料載置構造と、を分けることができる請求項1記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
- 前記所定基板配置位置は、複数の等間隔に設けられた基板挟持アーム上の挟持部位である請求項1記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
- 前記所定基板配置位置は、原料供給排出位置上に設けられ、基板を載置させる基板配置ステージである請求項1記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
- 前記CCD照準検出装置は、更に第1イメージ取得ステージと、第2イメージ取得ステージと、第1イメージ取得レンズと、第2イメージ取得レンズと、を有し、該第1イメージ取得ステージは、独立したX,Y軸任意の平行移動定位を行なうことができ、該第1イメージ取得ステージは、独立したX,Y軸任意の平行移動定位を行なうことができ、該第1イメージ取得レンズは、該第1イメージ取得ステージ上に設置され、該第2イメージ取得レンズは、該第2イメージ取得ステージ上に設置され、且つ該第1イメージ取得レンズ及び該第2イメージレンズは、相互に向き合い、所定のイメージ取得空間を隔て、基板を経過させる請求項1記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
- 前記供給排出原料伝送装置は、所定経路に沿って移動することができる伝送アーム、及び該伝送アーム上にそれぞれ設置される吸着アセンブリを有し、該伝送アームは、180度回転することができ、吸着アセンブリを該所定基板配置位置上方又は原料載置構造上方に配置させることができる請求項1記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
- 前記供給排出原料伝送装置は、所定経路に沿って移動することができる第1伝送アーム及び第2伝送アーム、及び該第1伝送アーム及び第2伝送アーム上にそれぞれ設置される第1吸着アセンブリ及び第2吸着アセンブリを有し、且つ該第1、第2伝送アームは、180度回転することができ、第1吸着アセンブリ及び第2吸着アセンブリを該所定基板配置位置上方又は原料載置構造上方に交互に配置させ、第1伝送アーム及び第2伝送アームにより持続的に交互に原料の供給排出を達成する請求項1記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
- 前記伝送アーム及び吸着アセンブリは、原料供給に用いられ、原料載置構造中の検査待ち基板を所定基板配置位置上に移動し、該伝送アーム及びアセンブリは、原料排出に用いられ、所定基板配置位置上の既に試験された基板を原料載置構造中に移動する請求項7記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
- 前記第1伝送アーム及び第1吸着アセンブリは、原料供給に用いられ、原料載置構造中の検査待ち基板を所定基板配置位置上に移動し、該第2伝送アーム及び第2アセンブリは、原料排出に用いられ、所定基板配置位置上の既に試験された基板を原料載置構造中に移動する請求項9記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009008381U JP3158102U (ja) | 2009-11-25 | 2009-11-25 | フライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009008381U JP3158102U (ja) | 2009-11-25 | 2009-11-25 | フライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3158102U true JP3158102U (ja) | 2010-03-18 |
Family
ID=54861705
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009008381U Expired - Lifetime JP3158102U (ja) | 2009-11-25 | 2009-11-25 | フライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3158102U (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011208972A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Hioki Ee Corp | 基板検査システム |
CN106771968A (zh) * | 2016-12-19 | 2017-05-31 | 大西电子仪器(昆山)有限公司 | 一种多工位自动检测一体化设备 |
CN110125543A (zh) * | 2019-06-12 | 2019-08-16 | 东莞阿李自动化股份有限公司 | 一种二极管焊接分选机 |
CN115267514A (zh) * | 2022-09-26 | 2022-11-01 | 深圳锦帛方激光科技有限公司 | 一种fct转盘连续检测系统及检测方法 |
-
2009
- 2009-11-25 JP JP2009008381U patent/JP3158102U/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011208972A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Hioki Ee Corp | 基板検査システム |
CN106771968A (zh) * | 2016-12-19 | 2017-05-31 | 大西电子仪器(昆山)有限公司 | 一种多工位自动检测一体化设备 |
CN110125543A (zh) * | 2019-06-12 | 2019-08-16 | 东莞阿李自动化股份有限公司 | 一种二极管焊接分选机 |
CN115267514A (zh) * | 2022-09-26 | 2022-11-01 | 深圳锦帛方激光科技有限公司 | 一种fct转盘连续检测系统及检测方法 |
CN115267514B (zh) * | 2022-09-26 | 2023-01-13 | 深圳锦帛方激光科技有限公司 | 一种fct转盘连续检测系统及检测方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3745750B2 (ja) | 表示パネルの検査装置および検査方法 | |
KR20090091063A (ko) | 프로브 장치, 프로빙 방법 및 기억 매체 | |
JP3158102U (ja) | フライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構 | |
US20090016857A1 (en) | Substrate-replacing apparatus, substrate-processing apparatus, and substrate-inspecting apparatus | |
TWI467679B (zh) | 晶片層積元件檢查方法和晶片層積元件再配列單元以及晶片層積元件用檢查裝置 | |
JP2013191741A (ja) | プローブ装置及びプローブ装置のプローブカード装着方法 | |
JP2019145742A (ja) | コンタクト精度保証方法、コンタクト精度保証機構、および検査装置 | |
KR20130018580A (ko) | 웨이퍼 반송 장치 | |
US20130249581A1 (en) | Probe apparatus | |
JP2015082587A (ja) | 透明プローブ基板を用いた基板検査装置 | |
US8674712B2 (en) | Apparatus for driving placing table | |
JP2015203671A (ja) | Icハンドラの電子部品姿勢修正装置及び電子部品姿勢修正方法 | |
JP2014229635A (ja) | 半導体検査方法および半導体検査装置 | |
KR101902604B1 (ko) | 디스플레이 셀 검사 장치 | |
KR20140017303A (ko) | 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 | |
KR101730039B1 (ko) | 평판디스플레이 패널 에지 검사장치 및 방법 | |
JP2001235507A (ja) | プリント配線板の導通検査装置及び導通検査方法 | |
JPH09275115A (ja) | 基板の位置決め装置 | |
JP2010175287A (ja) | 電子デバイス検査装置及び電子デバイスの検査方法 | |
KR20180091510A (ko) | 디스플레이 셀의 검사 장치 | |
JP4334917B2 (ja) | アライメント装置 | |
CN102020114A (zh) | 运送系统 | |
JP2010175288A (ja) | 電子デバイス検査装置及び電子デバイスを保持する治具 | |
CN220455184U (zh) | 外观检测设备 | |
KR20140086558A (ko) | 검사 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100112 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130224 Year of fee payment: 3 |